JP2005221261A - モニター装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光源部からの光は、流体軸受けモータの回転シャフト等に取り付けられた移動スケール1に照射され、A相、B相等の信号光を生成する。各チャンネルの信号光は固定スリットの各開口を通過して受光部に入射し、各相の電気信号が生成される。いずれかの相の出力Vinをピークホールド素子によりピークホールドし、それを正常時ピーク電圧Vref と比較した出力電圧Vo をモニター出力として得る。Vo の符号と絶対値から、移動スケールやロータの回転軸に沿った方向の変位、あるいは、それらにかかる負荷(外力)の大きさをモニターし、異常変位、過負荷などを検知できる。
【選択図】 図3
Description
2 光源部(LED)
3 固定スリット
4 受光部(受光素子)
5 光学要素支持部材
6 移動スケール支持部材
7、11、12 軸受け
8 モータシャフト
9 ロータ
10、20 ステータ
21 流体軸受け
Claims (5)
- 光源と、移動スケールと、固定スリットと、受光部を有する光学式エンコーダのためのモニター装置において、
前記受光部で検出される光に基づいて生成される電気信号の振幅をモニターし、それに基づいて前記移動スケールと前記固定スリットとの間の変位を検出する手段を備えたことを特徴とする、モニター装置。 - 光源と、移動スケールと、固定スリットと、受光部を有する光学式エンコーダのためのモニター装置において、
前記受光部で検出される光に基づいて生成される電気信号の振幅をモニターし、それに基づいて前記光学式エンコーダの位置読取方向に対し垂直方向にかかる過負荷を検出する手段を備えたことを特徴とする、モニター装置。 - 光源と、移動スケールと、固定スリットと、受光部を有する光学式エンコーダが付設されたモータのためのモニター装置において、
前記受光部で検出される光に基づいて生成される電気信号の振幅をモニターし、それに基づいて前記モータ移動部の移動方向に対し垂直方向の変位を検出する手段を備えたことを特徴とする、モニター装置。 - 光源と、移動スケールと、固定スリットと、受光部を有する光学式エンコーダが付設されたモータのためのモニター装置において、
前記受光部で検出される光に基づいて生成される電気信号の振幅をモニターし、それに基づいて前記モータ移動部の移動方向に対し垂直方向にかかる過負荷を検出する手段を備えたことを特徴とする、モニター装置。 - 前記モータは、流体軸受モータであることを特徴とする、請求項3または請求項4に記載のモニター装置。
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