JP2005261758A - 輸液方法及びそれを用いたマイクロタスシステム - Google Patents

Abstract

【課題】 本発明は、マイクロタスシステムに於いて、低電圧で長時間作動することがで
きる輸液方法及びそれを用いたマイクロタスシステムを提供する。
【解決手段】 固体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層され、その一面に供給流路が
形成され、他面に排気流路が形成されてなる水素ポンプが内蔵されているマイクロタスシ
ステムに於いて、供給流路にメタノールと水又は水蒸気を供給し、供給流路側の水素透過
性電極がプラス電極になり排気体流路側の水素透過性電極がマイナス電極になるように通
電し、メタノールと水又は水蒸気を電気分解して、排気流路に発生した水素ガスで液体を
移送することを特徴とする輸液方法。
【選択図】 図１

Description

本発明は、マイクロタスシステム（ｍｉｃｒｏ−ｔｏｔａｌ ａｎａｌｙｓｉｓ ｓｙ
ｓｔｅｍ）に使用される輸液方法及びそれを用いたマイクロタスシステムに関する。

最近、医療診断を患者の近傍で行うベッドサイド診断、大気や水や土壌中の環境汚染物
質のモニタリング、食品の安全性検査等現場において短時間に安価に診断したり分析する
技術のニーズは非常に高くなってきている。

例えば、従来高価且つ大型の装置を必要とした分析を、持ち運び可能な小型の分析装置
が代替できれば、大病院にしか設置できなかった分析装置を開業医でも設置、利用するこ
とが可能になり、診断結果を患者に簡便に早期にフィードバックすることが可能になる。

又、高齢者の健康指標を高齢者の家族が測定し、その健康指標数値を在宅管理したり、
病院に定期的に送信して病院で管理することにより在宅医療環境がより優れたものとなる
。

又、環境ホルモン、ダイオキシン等の環境汚染物質を、高価且つ大型装置を使用するこ
となく、簡易測定することができれば、簡単且つ安価に環境診断することができる。更に
、持ち運び可能な小型の分析装置を用いて現場で環境汚染物質を分析することができれば
、よりきめ細かい安全環境を供出することができる。

このような測定を簡易に行うために、基板内又は基板上に微細流路、反応槽、電気泳動
カラム、膜分離機構、液体クロマトグラフカラム、キャピラリーガスクロマトグラフィー
（ＣＧＣ）、キャピラリーグラフィー（ＩＬＣ）、誘導型プラズマ（ＩＣＰ）、質量分析
計（ＭＳ）、電気化学的測定装置等が内蔵されたマイクロタスシステムの研究が盛んにな
されている。

上記マイクロタスシステムにおいては、試料や溶離液等の液体を輸送するための輸液デ
ィバイスとしては一般にマイクロポンプが使用されている。

マイクロポンプとしては、例えば、ダイヤフラムと、該ダイヤフラムを往復変位させる
駆動手段と、前記ダイヤフラムで一部が画成された圧力室と、前記ダイヤフラムの変位計
測手段と、該変位計測手段で検出した値に基づいて前記ダイヤフラムの変位を制御する制
御手段とを備えてなるダイヤフラムポンプ（例えば、特許文献１参照。）が挙げられる。

又、異なるマイクロポンプとしては、ピストンとハウジングを相対的に移動させる第１
のアクチュエータと、このピストンの少なくとも一部を収納し軸方向に貫通した空間を有
するシリンダと、このシリンダとハウジングを相対的に移動させる第２のアクチュエータ
と、前記ピストン、前記シリンダ、前記ハウジングで形成されるポンプ室と、このポンプ
室と外部とを連絡する流体の吸入口と吐出口より構成される流体供給装置（例えば、特許
文献２参照。）、微細流路上に電気浸透流を発生させる方法による送液媒体の送液を行う
ポンプ（例えば、特許文献３参照。）等が挙げられる。
特開２００１−１３２６４６号公報 特開２００２−０２１７１５号公報 特開平１０−１００８８号公報

しかし、上記マイクロポンプは、構造が複雑であり、濃縮部や検出部を作成する労力に
比べてポンプの作成労力が非常に大きい、ダイヤフラム構造やピストン構造のポンプは送
液媒体に脈動が生じる、電気浸透流を用いるポンプは高電圧の印加が必要である等の欠点
があった。

更に、上記欠点がなく、電極および配線以外の全ての材質を加工性の良い高分子樹脂で
形成することが可能であり、極限的に微小化することも容易なマイクロポンプとして、水
を電気分解して水素を発生させる水素ポンプ（例えば、特許文献４参照。）が挙げられる
。
ＵＳＰ３，４８９，６７０号公報

しかし、水を電気分解して水素を発生させるには高い電圧が必要であり、小型の電池で
作動させる必要のあるマイクロタスシステムでは長時間作動させることが不可能であり、
マイクロタスシステムに内蔵され、連続的に且つ可逆的に液送が可能な水素ポンプはなか
った。

本発明の目的は、上記欠点に鑑み、マイクロタスシステムに於いて、低電圧で長時間作
動することができる輸液方法及びそれを用いたマイクロタスシステムを提供することにあ
る。

請求項１記載の輸液方法は、固体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層され、その一
面に供給流路が形成され、他面に排気流路が形成されてなる水素ポンプが内蔵されている
マイクロタスシステムに於いて、供給流路にメタノールと水又は水蒸気を供給し、供給流
路側の水素透過性電極がプラス電極になり排気体流路側の水素透過性電極がマイナス電極
になるように通電し、メタノールと水又は水蒸気を電気分解して、排気流路に発生した水
素ガスで液体を移送することを特徴とする。

次に、図面を参照して請求項１記載の輸液方法を説明する。図１は本発明で使用される
水素ポンプが内蔵されているマイクロタスシステムの一例を示す断面図である。

図中１は固体電解質膜である。固体電解質膜１は、パーフルオロイオン交換膜等の水素
イオンは透過するが、水素ガス及び電子は実質的に透過しない固体電解質膜である。

固体電解質膜１の両面には、一対のカーボンペーパー等で構成された水素透過性電極２
ａ、２ｂが積層されており、水素透過性電極２ａ、２ｂはそれぞれ導電パターン３、３が
接続されている。導電パターン３、３は電源（図示せず。）に接続されている。

尚、水素透過性電極２ａ、２ｂには水素をイオン化させるための触媒（例えば、ルテニ
ウム、白金等）が担持されていてもよい。
又、導電パターン３、３の間には、導電パターン３、３を絶縁するためにポリイミドフ
ィル等の絶縁層７が介在されている。

固体電解質膜１と水素透過性電極２ａ、２ｂと導電パターン３、３は下部基板４ａと上
部基板４ｂにより挟持されており、水素透過性電極２ａと下部基板４ａの間及び水素透過
性電極２ｂと上部基板４ｂの間にそれぞれ下部貯蔵部５ａ及び上部貯蔵部５ｂが形成され
ている。

下部基板４ａには、下部貯蔵部５ａに連通した供給流路６ａ及び排出流路６ｂが形成さ
れ、上部基板４ｂには、上部貯蔵部５ｂに連通した排気流路６ｃが形成されて水素ポンプ
がマイクロタスシステムの基板内に内蔵されている。

上記基板の素材は、特に限定されるものではなく、例えば、従来から使用されてきてい
る、ガラス、石英、シリコン等の無機材料、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂等が挙げられる
。

上記無機材料は精度、加工性等が優れており、例えば、半導体微細加工技術において広
く用いられている光リソグラフィー技術を利用すれば、ガラスやシリコン基板上にミクロ
ンオーダーの溝を自在に形成することができる。

上記熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン系樹脂、ポリスチレン系樹脂、ポ
リ乳酸系樹脂、ポリアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂等が挙げられ、耐酸性、耐
アルカリ性を有する熱可塑性樹脂であるポリオレフィン系樹脂やポリアクリル系樹脂が好
ましい。

又、熱硬化性樹脂は、未硬化時には、液状あるいは可塑性を有するパテ状であるものを
用いれば、硬化後には転写金型の形状をより忠実に転写できるという利点があり、低い線
膨張率、低い成形収縮率を示すので有利に用いることができる。このような熱硬化樹脂と
しては、コストや易取扱い性の点から、エポキシ樹脂を有利に用いることができる。

次に、上記水素ポンプで液体を移送する輸液方法を説明する。先ず、下部貯留部５ａに
供給流路６ａを通ってメタノールと水又は水蒸気を供給し、下部貯留部５ａ側の水素透過
性電極２ａがプラス電極になり上部貯留部５ｂ側の水素透過性電極２ｂがマイナス電極に
なるように通電する。

水素透過性電極２ａでは、メタノールと水又は水蒸気が電気分解され、炭酸ガスとプロ
トンＨ⁺ 又はその水分子複合体が発生する。プロトンＨ⁺ は固体電解質膜１内で電圧の印
加方向と逆向きに移動し、移動したプロトンＨ⁺ は水素透過性電極２ｂで電子を受取って
水素ガスになる。

従って、水素透過性電極２ｂで発生した水素ガスにより、上部貯蔵部５ｂ及び排気流路
６ｃ内は加圧され排気流路６ｃ内又は排気流路６ｃに連通された試料貯留槽、試薬貯留槽
等の液体を移送することができる。

尚、下部貯蔵部５ａで発生した炭酸ガスは排出流路６ｂを通ってマイクロタスシステム
の外部に排出される。

又、上部貯蔵部５ｂ及び／又は排気流路６ｃに水素ガスが存在する状態で水素透過性電
極２ｂと水素透過性電極２ａに、水素透過性電極２ｂがプラス極になり、水素透過性電極
２ａがマイナス極になるように電圧を印加すると、水素透過性電極２ｂでは、水素ガスは
プロトンＨ⁺ になり、プロトンＨ⁺ は固体電解質膜１内で電圧の印加方向と逆向きに移動
し、移動したプロトンＨ⁺ は水素透過性電極２ａで電子を受取って水素ガスになる。

従って、上部貯蔵部５ｂ及び排気流路６ｃでは、水素透過性電極２ｂにより水素ガスが
消費され、上部貯蔵部５ｂ及び排気流路６ｃ内は減圧され排気流路６ｃ内又は排気流路６
ｃに連通された試料貯留槽、試薬貯留槽等の液体を吸引することができる。

水素透過性電極２ａ、２ｂの電源としては、交流電源から直流変換装置を有する電源や
、一次電池、二次電池、太陽電池、燃料電池などの直流電源（必要に応じてＤＣ−ＤＣ変
換装置を有してもよい。）が挙げられ、特に、ダイレクトメタノール燃料電池が好ましく
、マイクロタスシステムにダイレクトメタノール燃料電池が内蔵しておき、該ダイレクト
メタノール燃料電池により発生された電気を水素透過性電極に通電するのが好ましい。

ダイレクトメタノール燃料電池の原料はメタノールなので、メタノールと水又は水蒸気
を供給する供給流路６ａにダイレクトメタノール燃料電池を連通しておけば、水素透過性
電極２ａに供給するメタノールを併用することができる。

請求項３記載のマイクロタスシステムは、メタノール及び水又は水蒸気の貯留槽と、固
体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層され、その一面に供給流路が形成され、他面に
排気流路が形成されてなる第１の水素ポンプと、固体電解質膜の両面に水素透過性電極が
積層され、その一面に供給流路が形成され、他面に排気流路が形成されてなる第２の水素
ポンプが基板内に組み込まれ、貯留槽と第１の水素ポンプの供給流路が連通され、且つ、
第１の水素ポンプの排気流路と第２の水素ポンプの供給流路が連通されていることを特徴
とする。

次に、図面を参照して請求項３記載のマイクロタスシステムを説明する。図２は請求項
２記載のマイクロタスシステムの一例を示す平面図である。

図中１０は基板であり、基板１０には第１の水素ポンプ１１、メタノール及び水又は水
蒸気の貯留槽１２、第２の水素ポンプ１３、液体貯留槽１４、採血針１５、試薬貯留槽１
６、混合槽１７、検出部１８、排出液貯留槽１９及びダイレクトメタノール燃料電池３０
が組み込まれている。

第１の水素ポンプ１１は図１で説明した水素ポンプであり、水素ポンプ１１の下部貯蔵
部５ａは供給流路６ａでメタノール及び水又は水蒸気の貯留槽１２に連通していると共に
排出流路６ｂにより基板１０の外部と連通している。

３０はダイレクトメタノール燃料電池であり、微細流路２８でメタノール及び水又は水
蒸気の貯留槽１２に連通しており、メタノール及び水又は水蒸気の貯留槽１２のメタノー
ルで発電可能になされている。

又、ダイレクトメタノール燃料電池３０は導電パターン３により、第１の水素ポンプ１
１及び第２の水素ポンプ１３の水素透過性電極２ａ、２ｂ、２ａ’、２ｂ’と電気的に接
続されている。

図３は、第２の水素ポンプ１３の一例を示す断面図である。図３に示したように、第２
の水素ポンプ１３は排出流路６ｂが存在しない以外は第１の水素ポンプ１１と同一である
。

即ち、固体電解質膜１’の両面には、一対のカーボンペーパー等で構成された水素透過
性電極２ａ’、２ｂ’が積層されており、水素透過性電極２ａ’、２ｂ’はそれぞれ導電
パターン３’、３’が接続されている。導電パターン３’、３’はダイレクトメタノール
燃料電池３０に接続されている。

尚、水素透過性電極２ａ’、２ｂ’には水素をイオン化させるための触媒（例えば、白
金、ルテニウム等）が担持されていてもよい。
又、導電パターン３’、３’の間には、導電パターン３、３を絶縁するためにポリイミ
ドフィル等の絶縁層７７が介在されている。

固体電解質膜１’と水素透過性電極２ａ’、２ｂ’と導電パターン３’、３’は下部基
板４ａ’と上部基板４ｂ’により挟持されており、水素透過性電極２ａ’と下部基板４ａ
’の間及び水素透過性電極２ｂ’と上部基板４ｂ’の間にそれぞれ下部貯蔵部５ａ’及び
上部貯蔵部５ｂ’が形成されている。

下部貯蔵部５ａ’は排出流路６ｃに連通し、上部貯蔵部５ｂ’は液体貯留槽２４と微細
流路３０により連通されている。

上記水素ポンプ１３で水素ガスを移動するには、下部貯蔵部５ａ’及び／又は上部貯蔵
部５ｂ’に水素ガスを供給し、水素透過性電極２ａ’と水素透過性電極２ｂ’に、一方の
水素透過性電極がプラス極になり、他方の水素透過性電極がマイナス極になるように電圧
を印加する。

電圧が印加されると、プラス極の水素透過性電極では、水素ガスはプロトンＨ⁺ になり
、プロトンＨ⁺ は固体電解質膜１’内で電圧の印加方向と逆向きに移動し、移動したプロ
トンＨ⁺ はマイナス極の水素透過性電極２ａで電子を受取って水素ガスになり、水素ガス
が移動する。尚、電圧の印加方向を逆方向にすると水素ガスが逆方向に移動するとは言う
までもない。

図中１５は基板１０から側方に突出して設置された採血針であり、微細流路２１により
血液貯留槽１４に連通されている。又、血液貯留槽１４は逆止弁２３を介して微細流路２
１により混合槽１７と連通されている。尚、逆止弁２３は、液体が血液貯留槽１４から混
合槽１７の方向にのみ流れるように設置されている。

排出流路６ｂは途中で分岐し試薬貯留槽１６に連通され、試薬貯留槽１６は微細流路２
４により混合槽１７と連通されている。混合槽１７は微細流路２５により検出部１８と連
通され、検出部１８は微細流路２６により排出液貯留槽１９と連通され、更に、排出液貯
留槽１９は微細流路２７により基板１０の外部と連通されている。

上記検出部１８に設置される検出装置としては、従来からマイクロタスシステムに使用
されている任意の検出装置が挙げられ、例えば、質量分析計（ＭＳ）；ボルタンメトリ法
、ストリッピングボルタンメトリ法、アンペロメトリ法、ポテンシオメトリー法、クーロ
ンメトリ法等の電気化学的測定装置；光学的測定装置等が挙げられる。

又、上記マイクロタスシステムには、従来からマイクロタスシステムに使用されている
試料を反応させるための反応槽；電気泳動カラム、膜分離機構、液体クロマトグラフカラ
ム、キャピラリーガスクロマトグラフィー（ＣＧＣ）、キャピラリーグラフィー（ＩＬＣ
）、誘導型プラズマ（ＩＣＰ）等の試料を濃縮するための濃縮装置；溶離液槽等が組み込
まれていてもよい。

次に、上記マイクロタスシステムで血液を検査する方法を説明する。先ず、メタノール
及び水又は水蒸気の貯留槽１２から供給流路６ａを通って、第１の水素ポンプ１１の下部
貯蔵部５ａにメタノール及び水を供給する。

又、同時にダイレクトメタノール燃料電池３０にメタノール及び水又は水蒸気の貯留槽
１２から供給流路２８を通って、メタノールを供給して発電する。

次に、ダイレクトメタノール燃料電池３０で発電された電気で、第１の水素ポンプ１１
に水素透過性電極２ａがプラス極になり、水素透過性電極２ｂがマイナス極になるように
電圧を印加すると共に第２の水素ポンプ１３に水素透過性電極２ａ’がプラス極になり、
水素透過性電極２ｂ’がマイナス極になるように電圧を印加する。
第１及び第２の水素ポンプは、各々の水素発生量を連動して制御する装置を備えている
。

詳細な例については後述するが、水素透過性電極に印加する電圧の向きを変えることに
より、水素ガスを発生させ供給流路内を加圧したり、水素ガスをプロトンＨ⁺ に変換し供
給流路内を減圧したりすることが出来る。
又、印加する電流を制御することにより、加圧、減圧の加減を調整することが出来る。

第１の水素ポンプ１１の水素透過性電極２ａではメタノール及び水又は水蒸気が電気分
解され、水素透過性電極２ｂ側の上部貯蔵部５ｂに水素ガスが発生する。発生した水素ガ
スは排気流路６ｃを通って第２の水素ポンプ１３の下部貯蔵部５ａ’に供給され、第２の
水素ポンプ１３によって、更に、第２の水素ポンプ１３の上部貯蔵部５ｂ’、微細流路２
０、血液貯留槽１４へと供給される。

この場合、試薬貯留槽１６内の試薬が液送されないように、排気流路６ｃ内が加圧され
ないように第１の水素ポンプ１１と第２の水素ポンプ１３を作動させるのが好ましく、又
、上部貯蔵部５ｂ’、微細流路２０、血液貯留槽１４、微細流路２１及び逆止弁２３より
血液貯留槽１４側の微細流路２２に水素ガスが充満するように第１の水素ポンプ１１と第
２の水素ポンプ１３を作動させるのが好ましい。

次に、採血針１５を被検体に刺し、第１の水素ポンプ１１の水素透過性電極２ａがマイ
ナス極になり、水素透過性電極２ｂがプラス極になるように電圧を印加すると共に第２の
水素ポンプ１３に水素透過性電極２ａ’がマイナス極になり、水素透過性電極２ｂ’がプ
ラス極になるように電圧を印加する。

こうすることにより血液貯留槽１４側の水素ガスは、第２の水素ポンプ１３及び第１の
水素ポンプ１１により、排気流路６ｃから第１の水素ポンプ１１の下部貯蔵部５ａへと供
給され、微細流路２２には液体が血液貯留槽１４から混合槽１７の方向にのみ流れるよう
に逆止弁２３設置されているので血液貯留槽１４側は減圧され、被検体から血液を吸入す
ることができ、血液貯留槽１４に血液を採取できる。

尚、この場合も、試薬貯留槽１６内の試薬が液送されないように、排気流路６ｃ内が加
圧されないように第１の水素ポンプ１１と第２の水素ポンプ１３を作動させるのが好まし
い。

血液貯留槽１４に血液を採取できたら採血針を封止し、第１の水素ポンプ１１と第２の
水素ポンプ１３を再度逆に作動させて、血液貯留槽１４内に採取した血液と試薬貯留槽１
６の試薬を混合層７に押出して混合する。

即ち、第１の水素ポンプ１１に水素透過性電極２ａがプラス極になり、水素透過性電極
２ｂがマイナス極になるように電圧を印加すると共に第２の水素ポンプ１３に水素透過性
電極２ａ’がプラス極になり、水素透過性電極２ｂ’がマイナス極になるように電圧を印
加する。

こうすることにより、第１の水素ポンプ１１の水素透過性電極２ａではメタノール及び
水が電気分解され、水素透過性電極２ｂ側の上部貯蔵部５ｂに水素ガスが発生するので、
この水素ガス圧力で試薬貯留槽１６の試薬を微細流路２４を通って混合層７に押出す。

又、上部貯蔵部５ｂに発生し、排気流路６ｃを通って第２の水素ポンプ１３の下部貯蔵
部５ａ’に供給された水素ガスを第２の水素ポンプ１３により上部貯蔵部５ｂ’に移送し
、この水素ガス圧力で血液貯留槽１４の血液を微細流路２２を通って混合層７に押出す。

尚、この場合、血液貯留槽１４の血液と試薬貯留槽１６の試薬の両方を押出す必要があ
るので、第１の水素ポンプ１１の水素ガス移送量を第２の水素ポンプ１３の水素ガス移送
量より多くしておく必要がある。

混合槽１７で混合された混合液は、第１の水素ポンプ１１又は第１の水素ポンプ１１と
第２の水素ポンプ１３の両方を継続して作動させることにより、発生した水素ガスにより
微細流路２５を通って検出部１８に供給され測定される。
測定終了した混合液は廃液として微細流路２６を通って廃出液貯留槽１９に供給され貯
留るか又は必要に応じて微細流路２７から基板１０外に排出される。

請求項１記載の輸液方法の構成は上述の通りであり、メタノールと水又は水蒸気を電気
分解して水素を移送するのであるから、低電圧で移送でき長時間使用することができる。
又、固体電解質膜を用いた水素ポンプをマイクロタスシステムに組み込むのであるから構
成が簡単で安定して使用することができる。

請求項２記載の輸液方法の構成は上述の通りであり、ダイレクトメタノール燃料電池を
電源として使用するので、装置が簡単で小型化でき、衛生的に容易に測定することができ
る。

請求項３記載のマイクロタスシステムの構成は上述の通りであり、２つの水素ポンプを
接続し、一方の水素ポンプはメタノールと水を電気分解して水素を移送するのであるから
、低電圧で移送でき長時間使用することができ、マイクロタスシステムとして好適に使用
できる。

請求項４記載のマイクロタスシステムの構成は上述の通りであり、ダイレクトメタノー
ル燃料電池を電源として使用するので、装置が簡単で小型化でき、衛生的に容易に測定す
ることができる。

本発明で使用される水素ポンプが内蔵されているマイクロタスシステムの一例を示す断面図である。 請求項２記載のマイクロタスシステムの一例を示す平面図である。 水素ポンプ２の断面図である。

符号の説明

１ 固体電解質膜
２ 水素透過性電極
３ 導電性パターン
４ 下部基板
４ 上部基板
５ａ 下部貯蔵部
５ｂ 上部貯蔵部
６ａ 供給流路
６ｂ 排出流路
６ｃ 排気流路
７ 絶縁層
１０ 基板
１１ 第１の水素ポンプ
１２ メタノール及び水の貯留槽
１３ 第２の水素ポンプ
１４ 液体貯留槽
１５ 採血針
１６ 試薬貯留槽
１７ 混合槽
１８ 検出部
１９ 排出液貯留槽
３０ ダイレクトメタノール燃料電池

Claims (4)

1. 固体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層され、その一面に供給流路が形成され、他
   面に排気流路が形成されてなる水素ポンプが内蔵されているマイクロタスシステムに於い
   て、供給流路にメタノールと水又は水蒸気を供給し、供給流路側の水素透過性電極がプラ
   ス電極になり排気体流路側の水素透過性電極がマイナス電極になるように通電し、メタノ
   ールと水又は水蒸気を電気分解して、排気流路に発生した水素ガスで液体を移送すること
   を特徴とする輸液方法。
2. マイクロタスシステムにダイレクトメタノール燃料電池が内蔵されており、該ダイレク
   トメタノール燃料電池により発生された電気を水素透過性電極に通電することを特徴とす
   る請求項１記載の輸液方法。
3. メタノール及び水又は水蒸気の貯留槽と、固体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層
   され、その一面に供給流路が形成され、他面に排気流路が形成されてなる第１の水素ポン
   プと、固体電解質膜の両面に水素透過性電極が積層され、その一面に供給流路が形成され
   、他面に排気流路が形成されてなる第２の水素ポンプが基板内に組み込まれ、貯留槽と第
   １の水素ポンプの供給流路が連通され、且つ、第１の水素ポンプの排気流路と第２の水素
   ポンプの供給流路が連通されていることを特徴とするマイクロタスシステム。
4. 基板内にダイレクトメタノール燃料電池が組み込まれ、該ダイレクトメタノール燃料電
   池は第１の水素ポンプ及び第２の水素ポンプの水素透過性電極に電気的に接続されている
   ことを特徴とする請求項３記載の輸液方法。

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