JP2005268641A - 発光ダイオードの形成方法 - Google Patents
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Abstract
発光ダイオードにおける従来技術の、熱放散性、光の遮断或は吸収などの問題を回避でき、歩留まり、電子伝導性、熱放散性と輝度が向上された発光ダイオードの形成方法を提供する。
【解決手段】
ダイオードのサファイアベース或は炭化珪素ベースの替わりに、物理的な方法或は化学的な方法で形成する金属層を永久ベースとして採用する。
【選択図】図2D
Description
尚、臨時ベースの「臨時」とは、製造工程中にいったん配置され、その後除去されて、完成した発光ダイオードの構造中には残存していないことを表すための呼称である。そして、永久ベースの「永久」とは、臨時ベースの「臨時」の対概念であり、製造工程中に配置されるが、後に除去されないことを表すための呼称である。
15 パッド
20 活性層
25 パッド
30 N-エピタキシャル層
40 サファイア・ベース
50 炭化珪素ベース
60 サブマウント
100 臨時ベース
105 発光ダイオードのエピタキシャル層
110 分割されたエピタキシャル層
120 反射層
130 金属層
140 パッド
150 薄膜
Claims (5)
- 臨時ベースを提供し、前記臨時ベース上にエピタキシャル層を形成するステップと、
フォトリソグラフィで前記発光ダイオードのエピタキシャル層をエッチングして分割されたエピタキシャル層を形成するステップと、
前記分割されたエピタキシャル層の上に反射層を形成するステップと、
物理的な方法或は化学的な方法で、前記反射層上に金属層を永久ベースとして形成するステップと、
前記臨時ベースを除去するステップと、
前記臨時ベースを除去することで露出される前記分割されたエピタキシャル層の表面上にパッドを形成するステップと、
機械的な力によって金属層を分離して個々の発光ダイオードチップを形成するステップと、
を含むことを特徴とする発光ダイオードの形成方法。 - 前記金属層の厚さは、30マイクロメートルであることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオードの形成方法。
- 前記発光ダイオードのチップの間にある前記金属層の厚さは、5マイクロメートルから30マイクロメートルまでであることを特徴とする請求項1に記載の発光ダイオードの形成方法。
- 臨時ベースを提供し、前記臨時ベース上にエピタキシャル層を形成するステップと、
前記エピタキシャル層上に反射層を形成するステップと、
物理的な方法或は化学的な方法で、前記反射層上に金属層を永久ベースとして形成するステップと、
フォトリソグラフィで前記発光ダイオードのエピタキシャル層、前記反射層及び前記金属層をエッチングして分割されたエピタキシャル層を形成するステップと、
前記臨時ベースを除去するステップと、
前記臨時ベースを除去することで露出される前記分割されたエピタキシャル層の表面上にパッドを形成するステップと、
を含むことを特徴とする発光ダイオードの形成方法。 - 前記金属層の厚さは、30マイクロメートルであることを特徴とする請求項4に記載の発光ダイオードの形成方法。
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---|---|---|---|
JP2004081203A JP2005268641A (ja) | 2004-03-19 | 2004-03-19 | 発光ダイオードの形成方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013094083A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | ウェーブスクエア,インコーポレイテッド | Iii族窒化物半導体素子およびその製造方法 |
-
2004
- 2004-03-19 JP JP2004081203A patent/JP2005268641A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2013094083A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2013-06-27 | ウェーブスクエア,インコーポレイテッド | Iii族窒化物半導体素子およびその製造方法 |
JPWO2013094083A1 (ja) * | 2011-12-21 | 2015-04-27 | ビービーエスエイ リミテッドBBSA Limited | Iii族窒化物半導体素子およびその製造方法 |
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