JP2005197275A - 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 - Google Patents
半導体製造装置および半導体装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 プラズマCVD装置10のプラズマ処理室11を構成する高純度アルミナ等のセラミックス製の壁12の内壁面に発生した損傷部分を、内壁面の平均粗面度が1.5μm以上、2.8μm以下、より好ましくは2.0μm以上、2.5μm以下になるまで加工処理することで、ウエハ処理に際して上記損傷部分に基づく異物発生を十分に抑えることができるプラズマ処理室11の再生処理が行える。
【選択図】 図1
Description
60マイクロインチ(1.524μm)以上、110マイクロインチ(2.794μm)以内、より好ましくは、粗面度を80マイクロインチ(2.032μm)以上、100マイクロインチ(2.54μm)以内になるように加工処理を施して再生処理を行う。
11 プラズマ処理室
12 壁
13 コイル
14 高周波電源
15 ガス供給口
16 排気口
17 ウエハ支持部材
17a サセプタ
18 高周波電源
21 頭頂部
22 底部
23 センター
24 ミドル
25 ボトム
D ドーム
W ウエハ
Claims (9)
- セラミックス壁内面を再生処理して繰り返し使用するプラズマ処理室を有し、プラズマ処理室内に設けたウエハ支持部材上にウエハを支持した状態で、前記プラズマ処理室内のプラズマにより前記ウエハに処理を行う半導体製造装置であって、
再生処理後の前記セラミックス壁内面の平均粗面度が、1.5μm以上、2.8μm以下であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、
前記セラミックス壁内面の平均粗面度が2.0μm以上、2.5μm以下であることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、
前記プラズマ処理室は、セラミックス壁構成材として99%以上の高純度アルミナが使用されていることを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、
前記セラミックス壁内面の再生処理では、セラミックス壁構成材が前記プラズマ処理室の使用により前記セラミックス壁構成材とは異なる物質に異化した損傷部分の修理を行うことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、
前記セラミックス壁内面の再生処理では、セラミックス壁構成材のアルミナとクリーニングガスとの反応に基づき、前記アルミナとは異なる物質に異化した損傷部分の修理を行うことを特徴とする半導体製造装置。 - 請求項1記載の半導体製造装置において、
前記半導体製造装置は、300mm径のウエハ処理用のプラズマCVD装置であることを特徴とする半導体製造装置。 - セラミックス壁内面を再生処理して繰り返し使用するプラズマ処理室内で、前記プラズマ処理室内のプラズマによりウエハの処理を行う工程を有する半導体装置の製造方法であって、
再生処理後の前記セラミックス壁内面の平均粗面度が1.5μm以上、2.8μm以下に設定されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記セラミックス壁内面の平均粗面度が2.0μm以上、2.5μm以下に設定されていることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項7記載の半導体装置の製造方法において、
前記プラズマ処理室は、99%以上の高純度アルミナを用いた前記セラミックス壁で形成され、
前記プラズマ処理室では、300mm径の前記ウエハに、プラズマCVD法により膜形成処理が行われることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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