JP2005235574A - 物品の洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決の手段】 洗浄液として、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル等の“アルキレングリコールアルキルエーテル及び/又はそのエステル誘導体”を主成分とし、水及び水溶性不揮発性の添加剤を実質的に含有しない洗浄剤を使用して、有機EL素子材料が付着したメタルマスクを洗浄した後に、必要に応じてイソプロピルアルコール等の前記洗浄剤を溶解する有機溶媒からなるリンス液を用いてリンスを行い、更に乾燥する。
【選択図】 なし
Description
〔アルキレングリコールアルキレンエーテル類〕
DPM :ジプロピレングリコールモノメチルエーテル
DPP :ジプロピレングリコールモノプロピルエーテル
PB :プロピレングリコールモノブチルエーテル
DEDE :ジエチレングリコールジエチルエーテル
DEMP :ジエチレングリコールメチルiso−プロピルエーテル
〔その他溶媒〕
NMP :N−メチルピロリドン
〔水溶性不揮発性添加剤〕
EAC :カプリン酸モノエタノールアミン塩
〔アルコール類〕
IPA :イソプロピルアルコール
MeOH :メタノール
実施例1
サンプル(被洗浄物)として50mm角のニッケルメッキした金属片に真空蒸着で有機EL素子材料(Alq3を用いた)を塗布したものを準備し、このサンプルをDPMからなる洗浄剤で洗浄後、IPAでリンスを行い更にIPAによる蒸気乾燥を行った。なお、洗浄は、液温50℃の2PM(1000ml)にサンプルを浸漬し、10分間超音波照射することにより行なった。次いで、洗浄性を評価するために、次のようにして、乾燥後のサンプルに残留している有機EL量の測定を行なった。即ち、乾燥済サンプル表面に付着している有機EL素子材料を塩素系溶剤であるジクロロメタン50mlを用いて抽出した後に、抽出液に含まれる有機ELの濃度を液体クロマトグラフィにて測定した。その結果、有機EL素子材料の濃度は0.05ppmであり、本実施例の洗浄性は極めて良好であることが確認された。
DPMによる洗浄を2段階とし、リンスを行なわずに洗浄後に80℃の温風を用いて乾燥させるほかは実施例1と同様にしてサンプルの洗浄および洗浄性の評価を行った。その結果を表1に示す。洗浄性は良好であったが、乾燥に長時間を要した。なお、表1における「洗浄性評価」は、ジクロロメタンで抽出した時の抽出液に含まれる有機EL素子材料の濃度を実施例1の場合を1として相対的に示したものである。
表1に示す組成の本発明の洗浄剤を用い、洗浄後リンスを行なわずに80℃の温風を用いて乾燥させた以外は実施例1と同様にして試料の洗浄、乾燥および乾燥後の評価を行った。その結果を表1に示す。
表1に示す組成の洗浄剤を用いた以外は実施例1と同様にしてサンプルの洗浄、乾燥および乾燥後の評価を行った。その結果を表1に示す。
2・・・冷却管
3・・・沸騰液(リンス液)
4・・・蒸気層
5・・・被洗浄物
Claims (5)
- アルキレングリコールアルキルエーテル及び/又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性添加剤を実質的に含有しない洗浄剤を用いて有機エレクトロルミネッセンス素子材料が付着した物品を洗浄することにより当該物品に付着した有機エレクトロルミネッセンス素子材料を除去することを特徴とする物品の洗浄方法。
- 前記洗浄剤が、25℃における水の溶解度が30重量%以上であるアルキレングリコールアルキルエーテル及び/又はそのエステル誘導体を主成分とすることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 表面の一部がメタルマスクで被覆された基板を有機エレクトロルミネッセンス素子材料の蒸気と接触させることによりメタルマスクで被覆されていない部分の基板表面に有機エレクトロルミネッセンス素子材料を蒸着する工程を含み且つ該工程でメタルマスクの表面に付着した有機エレクトロルミネッセンス素子材料を除去してメタルマスクを再利用する有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法において、メタルマスクの表面に付着した有機エレクトロルミネッセンス素子材料を除去する方法が、前記請求項1又は2に記載の方法であることを特徴とする前記方法。
- アルキレングリコールアルキルエーテル及び/又はそのエステル誘導体を主成分とし、水及び水溶性不揮発性添加剤を実質的に含有しない液体からなる有機エレクトロルミネッセンス素子材料除去用洗浄剤。
- 25℃における水の溶解度が30重量%以上であるアルキレングリコールアルキルエーテル及び/又はそのエステル誘導体を主成分とすることを特徴とする請求項4に記載の洗浄剤。
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