JP2005277254A - 基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の窒化物半導体基板は、4H−SiC製の第1の基板または6H−SiC製の第1の基板上にIII族窒化物半導体を成長させた第2の基板であって、第1の基板のc軸と窒化物半導体の成長方向とのなす角θが5°以上85°以下であることを特徴とする。また、本発明の第1のSiC製基板は、かかる窒化物半導体基板に使用することを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
Japanese Journal Applied Physics, (1997) Vol. 36 L382−L385 Japanese Journal Applied Physics, (2002) Vol. 41 L846−L848 Japanese Journal Applied Physics, (2003) Vol. 42 L818−L820 Applied Physics Letters (2003) Vol. 83, p. 5208−5210
基板のc軸と窒化物半導体の成長方向とのなす角θは、5°以上85°以下の範囲内に設定する必要があるが、かかる範囲内で、より良好な整合性を有する面を得るための好ましい角(θ)を調べた。本実施例では、4H−SiCとAlNの組合わせにおいて、自然に形成された面である自形面の格子定数を元に検討を行なった。
6H−SiCとAlNとの組合わせにおいても、実施例1〜13と同様に整合性を検討した。その結果を、表2に示す。表2の結果から明らかなとおり、6H−SiCの(10−15)面とAlNの(30−35)面において、整合性が優れていた。最適のθ値は、実施例1〜13と同様に、不整合率を低減する点で、θは15°以上75°以下が好ましく、25°以上65°以下がより好ましいことが確認できた。また、6H−SiCの(10−15)面のθは48.6°であり、θが48.6°に近いほど整合性が高かった。かかる観点から、θは、第1の基板が6H−SiCの場合には、48.6°±35°が好ましく、48.6°±30°がより好ましく、48.6°±15°が特に好ましいことがわかった。
Claims (6)
- 4H−SiC製の第1の基板上にIII族窒化物半導体を成長させた第2の基板であって、第1の基板のc軸と窒化物半導体の成長方向とのなす角θが5°以上85°以下であることを特徴とする窒化物半導体基板。
- 6H−SiC製の第1の基板上にIII族窒化物半導体を成長させた第2の基板であって、第1の基板のc軸と窒化物半導体の成長方向とのなす角θが5°以上85°以下であることを特徴とする窒化物半導体基板。
- 前記θが、15°以上75°以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体基板。
- 前記θが、25°以上65°以下であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体基板。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体基板に使用する第1のSiC製基板。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体基板の製造方法。
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