JP2005203424A - データ作成方法、データ作成装置、スクリーン印刷検査方法、スクリーン印刷検査装置およびスクリーン印刷機 - Google Patents

Abstract

【課題】検査データの作成を容易に行うことができるデータ作成方法、データ作成装置、スクリーン印刷検査方法、スクリーン印刷検査装置およびスクリーン印刷機を提供することを目的とする。
【解決手段】対応付け作成部７８は、各検査ポイントの基本データと、印刷後の基板１０に搭載されるデバイスとを対応付ける。これにより、基板１０に搭載されるデバイスの種類毎に、各検査ポイントの基本データを特定することが可能になる。
【選択図】 図３

Description

本発明は、スクリーン印刷の検査に関し、特にクリームハンダ等がスクリーン印刷された電子回路基板またはスクリーン印刷に用いるマスクの検査に用いるデータの作成方法および作成装置、そのデータを用いて検査を行うスクリーン印刷検査方法およびスクリーン印刷検査装置並びにクリームハンダ等を電子回路基板に印刷するスクリーン印刷機に関するものである。

パッケージやチップ等のデバイスを電子回路基板（以下、基板という）に実装する場合、ハンダの不足・過多・ずれ・ブリッジなどの印刷不良が生じた基板に部品を実装すると、部品の浮き・立ち・ブリッジ・傾き・ずれなどのハンダ付け不良が発生する。このようなハンダ付け不良を回避するためにも、スクリーン印刷機によりハンダが印刷された基板の検査（印刷検査）およびハンダを印刷するのに不可欠なスクリーンマスクの検査（マスク検査）は重要である。このため、近年では、検査工程を実装したスクリーン印刷機や、印刷装置とは独立した印刷検査装置を備えた基板の実装ラインが提案されている（例えば、特許文献１参照）。
なお、印刷後の印刷基板の印刷要否を検査する印刷検査も、スクリーンマスクの開口裏側へハンダが回って付着した状態で印刷すると印刷不良を起こすので、スクリーンマスクを撮像するマスク検査によっても、間接的に印刷良否を検査することができる。すなわち、印刷後の印刷基板を撮像し直接的に印刷良否を検査する印刷検査も、マスク検査も広義の印刷検査と言うことができる。

従来の印刷検査工程においては、印刷された基板を撮像し、この撮像データから検査すべき箇所（検査ポイント）に印刷されたハンダの２次元形状や印刷位置を抽出し、この抽出したハンダの形状と基準となるハンダの形状や印刷位置とをパターンマッチングすることで、正常に印刷されたか否かを判定している。
また、同様にマスク検査工程においても、印刷後のスクリーンマスクを撮像し、この撮像データから検査ポイントの状態を抽出し、この抽出したスクリーンマスクの状態と、基準となるスクリーンマスクの状態とをパターンマッチングすることで、スクリーンマスクの清掃が必要か否かを判定している。

このような印刷検査やマスク検査では、基板の印刷パターンやスクリーンマスクの開口パターンなど、検査をすべき箇所（以下、検査ポイントという）毎にパターンマッチングをする際に基準となる、各検査ポイントのハンダの形状やサイズまたはスクリーンマスクの印刷孔の形状やサイズに関するデータ（以下、基本データという）、その検査ポイントを画像処理するための条件や検査の判定条件等に関するデータ（以下、条件データという）などの各種データを対応付けた検査データを設定する。この設定方法について以下に説明する。

印刷検査の場合、まず、基板上に検査ポイントを設定し、この検査ポイント全ての基本データ、例えば印刷されるハンダの形状やサイズ等に関するデータを、印刷検査に先行して基準となる印刷基板上のハンダパターンやスクリーンマスクを撮像し、この撮像データのうち検査ポイントに対応するハンダやマスク開口について画像処理し、あるいはマスクの作成に用いたデータからのデータ変換等により取得する。続いて、印刷検査におけるその検査ポイントを撮像する際の照明設定、画像処理に関連する各種しきい値、判定をする際に用いる許容値等の条件データを、全ての検査ポイントについて設定する。
マスク検査の場合も同様に、スクリーンマスク上に検査ポイントを設定し、この検査ポイント全ての基本データ、例えばマスクの開口形状や開口サイズ等に関するデータを、マスク検査に先行して実施するスクリーンマスクの撮像データに基づく画像処理、あるいはマスクの作成に用いたデータからのデータ変換等により取得する。続いて、その検査ポイントを撮像する際の照明設定、画像処理に関連する各種しきい値、判定をする際に用いる許容値等の条件データを、全ての検査ポイントについて設定する。
なお、出願人は、本明細書に記載した先行技術文献情報で特定される先行技術文献以外には、本発明に関連する先行技術文献を出願時までに発見するには至らなかった。
特開平８−１１８５９６号公報

上述した印刷検査やマスク検査を行う場合、カメラにより撮像した検査対象の画像を画像処理して特徴部分を抽出し、予め設定された許容値と比較判定することにより不良や異常の検出を行うが、このときに用いる画像処理パラメータや判定許容値を含む条件データは、それらの検査ポイントに対応する実装パターンが属するデバイス単位で設定するケースが多い。しかしながら、上述したように基本データは、ハンダや印刷孔単位で取得するので、同じように見える印刷または開口パターンであっても、その検査ポイントにいつも同じデバイスが搭載されるとは限らない。すなわち、ハンダの印刷パターンや印刷孔のパターンとデバイスとは、必ずしも１対１に関連しない。したがって、基本データと条件データとを１対１に対応付けることができなかった。このため、従来では、基本データ毎に条件データを設定していたので、検査データの作成が容易ではなかった。
そこで、本発明は、上述したような課題を解決するためになされたものであり、検査データの作成を容易に行うことができるデータ作成方法、データ作成装置、スクリーン印刷検査方法、スクリーン印刷検査装置およびスクリーン印刷機を提供することを目的とする。

上述したような課題を解決するために本発明にかかるデータ作成方法は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成方法において、基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、検査ポイント毎の基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付けて記憶する第３のステップと、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップとを備えることを特徴とする。

本発明にかかる他の形態のデータ作成方法は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクの検査に用いるデータの作成方法において、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、検査ポイント毎の基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける第３のステップと、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップとを備えることを特徴とする。

また、本発明にかかるデータ作成装置は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成装置において、基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段とを備えることを特徴とする。

本発明にかかる他の形態のデータ作成装置は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクの検査に用いるデータの作成装置おいて、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段とを備えることを特徴とする。

また、本発明にかかるスクリーン印刷検査方法は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査方法において、基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、検査ポイント毎の基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付けて記憶する第３のステップと、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと、任意のデバイスと対応付けられた基本データと任意のデバイスに設定された条件データとに基づいて基板の印刷状態を検査する第５のステップとを備えることを特徴とする。

本発明にかかる他の形態のスクリーン印刷検査方法は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査方法において、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、検査ポイント毎の基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける第３のステップと、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと、任意のデバイスと対応付けられた基本データと任意のデバイスに設定された条件データとに基づいて、スクリーンマスクの状態を検査する第５のステップとを備えることを特徴とする。

本発明にかかるスクリーン印刷検査装置は、スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査装置において、基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データと、この検査ポイントの印刷パターンに対応する箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と、任意のデバイスと対応付けられた基本データと任意のデバイスに設定された条件データとに基づいて基板の印刷状態を検査する検査判定手段とを備えることを特徴とする。

本発明にかかる他の形態のスクリーン印刷検査装置は、所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機のスクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査装置おいて、スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と、任意のデバイスと対応付けられた基本データと任意のデバイスに設定された条件データとに基づいてスクリーンマスクの状態を検査する検査判定手段とを備えることを特徴とする。

本発明にかかるスクリーン印刷機は、上記スクリーン印刷検査装置を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。

本発明によれば、各検査ポイントの基本データが、デバイス毎に対応付けられる。したがって、基本データと対応付けられる条件データの設定を、デバイス単位で一括して行うことが可能となるので、検査データの作成を容易に行うことが可能となる。

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。図１は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機を備えた電子回路基板の実装ラインの構成を示す模式図である。
図１において、実装ライン１は、基板にクリームハンダを印刷するスクリーン印刷機２と、このスクリーン印刷機２によりハンダが印刷された基板上にチップやパッケージ等の各種デバイスを搭載するマウンター３，４と、このマウンター３，４によりデバイスが搭載された基板を加熱するリフロー炉５と、基板を順送りにする基板搬送コンベア６とから構成される。ここで、スクリーン印刷機２、マウンター３，４およびリフロー炉５は、それぞれネットワークにより接続されている。また、マウンター３，４の数量は適宜自由に設定することができる。
本実施の形態は、このような実装ライン１において、スクリーン印刷機２の印刷検査またはマスク検査に用いる検査データの作成方法に特徴を有するものである。

次に、図２、３を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２の構成について説明する。図２は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２の要部構成を示す斜視図、図３は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２のハードウェア構成を示すブロック図である。
本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２は、基板１０を規正して所定の位置まで移動させるテーブル２０と、基板１０に印刷するハンダの印刷パターンに対応して開口部が形成されたスクリーンマスク３０と、スクリーンマスク３０の開口部へクリームハンダを充填するためのスキージ装置４０と、テーブル２０上方に配設され、印刷前の基板を撮像する基板認識カメラ５０と、テーブル２０上方に配設され、印刷後の基板１０を撮像する印刷検査カメラ６０と、スクリーン印刷機２全体の動作を制御する制御装置７０とを少なくとも備える。

テーブル２０は、基板１０を規正して所定の位置まで移動させるものである。このようなテーブル２０は、図２に示すように、スクリーン印刷機２の下部を構成し工場床に設置される基台２１上において、第１Ｙ軸モータ２６によりＹ方向に移動可能に配設されるベース２２と、このベース２２の上方において、第１Ｚ軸モータ２７によりベース２２と平行のままＺ方向に移動可能に配設される第１中間プレート２３と、この第１中間プレート２３上において、Ｘ軸モータ２８によりＸ方向に移動可能に配設される第２中間プレート２４と、この第２中間プレート２４上にθ軸モータ２９によりθ方向に回動可能に支持されるステージ２５とから構成される。このステージ２５上には、基板１０を固定するための公知の機構が設けられている。
ここで、Ｘ方向とは、基板１０の搬送に沿った方向、すなわち図２における横方向とし、図２を正面視した状態で右側を正の方向、左側を負の方向とする。また、Ｙ方向とは、基板１０の搬送方向に対向する方向、すなわち図２における奥行き方向とし、図２を正面視した状態で奥側を正の方向、手前側を負の方向とする。また、Ｚ方向とは、鉛直方向、すなわち図２における縦方向とし、図２を正面視した状態で上側を正の方向、下側を負の方向とする。また、θ方向とは、Ｚ軸回りに回転する方向であり、上方を見て右回りを正の方向とする。
なお、ベース２２と第１中間プレート２３の間、第１中間プレート２３と第２中間プレート２４の間、第２中間プレート２４とステージ２５にそれぞれ順々に配置するモータの組合せは、上記のように、Ｚ軸モータ、Ｘ軸モータ、θ軸モータの順のみの組合せだけでなく、例えば、Ｘ軸モータ、θ軸モータ、Ｚ軸モータの順等、自由な順番の組合せが可能である。
また、ステージ２５上には、基板１０を搭載する位置とは別の所定の位置に、スクリーンマスク３０の裏面を撮像するマスク認識カメラ８０が取り付けられている。このマスク認識カメラ８０は、公知のＣＣＤ（Charge Coupled Device）カメラ等から構成されており、スクリーンマスク３０を撮像し、この撮像データを制御装置７０に送出する。

スクリーンマスク３０は、図２に示すように、例えばアルミニウム合金等の金属の略矩形の薄板からなり、テーブル２０の上方において水平に取り付けられている。このようなスクリーンマスク３０には、基板１０に印刷するハンダの印刷パターンに対応した開口からなる印刷孔３１が多数形成されている。印刷範囲は大きなものでは３８０ｍｍ×３３０ｍｍ程度であり、印刷孔３１の寸法は小さなものでは０．２ｍｍ×０．２ｍｍ程度であり、各印刷孔３１間のＸ方向またはＹ方向のピッチは小さなものでは０．１ｍｍ程度である。

スキージ装置４０は、スクリーン印刷機２の上部に配置され、基台２１に連結固定されるフレーム部材４１に対し、第２Ｙ軸モータ４６によりＹ方向に移動可能に支持されるブラケット部材４２と、このブラケット部材４２に、Ｙ方向両側において各々第２Ｚ軸モータ４７、第３Ｚ軸モータ４８によりＺ方向に移動可能に支持される第１スキージヘッド４３、第２スキージヘッド４４とから構成される。第１スキージヘッド４３および第２スキージヘッド４４の下部は、それぞれＸ方向左右に伸びた形状をし、下端に可撓性を有する高分子や、ステンレス製のへらである不図示のスキージがそれぞれ取り付けられている。このようなスキージ装置４０は、第１，２スキージヘッド４３，４４がスクリーンマスク３０の上面に沿って移動することにより、スクリーンマスク３０上に供給されたクリームハンダをスクリーンマスク３０の印刷孔３１を介して基板１０上の各ランド（部品をハンダ付けする電極部分）に供給して印刷するものである。

基板認識カメラ５０は、テーブル２０をＹ方向における正の方向に移動しスクリーンマスク３０下方域から外れた状態におけるステージ２５上方に設けられた公知のＣＣＤカメラ等から構成されており、印刷前の基板１０を撮像し、この撮像データを制御装置７０に送出する。
印刷検査カメラ６０は、テーブル２０をＹ方向における正の方向に移動しスクリーンマスク３０下方域から外れた状態におけるステージ２５上方に設けられた公知のＣＣＤカメラ等から構成されており、クリームハンダが印刷された基板１０を撮像し、この撮像データを制御装置７０に送出する。
なお、基盤認識カメラ５０，印刷検査カメラ６０，マスク認識カメラ８０には、それぞれ照明が併せて設けられており、撮像時の照明の設定については、条件データに基づいて行われる。

制御装置７０は、ＣＰＵ等の演算装置と、メモリ、ＨＤＤ（Hard Disc Drive）等の記憶装置と、キーボード、マウス、ポインティングデバイス、ボタン、タッチパネル等の外部から情報の入力を検出する入力装置と、外部との情報の送受を行うＩ/Ｆ装置と、ＣＲＴ(Cathode Ray Tube)、ＬＣＤ(Liquid Crystal Display)またはＦＥＤ(Field Emission Display)等の表示装置を備えたコンピュータまたはコントローラーと、このコンピュータまたはコントローラーにインストールされたプログラムとから構成される。すなわちハードウェア装置とソフトウェアとが協働することによって、上記ハードウェア資源がプログラムによって制御され、図３に示すモータ駆動部７１、記憶部７２、画像処理部７３、Ｉ／Ｏ処理部７４、検査判定部７５、表示部７６、Ｉ／Ｆ７７、対応付け作成部７８および制御部７９が実現される。

モータ駆動部７１は、第１Ｙ軸モータ２６、第１Ｚ軸モータ２７、Ｘ軸モータ２８、θ軸モータ２９、第２Ｙ軸モータ４６、第２Ｚ軸モータ４７および第３Ｚ軸モータ４８を含むスクリーン印刷機２が有する各モータと接続されており、制御部７７の指示に基づいて各モータに制御信号を送出し、各モータの駆動を制御する。
なお、第１Ｙ軸モータ２６、第１Ｚ軸モータ２７、Ｘ軸モータ２８、θ軸モータ２９、第２Ｙ軸モータ４６、第２Ｚ軸モータ４７および第３Ｚ軸モータ４８の各々にはエンコーダが組み込まれており、回転位置を制御装置７０にフィードバックして、基板１０や第１スキージヘッド４３、第２スキージヘッド４４を正確に位置決めできるようにしている。

記憶部７２は、スクリーン印刷機２の動作に関する各種プログラム、印刷検査またはマスク検査を行うための検査データ等を記憶する。また、記憶部７２は、後述する画像処理部７３から入力される認識データを記憶してもよい。
ここで、検査データとは、印刷検査の場合、基板１０の印刷パターン単位で、少なくとも検査すべきハンダが存在する基板１０上の位置に関する情報である検査ポイントと、この検査ポイントに印刷すべきハンダの形状やサイズ等に関するデータである基本データと、その検査ポイントを撮像するカメラの照明の設定や２値化レベル等の画像処理に関するパラメータおよび面積許容値や位置許容値等の検査判定に関するパラメータ等からなる条件データとを検査ポイント毎に対応付けて設定したものである。また、マスク検査の場合の検査データとは、スクリーンマスク３０単位で、少なくとも検査をすべき印刷孔３１のスクリーンマスク３０上の位置に関する情報である検査ポイントと、この検査ポイントの開口形状や開口サイズ等に関するデータである基本データと、その検査ポイントを撮像するカメラの照明の設定や２値化レベル等の画像処理に関連するパラメータおよび面積許容値や一許容値等の検査判定に関するパラメータ等からなる条件データとを、検査ポイント毎に対応付けて設定したものである。
なお、本実施の形態では、印刷検査の場合、各検査ポイントの基本データと、この検査ポイントに搭載されるデバイスとが対応付けて記憶される。マスク検査の場合は、各検査ポイントの基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する基板上に搭載されるデバイスとが対応付けて記憶される。

画像処理部７３は、基板認識カメラ５０、印刷検査カメラ６０およびマスク認識カメラ８０と接続されており、制御部７９の指示に基づいてこれらのカメラに撮像指示を出す。また、この指示に基づいて各カメラにより撮像された撮像データから、基板１０上に設けられている位置決めマーク、基板１０に印刷されたハンダの状態、スクリーンマスク３０上に設けられている位置決めマーク、スクリーンマスク３０の状態等を抽出した認識データを生成し、制御部７９に送出する。これらの画像処理部７３の動作は、条件データに基づいて行われる。
なお、画像処理部７３が抽出した認識データは、記憶部７２に記憶されるようにしてもよい。

Ｉ／Ｏ処理部７４は、スクリーン印刷機２に設けられているエアシリンダやレギュレータなどの各種アクチュエータ８１や各種センサ８２と接続されており、センサ８２から入力されるデータを制御部７９に送出するとともに、制御部７９の指示に基づいてアクチュエータ８１に対して制御信号を送出する。この制御信号に基づいて、アクチュエータ８１は動作する。

検査判定部７５は、印刷検査およびマスク検査における判定動作を行う。
印刷検査の場合、検査判定部７５は、制御部７９の指示により、印刷検査カメラ６０の撮像データに基づいて画像処理部７３が生成した認識データと、記憶部７２に記憶されている検査データとに基づいて判定動作を行う。例えば、検査判定部７５は、認識データから検査ポイントに印刷されたハンダのサイズおよび平面形状等を検出し、この検出したハンダとその検査ポイントと対応付けられた基本データと比較し、この比較結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、正常にハンダが印刷されたか否かを判定する。
マスク検査の場合、検査判定部７５は、制御部７９の指示により、マスク認識カメラ８０の撮像データに基づいて画像処理部７３が生成した認識データと、記憶部７２に記憶されている検査データとに基づいて判定動作を行う。例えば、検査判定部７５は、認識データから検査ポイントのスクリーンマスク３０の印刷孔３１のサイズおよび平面形状等の状態を検出し、この検出した印刷孔３１の状態とその検査ポイントと対応付けられた基本データとを比較し、この比較結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、スクリーンマスク３０の清掃が必要か否かを判定する。

表示部７６は、ＣＲＴ、ＬＣＤまたはＦＥＤ等の公知の表示装置８３と接続されており、制御部７９の指示に基づいて、検査データおよび検査データの作成工程を含むスクリーン印刷機２の動作に関する各種情報を表示する。

Ｉ／Ｆ７７は、ＬＡＮ(Local Area Network)等の公知のネットワークにより接続された実装ライン１を構成するマウンター３，４およびリフロー炉５と接続され、各種情報の送受信を行う。なお、Ｉ／Ｆ７７は、基板搬送コンベア６と接続することもできる。

対応付け作成部７８は、基本データと、マウンター３，４が印刷後の基板１０に搭載するデバイスの搭載位置に関する情報である搭載位置データと、マウンター３，４が印刷後の基板１０に搭載するデバイスの種類に関する情報である部品データとに基づいて、各検査ポイントの基本データと、印刷後の基板１０のその検査ポイントに対応する箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける。
なお、搭載位置データおよび部品データについては、Ｉ／Ｆ７７を介してマウンター３，４から、または、予め記憶部７２に記憶しておき、この記憶部７２から取得するようにすることができる。

制御部７９は、記憶部７２に記憶された各種プログラムに基づいて、検査データの作成、基板の搬入、基板とスクリーンマスクの位置決め、印刷、検査、基板の搬出等のスクリーン印刷機２の各動作を制御する。また、本実施の形態では、基本データと条件データとを対応付けることにより、設定手段としても機能する。

次に、図１〜図４を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２の印刷検査を伴う各動作について説明する。図４は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２の印刷検査を伴う各動作を示すフローチャートである。

［基板の搬入］
まず、基板１０にハンダを印刷する場合、スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６、第１Ｚ軸モータ２７およびＸ軸モータ２８を駆動してステージ２５を所定の位置に移動させ、例えばスクリーン印刷機２の図２におけるＸ方向における正の方向側に設けられた図示しない搬送コンベアから、基板１０をステージ２５上に搬入し、固定する（ステップＳ４０１）。

［位置決め］
ステージ２５上に基板１０を固定すると、スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６を駆動して、ステージ２５をＹ方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じてＸ軸モータ２８を駆動させることにより、ステージ２５を基板認識カメラ５０下方の所定の位置、例えば基板認識カメラ５０の撮像範囲に基板１０全体が含まれる位置に配置する。続いて、基板認識カメラ５０により基板１０を撮像し、この撮像データに基づく認識データから基板１０に設けられている位置決めマークの位置を認識し、基板１０をステージ２５上に固定する基準となる位置と、実際に基板１０がステージ２５上に固定された位置とのずれ（基板固定ずれ）を検出する（ステップＳ４０２）。
基板固定ずれを検出すると、スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６を駆動して、ステージ２５をＹ方向における負の方向に移動させるとともに、必要に応じて第１Ｚ軸モータ２７、あるいは、およびＸ軸モータ２８を駆動させることにより、ステージ２５上に設けられているマスク認識カメラ８０を、スクリーンマスク３０下方の所定の位置、例えばマスク認識カメラ８０の撮像範囲にスクリーンマスク３０全体が含まれる位置に配置する。続いて、マスク認識カメラ８０によりスクリーンマスク３０を撮像し、この撮像データに基づく認識データからスクリーンマスク３０に設けられている位置決めマークの位置を認識し、スクリーンマスク３０が固定されるべき基準となる位置と、実際にスクリーンマスク３０が固定されている位置とのずれ（マスク固定ずれ）を検出する（ステップＳ４０３）。スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６を所定量駆動するとともに、検出された基板固定ずれとマスク固定ずれに基づいて、必要に応じてＸ軸モータ２８およびθ軸モータ２９のうち少なくとも１つを駆動し、場合によっては第１Ｙ軸モータ２６をさらに駆動して、基板１０の回路パターンとスクリーンマスク３０の開口とが一致するスクリーンマスク３０下方の所定の位置へステージ２５を移動させ、第１Ｚ軸モータ２７を駆動してステージ２５をＺ方向における正の方向に移動させる、すなわちステージ２５を上昇させることにより、基板１０とスクリーンマスク３０とを当接させる（ステップＳ４０４）。

［印刷］
基板１０とスクリーンマスク３０とが当接されると、スクリーン印刷機２は、図示しないハンダ供給口からスクリーンマスク３０上にクリームハンダを供給し、スキージ装置４０をスクリーンマスク３０上面に沿って所定方向（本実施の形態ではＹ方向）に往復移動させて、クリームハンダをスクリーンマスク３０の印刷孔３１に充填する（ステップＳ４０５）。

具体的には、例えば、スクリーン印刷機２は、第２Ｙ軸モータ４６および第２Ｚ軸モータ４７を駆動して、第１スキージヘッド４３をスクリーンマスク３０上の所定の位置、図２に示すスクリーンマスク３０のＹ方向における負の方向側の端部近傍に、この端部の辺と第１スキージヘッド４３の長手方向が平行になるように下端のスキージを当接させる。このとき、第２スキージヘッド４４は、上方に位置されている。
続いて、スクリーン印刷機２は、スクリーンマスク３０上の第１スキージヘッド４３が当接している位置と印刷孔３１が設けられている位置の間に、クリームハンダを供給する。クリームハンダが供給されると、スクリーン印刷機２は、第２Ｙ軸モータ４６を駆動して、第１スキージヘッド４３下端のスキージを、スクリーンマスク３０に当接させた状態で図２のＹ方向における正の方向に移動させる。これにより、スクリーンマスク３０上に供給されたクリームハンダは、第１スキージヘッド４３によりスクリーンマスク３０上においてＹ方向における正の方向に移動させられることにより、印刷孔３１に充填される。なお、このとき第２スキージヘッド４４は、上方位置されているので、クリームハンダに接触しない。

第１スキージヘッド４３がスクリーンマスク３０に設けられた全ての印刷孔３１を通過すると、第２Ｙ軸モータ４６が停止させられるとともに、スクリーン印刷機２は、第３Ｚ軸モータ４８を駆動して、第２スキージヘッド４４を下降させ、スクリーンマスク３０上の所定の位置、図２に示すスクリーンマスク３０のＹ方向における正の方向側の端部近傍に、この端部の辺と第２スキージヘッド４４の長手方向が平行になるようにし、下端のスキージを当接させる。このとき、スクリーン印刷機２は、第２Ｚ軸モータ４７を駆動し、第１スキージヘッド４３を上方位置まで移動させる。
続いて、スクリーン印刷機２は、第２Ｙ軸モータ４６を駆動して、第２スキージヘッド４４の下端のスキージをスクリーンマスク３０に当接させた状態で図２のＹ方向における負の方向に移動させる。これにより、第１スキージヘッド４３により移動させられたクリームハンダは、第２スキージヘッド４４によりスクリーンマスク３０上においてＹ方向における負の方向に移動させられることにより、印刷孔３１に充填される。なお、このとき第１スキージヘッド４３は、上方に位置されているので、クリームハンダに接触しない。

このようにしてクリームハンダがスクリーンマスク３０の印刷孔３１に充填押圧されて印刷された後、スクリーン印刷機２は、第１Ｚ軸モータ２７を駆動してステージ２５をＺ方向における負の方向に降下させ、基板１０とスクリーンマスク３０とを離間させて（ステップＳ４０６）、印刷が完了する。

［検査］
印刷を終えると、スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６を駆動して、ステージ２５をＹ方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じて第１Ｚ軸モータ２７、Ｘ軸モータ２８およびθ軸モータ２９のうち少なくとも１つを駆動させることにより、ステージ２５を印刷検査カメラ６０下方の所定の位置、例えば印刷検査カメラ６０の撮像範囲に基板１０全体が含まれる位置に移動させて、印刷検査を行う（ステップＳ４０７）。本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２は、この印刷検査に用いる検査データの作成方法に特徴を有するものである。

まず、スクリーン印刷機２は、図５に示すように、印刷検査カメラ６０によりクリームハンダが印刷された基板１０を撮像する。この撮像する際の照明等の各種設定は、条件データに基づいてなされる。
撮像データは、例えば図６に示すように、基板１０に搭載されるデバイスや検査ポイント毎に視野１１ａ〜１１ｆが割り付けられる。このような撮像データと記憶部７２に予め記憶された基板１０を検査するための条件データに基づいて、画像処理部７３は、それぞれの検査ポイントの印刷ハンダのサイズや平面形状を含む認識データを作成する。

検査判定部７５は、認識データから検査ポイントに印刷されたハンダのサイズや平面形状を抽出する。また、記憶部７２に予め記憶されたその基板１０の印刷検査に用いる検査データから、基本データを抽出する。そして、検査ポイントそれぞれについて、認識データから抽出したハンダのサイズおよび形状と、その基本データに基づく検査ポイントに印刷されるべきハンダのサイズおよび形状に関する情報とを比較やパターンマッチングし、この結果をその検査ポイントと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、印刷が正常になされたか否かを判定する。

［基板の搬出］
上述した印刷検査により印刷不良が発見されない、すなわち正常に印刷された場合（ステップＳ４０８：ＮＯ）、スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６と、必要に応じてさらに第１Ｚ軸モータ２７、Ｘ軸モータ２８およびθ軸モータ２９を駆動してステージ２５を所定の位置に移動させ、例えば図２におけるＸ方向の負の方向側に設けられたマウンター３に搬出する。搬出された基板１０は、マウンター３、４およびリフロー炉５に続く工程、すなわちデバイスの搭載および焼成がなされる。
一方、印刷検査により印刷不良が発見されると（ステップＳ４０８：ＹＥＳ）、スクリーン印刷機２は、印刷不良が発見された基板１０をスクリーン印刷機２外部に搬出し（ステップＳ４１０）、その基板の撤去を要請する旨の指示を表示装置８３に表示させる（ステップＳ４１１）。ここで、スクリーン印刷機２は、印刷不良が発見された基板のみを収集する容器を備えるようにしてもよい。この場合、印刷不良が発見されると、スクリーン印刷機２は、その印刷不良が発見された基板を、自動的にその容器に搬出する。これにより、印刷不良が発見された基板を取り除くオペレータの手間を省くことができるので、とても使い勝手がよい。

次に、図７を参照して、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２のマスク検査を伴う各動作について説明する。図７は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２のマスク検査を伴う各動作を示すフローチャートである。
図７において、基板の搬入、位置決め、印刷および基板の搬出の工程を示すステップＳ７０１〜Ｓ７０６は、図４を参照して説明した印刷検査と同一であるので、説明を省略する。

［検査］
ハンダを印刷した基板１０を次の工程に搬出すると（ステップＳ７０７）、スクリーン印刷機２は、マスク検査を行う（ステップＳ７０８）。

スクリーン印刷機２は、第１Ｙ軸モータ２６を駆動して、ステージ２５をＹ方向における正の方向に移動させるとともに、必要に応じて第１Ｚ軸モータ２７、Ｘ軸モータ２８およびθ軸モータ２９のうち少なくとも１つを駆動させることにより、ステージ２５をスクリーンマスク３０下方の所定の位置、例えばマスク認識カメラ８０の撮像範囲に基板１０全体が含まれる位置に移動させて、マスク認識カメラ８０により、スクリーンマスク３０を撮像する。この撮像する際の照明設定等の各種設定は、条件データに基づいてなされる。
マスク認識カメラ８０による撮像データとそのスクリーンマスク３０を検査するための条件データに基づいて、画像処理部７３は、例えば図６を参照して説明した基板１０の場合と同様の方法で、認識データを作成する。検査判定部７５は、検査ポイントのスクリーンマスク３０の状態、特に印刷孔３１のサイズや形状を抽出する。また、記憶部７２に予め記憶されたそのスクリーンマスク３０のマスク検査に用いる検査データから、基本データを抽出する。検査判定部７５は、検査ポイントそれぞれについて、認識データから抽出したスクリーンマスク３０の印刷孔３１の形状およびサイズと、その基本データに基づく検査ポイントの印刷孔３１の形状およびサイズに関する情報と比較やパターンマッチングし、この結果をその基本データと対応付けられた条件データと照らし合わせることにより、スクリーンマスク３０の状態が正常か否かを判定する。この判定は、例えば、スクリーンマスク３０の開口への異物やハンダの詰まり、スクリーンマスク３０裏面のフラックスやハンダのにじみ等が検出された場合、検査判定部７５は、スクリーンマスク３０の状態が異常であると判定する。

［マスク清掃］
上述したマスク検査によりスクリーンマスク３０の異常が発見されると（ステップＳ７０９：ＹＥＳ）、スクリーン印刷機２は、スクリーンマスク３０を清掃する旨の指示を表示装置８３に表示させる（ステップＳ７１０）。ここで、スクリーン印刷機２は、スクリーンマスク３０を自動的に清掃する機構を設けるようにしてもよい。この場合、マスクの異常が発見されると、スクリーン印刷機２は、自動的にスクリーンマスク３０の清掃を行うようにしてもよい。これにより、スクリーンマスク３０を清掃するオペレータの手間を省くことができるので、とても使い勝手がよい。
マスク検査によりスクリーンマスク３０の異常が発見されない場合（ステップＳ７０９：ＹＥＳ）、スクリーン印刷機２は、ステップＳ７０１に戻り、次の基板１０の印刷を行う。

次に、上述したような印刷検査またはマスク検査に用いられる検査データの作成方法について図８を参照して説明する。図８は、本実施の形態にかかるスクリーン印刷機２の検査データの作成動作を示すフローチャートである。
課題の欄で前述したようにハンダの印刷パターンや印刷孔のパターンとデバイスとは、必ずしも１対１に関連しないが、その逆、すなわち、デバイスのリードの先端部とハンダの印刷パターンや印刷孔のパターンとは、必ず１対１に関連する。したがって、本実施の形態では、基本データと条件データとをデバイスを介して対応付けて設定することにより、デバイス単位での条件データの設定を可能にしている。

［基本データ取得］
印刷検査またはマスク検査の検査データを作成する場合、まず、ユーザが基板１０またはスクリーンマスク３０上に検査ポイントを設定し、この検査ポイントの位置や形状に関する基本データを作成する（ステップＳ８０１）。この基本データは、スクリーンマスク３０を作成する際に用いたデータからデータ変換によって取得する方法、実際にハンダが印刷された基板１０を基準とし、この基板１０上に印刷されたハンダパターンを画像処理することによって検出する方法、スクリーンマスク３０の印刷孔３１を撮像し、この撮像データを画像処理することによって検出して取得する方法等により取得することが可能である。
なお、基本データを作成した後に、検査ポイントを設定するようにしてもよい。例えば、データ変換や画像処理により、図９（ａ）に示すような基板１０上に印刷すべきハンダ１１ａ〜１１ｃやスクリーンマスク３０の印刷孔３１の形状やサイズに関する基本データを作成した後に、それぞれのハンダや印刷孔に検査ポイントを設定するようにしてもよい。

［対応付け作成］
基本データを取得すると、対応付け作成部７８は、各検査ポイントの基本データと、印刷後の基板１０に搭載されるデバイスとを対応付ける。この対応付けの具体例について、図９を参照して以下に説明する。

例えば、基板検査の場合、図９（ａ）に示すような、基板１０上に設定された検査ポイント１１ａ〜１１ｃに印刷されるべきハンダの形状やサイズに関する基本データを取得すると、対応付け作成部７８は、その基板１０に関連する搭載位置データと部品データを取得する。

搭載位置データからは、基板１０に搭載されるデバイスの位置や形状に関する情報、部品データからは、基板１０に搭載されるデバイスの種類に関する情報が得られる。したがって、このような搭載位置データおよび部品データに基づいて、対応付け作成部７８は、図９（ｂ）に示すような、基板１０に搭載されるデバイス９０ａ〜９０ｃの位置および形状と、デバイスの種類とを関連づけたデータ（以下、デバイスデータという）を作成する。このデバイスデータは、同じ種類のデバイス毎に関連づけがなされている。一例として、図９（ｂ）では、デバイス９０ａとデバイス９０ｂが種類Ａ、デバイス９０ｃ〜９０ｅが種類Ｂ、デバイス９０ｅとデバイス９０ｆが種類Ｃとして、それぞれ関連づけがなされている。

デバイスデータを作成すると、対応付け作成部７８は、基本データとデバイスデータとを対比して、各検査ポイントの基本データと、基板１０に搭載するデバイスとを対応付ける。具体的には、図９（ａ）に示すような基本データと、図９（ｂ）に示すようなデバイスデータとを重ね合わせて、それぞれの検査ポイントの基本データと、この基本データに対応する基板１０上の印刷パターンに搭載されるデバイスとを特定する。例えば、図９（ａ）の基本データに図９（ｂ）のデバイスデータのデバイス毎の関連づけを重ね合わせると、図９（ｃ）に示すようなデバイス毎の関連づけがなされた基本データが作成される。図９（ｃ）よれば、検査ポイント１１ａの基本データは種類Ａのデバイス、検査ポイント１１ｂの基本データは種類Ｂのデバイス、検査ポイント１１ｃの基本データは種類Ｃのデバイスにそれぞれ対応することがわかる。各デバイスに対応する検査ポイントの基本データが特定されると、対応付け作成部７８は、そのデバイスと、その検査ポイントの基本データと対応付ける。この対応付けは、記憶部７２に記憶される。

このようにして各検査ポイントの基本データと、この基本データに対応する基板１０上の印刷パターンに対応する箇所に搭載されるデバイスとが対応付けて記憶部７２に記憶される。換言すると、基板１０に搭載されるデバイスと、このデバイスの全ての検査ポイントの基本データとが対応付けられて記憶部７２に記憶される。
なお、マスク検査の場合についても、上述した基板検査の場合と同様の方法で、スクリーンマスク上の各検査ポイントの基本データと、そのスクリーンマスクによりハンダが印刷される基板１０に搭載されるデバイスとの対応付けが行われる。

［検査視野割り付け］
次に、複数の検査ポイントを同じ撮像データで一括して検査判定するために、図６で示すように、検査ポイント毎に検査視野の割り付けを行う（ステップＳ８０３）。

［条件データ作成］
検査視野の割り付けを行うと、制御部７９は、条件データを設定する（ステップＳ８０４）。具体的には、検査を行う基板１０に搭載するデバイス、または、検査を行うスクリーンマスク３０により印刷される基板上に搭載されるデバイス毎に条件データを設定し、記憶部７２に記憶させる。すると、記憶部７２には各デバイス毎に全ての検査ポイントの基本データが対応付けられているので、基本データと条件データとがそれぞれ１対１に対応して、同じデバイスの各検査ポイントの基本データにはそれぞれ同じ条件データが対応付けられて記憶部７２に記憶される。
このように、本実施の形態によれば、デバイス毎に条件データを設定すると、このデバイスの全ての検査ポイントの基本データに一括して条件データが対応付けられるので、検査データの作成を容易に行うことができる。
このような条件データの設定は、ユーザの手入力により行うようにしてもよい。また、記憶部７２に予めデバイス毎の条件データを登録しておき、この中から基板１０上に搭載されるデバイスの条件データを設定するようにしてもよい。

［検査実行条件設定］
全ての検査ポイントの条件データの設定が終了すると、ユーザは、作成した検査データの印刷検査またはマスク検査を、連続生産中にどのような条件で実行するかを決定する（ステップＳ８０５）。この条件としては、例えば間引きして行う、スクリーンマスク３０の清掃後に行う等が挙げられる。

［検査試行］
ここまでのステップで検査データの作成は完了するが、この検査データが正しく作成されたか否かを確認するために、実際にスクリーン印刷機２で印刷を行った場合の印刷状態のばらつきを検査データに反映させて適切なデータに修正する目的で、作成した検査データによる検査の試行を行う（ステップＳ８０６）。
この試行により、検査データが正しく作成されていないことが判明した場合（ステップＳ８０７：ＮＯ）、ユーザは、その検査データを修正する（ステップＳ８０８）。ここで、条件データを修正する場合、条件データはデバイス単位で設定されているので、任意の条件データを修正すると、この任意の条件データと対応付けられているデバイスの全ての検査ポイントの条件データが一括して修正されることになる。したがって、本実施の形態によれば、検査ポイント毎ではなく、デバイス毎に条件データの修正を行うことができるので、検査データの修正を容易に行うことも可能となる。
この試行により作成した検査データが正しく作成されたことが確認されると（ステップＳ８０７：ＹＥＳ）、検査データの作成は終了する。

上述したように、本実施の形態によれば、各検査ポイントの基本データがデバイス毎に対応付けられており、条件データがデバイス毎に対応付けられるので、条件データの設定や修正をデバイス単位で一括して行うことができる。したがって、検査データの作成を容易に行うことができる。

上述したような検査データの作成方法は、本実施の形態のようにスクリーン印刷機２に内蔵した形態のみならず、スクリーン印刷機とは独立した装置、実装ライン１全体を制御する装置、マウンター３，４、リフロー炉５および基板搬送コンベア６のような実装ライン１を構成するスクリーン印刷機２以外の装置に適用することが可能である。

基板検査のデータ作成における基礎データ取得のために実施される印刷された基準となる基板１０の撮像や、マスク検査の検査データの作成における基礎データ取得のために実施されるスクリーンマスク３０の撮像は、検査工程を実装したスクリーン印刷機２や、印刷装置とは別の独立した印刷検査装置により行うようにしてもよい。この場合、印刷後の印刷検査のように、ステージ２５に基準となる基板１０を載置固定し、基板認識カメラ５０または印刷検査カメラ６０で基板上のハンダパターンを撮像することにより可能となる。また、スクリーン印刷機２や印刷装置とは独立した別の印刷検査装置にスクリーンマスク３０を設置し、印刷検査装置に設けたマスク認識カメラ８０でスクリーンマスク３０を撮像する。これらにより得られる撮像データは、スクリーン印刷機２や印刷検査装置の制御装置７０の記憶部７２に記憶され、制御装置７０により図８のステップＳ８０１〜Ｓ８０５およびＳ８１１が実施される。

なお、マスクの作成に用いるデータからのデータ変換等により基板１０やスクリーンマスク３０上の検査ポイントの基本データおよび条件データの設定をする場合、上記ステップＳ８０１〜Ｓ８０５は、スクリーン印刷機２や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立したコンピュータなどの情報処理装置で実施するようにしてもよい。この場合、情報処理装置は、上述した制御装置７０の記憶部７２、画像処理部７３、表示部７６、対応付け作成部７８および制御部７９と同等の構成を少なくとも有し、マスク作成に用いるデータに基づいて、基板１０やスクリーンマスク３０上の各検査ポイントの基本データと条件データとを設定する。これにより、スクリーン印刷機２や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立した情報処理装置により検査ポイントの基本データと条件データの設定が可能となる。

撮像データを利用して基板１０やスクリーンマスク３０の検査ポイントの基本データおよび条件データの設定をする場合も、スクリーン印刷機２や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、上述した情報処理装置で実施するようにしてもよい。この場合、スクリーン印刷機２あるいは印刷装置とは別の独立した印刷検査装置からＬＡＮ等の通信回線により撮像データを情報処理装置に送信する、あるいは、スクリーン印刷機２や印刷検査装置とは独立した撮像装置で標準となる印刷基板１０やスクリーンマスク３０を撮像し、この撮像データを情報処理装置に送信する。すると、情報処理装置は、受信した撮像データに基づいて、基板１０やスクリーンマスク３０上の各検査ポイントの基本データと条件データとを設定する。これにより、撮像データを利用する場合であっても、スクリーン印刷機２や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置のみならず、これらとは別の独立した情報処理装置により検査ポイントの基本データと条件データの設定が可能となる。

上述した情報処理装置によりステップＳ８０１〜Ｓ８０５を実施して得られる検査データは、相変化型光ディスク、磁気テープ、光磁気ディスク、磁気ディスク、フラッシュメモリ等の記憶媒体やＬＡＮ等の通信回線などにより、スクリーン印刷機２に取り込まれ、制御装置７０の記憶部７２に記憶される。

また、図８のステップＳ８０６〜Ｓ８０８は、スクリーン印刷機２または印刷装置とは別の独立した印刷検査装置において実施される。すなわち、スクリーン印刷機２または印刷検査装置に備えられている表示装置に検査試行結果を表示し、スクリーン印刷機２または印刷検査装置に備えられているキーボードやマウス等の公知の入力装置を介してユーザにより検査データが修正されるか、検査試行結果に基づき記憶部７２に予め記憶されたプログラムにより自動的に検査データの修正が実施される。最終的に修正が終了した検査データは、記憶部７２に登録され、図４や図７に示す印刷工程および広義の印刷検査が実施される。

さらに、検査工程を実施するスクリーン印刷機２、印刷装置とは別の独立した印刷検査装置、実装装置およびリフロー炉のうち複数を制御する情報処理装置で図８のステップＳ８０１〜Ｓ８０５を実施し、その情報処理装置がスクリーン印刷機２や印刷装置とは別の独立した印刷検査装置も制御する場合、図８のステップＳ８０６〜Ｓ８０８や、図４や図７に示す印刷工程および広義の印刷検査も、その情報処理装置で実施するようにしてもよい。

本実施の形態にかかるスクリーン印刷機を備えた電子回路基板の実装ラインの構成を示す模式図である。 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の要部構成を示す斜視図である。 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機のハードウェア構成を示すブロック図である。 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の印刷検査を伴う各動作を示すフローチャートである。 印刷検査カメラの視野サイズを示す模式図である。 基板の検査ポイントを説明する図である。 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機のマスク検査を伴う各動作を示すフローチャートである。 本実施の形態にかかるスクリーン印刷機の検査データの作成動作を示すフローチャートである。 （ａ）基本データの一例を示す模式図、（ｂ）デバイスデータの一例を示す模式図、（ｃ）デバイス毎の関連づけがなされた基本データの一例を示す模式図である。

符号の説明

１…実装ライン、２…スクリーン印刷機、３，４…マウンター、５…リフロー炉、６…基板搬送コンベア、１０…基板、１１ａ〜１１ｆ…視野、２０…テーブル、２１…基台、２２…ベース、２３…第１中間プレート、２４…第２中間プレート、２５…ステージ、２６…第１Ｙ軸モータ、２７…第１Ｚ軸モータ、２８…Ｘ軸モータ、２９…θ軸モータ、３０…スクリーンマスク、３１…印刷孔、４０…スキージ装置、４１…フレーム部材、４２…ブランケット部材、４３…第１スキージヘッド、４４…第２スキージヘッド、４６…第２Ｙ軸モータ、４７…第２Ｚ軸モータ、４８…第３Ｚ軸モータ、５０…基板認識カメラ、６０…印刷検査カメラ、７０…制御装置、７１…モータ駆動部、７２…記憶部、７３…画像処理部、７４…Ｉ／Ｏ処理部、７５…検査判定部、７６…表示部、７７…Ｉ／Ｆ、７８…対応付け作成部、７９…制御部、８０…マスク認識カメラ、８１…アクチュエータ、８２…センサ、８３…表示装置、９０ａ〜９０ｇ…デバイス。

Claims (9)

1. スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成方法において、
   基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、
   前記基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、
   前記検査ポイント毎の基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付けて記憶する第３のステップと、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと
   を備えることを特徴とするデータ作成方法。
2. 所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクの検査に用いるデータの作成方法において、
   スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、
   前記基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、
   前記検査ポイント毎の基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する前記基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける第３のステップと、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと
   を備えることを特徴とするデータ作成方法。
3. スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板の検査に用いるデータの作成装置において、
   基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、
   この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と
   を備えることを特徴とするデータ作成装置。
4. 所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクの検査に用いるデータの作成装置おいて、
   スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する前記基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、
   この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と
   を備えることを特徴とするデータ作成装置。
5. スクリーン印刷機により所定の印刷材料がスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査方法において、
   基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、
   前記基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、
   前記検査ポイント毎の基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付けて記憶する第３のステップと、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと、
   任意のデバイスと対応付けられた基本データと前記任意のデバイスに設定された前記条件データとに基づいて前記基板の印刷状態を検査する第５のステップと
   を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査方法。
6. 所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査方法において、
   スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データを取得する第１のステップと、
   前記基板上に搭載されるデバイスに関する情報を取得する第２のステップと、
   前記検査ポイント毎の基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する前記基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける第３のステップと、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する第４のステップと、
   任意のデバイスと対応付けられた基本データと前記任意のデバイスに設定された前記条件データとに基づいて前記前記スクリーンマスクの状態を検査する第５のステップと
   を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査方法。
7. スクリーン印刷機により所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して印刷された基板を検査するスクリーン印刷検査装置において、
   基板上に設定された検査ポイントの印刷パターンに関する基本データとこの検査ポイントに搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、
   この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と、
   任意のデバイスと対応付けられた基本データと前記任意のデバイスに設定された前記条件データとに基づいて前記基板の印刷状態を検査する検査判定手段と
   を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査装置。
8. 所定の印刷材料をスクリーンマスクに穿設された開口部を介して基板に印刷するスクリーン印刷機の前記スクリーンマスクを検査するスクリーン印刷検査装置おいて、
   スクリーンマスク上に設定された検査ポイントの開口パターンに関する基本データと、この検査ポイントの開口パターンに対応する前記基板上の箇所に搭載されるデバイスとを対応付ける対応付け作成手段と、
   この対応付け作成手段により対応付けられた基本データとデバイスとを記憶する記憶手段と、
   検査ポイントの検査条件に関する条件データをデバイス毎に設定する設定手段と、
   任意のデバイスと対応付けられた基本データと前記任意のデバイスに設定された前記条件データとに基づいて前記スクリーンマスクの状態を検査する検査判定手段と
   を備えることを特徴とするスクリーン印刷検査装置。
9. 請求項７または８に記載されたスクリーン印刷検査装置を備えたことを特徴とするスクリーン印刷機。
   

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