JP2005243751A5 - - Google Patents
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Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004048921A JP4307288B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 位置決め装置 |
| US11/063,576 US7336344B2 (en) | 2004-02-25 | 2005-02-24 | Positioning system, exposure apparatus using the same, and device manufacturing method |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2004048921A JP4307288B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 位置決め装置 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2005243751A JP2005243751A (ja) | 2005-09-08 |
| JP2005243751A5 true JP2005243751A5 (enExample) | 2007-04-12 |
| JP4307288B2 JP4307288B2 (ja) | 2009-08-05 |
Family
ID=34858221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2004048921A Expired - Fee Related JP4307288B2 (ja) | 2004-02-25 | 2004-02-25 | 位置決め装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7336344B2 (enExample) |
| JP (1) | JP4307288B2 (enExample) |
Families Citing this family (21)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004228473A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Canon Inc | 移動ステージ装置 |
| JP2005294468A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Canon Inc | 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2007329435A (ja) | 2006-06-09 | 2007-12-20 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008004647A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Canon Inc | 位置決め装置、露光装置及びデバイスの製造方法 |
| JP2008078499A (ja) * | 2006-09-22 | 2008-04-03 | Canon Inc | 支持装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008155471A (ja) | 2006-12-22 | 2008-07-10 | Sony Corp | マーキングされた塗装品、マーキングされた塗装品の生産方法及び電子機器の筐体 |
| JP2008172137A (ja) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Canon Inc | 位置決め装置および露光装置 |
| US7649333B2 (en) * | 2007-01-15 | 2010-01-19 | Asm Assembly Automation Ltd. | Active damping device for a positioning stage |
| KR101547784B1 (ko) * | 2007-03-05 | 2015-08-26 | 가부시키가이샤 니콘 | 이동체 장치, 패턴 형성 장치 및 패턴 형성 방법, 디바이스 제조 방법, 이동체 장치의 제조 방법, 및 이동체 구동 방법 |
| JP5013941B2 (ja) * | 2007-04-19 | 2012-08-29 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
| JP2009016385A (ja) * | 2007-06-29 | 2009-01-22 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| JP4853836B2 (ja) * | 2007-09-19 | 2012-01-11 | 株式会社安川電機 | 精密微動位置決め装置およびそれを備えた微動位置決めステージ |
| JP5180555B2 (ja) * | 2007-10-04 | 2013-04-10 | キヤノン株式会社 | 位置決め装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
| TW200935380A (en) * | 2008-02-01 | 2009-08-16 | Au Optronics Corp | Display device and driving method thereof |
| TWI359344B (en) * | 2008-03-25 | 2012-03-01 | Univ Nat Taiwan | A six degree of freedom precise positioning system |
| KR101365078B1 (ko) * | 2011-01-28 | 2014-02-20 | 주식회사 에스에프에이 | 진공 증착 시스템 |
| EP2492928A3 (en) * | 2011-02-22 | 2017-08-30 | ASML Netherlands BV | Electromagnetic actuator, stage apparatus and lithographic apparatus |
| NL1039797C2 (en) * | 2011-09-12 | 2015-02-09 | Mapper Lithography Ip Bv | Target positioning device, method for driving a target positioning device, and a lithography system comprising such a target positioning device. |
| CN104749897B (zh) * | 2013-12-27 | 2017-06-27 | 上海微电子装备有限公司 | 一种光刻机运动台支撑平台 |
| JP6900284B2 (ja) * | 2017-09-27 | 2021-07-07 | 株式会社Screenホールディングス | 描画装置および描画方法 |
| JP2025517618A (ja) * | 2022-05-12 | 2025-06-10 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | リソグラフィ装置のための可動式ステージ |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3745167B2 (ja) * | 1998-07-29 | 2006-02-15 | キヤノン株式会社 | ステージ装置、露光装置およびデバイス製造方法ならびにステージ駆動方法 |
| US6720983B1 (en) * | 2000-01-05 | 2004-04-13 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Digital feedback display panel for communicating computer status information |
| JP2003022960A (ja) * | 2001-07-09 | 2003-01-24 | Canon Inc | ステージ装置及びその駆動方法 |
| US6597435B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-22 | Nikon Corporation | Reticle stage with reaction force cancellation |
| US7034474B2 (en) * | 2004-02-09 | 2006-04-25 | Nikon Corporation | Auto-calibration of attraction-only type actuator commutations |
-
2004
- 2004-02-25 JP JP2004048921A patent/JP4307288B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2005
- 2005-02-24 US US11/063,576 patent/US7336344B2/en not_active Expired - Lifetime
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