JP2005247516A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005247516A5 JP2005247516A5 JP2004061510A JP2004061510A JP2005247516A5 JP 2005247516 A5 JP2005247516 A5 JP 2005247516A5 JP 2004061510 A JP2004061510 A JP 2004061510A JP 2004061510 A JP2004061510 A JP 2004061510A JP 2005247516 A5 JP2005247516 A5 JP 2005247516A5
- Authority
- JP
- Japan
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004061510A JP2005247516A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 浮上式基板搬送処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004061510A JP2005247516A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 浮上式基板搬送処理装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005247516A JP2005247516A (ja) | 2005-09-15 |
| JP2005247516A5 true JP2005247516A5 (enExample) | 2006-02-02 |
Family
ID=35028385
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004061510A Pending JP2005247516A (ja) | 2004-03-05 | 2004-03-05 | 浮上式基板搬送処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2005247516A (enExample) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4745040B2 (ja) * | 2005-12-05 | 2011-08-10 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及び基板処理装置 |
| KR100727001B1 (ko) | 2006-05-04 | 2007-06-14 | 주식회사 디엠에스 | 인라인 타입 코팅장치 |
| JP4982306B2 (ja) * | 2007-09-05 | 2012-07-25 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 塗布装置および塗布方法 |
| JP5303129B2 (ja) * | 2007-09-06 | 2013-10-02 | 東京応化工業株式会社 | 塗布装置及び塗布方法 |
| JP5308647B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2013-10-09 | 東京応化工業株式会社 | 浮上搬送塗布装置 |
| JP4787872B2 (ja) * | 2008-10-16 | 2011-10-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送処理装置 |
| KR101133266B1 (ko) | 2009-11-02 | 2012-04-05 | 주식회사 나래나노텍 | 코팅 영역의 기판 이송 장치 및 이를 구비한 코팅 장치, 및 기판 이송 방법 |
| JP5536516B2 (ja) * | 2010-04-14 | 2014-07-02 | オイレス工業株式会社 | 非接触搬送装置 |
| KR101202456B1 (ko) | 2010-06-24 | 2012-11-16 | 주식회사 나래나노텍 | 코팅 영역에서 기판을 안정적으로 이송시키기 위한 리니어 모션 가이드 구조, 및 이를 구비한 기판 이송 장치 및 코팅 장치 |
| JP2014133655A (ja) * | 2014-03-17 | 2014-07-24 | Oiles Ind Co Ltd | 非接触搬送装置 |
| KR101965571B1 (ko) * | 2016-09-06 | 2019-04-04 | 주식회사 케이씨텍 | 기판 처리 장치 및 기판 처리 시스템 |
| JP6853520B2 (ja) * | 2018-09-20 | 2021-03-31 | 株式会社Ｎｓｃ | 浮上搬送装置 |
-
2004
- 2004-03-05 JP JP2004061510A patent/JP2005247516A/ja active Pending