JP2005210018A - 光導電素子 - Google Patents
光導電素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005210018A JP2005210018A JP2004017454A JP2004017454A JP2005210018A JP 2005210018 A JP2005210018 A JP 2005210018A JP 2004017454 A JP2004017454 A JP 2004017454A JP 2004017454 A JP2004017454 A JP 2004017454A JP 2005210018 A JP2005210018 A JP 2005210018A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- photoconductive element
- compound thin
- substrate
- electrodes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 アルミニウム、ガリウムもしくはインジウムと、硫黄、セレンもしくはテルルとを含む化合物薄膜、および該化合物薄膜の表面に互いに間隔をあけて付設された一対の電極からなる光導電素子。
【選択図】 図1
Description
吉沢達夫、他1名,「光導電素子」,日刊工業新聞社,1965年6月,p.39−40
(1)上記一対の電極のうちの一方の電極が化合物薄膜の一方の表面に付設され、他方の電極が化合物薄膜の他方の表面に付設されている。
(2)上記化合物薄膜が基板の表面に積層されている。さらに好ましくは、化合物薄膜が、スパッタ法もしくは電子ビーム蒸着法により基板上に成膜されている。
(3)上記化合物薄膜が、GaS、GaSe、GaTe、InS、もしくはInTeからなる。
(4)光導電素子が、透明部を有する容器に収容されている。さらに好ましくは、前記容器の透明部がレンズを構成している。
光導電素子の化合物薄膜の成膜には、チャンバ内の下方に蒸着源容器が、そして上方に基板ホルダが配置された構成の電子ビーム蒸着装置を用いた。蒸着源容器の下方には、電子銃が配置されている。そしてチャンバには、排気のための油回転ポンプと油拡散ポンプが備えられている。
石英ガラス基板(サイズ:20mm×40mm×0.4mm)の表面に、スパッタ法によりITO薄膜を成膜した。そしてフォトリソグラフィ法により、前記のITO薄膜をパターニングすることにより透明電極を形成した。
12 基板
13 化合物薄膜
14、15 電極
21 光導電素子
24 透明電極
25 電極
31 光導電素子
32 基板
33 化合物薄膜
34、35 電極
41 光導電素子
42 基板
43a、43b、43c、43d、43e 化合物薄膜
44、45 電極
44a、44e 電極
45a、45e 電極
55 容器
55a 容器本体
55b 容器蓋
55c 透明部
61 光導電素子
62 基板
63 化合物薄膜
64 透明電極
65 電極
L1 一対の電極間の距離
L2 透明電極の幅
L3 電極の幅
Claims (7)
- アルミニウム、ガリウムもしくはインジウムと、硫黄、セレンもしくはテルルとを含む化合物薄膜、および該化合物薄膜の表面に互いに間隔をあけて付設された一対の電極からなる光導電素子。
- 上記一対の電極のうちの一方の電極が化合物薄膜の一方の表面に付設され、他方の電極が化合物薄膜の他方の表面に付設されている請求項1に記載の光導電素子。
- 該化合物薄膜が基板の表面に積層されている請求項1に記載の光導電素子。
- 化合物薄膜が、スパッタ法もしくは電子ビーム蒸着法により基板上に成膜されている請求項3に記載の光導電素子。
- 化合物薄膜が、GaS、GaSe、GaTe、InS、もしくはInTeからなる請求項1乃至4のうちのいずれかの項に記載の光導電素子。
- 請求項1乃至5のうちのいずれかの項に記載の光導電素子を、透明部を有する容器に収容してなる光導電素子。
- 透明部がレンズを構成している請求項6に記載の光導電素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004017454A JP2005210018A (ja) | 2004-01-26 | 2004-01-26 | 光導電素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004017454A JP2005210018A (ja) | 2004-01-26 | 2004-01-26 | 光導電素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005210018A true JP2005210018A (ja) | 2005-08-04 |
Family
ID=34902270
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004017454A Pending JP2005210018A (ja) | 2004-01-26 | 2004-01-26 | 光導電素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005210018A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007103525A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Shizuoka Prefecture | 半導体装置及びその製造方法 |
CN112614903A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-06 | 东北师范大学 | 铅绘电极二维材料纸基GaS光电探测器及其制备方法 |
WO2024038897A1 (ja) * | 2022-08-18 | 2024-02-22 | 国立大学法人東京大学 | 素子、素子の製造方法、及びフォトニックスピンレジスタ |
-
2004
- 2004-01-26 JP JP2004017454A patent/JP2005210018A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007103525A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Shizuoka Prefecture | 半導体装置及びその製造方法 |
CN112614903A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-06 | 东北师范大学 | 铅绘电极二维材料纸基GaS光电探测器及其制备方法 |
CN112614903B (zh) * | 2020-12-14 | 2022-04-29 | 东北师范大学 | 铅绘电极二维材料纸基GaS光电探测器及其制备方法 |
WO2024038897A1 (ja) * | 2022-08-18 | 2024-02-22 | 国立大学法人東京大学 | 素子、素子の製造方法、及びフォトニックスピンレジスタ |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7193241B2 (en) | Ultraviolet sensor and method for manufacturing the same | |
KR950033523A (ko) | 투광성 전기 전도 산화막 및 이것의 형성 방법 | |
Spear et al. | Photogeneration of charge carriers and related optical properties in orthorhombic sulphur | |
JP2005210018A (ja) | 光導電素子 | |
JP5948093B2 (ja) | 半導体の欠陥評価方法 | |
JPH03241777A (ja) | 光導電型紫外線センサー | |
US20060001029A1 (en) | Diamond sensor | |
JP2003092387A (ja) | イオン伝導体のイオン伝導を利用した記憶素子 | |
JPWO2003087739A1 (ja) | 光検出センサ | |
US2096170A (en) | Light-sensitive device | |
EP0146967A2 (en) | Photoconductive target of image pickup tube and manufacturing method thereof | |
JP2011009293A (ja) | ワイドギャップ酸化物半導体及びそれを用いた紫外線センサ | |
JP2011009292A (ja) | 紫外線センサおよび紫外線センサの製造方法 | |
US3805124A (en) | Stannic oxide photoconductive device for detecting ultraviolet light and method for making the same | |
SU640384A1 (ru) | Мишень видикона | |
JP2008039665A (ja) | 紫外線検出素子 | |
Mulder | Photoconductivity spectra of stable and metastable single‐crystals of perylene | |
KR101449655B1 (ko) | 파장 선택적 광 감지 센서 및 이를 이용한 센싱 방법 | |
CN103180963A (zh) | 光检测元件和该光检测元件的制造方法 | |
JP2005210017A (ja) | 光起電力素子 | |
Hughes et al. | Photoemission studies on barium titanate | |
Kotowski et al. | Surface photocurrents in tetracene layers | |
JPS628579A (ja) | 光導電性薄膜及びその製造方法 | |
JPH0316234A (ja) | 光センサの製造方法 | |
JPH02263477A (ja) | 光センサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20070118 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070124 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20070118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20081113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081118 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090313 |