JP2005263879A - 半導体固定用粘着テープ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基材フィルム(15)と粘着剤層を有してなる半導体固定用粘着テープであって、前記粘着剤層(12〜14)が少なくとも3層より構成され、最表層(12)から2番目の層に帯電防止層(13)を含む半導体固定用粘着テープ。
【選択図】図1
Description
しかしながら、以上のような対策では、十分な帯電防止効果が得られず、生産性が低く、また回路の保護性も十分とはいえない。
すなわち本発明は
(1) 基材フィルムと粘着剤層を有してなる半導体固定用粘着テープであって、前記粘着剤層が少なくとも3層より構成され、最表層から2番目の層に帯電防止層を含むことを特徴とする半導体固定用粘着テープ、および、
(2)前記帯電防止層は電荷移動型錯体を含むことを特徴とする(1)の半導体固定用粘着テープ、および、
(3)最表層の粘着剤層が放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする(1)または(2)記載の半導体固定用粘着テープ、および、
(4)基材フィルムと粘着剤層を有してなる半導体固定用粘着テープであって、前記粘着剤層が少なくとも最表層と帯電防止層を有し、全粘着剤層の厚さが30μm以上であり、かつ、最表層の厚さが10μm以下であることを特徴とする半導体固定用粘着テープ、
を提供するものである。
基材フィルムの厚さは、特に制限するものではないが、好ましくは10〜500μmであり、より好ましくは40〜500μm、特に好ましくは100〜250μmである。
得られる半極性有機ボロンポリマーの分子量(又は重合度)は特に制限するものではないが、好ましくは3000〜100000、より好ましくは3500〜70000である。
(a)法:下記一般式〔II〕で表される化合物の1種若しくは2種以上を合計1モルに対して、ホウ酸若しくは炭素原子数4以下の低級アルコールのホウ酸トリエステルを1モルか、又は、無水ホウ酸を0.5モルと反応させてトリエステル反応を行なう。
粘着剤ベースポリマーとしては、常用のものを用い得るが、アクリル系粘着剤の場合、具体的には、アクリル酸エステルを主たる構成単量体単位とする単独重合体および共重合体から選ばれたアクリル系重合体その他の官能性単量体との共重合体およびこれら重合体の混合物が用いられる。たとえば、アクリル酸エステルとしては、アクリル酸エチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸2−エチルヘキシル、アクリル酸グリシジル、アクリル酸2−ヒドロキシエチルなど、また上記のアクリル酸エステルをたとえばメタクリル酸エステルに代えたものなども好ましく使用できる。
厚さ38μmのPETフィルムセパレーターの離型処理面にポリエチレンイミンのエチレンオキサイド付加物(ポリエチレンイミンの分子量約1800 、付加率約100%)およびジ(グリセリン)ボラートの1:1当量比からなる窒素原子−ホウ素原子錯体構造の電荷移動型ボロンポリマー(A)40質量部をアクリル系接着剤100質量部に分散し、塗工乾燥し1μm厚の帯電防止層(B)を得た。その後、アクリル系粘着剤(2―エチルヘキシルアクリレートとn−ブチルアクリレートの共重合体)100質量部にポリイソシアネート化合物(日本ポリウレタン(株)製、商品名コロネートL)4質量部、イソシアヌレート化合物としてトリス−2−アクリロキシエチルイソシアヌレート100質量部および光重合開始剤としてα―ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン1質量部を添加混合して放射線硬化性粘着剤(C)を得た。得られた粘着剤(C)を得られる乾燥後の厚さが25μmとなるように厚さ100μmのポリエチレンフィルムに塗工し、厚さ1μmの帯電防止層(B)を積層した後、厚さ5μmの粘着剤(C)を積層して放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1において、電荷移動型ボロンポリマー(A)の配合量を80質量部とした以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1において、帯電防止層(B)を2μmとしたこと以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1において、帯電防止層を設けないこと以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1において、厚さ5μmの粘着剤(C)の積層を省略した以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1の帯電防止層の位置を基材フィルムから5μm(最表層から25μm)の位置に積層したこと以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1の帯電防止層の位置を基材フィルムから18μm(最表層から12μm)の位置に積層したこと以外は同様にして放射線硬化性の半導体固定用粘着テープを得た。
上記実施例1〜3および比較例1〜4で得られた各粘着テープについて、以下に示す各試験により、その表面固有抵抗、平衡帯電圧、半減期、表面汚染性(パーティクル)、初期粘着力、経時粘着力、エキスパンド性、背面帯電防止層密着性、耐水性を評価したところ、表1の結果を得た。
JIS K6911に準拠して、(株)アドバンテスト製R−8740(商品名)を用いて測定した。
シシド商会社製のスタティックオネストメーターを用いて印加電圧10kVとして測定した。
半導体ウエハに粘着テープを貼付し、これを200mJ/cm2でUV照射した後、粘着テープを剥離した。粘着テープ剥離後の該ウエハ上の0.3μm以上のパーティクルの数を表面異物検査装置(商品名Surfscan6420、KLA−Tencor社製)を用いて測定した。
製造後2週間以内のテープサンプルについて、JIS Z0237に準拠してUV照射(UV照射量は、200mJ/cm2)前後のそれぞれの粘着力を測定した。試験用の被着体はシリコンウエハーミラー面とし、試験は90゜剥離、剥離速度50mm/分で行った。
製造から6ヶ月を経過したテープについて、初期粘着力測定と同様にしてUV照射前後の粘着力を測定した。
12 粘着剤層(最表層)
13 帯電防止層
14 粘着剤層
15 基材フィルム
Claims (4)
- 基材フィルムと粘着剤層を有してなる半導体固定用粘着テープであって、前記粘着剤層が少なくとも3層より構成され、最表層から2番目の層に帯電防止層を含むことを特徴とする半導体固定用粘着テープ。
- 前記帯電防止層は電荷移動型錯体を含むことを特徴とする請求項1記載の半導体固定用粘着テープ。
- 最表層の粘着剤層が放射線硬化型粘着剤からなることを特徴とする請求項1または2記載の半導体固定用粘着テープ。
- 基材フィルムと粘着剤層を有してなる半導体固定用粘着テープであって、前記粘着剤層が少なくとも最表層と帯電防止層を有し、全粘着剤層の厚さが30μm以上であり、かつ、最表層の厚さが10μm以下であることを特徴とする半導体固定用粘着テープ。
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