JP2005183414A - 薄膜デバイスの製造方法、薄膜デバイス、液晶表示装置およびエレクトロルミネッセンス表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1基板上に薄膜デバイス層121を形成した後に薄膜デバイス層121上に第1接着層(図示せず)を介して第2基板(図示せず)を接着する工程と、第1基板を完全に分離または除去する工程と、薄膜デバイス層121の第1基板が形成されていた側を、第2接着層126を介して第3基板127に接着する工程と、第2基板を分離または除去する工程とを備えた薄膜デバイスの製造方法において、第3基板127の支持体129の線膨張係数を20ppm/K以下とすることで、耐熱温度の向上を図る。
【選択図】図1
Description
上記工程により作製した薄膜デバイスは、TFT基板の線膨張係数が低いため、温度を上げてもクラック等は発生しない。
Claims (6)
- 第1基板上に薄膜デバイス層を形成した後に前記薄膜デバイス層上に第1接着層を介してもしくは被覆層と第1接着層とを介して第2基板を接着する工程と、
化学処理および機械的研磨処理および紫外線照射処理の少なくとも一つの処理を含む工程により前記第1基板を完全または部分的に分離または除去する工程と、
前記薄膜デバイス層の第1基板が形成されていた側または部分的に残した第1基板を、第2接着層を介して第3基板に接着する工程と、
前記第2基板を分離または除去する工程と
を備えた薄膜デバイスの製造方法において、
前記第3基板の線膨張係数が20ppm/K以下である
ことを特徴とする薄膜デバイスの製造方法。 - 前記第3基板は、
偏光子と、
前記偏光子を支える支持体と
から構成されていることを特徴とする請求項1記載の薄膜デバイスの製造方法。 - 前記第3基板の支持体は複屈折を有し、
前記偏光子は前記薄膜デバイス層側に設けられ、
前記薄膜デバイス層の外側に前記偏光子を介して前記支持体が貼り付けられている
ことを特徴とする請求項2記載の薄膜デバイスの製造方法。 - 第1基板上に薄膜デバイス層を形成した後に前記薄膜デバイス層上に第1接着層を介してもしくは被覆層と第1接着層とを介して第2基板を接着する工程と、
化学処理および機械的研磨処理および紫外線照射処理の少なくとも一つの処理を含む工程により前記第1基板を完全または部分的に分離または除去する工程と、
前記薄膜デバイス層の第1基板が形成されていた側または部分的に残した第1基板を、第2接着層を介して第3基板に接着する工程と、
前記第2基板を分離または除去する工程と
により製造される薄膜デバイスにおいて、
前記第3基板の線膨張係数が20ppm/K以下である
ことを特徴とする薄膜デバイス。 - 第1基板上に薄膜デバイス層を形成した後に前記薄膜デバイス層上に第1接着層を介してもしくは被覆層と第1接着層とを介して第2基板を接着する工程と、
化学処理および機械的研磨処理および紫外線照射処理の少なくとも一つの処理を含む工程により前記第1基板を完全または部分的に分離または除去する工程と、
前記薄膜デバイス層の第1基板が形成されていた側または部分的に残した第1基板を、第2接着層を介して第3基板に接着する工程と、
前記第2基板を分離または除去する工程と
により製造される薄膜デバイスを用いた液晶表示装置において、
前記第3基板の線膨張係数が20ppm/K以下である
ことを特徴とする液晶表示装置。 - 第1基板上に薄膜デバイス層を形成した後に前記薄膜デバイス層上に第1接着層を介してもしくは被覆層と第1接着層とを介して第2基板を接着する工程と、
化学処理および機械的研磨処理および紫外線照射処理の少なくとも一つの処理を含む工程により前記第1基板を完全または部分的に分離または除去する工程と、
前記薄膜デバイス層の第1基板が形成されていた側または部分的に残した第1基板を、第2接着層を介して第3基板に接着する工程と、
前記第2基板を分離または除去する工程と
により製造される薄膜デバイスを用いたエレクトロルミネッセンス表示装置において、
前記第3基板の線膨張係数が20ppm/K以下である
ことを特徴とするエレクトロルミネッセンス表示装置。
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