JP2005243751A5 - - Google Patents

Claims (14)

1. 基礎テーブルに対して移動可能な第１テーブルと、前記第１テーブルを移動させる第１駆動手段と、前記第１テーブルに対して移動可能な第２テーブルと、前記第２テーブルを移動させる第２駆動手段と、前記第１テーブルと前記第２テーブルとの間にあって前記第１駆動手段の駆動力に応じて前記第２テーブルに加速力を伝達する電磁継手とを備える位置決め装置であって、
   前記電磁継手は電磁石と該電磁石と対向する磁性体部とを備え、該磁性体部は前記第１駆動手段の駆動方向における前記第２テーブルの前後の側面に少なくとも１対配置されることを特徴とする位置決め装置。
2. 前記電磁継手は、前記第１駆動手段による駆動力の発生時に、該駆動力の方向に電磁力を用いて前記第２テーブルに加速力を作用させることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
3. 前記第２駆動手段は、前記第２テーブルに取り付けられた可動子と前記第１テーブルに取り付けられた固定子とを備え、前記可動子と前記固定子との間で力を発生させることによって前記第２テーブルを６軸方向に微小移動させることを特徴とする請求項１に記載の位置決め装置。
4. 前記磁性体部は、前記第１駆動手段の駆動方向における前記第２テーブルの側面の中央部に配置されることを特徴とする請求項２または３に記載の位置決め装置。
5. 前記磁性体部は、前記第１駆動手段の駆動方向における前記第２テーブルの前後の側面に２対配置されることを特徴とする請求項２または３に記載の位置決め装置。
6. 前記第２テーブルの中央部には穴が開いており、前記２対の磁性体部が受ける電磁力の作用線は該穴の開いていない領域を通ることを特徴とする請求項５に記載の位置決め装置。
7. 前記第２駆動手段は、前記第１テーブルの上面と前記第２テーブルの下面との間に設けられることを特徴とする請求項４ないし６のいずれかに記載の位置決め装置。
8. 前記第２駆動手段における前記第２テーブルを上下方向に微小移動させるＺリニアモータは、前記第２テーブルの移動方向に対して直角方向の側面に設けられることを特徴とする請求項７に記載の位置決め装置。
9. 前記磁性体部が受ける電磁力の作用線が、前記第２テーブルとこれに装着された部材の全体の重心位置を通過することを特徴とする請求項４ないし８のいずれかに記載の位置決め装置。
10. 前記２対の磁性体部のそれぞれが受ける電磁力の作用線が、前記第２テーブルとこれに装着された部材の全体の重心位置に対して対称の位置にあることを特徴とする請求項５ないし８のいずれかに記載の位置決め装置。
11. 前記電磁石と前記磁性体部が対向する面は、円弧状であることを特徴とする請求項１ないし１０のいずれかに記載の位置決め装置。
12. 前記電磁石と前記磁性体部が対向する面は、前記第２テーブルの回転中心を中心とする円弧状であることを特徴とする請求項１１に記載の位置決め装置。
13. 請求項１ないし１２のいずれかに記載の位置決め装置を備えることを特徴とする露光装置。
14. 請求項１３に記載の露光装置を用いてウエハを露光する工程と、露光されたウエハを現像する工程とを備えることを特徴とするデバイス製造方法。