JP2005268296A - ショットキーバリアダイオード - Google Patents
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Abstract
【課題】両極が同一表面に形成され、前記表面上に付設されたバンプによりフリップチップボンディングが可能にされたショットキーバリアダイオードにおいて、VFを低減しつつフリップチップ用バンプの形状、配置、数などの適正化を図る。
【解決手段】アノード(A)、カソード(K)間の分離領域を蛇行状にして、A−Kの対向長さWを長くして横方向電流経路の断面を大きくすることによりVFを低減した。バンプは電極金属膜5,6の蛇行の振幅範囲B外に2つずつ配置した(若しくは単一で長めに形成した)。蛇行の繰り返し数を1としてチップの小型化を優先した。A開口31をK開口31より大きくしてショットキー接合面積を大きくし、更なるVF低減を図った。基板1裏面に金属8を形成し、更なるVF低減を図った。
【選択図】図1
【解決手段】アノード(A)、カソード(K)間の分離領域を蛇行状にして、A−Kの対向長さWを長くして横方向電流経路の断面を大きくすることによりVFを低減した。バンプは電極金属膜5,6の蛇行の振幅範囲B外に2つずつ配置した(若しくは単一で長めに形成した)。蛇行の繰り返し数を1としてチップの小型化を優先した。A開口31をK開口31より大きくしてショットキー接合面積を大きくし、更なるVF低減を図った。基板1裏面に金属8を形成し、更なるVF低減を図った。
【選択図】図1
Description
本発明は、両極が同一表面に形成され、前記表面上に付設されたバンプによりフリップチップボンディングが可能にされたショットキーバリアダイオードに関するものである。
フリップチップボンディングとは、半導体チップの表面の電極上にバンプと呼ばれる突起電極を形成し、この半導体チップの表裏を逆にして、配線基板上の電極とバンプとを位置合わせしフェースダウンボンディングする実装方法のことである。フリップチップボンディングは1960年代前半に開発され、ICなどの多端子構造の半導体チップをワイヤレスで高密度に表面実装する技術として今日まで広く用いられてきた。また、接続配線が短いというのもフリップチップボンディングの長所である。フリップチップ用のバンプとしては半田(ソルダ)ボールが広く用いられている。
近年、フリップチップボンディングはICに限らず個別半導体の実装にも応用されるようになってきた。特許文献1には、ICに限らず個別半導体のパワーデバイスにフリップチップボンディングを適用することが記載されている。
ところで、表裏に電極が形成された個別半導体チップをフェースダウンでボンディングする場合、例えば特許文献2に記載されるように金属キャップなどの配線用部品を用いて裏面に形成された電極を表面側へ引き回さなければならない。
これに対し、両極が同一表面に形成された横型ダイオードであれば、上記配線用部品の必要は無く、その分薄型化するという利点、バンプ形成までの工程をダイシング前のウエファフォームに対して一括して実施できるという利点がある。
USP6,653,740
USP6,624,522 FIG.15
しかし、横型ダイオードにあっては、表面に平行なキャリア流が流れるという独特性により、縦型ダイオードに比較して順方向電圧降下(以下「VF」という。)が高まると懸念された。
また、多端子素子でなく2端子素子であるため、信頼性の高いフリップチップボンディングを行うには、フリップチップ用バンプの形状、配置、数などを適正化する必要がある。
また、多端子素子でなく2端子素子であるため、信頼性の高いフリップチップボンディングを行うには、フリップチップ用バンプの形状、配置、数などを適正化する必要がある。
本発明は以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであって、両極が同一表面に形成され、前記表面上に付設されたバンプによりフリップチップボンディングが可能にされたショットキーバリアダイオードにおいて、VFを低減しつつフリップチップ用バンプの形状、配置、数などの適正化を図り、信頼性の高いフリップチップボンディングを可能にすることを課題とする。
上記課題を解決するための請求項1記載の発明は、例えば図1に示すように、第1導電型の半導体基板1と、前記半導体基板上に形成された半導体層2と、前記半導体層の前記半導体基板と接する底面と反対側の主表面上に形成された絶縁層3とを備え、
前記半導体層に、比較的不純物濃度の低い第1導電型低濃度領域21及びこれと横方向に隣接する比較的不純物濃度の高い第1導電型高濃度領域22がともに前記主表面から所定深さまで形成されるとともに、前記第1導電型低濃度領域に包含される第2導電型のガードリング23が形成され、
前記絶縁層に、前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域及び前記ガードリングの内周縁部を露出させる第1開口部31と、前記第1開口部と一方向に隣接し前記第1導電型高濃度領域を露出させる第2開口部32とが形成され、
前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域を被い、これと接触してショットキー接合を形成するショットキーバリアメタル4と、
前記第1開口部を被い前記ショットキーバリアメタル及び前記ガードリングに電気的に接続する第1電極金属膜5と、
前記第2開口部を被い前記第1導電型高濃度領域に電気的に接続する第2電極金属膜6と、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第1電極金属膜上のバンプ(A1,A2若しくはA)と、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第2電極金属膜上のバンプ(K1,K2若しくはK)とを備え、
前記絶縁層の前記第1開口部と前記第2開口部との間の部分の形状が前記主表面上で前記一方向に振るように蛇行しており、この蛇行形状に沿う前記第1電極金属膜及び前記第2電極金属膜の外形の蛇行の振幅範囲B外に前記バンプが配置されてなることを特徴とするショットキーバリアダイオードである。
前記半導体層に、比較的不純物濃度の低い第1導電型低濃度領域21及びこれと横方向に隣接する比較的不純物濃度の高い第1導電型高濃度領域22がともに前記主表面から所定深さまで形成されるとともに、前記第1導電型低濃度領域に包含される第2導電型のガードリング23が形成され、
前記絶縁層に、前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域及び前記ガードリングの内周縁部を露出させる第1開口部31と、前記第1開口部と一方向に隣接し前記第1導電型高濃度領域を露出させる第2開口部32とが形成され、
前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域を被い、これと接触してショットキー接合を形成するショットキーバリアメタル4と、
前記第1開口部を被い前記ショットキーバリアメタル及び前記ガードリングに電気的に接続する第1電極金属膜5と、
前記第2開口部を被い前記第1導電型高濃度領域に電気的に接続する第2電極金属膜6と、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第1電極金属膜上のバンプ(A1,A2若しくはA)と、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第2電極金属膜上のバンプ(K1,K2若しくはK)とを備え、
前記絶縁層の前記第1開口部と前記第2開口部との間の部分の形状が前記主表面上で前記一方向に振るように蛇行しており、この蛇行形状に沿う前記第1電極金属膜及び前記第2電極金属膜の外形の蛇行の振幅範囲B外に前記バンプが配置されてなることを特徴とするショットキーバリアダイオードである。
したがって請求項1記載の発明によれば、絶縁層の第1開口部と第2開口部との間の部分の形状が前記主表面上で前記一方向に振るように蛇行しており、その他上記の通りの構造を有するので、この絶縁層の蛇行形状部分に沿うように、第1電極金属膜の外形、第2電極金属膜の外形、ショットキーバリアメタルの外形、ガードリングの形状、第1導電型低濃度領域と第1導電型高濃度領域との境界に蛇行形状が形成される。そして、両極に順方向電圧が印加されるとき、アノードからカソードに移行する電流の経路の断面積はストレート形状に比較して前記蛇行形状によって大きく拡大されているので、ストレート形状とするよりVFの低減効果がある。
また、両電極金属膜が入江状に狭小となる両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲内にバンプを形成することは困難であるが、本発明によれば、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲外にバンプが配置されるので、バンプの形成領域を確保しやすくチップサイズを小型化しやすい。言い換えると、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲外にバンプが配置されるので、蛇行を狭ピッチにすることができ、ひいてはチップサイズを小型化できる。
さらに、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲の両側にバンプが配置されるので、ボンディング時に前記一方向について安定しやすい。また、バンプは前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成されるので、ボンディング時に前記一方向と垂直な方向についても安定しやすい。したがって、全方向についてボンディング時の傾斜の発生が防止され、信頼性の高いフリップチップボンディングが可能である。
また、両電極金属膜が入江状に狭小となる両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲内にバンプを形成することは困難であるが、本発明によれば、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲外にバンプが配置されるので、バンプの形成領域を確保しやすくチップサイズを小型化しやすい。言い換えると、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲外にバンプが配置されるので、蛇行を狭ピッチにすることができ、ひいてはチップサイズを小型化できる。
さらに、両電極金属膜外形の蛇行の振幅範囲の両側にバンプが配置されるので、ボンディング時に前記一方向について安定しやすい。また、バンプは前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成されるので、ボンディング時に前記一方向と垂直な方向についても安定しやすい。したがって、全方向についてボンディング時の傾斜の発生が防止され、信頼性の高いフリップチップボンディングが可能である。
請求項2記載の発明は、前記蛇行の繰り返し数が1であることを特徴とする請求項1記載のショットキーバリアダイオードである。
蛇行の繰り返し数が1を超えると、チップサイズの大型化を招き、蛇行の繰り返し数を0.5とすると、高いVFの低減効果が期待できないとともに、前記一方向と垂直な方向について両電極金属膜の形成領域が不均衡な形状となるので、バンプを均等に配置しにくい。
請求項3記載の発明は、前記第1電極金属膜上のバンプが合計2つであり、前記第2電極金属膜上のバンプが合計2つであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のショットキーバリアダイオードである。
したがって請求項3記載の発明によれば、バンプがチップの四隅に配置され、4点支持による安定なボンディングを実現するとともに、バンプ数が少ないためチップサイズを小型化できる。
請求項4記載の発明は、前記第1開口部が前記第2開口部よりも大きく開口していることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載のショットキーバリアダイオードである。
したがって請求項4記載の発明によれば、第1開口部が第2開口部よりも大きく開口しているので、第1開口部内に形成されるショットキー接合の面積が大きくなり、その結果、更なるVFの低減効果がある。
請求項5記載の発明は、前記一方向がチップ外形の長辺方向にされてなることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一に記載のショットキーバリアダイオードである。
したがって請求項5記載の発明によれば、蛇行の振幅を大きくとることができ、これによりアノードからカソードに移行する電流の経路の断面積は拡大されるので、更なるVFの低減効果がある。
請求項6記載の発明は、前記半導体基板の裏面に金属が被着されてなることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一に記載のショットキーバリアダイオードである。
したがって請求項6記載の発明によれば、放熱性が向上し、全体として抵抗値が下降し更なるVFの低減効果がある。
以上説明したように本発明によれば、両極が同一表面に形成され、前記表面上に付設されたバンプによりフリップチップボンディングが可能にされたショットキーバリアダイオードにおいて、VFを低減しつつフリップチップ用バンプの形状、配置、数などの適正化を図ることができるという効果がある。
以下に本発明の一実施の形態につき図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。以下の実施形態においては、第1導電型はN型に対応し、第2導電型はP型に対応する。図1は、本発明一実施形態のショットキーバリアダイオードの平面透視図(a)及び図(a)におけるL1-L1´線断面図(b)である。
図1に示すように、本実施形態のショットキーバリアダイオード(以下「SBD」という。)101は、N型の半導体基板1上に半導体層2がエピタキシャル成長により形成されたウエファを利用して構成される。半導体層2の主表面上にはSiO2層3が形成されている。半導体層2には、比較的不純物濃度の低いN-型領域21と、比較的不純物濃度の高いN+型シンク領域22が形成されている。N-型領域21とN+型シンク領域22とは横方向に隣接している。N-型領域21は半導体層2の主表面から半導体基板1に接触する底面まで形成されている。N+型シンク領域22は半導体層2の主表面からほぼ底面まで形成されている。また、N-型領域21に包含されるP型のガードリング23が形成されている。ガードリング23は半導体層2の主表面にリング状に露出する。
SiO2層3には、アノード側の第1開口部31とカソード側の第2開口部32とが形成されている。第1開口部31は、ガードリング23の内側のN-型領域21及びガードリング23の内周縁部を露出させる。第1開口部31の周囲には、SiO2層3の厚手部33が堤状に形成されている。
第2開口部32は、第1開口部31とチップ外形の長手方向であるX方向に隣接して設けられ、N+型シンク領域22のみを露出させている。
第2開口部32は、第1開口部31とチップ外形の長手方向であるX方向に隣接して設けられ、N+型シンク領域22のみを露出させている。
ショットキーバリアメタル4は、ガードリング23の内側のN-型領域21を被い、これと接触してショットキー接合を形成する。
アノード電極金属膜5は、第1開口部31を被いショットキーバリアメタル4及びガードリング23に電気的に接続する。アノード電極金属膜5は、ショットキーバリアメタル4に被着している。本実施形態では、ショットキーバリアメタル4はガードリング23を露出させるように第1開口部31の周縁よりわずか内側に形成されており、アノード電極金属膜5の一部は、ショットキーバリアメタル4とSiO2層3との隙間に埋設されてガードリング23に接触する。ショットキーバリアメタル4によって第1開口部31を隙間無く被う場合でも、アノード電極金属膜5はショットキーバリアメタル4を介してガードリング23に電気的に接続することができる。
カソード電極金属膜6は、第2開口部32を被いN+型シンク領域22に電気的に接続する。
カソード電極金属膜6は、第2開口部32を被いN+型シンク領域22に電気的に接続する。
最終保護膜7は、スクライブ用のチップ外周縁部及び4つの電極パッド用開口部71〜74を残し、SiO2層3、ショットキーバリアメタル4、アノード電極金属膜5及びカソード電極金属膜6を被覆する。2つの電極パッド用開口部71,72はそれぞれアノード電極金属膜5の一部を露出させて、半田バンプ付設用の電極パッドを形成している。同様に2つの電極パッド用開口部73,74はそれぞれカソード電極金属膜6の一部を露出させて、半田バンプ付設用の電極パッドを形成している。
半田バンプA1,A2は、電極パッド用開口部71,72を介してアノード電極金属膜5に接続し、Y方向に並んで形成されている。同様に半田バンプK1,K2は、電極パッド用開口部73,74を介してカソード電極金属膜6に接続し、Y方向に並んで形成されている。半田バンプA1,A2,K1,K2は、通常統一してボール状、キューブ状などの形状にする。
半導体基板1の裏面には放熱及び導電用の裏面金属8が被着している。裏面金属8は設けなくてもよい。
半導体基板1の裏面には放熱及び導電用の裏面金属8が被着している。裏面金属8は設けなくてもよい。
〔平面構造〕
次に、図1(a)を参照して本SBD101の平面構造につき説明する。SBD101のチップサイズの縦横比は、X方向2に対してY方向が1である。
図1(a)に示すように、SiO2層3の第1開口部31と第2開口部32との間の部分の形状は、主表面上でX方向に振るように蛇行している。本SBD101においては、この蛇行の繰り返し数は1回である。
N-型領域21、N+型シンク領域22、ガードリング23、SiO2層3(第1開口部31、第2開口部32含む)、ショットキーバリアメタル4、アノード電極金属膜5及びカソード電極金属膜6の各角部は丸みをつけた形状となっている。
アノード側とカソード側の境界部分においては、ショットキーバリアメタル4の外形、アノード電極金属膜5の外形、カソード電極金属膜6の外形、ガードリング23の形状、N-型領域21とN+型シンク領域22の境界は、SiO2層3の蛇行形状に沿って蛇行形状となっている。
このアノード電極金属膜5の外形及びカソード電極金属膜6の外形の蛇行の振幅範囲B外に半田バンプA1,A2、K1,K2が配置されている。振幅範囲Bは、蛇行形状のピークとなるアノード電極金属膜5の縁からカソード電極金属膜6の縁までである。
次に、図1(a)を参照して本SBD101の平面構造につき説明する。SBD101のチップサイズの縦横比は、X方向2に対してY方向が1である。
図1(a)に示すように、SiO2層3の第1開口部31と第2開口部32との間の部分の形状は、主表面上でX方向に振るように蛇行している。本SBD101においては、この蛇行の繰り返し数は1回である。
N-型領域21、N+型シンク領域22、ガードリング23、SiO2層3(第1開口部31、第2開口部32含む)、ショットキーバリアメタル4、アノード電極金属膜5及びカソード電極金属膜6の各角部は丸みをつけた形状となっている。
アノード側とカソード側の境界部分においては、ショットキーバリアメタル4の外形、アノード電極金属膜5の外形、カソード電極金属膜6の外形、ガードリング23の形状、N-型領域21とN+型シンク領域22の境界は、SiO2層3の蛇行形状に沿って蛇行形状となっている。
このアノード電極金属膜5の外形及びカソード電極金属膜6の外形の蛇行の振幅範囲B外に半田バンプA1,A2、K1,K2が配置されている。振幅範囲Bは、蛇行形状のピークとなるアノード電極金属膜5の縁からカソード電極金属膜6の縁までである。
以上の構造を有する本SBD101は、アノード−カソード間に順方向電圧が印加されるとき、アノードからカソードに移行する電流の経路の断面積は、ストレート形状に比較して蛇行形状によって大きく拡大されているので、ストレート形状とするよりVFの低減効果がある。この断面積の拡幅度は、アノード領域とカソード領域との対向長さWにより評価できる。
図1(a)に示すようにカソード電極金属膜6に対向する部分のガードリング23の内縁に沿った長さ(太実線で表示)を対向長さWとする。
アノード−カソード間の分離領域をストレート形状とするときは、対向長さWは直線で示される。これに対し、蛇行形状とする場合は図1(a)に示す通り迂回する分、対向長さWは長くなる。
図1(a)に示すようにカソード電極金属膜6に対向する部分のガードリング23の内縁に沿った長さ(太実線で表示)を対向長さWとする。
アノード−カソード間の分離領域をストレート形状とするときは、対向長さWは直線で示される。これに対し、蛇行形状とする場合は図1(a)に示す通り迂回する分、対向長さWは長くなる。
〔製造方法〕
次に、図1、図2及び図3を参照して本SBD101の製造方法の一例につき説明する。各パターニング工程は図1(a)に示すパターンで行う。
次に、図1、図2及び図3を参照して本SBD101の製造方法の一例につき説明する。各パターニング工程は図1(a)に示すパターンで行う。
(工程1)まず、図2(a)に示すように、シリコンバルク結晶に砒素やアンチモン等のN型不純物を高濃度に不純物導入したN+型の半導体基板1上に、エピタキシャル成長によりN型の半導体層2を形成されたウエファを得、これを熱酸化させて半導体層2の表裏にSiO2層3a,3bを形成する。
(工程2)次に、図2(b)に示すように、周知のフォトリソグラフィー法を用いて表面のSiO2層3aにN+型シンク領域形成用の開口部3cを形成して酸化膜マスク3dを形成するとともに、裏面のSiO2層3bをエッチング除去する。酸化膜マスク3dをマスクとしてN型不純物をドーピングし、続いて引き伸ばし拡散してN+型シンク領域22を形成する。
(工程3)次に、図2(c)に示すように、再度、ウエファを熱酸化させSiO2層を表裏に成長させた後、ガードリング形成用の開口部3eを形成して酸化膜マスク3fを形成する。酸化膜マスク3fをマスクとして、P型不純物をドーピングし、続いて引き伸ばし拡散してガードリング23を形成する。
(工程4)次に、図3(a)に示すように、再度、ウエファを熱酸化させSiO2層を表裏に成長させた後、第1開口部31及び第2開口部32を形成するとともに裏面のSiO2層3bをエッチング除去する。次に、ショットキーバリアメタルを全面蒸着した後、図1(a)に示すパターンにエッチングする。次に、電極金属膜を表面に蒸着した後、図1(a)に示すパターンにエッチングし、アノード電極金属膜5及びカソード電極金属膜6を形成する。さらに、最終保護膜をCVD法により形成した後、図1(a)に示すパターンにエッチングする。
(工程6)次に、図3(b)に示すように、周知のドライマスクと電界メッキ法を用いて、最終保護膜7の開口71〜74により露出形成された電極パッド上に、半田バンプ材9を形成する。裏面金属8を設ける場合は、半導体基板1の裏面に裏面金属8を蒸着形成する。
なお、裏面金属8を設ける場合、より薄い半導体基板1を選択するか、半導体基板1の理面を研磨して薄くした後に裏面金属8を付設した方が裏面金属8が半導体層2に近づくため、より高いVF低減効果、放熱効果が得られる。裏面金属8を設けない場合は、より厚い半導体基板1を選択し、横方向の電流経路の断面を大きくした方が良い。裏面金属8はウエファ工程でなく、チップに分離した後に金属片をチップ裏面に溶融接合させるなどして設けても良い。但し、ウエファ工程で半導体基板1の裏面に金属膜を蒸着形成しておいた方が、後で裏面金属を追加して付着させる場合に被着性が良くなる。また、上記金属片の溶融接合工程は、半田バンプが使用不可能な程度に変形したり、消失しない温度で行わなければならない。
なお、裏面金属8を設ける場合、より薄い半導体基板1を選択するか、半導体基板1の理面を研磨して薄くした後に裏面金属8を付設した方が裏面金属8が半導体層2に近づくため、より高いVF低減効果、放熱効果が得られる。裏面金属8を設けない場合は、より厚い半導体基板1を選択し、横方向の電流経路の断面を大きくした方が良い。裏面金属8はウエファ工程でなく、チップに分離した後に金属片をチップ裏面に溶融接合させるなどして設けても良い。但し、ウエファ工程で半導体基板1の裏面に金属膜を蒸着形成しておいた方が、後で裏面金属を追加して付着させる場合に被着性が良くなる。また、上記金属片の溶融接合工程は、半田バンプが使用不可能な程度に変形したり、消失しない温度で行わなければならない。
(工程7)次に、半田バンプ材9を加熱溶融してその表面張力によりボール状に変形させる。以上により完成し、図1に示すSBD101が得られる。
〔変形例〕
次に、図4〜図7を参照して上記SBD101に対する4つの変形例のSBD102〜105につき説明する。SBD102〜105は、以下に説明する事項以外はSBD101と同様の構造を有する。図4はSBD102の平面透視図、図5はSBD103の平面透視図、図6はSBD104の平面透視図、図7はSBD105の平面透視図である。SBD101の各部に対応する部分に同一の符号を付ける。
次に、図4〜図7を参照して上記SBD101に対する4つの変形例のSBD102〜105につき説明する。SBD102〜105は、以下に説明する事項以外はSBD101と同様の構造を有する。図4はSBD102の平面透視図、図5はSBD103の平面透視図、図6はSBD104の平面透視図、図7はSBD105の平面透視図である。SBD101の各部に対応する部分に同一の符号を付ける。
図4に示すSBD102は、SBD101に対しチップサイズを変えずに蛇行の振幅を短くし、各半田バンプA1,A2,K1,K2をX方向に長く形成したものである。これに伴いSBD102の対向長さWは、SBD101のそれに比して短くなるものの、振幅範囲Bが小さくなった分、振幅範囲B外の配置される半田バンプを大きく形成できる。
このように、蛇行の振幅を長くしたり短くしたりと選択することができ、その結果として対向長さWを変更できる。
このように、蛇行の振幅を長くしたり短くしたりと選択することができ、その結果として対向長さWを変更できる。
図5に示すSBD103は、SBD101に対しチップサイズを変えずに蛇行の振幅を短くし、蛇行部をチップ中央よりカソード側に偏在させたものである。これに伴いSBD103の対向長さWはSBD101のそれに比して短くなるものの、SBD103の第1開口部31は第2開口部32よりも大きく開口している。第1開口部31が大きくなった分、第1開口部31内に形成されるショットキー接合の面積が大きくなり、その結果、SBD102に対しVFの低減効果がある。SBD101とSBD103を比較した場合は、両者の対向長さWによる。
図6に示すSBD104は、SBD101のチップサイズに対しY方向を2倍にし、蛇行の振幅を短くし、蛇行の繰り返し回数を2回とし、各半田バンプA1,A2,K1,K2をX方向及びY方向に大きく形成したものである。これに伴いSBD104のチップサイズは大型化するものの、対向長さWはSBD101のそれと同程度に維持でき、かつ、振幅範囲Bが小さくなりY方向のチップサイズが大きくなった分、振幅範囲B外の配置される半田バンプをX方向及びY方向に大きく形成できる。
このように、蛇行の繰り返し回数を選択することができ、その結果として対向長さWを変更できる。但し、蛇行のピッチを狭小化することができない場合は、チップサイズを大型化せざるを得ない。
このように、蛇行の繰り返し回数を選択することができ、その結果として対向長さWを変更できる。但し、蛇行のピッチを狭小化することができない場合は、チップサイズを大型化せざるを得ない。
図7に示すSBD105は、SBD101のチップサイズに対しX方向を1.5倍、Y方向を2倍にし、蛇行の振幅を短くし、蛇行の繰り返し回数を2回とし、半田バンプA,Kをアノード、カソードにおいてそれぞれ単一にしてY方向に長く形成したものである。これに伴いSBD105のチップサイズは大型化するものの、対向長さWはSBD101のそれと同程度に維持でき、かつ、振幅範囲Bが小さくなりX,Y方向のチップサイズが大きくなった分、振幅範囲B外の配置される半田バンプをX方向及びY方向に大きく形成できる。また、半田バンプA,Kをアノード、カソードにおいてそれぞれ単一としたので、バンプのボンディング時の接触面積をさらに大きくできる。
このように、半田バンプの数をアノード、カソードのそれぞれにおいて単一としたり、2つとしたり、3以上に選択することができる。
このように、半田バンプの数をアノード、カソードのそれぞれにおいて単一としたり、2つとしたり、3以上に選択することができる。
〔比較例〕
次に、図8及び図9を参照して上記本発明のSBD101〜105に対する2つの比較例のSBD106,107につき説明する。SBD106,107は、以下に説明する事項以外はSBD101と同様の構造を有する。図8はSBD106の平面透視図、図9はSBD107の平面透視図である。SBD101の各部に対応する部分に同一の符号を付ける。
次に、図8及び図9を参照して上記本発明のSBD101〜105に対する2つの比較例のSBD106,107につき説明する。SBD106,107は、以下に説明する事項以外はSBD101と同様の構造を有する。図8はSBD106の平面透視図、図9はSBD107の平面透視図である。SBD101の各部に対応する部分に同一の符号を付ける。
図8に示すSBD106は、SBD101に対しチップサイズを変えずに蛇行を無くしてストレート形状にし、半田バンプA,KをX方向に長く形成したものである。これに伴いSBD106の振幅範囲B(ここでは単なるアノード電極金属膜5―カソード電極金属膜6間の離間距離に等しい)が小さくなった分、振幅範囲B外の配置される半田バンプを大きく形成できるものの、SBD106の対向長さWはSBD101のそれに比して短くなり低いVFが得られない。なお、図8においては半田バンプA,Kは単一のものを描いた。
図9に示すSBD107は、SBD101に対しチップサイズを変えずに蛇行を無くしてX方向に平行はストレート形状にし、半田バンプA1,A2,K1,K2をX方向に長く形成したものである。これに伴いSBD107の振幅範囲B(ここでは単なるアノード電極金属膜5―カソード電極金属膜6間の離間距離に等しい)が小さくなった分、振幅範囲B外の配置される半田バンプを大きく形成でき、SBD107の対向長さWはSBD106のそれに比して長くでき、SBD101のそれに比しては同程度の長さにできる。
〔順方向電流のシミュレーション〕
次に、横型SBDの順方向電流のシミュレーション結果を記載する。なお、以下の記載における横型SBD(SBD101〜107を含む)については、すべて裏面金属8を設けていないものを対象とした。
図10はシミュレーション領域を示すSBD断面図である。図10に示すようにシミュレーション領域の範囲はX:0〜120(μm)、Y:−1〜5(μm)である。X:0〜40(μm)の範囲がアノード領域、X:40〜80(μm)の範囲はN-型領域がシリコン表面に露出する耐圧維持のための領域、X:80〜120(μm)の範囲はN+型シンク領域が形成されたカソード領域である。
次に、横型SBDの順方向電流のシミュレーション結果を記載する。なお、以下の記載における横型SBD(SBD101〜107を含む)については、すべて裏面金属8を設けていないものを対象とした。
図10はシミュレーション領域を示すSBD断面図である。図10に示すようにシミュレーション領域の範囲はX:0〜120(μm)、Y:−1〜5(μm)である。X:0〜40(μm)の範囲がアノード領域、X:40〜80(μm)の範囲はN-型領域がシリコン表面に露出する耐圧維持のための領域、X:80〜120(μm)の範囲はN+型シンク領域が形成されたカソード領域である。
図11は図10におけるL1-L1´線沿いの不純物濃度曲線、図12は図10におけるL2-L2´線沿いの不純物濃度曲線、図13は図10におけるL3-L3´線沿いの不純物濃度曲線である。
図11からわかるようにアノード側のP型領域の深さは約1μmで、図11及び図13からわかるように表面濃度Cspは約3×1017(1/cm3)である。
また、アノード側のP型領域下の深さ1〜2.5(μm)の範囲にN-型領域が確保され、その下2.5〜3(μm)にN+型半導体基板から拡散による高濃度領域が迫っている。約3μm以下がN+型半導体基板でその不純物濃度は1.1×1019(1/cm3)となっている。
図12からわかるように、カソード側のN+型シンク領域は、深さ約1.5μmまで形成されており、図12及び図13からわかるように表面濃度Csnは約3×1017(1/cm3)である。
図11からわかるようにアノード側のP型領域の深さは約1μmで、図11及び図13からわかるように表面濃度Cspは約3×1017(1/cm3)である。
また、アノード側のP型領域下の深さ1〜2.5(μm)の範囲にN-型領域が確保され、その下2.5〜3(μm)にN+型半導体基板から拡散による高濃度領域が迫っている。約3μm以下がN+型半導体基板でその不純物濃度は1.1×1019(1/cm3)となっている。
図12からわかるように、カソード側のN+型シンク領域は、深さ約1.5μmまで形成されており、図12及び図13からわかるように表面濃度Csnは約3×1017(1/cm3)である。
以上のようなシミュレーション領域に対しVF=1.0(v)印加時の電流密度分布を求めた。その結果を図14〜図16に示す。図14は上記シミュレーション領域の電流密度分布図である。図15は図14におけるM1-M1´線(Y=0.5)、 M2-M2´線(Y=2.0)及びM3-M3´線(Y=3.5)沿いの各電流密度分布曲線、図16は図14におけるN1- N1´線(X=45)、 N2-N2´線(X=60)及びN3- N3´線(X=75)沿いの各電流密度分布曲線である。
図14からわかるように、各領域の接合(P/N-接合、N/N+接合)付近に電流が集中することがわかる。また、電流の多くは、N-型領域中を横方向に移動せず、N+型半導体基板中を横方向に移動することがわかる。このことは図15におけるY=3.5のN+型半導体基板を通る電流密度分布曲線が他の2つの曲線より値が数倍大きいことからもわかる。
図14からわかるように、各領域の接合(P/N-接合、N/N+接合)付近に電流が集中することがわかる。また、電流の多くは、N-型領域中を横方向に移動せず、N+型半導体基板中を横方向に移動することがわかる。このことは図15におけるY=3.5のN+型半導体基板を通る電流密度分布曲線が他の2つの曲線より値が数倍大きいことからもわかる。
〔横型SBDのVF式導出〕
シミュレーション1の結果が示すように横方向の電流の大部分はN+型半導体基板中を通るので、対向長さWとN+型半導体基板の厚さHとの積、すなわち、W・Hは横方向の電流経路の断面積にほぼ等しい。この理論に基づき、横方向SBDのVF式を導出する。
シミュレーション1の結果が示すように横方向の電流の大部分はN+型半導体基板中を通るので、対向長さWとN+型半導体基板の厚さHとの積、すなわち、W・Hは横方向の電流経路の断面積にほぼ等しい。この理論に基づき、横方向SBDのVF式を導出する。
通常、カソード電極のコンタクト抵抗は10-6(Ω・cm2)以下が確保されるため、VFKは他の成分に対して十分小さくなるので、これを無視する。周知の理論及び上述した横方向の電流経路の断面積W・Hを用いれば、他の成分はそれぞれ次式2〜5より表される。
〔VF比較その1〕
次ぎに、縦型SBDのVF及び式1〜5により計算した上記SBD102,103,106,107のVFの比較結果を開示する。
SBD102,103,106,107のチップサイズをX方向1.6×Y方向0.8(mm×mm)とした。縦型SBDは、チップサイズ0.8×0.8(μm)とし、SBD106のアノード側半分に相当する構造の裏面全体にカソード電極を有する縦型SBDを想定した。アノード面積(SA)、アノード:カソード面積(SA:SK)、対向長さWは、図17の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図17の表に示し、これをグラフ化したものを図18の両対数グラフに示す。
次ぎに、縦型SBDのVF及び式1〜5により計算した上記SBD102,103,106,107のVFの比較結果を開示する。
SBD102,103,106,107のチップサイズをX方向1.6×Y方向0.8(mm×mm)とした。縦型SBDは、チップサイズ0.8×0.8(μm)とし、SBD106のアノード側半分に相当する構造の裏面全体にカソード電極を有する縦型SBDを想定した。アノード面積(SA)、アノード:カソード面積(SA:SK)、対向長さWは、図17の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図17の表に示し、これをグラフ化したものを図18の両対数グラフに示す。
なお、本計算及びVF比較その2、その3において使用した他の定数の数値は以下の通りである。
ΦBN:バリヤーハイト;0.68〔eV〕
k:ボルツマン定数;1.38066×10-23〔J/K〕(ジュール/ケルビン温度)
T:温度;298〔K〕(ケルビン温度)
q:電荷素量:1.60218×10-19〔C〕
A*:リチャードソン数;112
ρ1;4〔Ω・cm〕
ρ2;Asとして0.0030〔Ω・cm〕
ρ3;0.0005〔Ω・cm〕
d1;3.2〔μm〕
d2;d2={(SA+Sk)/2W}+(ガードリング23の内縁から第2開口部32までの距離)でSBD106においてd2=440〔μm〕
ΦBN:バリヤーハイト;0.68〔eV〕
k:ボルツマン定数;1.38066×10-23〔J/K〕(ジュール/ケルビン温度)
T:温度;298〔K〕(ケルビン温度)
q:電荷素量:1.60218×10-19〔C〕
A*:リチャードソン数;112
ρ1;4〔Ω・cm〕
ρ2;Asとして0.0030〔Ω・cm〕
ρ3;0.0005〔Ω・cm〕
d1;3.2〔μm〕
d2;d2={(SA+Sk)/2W}+(ガードリング23の内縁から第2開口部32までの距離)でSBD106においてd2=440〔μm〕
以上の結果を受けて比較すると、次のようなことがいえる。
縦型SBDに比べ、横型SBD102,103,106,107の方がVFは高くなり、その差はIFの増大とともに顕著になる。
横型SBDについては、チップ短辺方向にアノード、カソードをストレート形状で分割したSBD106が最も高いVFを示した。
チップ長辺方向にアノード、カソードをストレート形状で分割したSBD107は、対向長さWが大きくとられ、横型SBDの中で最も低いVFを示し、縦型SBDに最も近い特性となった。
チップ短辺方向にアノード、カソードを蛇行形状で分割したSBD102は、ストレート形状で分割したSBD106に対して、VF特性が改善されたことがわかる。
SBD102に対してアノード面積を広げたSBD103にあっては、さらにVF特性が改善されたことがわかる。これは、同じチップサイズ、同じ対向長さWであっても、SBD103の方がショットキー接合の面積が大きくなり、その結果、更なるVFの低減効果があったものと説明できる。
縦型SBDに比べ、横型SBD102,103,106,107の方がVFは高くなり、その差はIFの増大とともに顕著になる。
横型SBDについては、チップ短辺方向にアノード、カソードをストレート形状で分割したSBD106が最も高いVFを示した。
チップ長辺方向にアノード、カソードをストレート形状で分割したSBD107は、対向長さWが大きくとられ、横型SBDの中で最も低いVFを示し、縦型SBDに最も近い特性となった。
チップ短辺方向にアノード、カソードを蛇行形状で分割したSBD102は、ストレート形状で分割したSBD106に対して、VF特性が改善されたことがわかる。
SBD102に対してアノード面積を広げたSBD103にあっては、さらにVF特性が改善されたことがわかる。これは、同じチップサイズ、同じ対向長さWであっても、SBD103の方がショットキー接合の面積が大きくなり、その結果、更なるVFの低減効果があったものと説明できる。
〔VF比較その2〕
次ぎに、式1〜5により計算した上記SBD102,104,105のVFの比較結果を開示する。
アノード面積(SA)、アノード:カソード面積(SA:SK)、チップサイズ、対向長さWは、図19の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図19の表に示し、これをグラフ化したものを図20の両対数グラフに示す。
次ぎに、式1〜5により計算した上記SBD102,104,105のVFの比較結果を開示する。
アノード面積(SA)、アノード:カソード面積(SA:SK)、チップサイズ、対向長さWは、図19の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図19の表に示し、これをグラフ化したものを図20の両対数グラフに示す。
以上の結果を受けて比較すると、次のようなことがいえる。
SBD102,SBD104,SBD105の順でVFは低くなり、その差はIFの増大とともに顕著になった。
SBD102に対し、Y方向の寸法を2倍にし、かつ、蛇行の繰り返し数を2回にすることにより対向長さWを約2.5倍にしたSBD104は、SBD102に対してVFの低減が比較的大きいが、対向長さWが同じでX方向の寸法が異なるSBD104,SBD105のVFに顕著な差は見られなかった。チップサイズを大きくする場合は、X方向の寸法、すなわち、対向長さWを長くする方向の寸法を大きくした方が良いといえる。
通常の定格電流(0.5A以下や1A)では、3者のVFに顕著な差はなく、小型、低コストに提供できるSBD102のタイプが市場において有利になり得る。
そこで、本発明らはSBD102と同タイプのSBD101について対向長さWを最適化すべく次の計算を行った。
SBD102,SBD104,SBD105の順でVFは低くなり、その差はIFの増大とともに顕著になった。
SBD102に対し、Y方向の寸法を2倍にし、かつ、蛇行の繰り返し数を2回にすることにより対向長さWを約2.5倍にしたSBD104は、SBD102に対してVFの低減が比較的大きいが、対向長さWが同じでX方向の寸法が異なるSBD104,SBD105のVFに顕著な差は見られなかった。チップサイズを大きくする場合は、X方向の寸法、すなわち、対向長さWを長くする方向の寸法を大きくした方が良いといえる。
通常の定格電流(0.5A以下や1A)では、3者のVFに顕著な差はなく、小型、低コストに提供できるSBD102のタイプが市場において有利になり得る。
そこで、本発明らはSBD102と同タイプのSBD101について対向長さWを最適化すべく次の計算を行った。
〔VF比較その3〕
次ぎに、上記SBD101を、チップサイズを変えずに蛇行の振幅を変えることにより対向長さWを変更して式1〜5により計算したVFの比較結果を開示する。
SBD101のチップサイズをX方向1.6×Y方向0.8(mm×mm)とした。
アノード面積(SA)、対向長さWは、図21の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図21の表に示し、これをグラフ化したものを図22の両対数グラフに示す。また、IF=2(A),IF=1(A),IF=0.5(A),IF=0.1(A),IF=0.01(A)の各IF値において、横軸をW、縦軸をVFとしてプロットした折れ線グラフを図23に示す。
次ぎに、上記SBD101を、チップサイズを変えずに蛇行の振幅を変えることにより対向長さWを変更して式1〜5により計算したVFの比較結果を開示する。
SBD101のチップサイズをX方向1.6×Y方向0.8(mm×mm)とした。
アノード面積(SA)、対向長さWは、図21の表に示すとおりである。各IF値に対するVFの計算結果を図21の表に示し、これをグラフ化したものを図22の両対数グラフに示す。また、IF=2(A),IF=1(A),IF=0.5(A),IF=0.1(A),IF=0.01(A)の各IF値において、横軸をW、縦軸をVFとしてプロットした折れ線グラフを図23に示す。
以上の結果を受けて比較すると、次のようなことがいえる。
IF=0.01,0.1(A)の低電流領域では、対向長さWを長くするほどVFが増大した。
一方、IF=0.5,1,2(A)の電流領域では、対向長さWを長していくとVFが次第に下がり、やがて極小値を過ぎ、その後次第に増大するという下に凸なグラフとなった(図23参照)。その極小値は、電流の減少に伴ってグラフ上、左に移動する。したがって、IF=0.01,0.1(A)の低電流領域では、本計算では対象としなかったW=824(μm)未満の範囲に極小値が現れる可能性が高い。W=450(μm)付近で極小値が現れる場合には、SBD106のアノード領域−カソード領域間の分離領域がストレート形状のものになるから本発明の蛇行形状を適用する必要性は低い。極小値がW=450(μm)より大きいWの値で現れれば、本発明の蛇行形状を適用する効果がある。いずれにしても、IF=0.5,1,2(A)の電流領域では、本発明の蛇行形状を適用する効果があることは以上の計算結果より明らかとなった。
IF=0.01,0.1(A)の低電流領域では、対向長さWを長くするほどVFが増大した。
一方、IF=0.5,1,2(A)の電流領域では、対向長さWを長していくとVFが次第に下がり、やがて極小値を過ぎ、その後次第に増大するという下に凸なグラフとなった(図23参照)。その極小値は、電流の減少に伴ってグラフ上、左に移動する。したがって、IF=0.01,0.1(A)の低電流領域では、本計算では対象としなかったW=824(μm)未満の範囲に極小値が現れる可能性が高い。W=450(μm)付近で極小値が現れる場合には、SBD106のアノード領域−カソード領域間の分離領域がストレート形状のものになるから本発明の蛇行形状を適用する必要性は低い。極小値がW=450(μm)より大きいWの値で現れれば、本発明の蛇行形状を適用する効果がある。いずれにしても、IF=0.5,1,2(A)の電流領域では、本発明の蛇行形状を適用する効果があることは以上の計算結果より明らかとなった。
極小値を迎える前に対向長さWを長するとVFが低減するのは、上述したように対向長さWを長くすることによって電流経路の断面積が大きくなったことによるVFの低減効果である。
極小値を過ぎて対向長さWを長するとVFが増大するのは、対向長さWを長くするためにチップ表面上で蛇行領域の占める面積が増大し、アノード面積(SA)が小さくなることが原因と考えられる。
極小値を過ぎて対向長さWを長するとVFが増大するのは、対向長さWを長くするためにチップ表面上で蛇行領域の占める面積が増大し、アノード面積(SA)が小さくなることが原因と考えられる。
以上より、VFが極小値又は極小値付近となる対向長さWを設計することが好ましい。また、VFが極小値付近であれば、バンプ形成面積を大きくとれるWが小さい側(図23のグラフ上で左側)を選択することが好ましい。IF=0.5,1,2(A)程度又はそれ以上の電流範囲では、VFの低減効果が大きいので本発明の蛇行形状を積極的に適用することが好ましい。
1…半導体基板 2…半導体層 3…SiO2層 4…ショットキーバリアメタル 5…アノード電極金属膜 6…カソード電極金属膜 7…最終保護膜 8…裏面金属
Claims (6)
- 第1導電型の半導体基板と、前記半導体基板上に形成された半導体層と、前記半導体層の前記半導体基板と接する底面と反対側の主表面上に形成された絶縁層とを備え、
前記半導体層に、比較的不純物濃度の低い第1導電型低濃度領域及びこれと横方向に隣接する比較的不純物濃度の高い第1導電型高濃度領域がともに前記主表面から所定深さまで形成されるとともに、前記第1導電型低濃度領域に包含される第2導電型のガードリングが形成され、
前記絶縁層に、前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域及び前記ガードリングの内周縁部を露出させる第1開口部と、前記第1開口部と一方向に隣接し前記第1導電型高濃度領域を露出させる第2開口部とが形成され、
前記ガードリングの内側の前記第1導電型低濃度領域を被い、これと接触してショットキー接合を形成するショットキーバリアメタルと、
前記第1開口部を被い前記ショットキーバリアメタル及び前記ガードリングに電気的に接続する第1電極金属膜と、
前記第2開口部を被い前記第1導電型高濃度領域に電気的に接続する第2電極金属膜と、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第1電極金属膜上のバンプと、
前記一方向と垂直な方向に2つ以上並んで若しくは単一で前記一方向と垂直な方向に長く形成された前記第2電極金属膜上のバンプとを備え、
前記絶縁層の前記第1開口部と前記第2開口部との間の部分の形状が前記主表面上で前記一方向に振るように蛇行しており、この蛇行形状に沿う前記第1電極金属膜及び前記第2電極金属膜の外形の蛇行の振幅範囲外に前記バンプが配置されてなることを特徴とするショットキーバリアダイオード。 - 前記蛇行の繰り返し数が1であることを特徴とする請求項1記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記第1電極金属膜上のバンプが合計2つであり、前記第2電極金属膜上のバンプが合計2つであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記第1開口部が前記第2開口部よりも大きく開口していることを特徴とする請求項1、請求項2又は請求項3に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記一方向がチップ外形の長辺方向にされてなることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一に記載のショットキーバリアダイオード。
- 前記半導体基板の裏面に金属が被着されてなることを特徴とする請求項1から請求項4のうちいずれか一に記載のショットキーバリアダイオード。
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JP2006179559A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Nippon Inter Electronics Corp | ショットキーバリアダイオードおよびそれを具備する半導体装置 |
CN109346405A (zh) * | 2018-11-23 | 2019-02-15 | 江苏新广联半导体有限公司 | 一种GaN基SBD倒装芯片的制备方法 |
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-
2004
- 2004-03-16 JP JP2004074579A patent/JP2005268296A/ja active Pending
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