JP2005211872A - 液滴吐出装置および液滴吐出方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッドの交換頻度を低減し、生産性を向上できる液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】 複数のノズル列を備えた液滴吐出ヘッドの、一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、次にこれらのノズルの寿命などのノズル切り替え時期に、液滴吐出ヘッドを交換することなく、他のノズル列に切り替えて使用する。
【選択図】 図5
【解決手段】 複数のノズル列を備えた液滴吐出ヘッドの、一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、次にこれらのノズルの寿命などのノズル切り替え時期に、液滴吐出ヘッドを交換することなく、他のノズル列に切り替えて使用する。
【選択図】 図5
Description
本発明は、インクジェット方式による液状体の液滴吐出装置およびその液滴吐出方法に関するものである。
近年、電子機器の表示部に液晶装置が多く用いられている。また、他の表示装置として、エレクトロルミネッセンス装置(以下、EL(electoroluminecence)装置という)の実用化が進展している。これらの電気光学装置である表示装置はフルカラー表示が一般的になっており、液晶装置やEL装置の製作にあたり、R(赤)、G(緑)、B(青)などの各色のエレメントをパターニングする必要がある。従来から、これらのエレメントのパターニングには、フォトリソグラフィー法を用いることが知られている。しかしながら、このフォトリソグラフィー法を用いる場合には、工程が複雑になることや、高価な各色の材料やフォトレジストを多量に消費することから、省資源および製造コストの面で問題があった。
この問題を解決するために、インクジェット法(液滴吐出法)によるフィルターエレメント材料やEL発光材料などを液状体にして吐出させ、画素パターンをなすドット状配列のフィルターエレメントやEL発光層などを形成する方法が提案されている。(特許文献1参照)
特開2003−159786号公報
しかしながら、液滴吐出ヘッドは吐出回数に応じた寿命があり、特にEL発光層材料の場合には、ヘッド部材に対する溶解性の高い溶媒を使用することがあるため、溶媒に接している時間(接液時間)に応じた寿命も加わり、液滴吐出ヘッドの寿命がさらに短くなるという問題がある。このため、液滴吐出装置において、短いサイクルで液滴吐出ヘッドを交換する必要がある。また、液滴吐出ヘッドの交換の際には、微細なパターンへ材料の吐出を行うために、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっており生産性を落とす原因となっている。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、インクジェット法を用いて液状体を吐出するものであって、液滴吐出ヘッドの交換頻度を少なくし、生産性を向上させることのできる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供することを目的とする。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、インクジェット法を用いて液状体を吐出するものであって、液滴吐出ヘッドの交換頻度を少なくし、生産性を向上させることのできる液滴吐出装置および液滴吐出方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために本発明は、液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、一つの前記液滴吐出ヘッドが複数のノズル列を備え、前記複数のノズル列のうち、使用するノズル列が選択可能となっていることを特徴とする。
本発明によれば、まず液滴吐出ヘッドの一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、これらノズルの寿命などのノズル切り替え時に、液滴吐出ヘッドを交換することなく、他のノズル列に切り替えて使用することができる。このため、ノズル切り替え時に液滴吐出ヘッドを交換する必要がなく、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減できる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業には、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっているが、液滴吐出ヘッドの交換頻度が少なくなることから交換工数を削減でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
本発明によれば、まず液滴吐出ヘッドの一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、これらノズルの寿命などのノズル切り替え時に、液滴吐出ヘッドを交換することなく、他のノズル列に切り替えて使用することができる。このため、ノズル切り替え時に液滴吐出ヘッドを交換する必要がなく、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減できる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業には、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっているが、液滴吐出ヘッドの交換頻度が少なくなることから交換工数を削減でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
また、本発明の液滴吐出装置は、前記複数のノズル列のうち、使用するノズル列数が選択可能になっていることを特徴とする。
このようにすれば、一度に複数のノズル列を使用する場合にも、ノズル列の切り替えに対応ができる。また、吐出材料の切り替えなどによって、使用するノズル列数を変更する場合にも対応ができる。このように、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減でき、また、種々な生産に対応でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
このようにすれば、一度に複数のノズル列を使用する場合にも、ノズル列の切り替えに対応ができる。また、吐出材料の切り替えなどによって、使用するノズル列数を変更する場合にも対応ができる。このように、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減でき、また、種々な生産に対応でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
また、本発明の液滴吐出装置は、前記液滴吐出ヘッドに当接し、選択的にノズル列を吸引する吸引手段を備えることが好ましい。
このようにすれば、使用する部分の液滴吐出ヘッドにのみ吐出する液体を充填することができる。もし使用していない部分の液滴吐出ヘッドにも吐出材料が供給された場合、ノズル列を切り替えて使用するまでの間に、吐出する液体が乾燥しノズルの目詰まりを起こす。また、特に、吐出材料としてヘッド部材に対する溶解性の高い溶媒を使用する場合には、接液時間が液滴吐出ヘッドの寿命を短くするため、液滴吐出ヘッドの寿命を管理するのに有効な手段である。
このようにすれば、使用する部分の液滴吐出ヘッドにのみ吐出する液体を充填することができる。もし使用していない部分の液滴吐出ヘッドにも吐出材料が供給された場合、ノズル列を切り替えて使用するまでの間に、吐出する液体が乾燥しノズルの目詰まりを起こす。また、特に、吐出材料としてヘッド部材に対する溶解性の高い溶媒を使用する場合には、接液時間が液滴吐出ヘッドの寿命を短くするため、液滴吐出ヘッドの寿命を管理するのに有効な手段である。
また、本発明の液滴吐出装置は、吐出不良を検出する検出手段を備える構成も採用可能である。
このようにすれば、液滴吐出ヘッドが吐出不良の状態で生産を続けることもなく、吐出不良を削減できる。また、基板に吐出材料を吐出した後、別の工程で吐出不良を検査する必要がなくなる。このように吐出不良を検出できるため、例えば、吐出不良検出後直ちに、使用者が使用するノズル列の切り替えなどの対応ができ、生産性を低下させることがない。
このようにすれば、液滴吐出ヘッドが吐出不良の状態で生産を続けることもなく、吐出不良を削減できる。また、基板に吐出材料を吐出した後、別の工程で吐出不良を検査する必要がなくなる。このように吐出不良を検出できるため、例えば、吐出不良検出後直ちに、使用者が使用するノズル列の切り替えなどの対応ができ、生産性を低下させることがない。
また、本発明の液滴吐出装置は、吐出不良を検出後、使用するノズル列を切り替える制御手段を備えることも好適である。
このようにすれば、吐出不良が生じても、液滴吐出装置がすぐに液滴吐出ヘッドのノズル列を自動で切り替えて、装置を使用することができる。このため、連続して生産をすることができ、生産性を低下させることがない。
このようにすれば、吐出不良が生じても、液滴吐出装置がすぐに液滴吐出ヘッドのノズル列を自動で切り替えて、装置を使用することができる。このため、連続して生産をすることができ、生産性を低下させることがない。
また、本発明の吐出方法は、上記の液滴吐出装置を用いて、吐出対象基板に液体を吐出することを特徴としている。
本発明によれば、まず液滴吐出ヘッドの一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、これらノズルの寿命などのノズル切り替え時に、液滴吐出ヘッドを交換せずに他のノズル列に切り替えて使用することができる。このため、ノズルの寿命などのノズル切り替え時に液滴吐出ヘッドを交換する必要がなく、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減できる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業には、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっているが、液滴吐出ヘッドの交換頻度が少なくなることから交換工数を削減でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
本発明によれば、まず液滴吐出ヘッドの一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、これらノズルの寿命などのノズル切り替え時に、液滴吐出ヘッドを交換せずに他のノズル列に切り替えて使用することができる。このため、ノズルの寿命などのノズル切り替え時に液滴吐出ヘッドを交換する必要がなく、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減できる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業には、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっているが、液滴吐出ヘッドの交換頻度が少なくなることから交換工数を削減でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明する。
(液滴吐出装置の全体構成)
図1は本発明の実施形態に係る、液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図2は図1に示す液滴吐出装置16の主要部についての拡大斜視図である。液滴吐出装置16はヘッドユニット26と、ヘッド位置制御装置17と基板位置制御装置18と、主走査駆動装置19と副走査駆動装置21と、基板供給装置23と、コントロール装置24とを有する。ヘッドユニット26には液滴吐出ヘッド22が備えられている。
図1は本発明の実施形態に係る、液滴吐出装置の全体構成を示す斜視図である。図2は図1に示す液滴吐出装置16の主要部についての拡大斜視図である。液滴吐出装置16はヘッドユニット26と、ヘッド位置制御装置17と基板位置制御装置18と、主走査駆動装置19と副走査駆動装置21と、基板供給装置23と、コントロール装置24とを有する。ヘッドユニット26には液滴吐出ヘッド22が備えられている。
ヘッド位置制御装置17は、液滴吐出ヘッド22の位置を制御するものであり、基板位置制御装置18は基板12の位置を制御するものである。主走査駆動装置19は、液滴吐出ヘッド22を基板12に対して主走査移動させる駆動手段となるものである。副走査駆動装置21は液滴吐出ヘッド22を基板12に対して副走査移動させる駆動手段となるものである。基板供給装置23は基板12を液滴吐出装置16内の所定の作業位置へ供給するものである。コントロール装置24は液滴吐出装置16の制御を司るものである。ヘッド位置制御装置17、基板位置制御装置18、主走査駆動装置19および副走査駆動装置21の各装置はベース9の上に配置され、また、それらの各装置は必要に応じてカバー14によって覆われる。
次に図2において、ヘッド位置制御装置17は液滴吐出ヘッド22を面内回転させるモータ44(α)と、液滴吐出ヘッド22を副走査方向Yと平行な軸線回りに回転させるモータ46(β)と、液滴吐出ヘッド22を主走査方向と平行な軸線回りに回転させるモータ47(γ)と、液滴吐出ヘッド22を上下方向へ移動させるモータ48(z)とを有する。
基板位置制御装置18は図1および図2に示すように、基板12を載せるテーブル49と、そのテーブル49を矢印Θのように面内回転をさせるモータ51とを有する。また、主走査駆動装置19は図2に示すように、主走査方向Xへ延びるXガイドレール52とパルス駆動されるリニアモータを内蔵したXスライダ53とを有する。Xスライダ53は内蔵するリニアモータが作動するときにXガイドレール52に沿って主走査方向Xへ平行移動する。
また、副走査駆動装置21は図2に示すように、副走査方向Yへ延びるYガイドレール54と、パルス駆動されるリニアモータを内蔵したYスライダ56とを有する。Yスライダ56は内蔵するリニアモータが作動するときに、Yガイドレール54に沿って副走査方向Yへ平行移動する。
Xスライダ53およびYスライダ56においてパルス駆動されるリニアモータは、該モータに供給するパルス信号によって出力軸の回転角度制御を精細に行うことができる。したがって、そのリニアモータは、Xスライダ53に支持されたインクジェットヘッド22の主走査方向X上の位置およびテーブル49の副走査Y上の位置などを高精細に制御できる。
基板供給装置23は図1に示すように、基板12を収容する基板収容部57と、基板12を搬送するロボット58とを有する。ロボット58は、床、地面などといった設置面に置かれる基台59と、基台59に対して昇降移動する昇降軸61と昇降軸61を中心として回転する第一アーム62と、第一アーム62に対して回転する第二アーム63と、第二アーム63の先端下面に設けられた吸着パッド64とを有する。
また、図1に示すように、主走査駆動装置19によって駆動されて主走査移動する液滴吐出ヘッド22の軌跡下であって副走査駆動装置21の一方の脇位置に吸引装置76およびクリーニング装置77が設けられている。また、他方の脇位置には電子天秤78が配置されている。吸引装置76は液滴吐出ヘッド22が待機状態にあるときにノズル27(図3などを参照)の乾燥を防止する機能と、各ノズル列の初期状態において吐出材料を吸引してインク室に吐出材料を充填する機能をもった装置である。クリーニング装置77は液滴吐出ヘッド22を洗浄するための装置である。電子天秤78は液滴吐出ヘッド22の個々のノズル27から吐出される吐出材料の液滴8の重量をノズル毎に測定する機器である。
さらに、図示はしないが例えば、光センサを有し液滴吐出ヘッド22からの吐出材料Mの吐出状態を検出する吐出不良検出装置が配置されている。この吐出不良検出装置は液滴吐出ヘッド22から液体が吐出される方向に対して交差する方向、例えば光センサの光源および受光部が、液滴吐出ヘッド22から吐出された液滴8が通過する空間を挟んで対向するように配置されている。また、液滴吐出ヘッド22を副走査移動させる毎に吐出状態を検出して吐出不良を検出する。
液滴吐出ヘッド22の近傍には、その液滴吐出ヘッド22と一体に移動するヘッド用カメラ81が設けられている。また、ベース9上に設けた支持装置(図示せず)に支持された基板用カメラ82が基板12を撮影できる位置に設けられている。
図1に示すコントロール装置24は、プロセッサを収容したコンピュータ本体部66と、入力装置67としてのキーボードと、表示装置としてのCRTディスプレイ68とを有する。上記プロセッサは、演算処理を行うCPUと、各種情報を記録するメモリすなわち情報記録媒体とを有する。
図1に示したヘッド位置制御装置17、基板位置制御装置18、主走査駆動装置19、副走査駆動装置21、および液滴吐出ヘッド22内の圧電素子41(図3(b)参照)を制御するヘッド駆動回路は、入出力インターフェースおよびバスを介してCPUに接続される。また、基板供給装置23、入力装置67、CRTディスプレイ68、電子天秤78、クリーニング装置77および吸引装置76の各機器も、入出力インターフェースおよびバスを介してCPUに接続される。そのCPUは、上記情報記録媒体であるメモリ内に記憶されたプログラムソフトに従って、基板12の表面の所定位置に液体の吐出材料を吐出するための制御を行うものである。
次に液滴吐出ヘッド22について説明する。液滴吐出ヘッド22は、図3に示す内部構造をしている。図3(a)は液滴吐出ヘッド22の一部破断斜視図であり、図3(b)は図3(a)のJ−J線の断面図である。
液滴吐出ヘッド22はステンレス製のノズルプレート29と、それに対向する振動板31と、それらをお互いに接合する複数の仕切り部材32とを有する。ノズルプレート29と振動板31との間には、仕切り部材32によって複数のインク室33と液溜り34とが形成される。複数のインク室33と液溜り34とは通路38を介してお互いにつながっている。
液滴吐出ヘッド22はステンレス製のノズルプレート29と、それに対向する振動板31と、それらをお互いに接合する複数の仕切り部材32とを有する。ノズルプレート29と振動板31との間には、仕切り部材32によって複数のインク室33と液溜り34とが形成される。複数のインク室33と液溜り34とは通路38を介してお互いにつながっている。
振動板31の適所にはインク供給孔36が形成され、このインク供給孔36にインク供給装置37が接続される。このインク供給装置37は、例えばEL素子における発光層の材料であるR、G、Bのうちの1色を吐出材料Mとしてインク供給孔36へ供給する。供給された吐出材料Mは、液溜り34に充満し、さらに通路38を通ってインク室33に充満する。
ノズルプレート29には、インク室33から吐出材料Mを噴射するための孔であるノズル27が設けられている。また、振動板31のインク室33を形成する面の裏面には、インク室33に対応してインク加圧体39が取り付けられている。この加圧体39は図3(b)に示すように、圧電素子41ならびにこれを挟持する一対の電極42a、42bを有する。圧電素子41は電極42aおよび42bへの通電によって、矢印Cで示す方向に撓み、これによりインク室33の容積が増大する。すると、増大した容積分に相当する吐出材料Mが液溜り34から通路38を通ってインク室33へ流入する。
次に、圧電素子41への通電を解除すると、圧電素子41と振動板31が元の形状に戻る。これにより、インク室33の圧力が上昇して、ノズル27から基板12へ向けて吐出材料Mが液滴8となって噴出する。
また、液滴吐出ヘッド22には、ノズル27ごとにインク室33が設けられており、ノズル27を一定間隔で配置されたノズル列を形成している。
また、液滴吐出ヘッド22には、ノズル27ごとにインク室33が設けられており、ノズル27を一定間隔で配置されたノズル列を形成している。
(液滴吐出ヘッドおよび吸引装置の実施形態)
次に、本発明の特徴点である液滴吐出ヘッドおよび吸引装置の実施形態について説明する。
液滴吐出ヘッド22は、図4に示すように、複数のノズル27を列状に並べることによって形成されたノズル列28を有する。図1および図2における主走査方向Xと副走査方向Yは図4において図示のように設定されている。
液滴吐出ヘッド22は、そのノズル列28が主走査方向Xと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Xへ平行移動する間に、吐出材料Mを複数のノズルから選択的に吐出することにより、基板12の所定位置に吐出材料が吐出される。また、液滴吐出ヘッド22は副走査方向Yへ所定距離だけを平行移動することにより、液滴吐出ヘッド22による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
本実施形態では液滴吐出ヘッド22に、4列のノズル列28が形成されている。ノズル列28のノズル27は、各ノズル27間は同じピッチに配列され、さらにノズル列28も各ノズル列28間で同じピッチにて形成されている。
次に、本発明の特徴点である液滴吐出ヘッドおよび吸引装置の実施形態について説明する。
液滴吐出ヘッド22は、図4に示すように、複数のノズル27を列状に並べることによって形成されたノズル列28を有する。図1および図2における主走査方向Xと副走査方向Yは図4において図示のように設定されている。
液滴吐出ヘッド22は、そのノズル列28が主走査方向Xと交差する方向へ延びるように位置設定され、この主走査方向Xへ平行移動する間に、吐出材料Mを複数のノズルから選択的に吐出することにより、基板12の所定位置に吐出材料が吐出される。また、液滴吐出ヘッド22は副走査方向Yへ所定距離だけを平行移動することにより、液滴吐出ヘッド22による主走査位置を所定の間隔でずらせることができる。
本実施形態では液滴吐出ヘッド22に、4列のノズル列28が形成されている。ノズル列28のノズル27は、各ノズル27間は同じピッチに配列され、さらにノズル列28も各ノズル列28間で同じピッチにて形成されている。
図5は液滴吐出ヘッド22を吸引装置76にて吸引する際の、動作を説明する模式断面図である。吸引装置76のキャップ部110には、4列のノズル列を2列ずつ吸引するための吸引空間120a、120bが形成され、その外周部を取り囲むようにシール部材130が配置されている。このシール部材130はゴムなどの弾性材料で形成されており、キャップ部110が液滴吐出ヘッド22と当接することにより吸引空間120a、120bを密閉空間とすることができる。また、吸引空間120a、120bからは、キャップ部110を貫通するように吸引孔140および大気開放孔150が形成されている。
吸引孔140は継ぎ手115を介してチューブ160に連結され、吸引バルブ101、102を経て吸引ポンプ170に配管されている。この吸引ポンプ170は、吸引バルブ101を開くことにより吸引空間120aを吸引することができ、また、吸引バルブ102を開くことにより吸引空間120bを吸引できるように構成されている。
大気開放孔150は継ぎ手115を介してチューブ160を経て、大気開放バルブ105、106につながっている。この大気開放バルブ105、106は吸引空間120a、120bを吸引後、大気開放バルブ105、106を開くことにより、これらの空間を大気圧まで戻す機能を有する。
大気開放孔150は継ぎ手115を介してチューブ160を経て、大気開放バルブ105、106につながっている。この大気開放バルブ105、106は吸引空間120a、120bを吸引後、大気開放バルブ105、106を開くことにより、これらの空間を大気圧まで戻す機能を有する。
次に、吸引装置76の動作について説明する。液滴吐出装置において、液滴吐出ヘッド22の交換後など初期の状態では、液滴吐出ヘッド22には吐出材料Mは供給されていない。したがって、初期の状態では、液滴吐出ヘッド22を吸引して吐出材料を導入する吸引工程を実施する。この吸引工程は、液滴吐出ヘッド22と吸引空間120a、120bの間に吐出材料Mを吸引する工程、液滴吐出ヘッド22の吸引を解除した状態で吸引空間120a、120bの圧力を大気圧に切り替える工程、大気圧下にある吸引空間120a、120bを再吸引する工程とに大別される。
まず、初期に使用するノズル列を決め、動作回路の選択がなされる。本実施形態では、図5に示すように、最初に吸引空間120aに対する2つのノズル列を吸引する場合について説明する。
吸引空間120aに吐出材料Mを吸引する工程では、まず液滴吐出ヘッド22が吸引装置76のキャップ部110に対向する位置に位置決めされる。そのとき、吸引バルブ101は開状態、102は閉状態、大気開放バルブ105および106は閉状態に保持される。その後、キャップ部110が上昇し、液滴吐出ヘッド22に当接して吸引空間120aが密閉される。
そして、吸引ポンプ170を作動させる。これにより、液滴吐出ヘッド22とキャップ部110の吸引空間120aが負圧になり、2つのノズル列のインク室33およびノズル27まで吐出材料Mが供給される。
吸引空間120aに吐出材料Mを吸引する工程では、まず液滴吐出ヘッド22が吸引装置76のキャップ部110に対向する位置に位置決めされる。そのとき、吸引バルブ101は開状態、102は閉状態、大気開放バルブ105および106は閉状態に保持される。その後、キャップ部110が上昇し、液滴吐出ヘッド22に当接して吸引空間120aが密閉される。
そして、吸引ポンプ170を作動させる。これにより、液滴吐出ヘッド22とキャップ部110の吸引空間120aが負圧になり、2つのノズル列のインク室33およびノズル27まで吐出材料Mが供給される。
続く吸引空間120aを大気圧に切り替える工程では、吸引バルブ101を閉状態とし、次に大気開放バルブ105を開状態にする。これにより、吸引空間120aが大気圧に戻り、ノズルからの必要以上の吐出材料Mの吸引が阻止される。
そして、吸引空間120aを再吸引する工程では、大気開放バルブ105を開状態とし、吸引バルブ101を開状態とする。これにより吸引空間120aは大気圧下で吸引されることになり、ノズル27からの吐出材料Mの漏出なしに吸引空間120aの吐出材料Mが吸引される。
そして、吸引空間120aを再吸引する工程では、大気開放バルブ105を開状態とし、吸引バルブ101を開状態とする。これにより吸引空間120aは大気圧下で吸引されることになり、ノズル27からの吐出材料Mの漏出なしに吸引空間120aの吐出材料Mが吸引される。
その後、吸引ポンプ170の作動を停止し、吸引バルブ101および大気開放バルブ105が閉状態となり、キャップ部110が下降する。そして、液滴吐出ヘッド22への初期吐出材料の吸引動作が終了する。そして、液滴吐出装置として、基板へ吐出材料の吐出が行われる。
液滴吐出ヘッド22の各ノズルは吐出回数に応じた寿命があり、また、寿命前であっても異物などの吐出材料への混入などにより、ノズルのつまりなどで吐出不良が発生する。通常、液滴吐出ヘッドのクリーニングを行い機能回復を行うが、機能回復ができない場合には、使用するノズル列の切り替えを行う。つまり、図5において、初期において吸引空間120aに対向する2つのノズル列を使用したが、ノズルの寿命などで使用できないノズルが発生した場合には、吸引空間120bに対向した2つのノズル列への切り替えを行う。このときには、前述したと同様な動作にて、吸引空間120bに対向した2つのノズル列へ、吐出材料Mの供給がインク室33およびノズル27になされる。
このようにして、液滴吐出ヘッド22から基板への吐出動作は、ノズル列の切り替え後すぐに継続される。
このようにして、液滴吐出ヘッド22から基板への吐出動作は、ノズル列の切り替え後すぐに継続される。
次に本実施形態の液滴吐出装置の、液滴吐出ヘッドおよび吸引装置の詳細動作について、図7のフローチャートにて説明する。
まず、ステップS1において、液滴吐出ヘッドの初期に使用されるノズル列が決められ、そのノズル列を動作させる動作回路が選択される。次に、ステップS2において、前述したように液滴吐出ヘッドの初期に使用されるノズル列に吐出材料の吸引動作がなされる。その後、ステップS3で液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が行われる。
対象基板への吐出を行っている間、ステップS4にて吐出不良の検出動作が各吐出ごとに行われる。ステップS5で吐出不良が検出されなければステップS3に戻り、液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が継続して行われる。また、ステップS5において吐出不良が検出されると、ステップS6で液滴吐出ヘッドのクリーニング動作が行われる。
まず、ステップS1において、液滴吐出ヘッドの初期に使用されるノズル列が決められ、そのノズル列を動作させる動作回路が選択される。次に、ステップS2において、前述したように液滴吐出ヘッドの初期に使用されるノズル列に吐出材料の吸引動作がなされる。その後、ステップS3で液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が行われる。
対象基板への吐出を行っている間、ステップS4にて吐出不良の検出動作が各吐出ごとに行われる。ステップS5で吐出不良が検出されなければステップS3に戻り、液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が継続して行われる。また、ステップS5において吐出不良が検出されると、ステップS6で液滴吐出ヘッドのクリーニング動作が行われる。
クリーニング動作が終了すると、ステップS7で液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が行われる。次にステップS8にて吐出不良の検出動作が各吐出ごとに行われる。そして、ステップS9で吐出不良が検出されなければステップS3に戻り、液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が継続して行われる。また、ステップS9で吐出不良が検出されると、ステップS10に進みクリーニング回数が5回未満であれば、ステップS6にて液滴吐出ヘッドのクリーニング動作を行う。クリーニング回数が5回になると、液滴吐出ヘッドの寿命と判断し、ステップS11にて使用するノズル列の切り替え動作を行う。具体的には、ノズル列の切り替えにより生ずる液滴吐出ヘッド動作回路の切り替えや、液滴吐出ヘッド位置の補正を行う。
そして、ステップS12で次に使用される液滴吐出ヘッドのノズル列に、吐出材料の吸引動作がなされる。その後、ステップS3に戻り液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が行われる。
そして、ステップS12で次に使用される液滴吐出ヘッドのノズル列に、吐出材料の吸引動作がなされる。その後、ステップS3に戻り液滴吐出ヘッドから対象基板へ吐出材料の吐出が行われる。
また、図6は吸引装置76の他の実施形態を示す模式断面図である。
吸引装置76のキャップ部110にはそれぞれのノズル列を吸引するための吸引空間120a、120b、120c、120dが形成され、その外周部を取り囲むようにシール部材130が配置されている。このシール部材130はゴムなどの弾性材料で形成されており、キャップ部110が液滴吐出ヘッド22と当接することにより吸引空間120a、120b、120c、120dを密閉空間とすることができる。また、吸引空間120a、120b、120c、120dからは、キャップ部110を貫通するように吸引孔140が形成されている。
吸引装置76のキャップ部110にはそれぞれのノズル列を吸引するための吸引空間120a、120b、120c、120dが形成され、その外周部を取り囲むようにシール部材130が配置されている。このシール部材130はゴムなどの弾性材料で形成されており、キャップ部110が液滴吐出ヘッド22と当接することにより吸引空間120a、120b、120c、120dを密閉空間とすることができる。また、吸引空間120a、120b、120c、120dからは、キャップ部110を貫通するように吸引孔140が形成されている。
それぞれの吸引孔140は継ぎ手115を介してチューブ160に連結され、吸引バルブ101、102、103、104を経て吸引ポンプ170に配管されている。この吸引ポンプ170は、吸引バルブ101,102,103,104を開くことにより、それぞれの吸引空間120a、120b、120c、120dをそれぞれ吸引することができるように構成されている。
また、継ぎ手115と吸引バルブ101、102,103,104の間をつなぐチューブ160の中間には、大気開放バルブ105、106,107,108が配置されている。この大気開放バルブ105、106、107,108は吸引空間120a、120b、120c、120dを吸着後、これらの大気開放バルブを開くことにより、これらの空間を大気圧まで戻す機能を有する。
また、継ぎ手115と吸引バルブ101、102,103,104の間をつなぐチューブ160の中間には、大気開放バルブ105、106,107,108が配置されている。この大気開放バルブ105、106、107,108は吸引空間120a、120b、120c、120dを吸着後、これらの大気開放バルブを開くことにより、これらの空間を大気圧まで戻す機能を有する。
この吸引装置76による液滴吐出ヘッドへの吐出材料Mの吸引動作については、前述の実施形態と同様のため省略するが、本実施形態では各ノズル列を1列ずつ吸引できる構成となっている。このため、任意のノズル列およびノズル列数を選択的に吸引でき、隣接するノズル列ではなく、図6に示すような吸引空間120a、120cに対向するノズル列を吸引することもできる。また、1列のみ吐出材料をノズル列に吸引して使用することもできる。
(液滴吐出装置による吐出例)
次に本実施形態の液滴吐出装置を用いた吐出材料の吐出例について説明する。本実施形態では電気光学装置のEL装置を例にとり説明する。図8はEL装置の製造工程を示す工程断面図である。
次に本実施形態の液滴吐出装置を用いた吐出材料の吐出例について説明する。本実施形態では電気光学装置のEL装置を例にとり説明する。図8はEL装置の製造工程を示す工程断面図である。
図8(d)に示すように、EL装置201は透明基板204上に画素電極202を形成し、各画素電極202間にバンク205を矢印G方向から見て格子状に形成する。それら格子状凹部の中に、正孔注入層220を形成し、矢印G方向から見てストライプ配列などといった所定の配列となるようにR色発光層203R、G色発光層203G、B色発光層203Bを各格子状凹部の中に形成する。さらに、それらの上に対向電極213を形成することによってEL装置201が形成される。
そして、各画素電極213とによって挟まれる領域が1つの絵素ピクセルとなり、R、G、B、3色の絵素ピクセルが1つのユニットとなって1つの画素を形成する。各絵素ピクセルを流れる電流を制御することにより、複数の絵素ピクセルのうちの必要なものを選択的に発光させ、これにより矢印H方向にフルカラー像を表示することができる。
上記EL装置201は例えば、次に示す製造方法によって製造される。すなわち、図8(a)のように、透明基板204の表面にTFD素子またはTFT素子といった能動素子を形成し、さらに画素電極202を形成する。
次に、隔壁すなわちバンク205を周知のパターニング手法を用いて形成し、このバンク205によって各透明な画素電極202間を埋める。
そして、正孔注入層用材料(液滴)8を、液滴吐出ヘッド22のノズル27から吐出し、各画素電極202の上にパターニング塗布を行う。その塗布後、溶媒除去工程、熱処理工程を経て、正孔注入層220が形成される。
次に、隔壁すなわちバンク205を周知のパターニング手法を用いて形成し、このバンク205によって各透明な画素電極202間を埋める。
そして、正孔注入層用材料(液滴)8を、液滴吐出ヘッド22のノズル27から吐出し、各画素電極202の上にパターニング塗布を行う。その塗布後、溶媒除去工程、熱処理工程を経て、正孔注入層220が形成される。
次に、図8(b)に示すように、正孔注入層220の上にEL発光材料としてのR発光層材料およびG発光層材料をインクジェット法により塗布する。ここでも、各発光層材料は液滴吐出ヘッド22のノズル27から吐出させる。その塗布後、溶媒除去工程、熱処理工程を経て、R色発光層203RおよびG色発光層203Gを形成する。
次に、図8(c)に示すように、EL発光材料としてのB色発光層203Bを各絵素ピクセル内のR色発光層203R、G色発光層203Gおよび正孔注入層220の上に重ねて形成する。これにより、R、G、Bの3原色を形成する。
以上のようなB色発光層203Bの形成方法としては、湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、R色発光層203RおよびG色発光層203Gの形成方法と同様の液滴吐出法を採用できる。
その後、図8(d)に示すように、対向電極213を形成することによりEL装置201が製造される。
以上のようなB色発光層203Bの形成方法としては、湿式法として一般的なスピンコート法を採用することもできるし、R色発光層203RおよびG色発光層203Gの形成方法と同様の液滴吐出法を採用できる。
その後、図8(d)に示すように、対向電極213を形成することによりEL装置201が製造される。
なお、上記正孔注入層用材料やR発光層材料、G発光層材料の液滴吐出ヘッド22からの吐出の際、ノズル27のつまりや寿命などで、使用しているノズル列が使用できなくなった場合には、他の使用していないノズル列に切り替えて、すぐに吐出動作を継続することができる。
以上のように、本実施形態によれば、複数のノズル列を備えた液滴吐出ヘッドにおいて、その複数のノズル列のうちの一部のノズル列およびノズル列数を選択的に使用することができる。つまり、複数のノズル列を備えた液滴吐出ヘッドの、一部のノズル列を使用して液体の吐出を行い、次にこれらノズルの寿命などのノズル切り替え時に、液滴吐出ヘッドを交換することなく他のノズル列に切り替えて使用することができる。このため、ノズル切り替え時に液滴吐出ヘッドを交換する必要がなく、液滴吐出ヘッドの交換頻度を削減できる。また、液滴吐出ヘッドの交換作業には、液滴吐出ヘッドと吐出対象基板との位置を厳しく合わせる必要があり、工数がかかる作業となっているが、液滴吐出ヘッドの交換頻度が少なくなることから交換工数を削減でき、全体的な生産性の向上を果たすことができる。また、特に、EL装置における発光層の吐出材料としてヘッド部材に対する溶解性の高い溶媒を使用する場合には、接液時間が液滴吐出ヘッドの寿命を短くするため、液滴吐出ヘッドの交換を頻繁に行うことがなくなり、生産性を上げることができる。
また、これらの効果は液滴吐出ヘッドの使用時間の長い、大型液滴吐出装置やカラーフィルタ、EL装置、電極材料などを大型の基板に吐出描画する装置において有効である。
また、これらの効果は液滴吐出ヘッドの使用時間の長い、大型液滴吐出装置やカラーフィルタ、EL装置、電極材料などを大型の基板に吐出描画する装置において有効である。
なお、本実施形態の吸引装置におけるキャップ部は、液滴吐出ヘッドの複数のノズル列全体を覆うように形成した。吐出材料を吸引するのに必要なノズル列に対応した部分的なキャップ部でも実施可能であるが、この場合、液滴吐出ヘッドとキャップ部を当接させた時に、液滴吐出ヘッドに不均衡な力が加わることになり、吸引空間を確実に密閉できない。このため、液滴吐出ヘッド全体を覆うようにすることにより、確実に吸引空間を密閉させ、その後の吸引動作を確実なものにすることができる。
本発明の技術範囲は前記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。実施形態であげた具体的な構成や方法などは一例にすぎず、適宜変更が可能である。
8・・・液滴、16・・・液滴吐出装置、22・・・液滴吐出ヘッド、27・・・ノズル、28・・・ノズル列、76・・・吸引装置、101,102,103,104・・・吸引バルブ、110・・・キャップ部、120a、120b、120c、120d・・・吸引空間、130・・・シール部材、170・・・吸引ポンプ
Claims (6)
- 液状体を吐出する液滴吐出ヘッドを有する液滴吐出装置であって、一つの前記液滴吐出ヘッドが複数のノズル列を備え、前記複数のノズル列のうち、使用するノズル列が選択可能となっていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記複数のノズル列のうち、使用するノズル列数が選択可能になっていることを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1記載の液滴吐出装置において、前記液滴吐出ヘッドに当接し、前記複数のノズル列のうちの所定のノズル列を選択的に吸引する吸引手段を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1記載の液滴吐出装置において、吐出不良を検出する検出手段を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項4記載の液滴吐出装置において、吐出不良を検出後、使用するノズル列を切り替える制御手段を具備することを特徴とする液滴吐出装置。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の液滴吐出装置を用いて、吐出対象基板に液状体を吐出することを特徴とする液滴吐出方法。
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JP2004025411A JP2005211872A (ja) | 2004-02-02 | 2004-02-02 | 液滴吐出装置および液滴吐出方法 |
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KR20190065960A (ko) * | 2017-12-04 | 2019-06-12 | 캐논 가부시끼가이샤 | 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 방법 |
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2004
- 2004-02-02 JP JP2004025411A patent/JP2005211872A/ja not_active Withdrawn
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KR102351890B1 (ko) | 2017-12-04 | 2022-01-18 | 캐논 가부시끼가이샤 | 액체 토출 장치, 임프린트 장치, 및 방법 |
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