JP2005272178A - シリカガラスルツボ - Google Patents
シリカガラスルツボ Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005272178A JP2005272178A JP2004085231A JP2004085231A JP2005272178A JP 2005272178 A JP2005272178 A JP 2005272178A JP 2004085231 A JP2004085231 A JP 2004085231A JP 2004085231 A JP2004085231 A JP 2004085231A JP 2005272178 A JP2005272178 A JP 2005272178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- silica glass
- glass crucible
- concave portion
- groove
- crucible
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Glass Melting And Manufacturing (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
【解決手段】本シリカガラスルツボは、透明層の全体的に滑らかな内表面の初期メルトライン帯域あるいはこれを含む上部域に、多数の凹部が円周方向に沿って設けられ、この各凹部の端部に滑らかな内表面から20〜1000μm突出する凸部が設けられる。
【選択図】 図1
Description
実施例;内側を減圧にて溶融して気泡の発生を防止し、外側は大気圧にて溶融して、多孔質にしたルツボの内表面に、緑色レーザを用いて、図2に示すようなパターンで窪み状凹部を形成すると共に、この凹部の端面から突出する凸部を形成した。図4に示すように、半球状の凹部の大きさは、直径0.5mm、深さ0.5mm、間隔Pが500μmで交互に形成し、隣接する凹部が45°の角度をなす傾斜線上に設けられ、内面メルトライン帯域全面に配置させた。
2 不透明層
3 透明層
4 上部開口部
5 ストレート部
6 円弧部
7 底部
8 初期メルトライン帯域
10 凹部
Claims (8)
- 外側に気泡を含有する不透明層とこの不透明層の内側に全体的に滑らかな内表面を形成する透明層を有する2層構造に形成され、上部開口部からストレート部、円弧部及び底部からなる湾曲状のシリカガラスルツボにおいて、前記透明層の内表面の初期メルトライン帯域あるいはこれを含む上部域に、多数の凹部が円周方向に沿って設けられ、この各凹部の端部に前記滑らかな内表面から20〜1000μm突出する凸部が設けられることを特徴とするシリカガラスルツボ。
- 前記凹部は、この凹部の内面の傾斜が前記滑らかな内表面に対する垂直線に対して5〜60°に形成されることを特徴とする請求項1に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記凹部は、窪み状凹部であって、この凹部の深さD、水平方向の幅W及び垂直方向の高さHの比は、D/W及びD/Hが共に0.3以上でありかつ、D、W及びHがそれぞれ200μm以上、30〜800μm、30〜800μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記凹部は、10個/cm2以上の密度で設けられることを特徴とする請求項3に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記窪み状凹部が略逆円錐状であることを特徴とする請求項3又は4に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記凹部は、溝状凹部であって、この凹部の深さD、長辺幅W及び短辺幅Hの比は、D/W及びD/Hが共に0.3以上でありかつ、D、W及びHがそれぞれ200μm以上、10〜200mm、30〜800μmであることを特徴とする請求項1又は2に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記溝状凹部が略逆三角柱状であることを特徴とする請求項6に記載のシリカガラスルツボ。
- 前記溝状凹部がシリカガラスルツボの高さ方向に垂直な線に対して0〜90°の角度を有して設けられ、この溝状凹部の少なくとも上端が初期メルトライン帯域より上方に位置していることを特徴とする請求項6又は7に記載のシリカガラスルツボ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004085231A JP4994576B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | シリカガラスルツボ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004085231A JP4994576B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | シリカガラスルツボ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005272178A true JP2005272178A (ja) | 2005-10-06 |
JP4994576B2 JP4994576B2 (ja) | 2012-08-08 |
Family
ID=35172236
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004085231A Expired - Lifetime JP4994576B2 (ja) | 2004-03-23 | 2004-03-23 | シリカガラスルツボ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4994576B2 (ja) |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100847500B1 (ko) | 2006-03-30 | 2008-07-22 | 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니 |
JP2008239415A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上用シリカガラスルツボ |
JP2009040680A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Heraeus Shin-Etsu America Inc | シリカガラス坩堝を製造する方法 |
EP2071059A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-17 | Japan Super Quartz Corporation | High-purity vitreous silica crucible for pulling large-diameter single-crystal silicon ingot |
JP2010126423A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumco Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
JP2011105552A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法 |
WO2011071176A1 (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボ |
WO2011074568A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボおよびその製造方法 |
JP2011121830A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Japan Siper Quarts Corp | ルツボ厚みの減肉量が目視判定可能な石英ガラス製ルツボ |
CN102325927A (zh) * | 2009-12-11 | 2012-01-18 | 日本超精石英株式会社 | 氧化硅玻璃坩埚 |
KR101293526B1 (ko) | 2011-01-28 | 2013-08-06 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니 및 그의 제조 방법 |
EP2687623A1 (en) * | 2011-12-12 | 2014-01-22 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Silica container for pulling up single crystal silicon, and method for manufacturing same |
CN103526280A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-22 | 南通路博石英材料有限公司 | 一种内表面具有凹槽拉晶用石英玻璃坩埚的制备方法 |
JP2015218087A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコン引き上げ用石英ガラスるつぼ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63170249A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-14 | グラヴルベル | 食刻ガラスおよびその製造方法 |
JPH10273339A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-13 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 半導体の製造中に使用するための石英ガラス部材 |
JP2000327478A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-11-28 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラスるつぼ及び前記るつぼの製法 |
JP2003212598A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-07-30 | Tosoh Corp | 石英ガラス部品及びセラミック部品並びにそれらの製造方法 |
-
2004
- 2004-03-23 JP JP2004085231A patent/JP4994576B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63170249A (ja) * | 1986-12-23 | 1988-07-14 | グラヴルベル | 食刻ガラスおよびその製造方法 |
JPH10273339A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-13 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 半導体の製造中に使用するための石英ガラス部材 |
JP2000327478A (ja) * | 1999-04-16 | 2000-11-28 | Shinetsu Quartz Prod Co Ltd | 石英ガラスるつぼ及び前記るつぼの製法 |
JP2003212598A (ja) * | 2001-11-13 | 2003-07-30 | Tosoh Corp | 石英ガラス部品及びセラミック部品並びにそれらの製造方法 |
Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008201660A (ja) * | 2006-03-30 | 2008-09-04 | Covalent Materials Corp | シリカガラスルツボ |
US7909931B2 (en) | 2006-03-30 | 2011-03-22 | Covalent Materials Corporation | Silica glass crucible |
KR100847500B1 (ko) | 2006-03-30 | 2008-07-22 | 코바렌트 마테리얼 가부시키가이샤 | 실리카 유리 도가니 |
JP2008239415A (ja) * | 2007-03-28 | 2008-10-09 | Covalent Materials Corp | シリコン単結晶引上用シリカガラスルツボ |
JP2009040680A (ja) * | 2007-08-08 | 2009-02-26 | Heraeus Shin-Etsu America Inc | シリカガラス坩堝を製造する方法 |
KR101104674B1 (ko) | 2007-12-14 | 2012-01-13 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 대경의 실리콘 단결정 잉곳 중의 핀홀 결함의 저감을 가능하게 하는 대경 실리콘 단결정 잉곳 인상용 고순도 석영 유리 도가니 |
EP2071059A1 (en) * | 2007-12-14 | 2009-06-17 | Japan Super Quartz Corporation | High-purity vitreous silica crucible for pulling large-diameter single-crystal silicon ingot |
US8172945B2 (en) | 2007-12-14 | 2012-05-08 | Japan Super Quartz Corporation | High-purity vitreous silica crucible for pulling large-diameter single-crystal silicon ingot |
JP2010126423A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Sumco Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 |
US8394198B2 (en) | 2008-11-28 | 2013-03-12 | Japan Super Quartz Corporation | Silica glass crucible for pulling up silicon single crystal and method for manufacturing thereof |
JP2011105552A (ja) * | 2009-11-18 | 2011-06-02 | Japan Siper Quarts Corp | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法 |
US20120260852A1 (en) * | 2009-12-11 | 2012-10-18 | Japan Super Quartz Corporation | Vitreous silica crucible |
WO2011071176A1 (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-16 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボ |
JP4875229B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2012-02-15 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボ |
JP2011121830A (ja) * | 2009-12-11 | 2011-06-23 | Japan Siper Quarts Corp | ルツボ厚みの減肉量が目視判定可能な石英ガラス製ルツボ |
US9416463B2 (en) | 2009-12-11 | 2016-08-16 | Sumco Corporation | Vitreous silica crucible |
US9115445B2 (en) | 2009-12-11 | 2015-08-25 | Sumco Corporation | Vitreous silica crucible |
CN102325927A (zh) * | 2009-12-11 | 2012-01-18 | 日本超精石英株式会社 | 氧化硅玻璃坩埚 |
JP5143292B2 (ja) * | 2009-12-11 | 2013-02-13 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボ |
CN102762781A (zh) * | 2009-12-14 | 2012-10-31 | 日本超精石英株式会社 | 氧化硅玻璃坩埚及其制造方法 |
JP5292526B2 (ja) * | 2009-12-14 | 2013-09-18 | 株式会社Sumco | シリカガラスルツボおよびその製造方法 |
TWI414644B (zh) * | 2009-12-14 | 2013-11-11 | Japan Super Quartz Corp | 氧化矽玻璃坩堝及其製造方法 |
US9115019B2 (en) | 2009-12-14 | 2015-08-25 | Sumco Corporation | Vitreous silica crucible and method of manufacturing the same |
WO2011074568A1 (ja) * | 2009-12-14 | 2011-06-23 | ジャパンスーパークォーツ株式会社 | シリカガラスルツボおよびその製造方法 |
CN102762781B (zh) * | 2009-12-14 | 2016-03-16 | 日本超精石英株式会社 | 氧化硅玻璃坩埚及其制造方法 |
US20120255487A1 (en) * | 2009-12-14 | 2012-10-11 | Japan Super Quartz Corporation | Vitreous silica crucible and method of manufacturing the same |
KR101293526B1 (ko) | 2011-01-28 | 2013-08-06 | 쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤 | 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니 및 그의 제조 방법 |
EP2687623A1 (en) * | 2011-12-12 | 2014-01-22 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Silica container for pulling up single crystal silicon, and method for manufacturing same |
EP2687623A4 (en) * | 2011-12-12 | 2015-01-07 | Shinetsu Quartz Prod | SILICON CONTAINER FOR MONOCRYSTALLINE SILICON GROWTH, AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME |
US9382640B2 (en) | 2011-12-12 | 2016-07-05 | Shin-Etsu Quartz Products Co., Ltd. | Single crystal silicon pulling silica container and manufacturing method thereof |
CN103526280A (zh) * | 2013-10-12 | 2014-01-22 | 南通路博石英材料有限公司 | 一种内表面具有凹槽拉晶用石英玻璃坩埚的制备方法 |
JP2015218087A (ja) * | 2014-05-19 | 2015-12-07 | 信越石英株式会社 | 単結晶シリコン引き上げ用石英ガラスるつぼ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4994576B2 (ja) | 2012-08-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4994576B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
JP5034093B2 (ja) | ノズルを備えたシリカるつぼ及びその製造方法 | |
KR100847500B1 (ko) | 실리카 유리 도가니 | |
JP2009051729A (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
KR20110119732A (ko) | 실리카 유리 도가니 및 그 제조 방법 | |
JP4233059B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスルツボ及びその製造方法 | |
JP4789437B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ガラスるつぼおよびその製造方法 | |
JP4717771B2 (ja) | シリカガラスルツボ | |
KR20100080410A (ko) | 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니 및 그 제조 방법 | |
TW202229189A (zh) | 減小玻璃元件上之凸起結構的方法以及根據該方法所製成的玻璃元件 | |
WO2023051691A1 (zh) | 一种坩埚组件及拉晶炉 | |
US20140352605A1 (en) | Method for making barium-doped crucible and crucible made thereby | |
JP5447946B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ用石英ガラスルツボおよびその製造方法 | |
JP6631380B2 (ja) | ガラス材の製造方法及び製造装置 | |
JP4958203B2 (ja) | シリコン単結晶引上げ用石英ルツボ | |
US9328009B2 (en) | Vitreous silica crucible for pulling silicon single crystal, and method for manufacturing the same | |
JP6546721B2 (ja) | 単結晶シリコン引き上げ用石英ガラスるつぼ | |
KR101293526B1 (ko) | 실리콘 단결정 인상용 석영 유리 도가니 및 그의 제조 방법 | |
JP2006096616A (ja) | シリカガラスルツボ、シリカガラスルツボの製造方法 | |
KR101467075B1 (ko) | 잉곳 성장 장치 및 잉곳 성장 방법 | |
JP6578906B2 (ja) | ガラス材の製造方法及びガラス材の製造装置 | |
JP2012072038A (ja) | シリカガラスルツボ | |
KR100907184B1 (ko) | 단결정 성장장치용 석영 도가니 및 그 제조방법 | |
JP6885435B2 (ja) | ガラス材の製造方法及びガラス材の製造装置 | |
WO2020031481A1 (ja) | 石英ガラスるつぼ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060906 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20070711 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090310 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090515 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091117 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100217 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20100224 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100402 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120509 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150518 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4994576 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |