JP2005214814A - 圧力センサモジュール - Google Patents
圧力センサモジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005214814A JP2005214814A JP2004022270A JP2004022270A JP2005214814A JP 2005214814 A JP2005214814 A JP 2005214814A JP 2004022270 A JP2004022270 A JP 2004022270A JP 2004022270 A JP2004022270 A JP 2004022270A JP 2005214814 A JP2005214814 A JP 2005214814A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- acoustic wave
- surface acoustic
- wave element
- pressure
- sensor module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
【解決手段】一主面に凹部5が形成されているセンサ基板1上で、凹部5の形成領域内に圧電体,IDTを含む圧力検出用素子2を、凹部5の形成領域外に圧電体,IDTを含む参照用素子3を設けたセンサ素子と、圧力検出用素子2の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1発振回路と、参照用素子3の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2発振回路と、第1発振回路からの電気信号と第2発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに変換信号を出力するコンパレータと、コンパレータからの変換信号と第2発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路とを備え、圧力検出用素子2と参照用素子3とが両者間に位置する反射器2b(3b)を共用する。
【選択図】図1
Description
2・・・圧力検出用弾性表面波素子
2a・・・圧力検出用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
2b・・・圧力検出用弾性表面波素子の反射器
3・・・参照用弾性表面波素子
3a・・・参照用弾性表面波素子のインターデジタルトランスデューサ
3b・・・参照用弾性表面波素子の反射器
4・・・封止材
5・・・凹部
6・・・支持基板
7・・・電極パッド
8,9・・・接合用導体
10・・・圧力センサモジュール
12・・・ICチップ
13・・・アンテナ
14・・・樹脂
15・・・アンプ
Claims (2)
- 一主面に凹部が形成されているセンサ基板上で、前記凹部の形成領域内に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む圧力検出用弾性表面波素子を、前記凹部の形成領域外に、圧電体及びインターデジタルトランスデューサを含む参照用弾性表面波素子を設けたセンサ素子と、
前記圧力検出用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第1の発振回路と、
前記参照用弾性表面波素子の共振周波数に基づいて所定周波数の電気信号を発振する第2の発振回路と、
前記第1の発振回路からの電気信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを比較して変換信号を生成するとともに、該変換信号を出力するコンパレータと、
前記コンパレータからの変換信号と前記第2の発振回路からの電気信号とを変調して外部に出力する変調回路と、を備えてなる圧力センサモジュールであって、
前記圧力検出用弾性表面波素子と前記参照用弾性表面波素子とを間に反射器を介して一列状に配置させるとともに、該反射器をその両側に配される双方の弾性表面波素子の反射器として共用せしめたことを特徴とする圧力センサモジュール。 - 前記第1の発振回路、前記第2の発振回路、前記コンパレータ及び前記変調回路が単一のICチップ上に集積されており、該ICチップと前記センサ素子とが共通の支持基板上に搭載されていることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサモジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004022270A JP4511208B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 圧力センサモジュール |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004022270A JP4511208B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 圧力センサモジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005214814A true JP2005214814A (ja) | 2005-08-11 |
JP4511208B2 JP4511208B2 (ja) | 2010-07-28 |
Family
ID=34905664
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004022270A Expired - Fee Related JP4511208B2 (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 圧力センサモジュール |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4511208B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014183558A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Casio Comput Co Ltd | 撮像装置、撮像制御方法及びプログラム |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105910572B (zh) * | 2016-06-12 | 2018-06-29 | 中国科学院上海技术物理研究所 | 一种接触力可控型反射镜检测浮动支撑装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120673A (ja) * | 1974-02-25 | 1975-09-22 | ||
JPS6182130A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-25 | Shimadzu Corp | 表面弾性波圧力センサ |
JPH02216940A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Toshiba Corp | 変調器 |
JPH03283710A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
JPH08136383A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-05-31 | Yuhshin Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH08166302A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Tokimec Inc | 外力センサ |
JP2003303388A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Pacific Ind Co Ltd | タイヤ状態監視装置の送信機及びタイヤ状態監視装置 |
JP2003315190A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
WO2005052533A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧力センサ装置 |
-
2004
- 2004-01-29 JP JP2004022270A patent/JP4511208B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50120673A (ja) * | 1974-02-25 | 1975-09-22 | ||
JPS6182130A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-25 | Shimadzu Corp | 表面弾性波圧力センサ |
JPH02216940A (ja) * | 1989-02-17 | 1990-08-29 | Toshiba Corp | 変調器 |
JPH03283710A (ja) * | 1990-03-30 | 1991-12-13 | Toshiba Corp | 弾性表面波共振子 |
JPH08136383A (ja) * | 1994-11-15 | 1996-05-31 | Yuhshin Co Ltd | 圧力検出装置 |
JPH08166302A (ja) * | 1994-12-12 | 1996-06-25 | Tokimec Inc | 外力センサ |
JP2003303388A (ja) * | 2002-04-11 | 2003-10-24 | Pacific Ind Co Ltd | タイヤ状態監視装置の送信機及びタイヤ状態監視装置 |
JP2003315190A (ja) * | 2002-04-24 | 2003-11-06 | Kyocera Corp | 圧力検出装置用パッケージ |
WO2005052533A1 (ja) * | 2003-11-27 | 2005-06-09 | Kyocera Corporation | 圧力センサ装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014183558A (ja) * | 2013-03-21 | 2014-09-29 | Casio Comput Co Ltd | 撮像装置、撮像制御方法及びプログラム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4511208B2 (ja) | 2010-07-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4099504B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP4099505B2 (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2010035078A (ja) | 圧電発振器 | |
JP4511208B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP4511207B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP4511206B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP2010035077A (ja) | 圧電発振器 | |
CN111106810B (zh) | 压电器件 | |
JP4511216B2 (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP2005208031A (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP2010219876A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2005181292A (ja) | 圧力センサ | |
JP4172774B2 (ja) | 表面実装型圧電発振器 | |
JP2010258946A (ja) | 通信モジュール | |
JP2008252799A (ja) | 圧電デバイス | |
JP2005208056A (ja) | 圧力センサ及びそれを用いた圧力センサモジュール | |
JP5240931B2 (ja) | 圧電振動子及び圧電発振器 | |
JP2005208055A (ja) | 圧力センサモジュール | |
JP2005208043A (ja) | 圧力センサ装置 | |
JP2007180604A (ja) | 圧電発振器 | |
JP2005181289A (ja) | 圧力センサ | |
JP2007124514A (ja) | 圧電発振器及びその製造方法 | |
JP2005181291A (ja) | 圧力センサ及び圧力センサモジュール | |
JP2006337135A (ja) | 圧電センサモジュール及び圧電センサシステム | |
JP2008219123A (ja) | 温度補償型圧電発振器 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070119 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091007 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091204 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100406 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100506 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130514 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |