JP2005183013A - 表示素子及び表示装置ならびに表示素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 正孔および電子の注入バランスが良好な、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置ならびにその製造方法を提供する。
【解決手段】 OEL素子11は、ITO等から構成される陽極層15と、電界発光する発光層21を含む有機層16と、Ba等から構成される電子注入層17と、Al等から構成されるバッファー層18と、インジウム亜鉛酸化物等から構成される透明陰極層19と、が順に積層されて構成されている。バッファー層は、透明陰極層19の成膜時の素子ダメージを緩衝する。
【選択図】 図1
【解決手段】 OEL素子11は、ITO等から構成される陽極層15と、電界発光する発光層21を含む有機層16と、Ba等から構成される電子注入層17と、Al等から構成されるバッファー層18と、インジウム亜鉛酸化物等から構成される透明陰極層19と、が順に積層されて構成されている。バッファー層は、透明陰極層19の成膜時の素子ダメージを緩衝する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、電界発光を利用する表示素子及び表示装置ならびに表示素子の製造方法に関する。
電界発光を利用したエレクトロルミネッセンス(EL)素子は、自己発光のため視認性が高く、かつ完全固体素子であるため、耐衝撃性に優れるなどの特徴を有することから、各種表示装置における発光素子としての利用が注目されている。
EL素子には、発光材料として無機化合物を用いる無機EL素子と、有機化合物を用いる有機EL素子とがある。このうち、有機EL(Organic EL;OEL)素子は、印加電圧を大幅に低くし得るので小型化が容易であるため、次世代の表示素子としてその実用化研究が積極的になされている。
OEL素子の構成は、陽極/発光層/陰極の積層構造を基本とし、現在では、ガラス板等の透明な基板上に、陽極と、発光層と、陰極と、を積層する構成が標準的に採用されている。一般的なEL素子は、発光層で発光された光は基板側から出射され、ボトムエミッション構造といわれている。
対してトップエミッション構造と呼ばれる、発光層が形成された基板と逆側から発光層の光を出射するEL素子構造が提案されている(特許文献1参照)。
特開2002−108285号公報
トップエミッション構造を有する従来のOEL素子の概略図を図15に示す。図15に示すように、トップエミッション構造は、基板112上に、陰極113と、発光層114と、正孔注入層115と、陽極116と、が順に積層されて構成される。
このようなOEL素子は、例えば、アクティブマトリクス型表示装置の単位素子を構成し、基板112上には、薄膜トランジスタ(TFT)等の図示しないスイッチング素子が設けられている。
陰極113は、反射性の高い画素電極として機能している。
発光層114は、電界発光を生ずる有機材料から構成される。
正孔注入層115は、発光層114に正孔を注入する。
陽極116は、透明な導電性材料から構成される。
発光層114は、電界発光を生ずる有機材料から構成される。
正孔注入層115は、発光層114に正孔を注入する。
陽極116は、透明な導電性材料から構成される。
上記トップエミッション構造では、発光層114に注入された正孔と電子との再結合により、電界発光が生じる。トップエミッション構造においては、ボトムエミッション構造と比較して、発光層114の光が他の各層と比べて比較的厚い基板112を透過する必要がないので基板112内での光の減衰がないために出射効率がよい。
ところで、上記トップエミッション構造を実現するには、最上部の陽極116を透明導電膜から構成する必要がある。陽極116を構成する低抵抗かつ高透過率の導電性材料としては、一般的にITO(インジウム錫酸化物)等が用いられる。そして、陰極113は、光の利用効率のために発光層114からの光を陽極116側に反射できる反射性の金属からなっている。
このような陰極113は、電子注入性を高めるために仕事関数の低い材料により構成されるが、低仕事関数の材料は酸化されやすく後工程で成膜される材料に含まれる酸素や水分によって酸化してしまい、電子注入性を著しく阻害させてしまう恐れがあった。このため、基板上に陽極、発光層を順次成膜して発光層上に透明陰極を形成することが考えられる。透明陰極の材料としてはITOやインジウム亜鉛酸化物が考えられる。透明陰極を作製するには、いろいろな方法があるが、量産性などを考慮すると、スパッタ成膜法が最も望ましい。しかし、有機材料から構成される発光層が設けられた基板上に電子注入層を兼ねた透明陰極を成膜することから、透明陰極の作製には、以下のような問題がある。
まず、有機材料は一般的に熱等のダメージにきわめて弱く、このため、透明陰極を有機材料からなる発光層上に作製する際には、100℃以下程度の低温で処理することが好ましい。
しかし、ITO膜は、作製時の基板温度が高いほど低抵抗かつ高透過率のものが得られやすい特性を持っており、通常、基板温度を200℃程度にして作製される。この点、インジウム亜鉛酸化物は、低抵抗かつ高透過率であるとともに、室温での成膜が可能であり、陰極の形成材料の有力候補として挙げられる。
よって、透明陰極としてインジウム亜鉛酸化物膜を採用すれば、処理温度の問題はクリアされる。しかし、ITO膜およびインジウム亜鉛酸化物膜のいずれを採用した場合においても、スパッタ成膜に伴う以下の問題は変わらず発生する。
すなわち、低抵抗かつ高透過率の膜とするため、通常スパッタリングの際に酸素ガスが導入されるが、この場合、基板上の、特に、有機発光層に酸素陰イオンによる大きなダメージが生じやすい。このようなダメージの低減は、スパッタリングのパワーの低下により可能であるが、成膜レート、すなわち生産性を低下させることとなり、好ましくない。
このように、トップエミッション用の透明陰極を構成する導体膜の作製の際、有機発光層の劣化(物理ダメージ、熱ダメージ、酸化等)が生じやすく、この構造を有する表示素子および表示装置を、高い表示品質および高い生産性で作製しづらいという問題があった。
上記問題を解決するため、本発明は、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置ならびに表示素子の製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、正孔および電子の注入バランスが良好な、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置を、生産性を落とすことなく製造可能な製造方法を提供することを目的とする。
また、本発明は、正孔および電子の注入バランスが良好な、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置を、生産性を落とすことなく製造可能な製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の第1の観点に係る表示素子は、
基板上に設けられた陽極と、
前記陽極上に設けられ、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層と、
前記有機層上に設けられた電子注入層と、
前記電子注入層上に設けられたバッファー層と、
前記バッファー層上に設けられた陰極と、
を備える。
基板上に設けられた陽極と、
前記陽極上に設けられ、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層と、
前記有機層上に設けられた電子注入層と、
前記電子注入層上に設けられたバッファー層と、
前記バッファー層上に設けられた陰極と、
を備える。
上記構成において、前記バッファー層は、特に、前記陰極作製の際のダメージを緩衝する機能を有する。
上記構成において、前記電子注入層と、前記バッファー層と、前記陰極と、は、透明材料から構成されてもよく、
前記発光層からの発光層は前記基板の反対側から取り出されてもよい。
前記発光層からの発光層は前記基板の反対側から取り出されてもよい。
上記構成において、前記バッファー層は、例えば、アルミニウム、クロムおよびタングステンのいずれか1種あるいはその組み合わせからから構成される。
上記構成において、前記バッファー層はアルミニウムから構成され、例えば、25〜150Åの厚みを有する。
上記構成の表示素子は、前記バッファー層を複数備えてもよい。
上記構成において、前記バッファー層には、アニール処理が施されていることが好ましい。
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係る表示装置は、
上記第1の観点に係る表示素子を備える。
上記第1の観点に係る表示素子を備える。
上記目的を達成するため、本発明の第3の観点に係る表示素子の製造方法は、
基板上に陽極を形成する工程と、
前記陽極上に、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層を形成する工程と、
前記有機層上に電子注入層を形成する工程と、
前記電子注入層上にバッファー層を形成する工程と、
前記バッファー層上に陰極を形成する工程と、
を備える。
基板上に陽極を形成する工程と、
前記陽極上に、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層を形成する工程と、
前記有機層上に電子注入層を形成する工程と、
前記電子注入層上にバッファー層を形成する工程と、
前記バッファー層上に陰極を形成する工程と、
を備える。
上記方法は、前記バッファー層をアニール処理する工程をさらに備えてもよい。
本発明によれば、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置ならびに表示素子の製造方法が提供される。
また、本発明によれば、正孔および電子の注入バランスが良好な、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置を、生産性を落とすことなく製造可能な製造方法が提供される。
また、本発明によれば、正孔および電子の注入バランスが良好な、高い表示品質を有する表示素子及び表示装置を、生産性を落とすことなく製造可能な製造方法が提供される。
以下、本発明の実施の形態に係る表示素子について、以下図面を参照して詳細に説明する。本実施の形態の表示素子は、電界発光を利用する、有機化合物を用いて構成された有機エレクトロルミネッセンス(Organic ElectroLuminescence;OEL)素子を構成する。
図1に、本実施の形態に係るOEL素子11の構成を示す。本実施の形態のOEL素子11は、基板12の反対側から発光光を取り出す、上面発光型トップエミッション構造を有する。
図1に示すように、OEL素子11は、基板12上に、反射層13と、層間絶縁層14と、陽極層15と、有機層16と、電子注入層17と、バッファー層18と、透明陰極層19と、が順に積層されて構成されている。
基板12は、ガラス基板、シリコン基板等の基板から構成される。基板12上には、アクティブマトリクス駆動用の図示しない薄膜トランジスタ(TFT)等のスイッチング素子が設けられ、スイッチング素子は、図示しない制御回路に接続され、そのスイッチング動作によって発光動作が制御される。
反射層13は、反射率が高く、かつ、透明性の高い金属から構成される。反射層13は、有機層16から発光される光のうち、基板12側に出射された光を反射し、発光される光の利用効率を高める。なお、反射層13を設けない構成も可能である。
層間絶縁層14は、酸化シリコン、窒化シリコン等の無機材料またはポリイミド等の有機材料からなる、絶縁性および透明性の高い物質から構成される。また、後述する有機層16の水分による劣化を防止して発光輝度を維持するため、吸水率の低い材料から構成されることが望ましい。
陽極層15は、後述する発光層21への正孔注入電極(アノード電極)として機能する。陽極層15は、仕事関数が大きく透過率の高い導電性材料から構成される。好ましくは、仕事関数の大きい(例えば、4.0eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物又はこれらの混合物を使用することができる。具体的な材料としては、例えば、In2O3−SnO2等のインジウム錫酸化物(ITO)、In2O3−ZnO等のインジウム亜鉛酸化物、ヨウ化銅、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、金、白金、パラジウム等の一種を単独で、又は二種以上を組み合わせたものが挙げられる。
有機層16は、陽極層15上に設けられた正孔輸送層20と、さらにその上に設けられた発光層21と、から構成される。なお、有機層16は、少なくとも発光層21を含めばよく、発光層21のみからなる層であってもよい。
正孔輸送層20は、陽極層15より注入された正孔を発光層21に伝達する。正孔輸送層20を、陽極層15と発光層21との間に介在させることにより、より低い電界で多くの正孔を発光層21に注入することができる。
正孔輸送層20としては、一般的に用いられている材料を使用することができ、例えば、PEDOT/PSS(ポリ(3,4)エチレンジオキシチオフェン/ポリスチレンスルフォネート)、MTDATA(4,4’,4”−トリス(3−メチルフェニルフェニルアミノ)トリフェニルアミン)等を用いることができるが、これに限定されない。また、正孔輸送層20は、単層でなく各種材料の多層構造であってもよい。
発光層21は、電子輸送層も兼ね、電界印加時に、陽極層15側から正孔を、透明陰極層19側から電子を受け取り、注入されたキャリア(電子と正孔)を電界の力で移動させ、その内部で電子と正孔とは再結合して発光する。
発光層21には、一般的に用いられる有機発光材料を用いることができ、例えば、ポリフルオレン誘導体やパラフェニレンビニレン等を用いることができるが、これに限定されない。
なお、発光層21に必要な電子輸送特性を有していない材料(例えば、Alq(8−キノリノールアルミニウム錯体))を用いた場合には、発光層21と電子輸送層とを別の材料から構成するようにしてもよい。
なお、発光層21に必要な電子輸送特性を有していない材料(例えば、Alq(8−キノリノールアルミニウム錯体))を用いた場合には、発光層21と電子輸送層とを別の材料から構成するようにしてもよい。
電子注入層17は、電子を発光層21に注入する。電子注入層17には、仕事関数の低い(例えば、3.8eV以下の)金属、例えば、マグネシウム(Mg)、カルシウム(Ca)、バリウム(Ba)、ストロンチウム(Sr)、リチウム(Li)、イッテルビウム(Yb)、ユーロピウム(Eu)、イットリウム(Y)、スカンジウム(Sc)等を用いることができるが、これに限定されない。
また、上記金属と仕事関数の高い(例えば、4.0eV以上の)金属との合金を用いることができ、このような合金としては、例えば、アルミニウム(Al)−リチウム、マグネシウム(Mg)−アルミニウム、インジウム−リチウム、鉛(Pb)−リチウム、ビスマス(Bi)−リチウム、スズ−リチウム、アルミニウム−カルシウム、アルミニウム−バリウム、アルミニウム−スカンジウムの合金を挙げることができる。
さらに、電子注入層17の構成材料として、アルカリ土類金属酸化物の挙げることができ、例えば、酸化バリウム(BaO)、酸化ストロンチウム(SrO)、酸化銅(CuO)及びこれらを混合したものが挙げられる。
さらにまた、電子注入層17は、上記金属、合金あるいはアルカリ土類金属酸化物と電子伝達性の化合物との混合層であってもよい。
バッファー層18は、透過率が高く、抵抗率の低い金属材料であって、電子注入層17を構成する無機材料との密着性が高い材料から構成される。バッファー層18に使用可能な材料としては、例えば、アルミニウム、クロム(Cr)、タングステン(W)等を単独で、あるいは組み合わせて用いたものが挙げられるが、これに限らず、電子注入層17や透明陰極層19との密着性を考慮し、これらの使用材料に応じて適宜選択することができる。
バッファー層18は、後述するように、その上に形成される後述する透明陰極層19の成膜の際の、電子注入層17や有機層16のダメージを緩衝し、その劣化を防止、抑制する機能を有する。
したがって、特に、酸素を含有するターゲットや酸素ガスを添加して用いるスパッタ成膜により、透明陰極層19を形成する場合には、バッファー層18は、酸化されにくい材料から構成されることが好ましい。
したがって、特に、酸素を含有するターゲットや酸素ガスを添加して用いるスパッタ成膜により、透明陰極層19を形成する場合には、バッファー層18は、酸化されにくい材料から構成されることが好ましい。
バッファー層18は、後述する透明陰極層19と電子注入層17との間に設けられ、したがって、発光層21への電子注入を妨げない薄さで構成することが好ましい。また、透明性も必要とされるため、所望の透過率が達成される薄さとされる。一方で、バッファー層18は、透明陰極層19の形成の際のダメージ緩衝層として機能するため、特に、スパッタリングの際の活性粒子のエネルギーを十分に緩衝可能な厚さが必要とされる。このような観点から、バッファー層18の厚みは、例えば、アルミニウムから構成した場合には、例えば、25〜150Åに設定される。
透明陰極層19は、発光層21への電子注入電極(カソード電極)として機能する。透明陰極層19は、仕事関数が大きく透過率の高い導電性材料から構成される。好ましくは、仕事関数の大きい(例えば、4.0eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物又はこれらの混合物を使用することができる。具体的な材料としては、例えば、In2O3−SnO2等のインジウム錫酸化物(ITO)、In2O3−ZnO等のインジウム亜鉛酸化物、ヨウ化銅、酸化インジウム、酸化スズ、酸化亜鉛、金、白金、パラジウム等の一種を単独で、又は二種以上を組み合わせて使用することができ、特に、室温でスパッタ成膜可能なインジウム亜鉛酸化物が好適に使用可能である。
透明陰極層19は、生産性等の観点から、スパッタリングを用いて成膜することが最も望ましいと考えられる。バッファー層18は、他の成膜方法を用いる場合にも有効に機能するが、スパッタ成膜において最も効果的に機能する。
スパッタ成膜は、一般的に、効率向上、膜質向上等のため、酸素ガスが添加されて行われ、このため、成膜過程では酸素陰イオンが発生する。また、特に、ITO膜やインジウム亜鉛酸化物膜の酸素含有膜を成膜する場合には、ITOターゲット等の酸素含有ターゲットからも酸素陰イオンが発生する。バッファー層18は、発生する酸素陰イオンによる弊害を効果的に抑制、防止する。
すなわち、バッファー層18を電子注入層17上に設けた状態で透明陰極層19のスパッタ成膜を行うことにより、成膜時に発生する酸素陰イオンによる電子注入層17等の各層の物理ダメージはバッファー層18によって緩衝、抑制される。
また、電子注入層17においては、その表面はバッファー層18によって覆われているためその酸化が抑制され、従って、酸化による電子注入性の低下は抑制される。よって、発光層21への正孔と電子の注入バランスを、所望の程度に実現可能である。
一方、有機層16においても、酸素陰イオンの衝突によるダメージが抑制されることから、陽極層15からの正孔注入性の低下は抑制される。このように、正孔と電子のいずれの注入バランスは、所望の高い程度で実現される。
さらに、上述のように、基板12上の各層へのダメージが低減されることから、ダメージ低減のために成膜レートを低下させるといったことを行う必要はなく、生産性を落とすことなく製造することが可能である。
上記効果は、透明陰極層19を、室温で成膜可能なインジウム亜鉛酸化物から構成する場合に特に有効である。すなわち、この場合、酸素陰イオンによる弊害を抑制しつつ、さらに、有機層16の熱ダメージを防止しつつ、インジウム亜鉛酸化物膜(透明陰極層19)をスパッタ成膜することができる。
なお、上記のようなバッファー層18の効果は、透明陰極層19をスパッタ成膜する際に特に有効であるが、これに限らず、他の成膜法、例えば、蒸着、CVD、塗布等を用いる場合にも得られることは勿論である。
以下、上記構成のOEL素子11の製造方法について図面を参照して説明する。図2に、本実施の形態に係る製造フローを示す。以下に示す例は、一例であり、同様の結果物が得られれば、これに限られない。
まず、画素トランジスタからなるスイッチング素子が形成された基板12上に、スパッタリング等のPVD(Physical Vapor Deposition)法等を用いて、反射層13を形成する。反射層13は、反射率、生産性等を考慮して、例えば、2000〜5000Åの厚さで形成される。
さらに、反射層13の上に、PVD法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法等を用いて、例えば、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜から構成される層間絶縁層14を形成する。層間絶縁層14は、例えば、2000〜5000Åの厚さで形成される。
さらに、反射層13の上に、PVD法やCVD(Chemical Vapor Deposition)法等を用いて、例えば、シリコン酸化膜やシリコン窒化膜から構成される層間絶縁層14を形成する。層間絶縁層14は、例えば、2000〜5000Åの厚さで形成される。
上記のように層間絶縁層14が形成された基板12の上に、スパッタリング等を用いて、ITO等から構成される陽極層15を所定のパターンで形成する(ステップS11)。陽極層15は、例えば、500〜2000Åの厚さで形成され、層間絶縁層14に形成されたコンタクトホールを介してスイッチング素子と接続される。
次いで、陽極層15の上に、正孔輸送層20および発光層21を順に形成する(ステップS12、ステップS13)。成膜方法は、低分子材料については蒸着マスクを用いた蒸着法などを用い、高分子材料についてはインクジェット法などを用いて適宜所望の画素領域毎に正孔輸送層20又は発光層21をパターニングすることができる。有機層16の厚さは、使用する材料によって適宜設定される。
次いで、有機層16の上に、例えば、バリウムから構成される電子注入層17を蒸着法などにより形成する(ステップS14)。電子注入層17は、電子注入性および透明性を考慮し、例えば、5〜30Åの厚さで形成されることになるが、複数の画素領域に跨るように成膜されていてもよい。
次いで、電子注入層17の上に、例えば、アルミニウムから構成されるバッファー層18を形成する(ステップS15)。バッファー層18の形成方法としては、生産性および汎用性を考慮して、スパッタリングが挙げられる。バッファー層18の厚さは、使用する材料によって異なるが、アルミニウムの場合、透明性等も考慮し、例えば、25〜150Åとされる。バッファー層18は、電子注入層17全面を連続して覆うように形成される。
ここで、バッファー層18にアニール処理を施してもよい。アニール処理を施すことにより、以下の実施例に示すように、表示品質の一層の向上等が図られる。
次いで、バッファー層18の上に、インジウム亜鉛酸化物等から構成される透明陰極層19を形成する(ステップS16)。透明陰極層19は、生産性等を考慮して、室温下、酸素導入下のスパッタリングにより形成することができる。透明陰極層19の厚さは、使用する材料、透過率、シート抵抗値、酸素導入量等に応じて設定されるが、インジウム亜鉛酸化物を用いた場合には、例えば、500〜2000Åとすることができる。また、インジウム亜鉛酸化物を用いた場合には、基板12の温度を室温程度として処理可能であり、このため、有機層16の熱ダメージや、冷却装置等の設置による製造コストの増大は回避される。
なお、スパッタ成膜の際には、膜質向上等のため、一般的に酸素ガスを添加するが、酸素陰イオンによる有機層16のダメージ等の弊害を考慮して、酸素の導入を無くすことも可能である。
透明陰極層19の形成後、一般的な封止材料で電極端子を除いて全体を覆うように封止することにより、本実施の形態のOEL素子が得られる(ステップS17)。
以上説明したように、本実施の形態に係るトップエミッション構造を有する表示素子およびその製造方法においては、電子注入層17上に、バッファー層18を介して透明陰極層19を形成する。この構成によれば、透明陰極層19の成膜、特に、スパッタ成膜の際の電子注入層17や有機層16のダメージは抑制され、これにより、正孔と電子の良好な注入バランスが実現可能である。したがって、高い表示品質を有する表示素子が実現される。また、素子ダメージを抑制しつつ成膜が可能であるので、成膜レートを落とすことなく、高い生産性での製造が可能である。
以下、本実施の形態に係る表示素子を適用した表示装置の一画素を示す。以下に示す表示装置は、アクティブスイッチング素子として薄膜トランジスタ(TFT)を備えたアクティブマトリクス型の表示装置であり、上記構成の表示素子を画素ごとに備える。
図3に本実施の形態に係る表示装置30の一画素の構成を示す。なお、図3に示す構成では、OEL素子の反射層13を省き、透明性の向上を図っている。
図3に示すように、各画素は、隣接する複数の走査線SLとデータ線DLに囲まれ、所定行の走査線SLにゲート電極が接続されるとともに所定列のデータ線DLにドレイン電極が接続された選択トランジスタ31と、ゲート電極が選択トランジスタ31に接続されるとともに電流路の一端が定電圧Vddに接続された駆動トランジスタ32と、駆動トランジスタ32のゲート電極に一端が接続されたキャパシタ33と、駆動トランジスタ32の電流路の他端に一端が接続されたOEL素子11と、で構成されている。
所定の選択期間に走査線SLの走査信号によって選択トランジスタ31が選択されると、データ線DLから出力されたデータ信号が駆動トランジスタ32のゲート電極及びキャパシタ33に印加される。キャパシタ33はデータ信号の電荷を保持するため、駆動トランジスタ32のゲート電位はほぼ一定な状態になり、駆動トランジスタ32がこのデータ信号の電圧にしたがったドレイン電流を1フレーム期間OEL素子11に流すことによりOEL素子11がデータ信号の電圧にしたがった輝度で発光し続ける。
所定の選択期間に走査線SLの走査信号によって選択トランジスタ31が選択されると、データ線DLから出力されたデータ信号が駆動トランジスタ32のゲート電極及びキャパシタ33に印加される。キャパシタ33はデータ信号の電荷を保持するため、駆動トランジスタ32のゲート電位はほぼ一定な状態になり、駆動トランジスタ32がこのデータ信号の電圧にしたがったドレイン電流を1フレーム期間OEL素子11に流すことによりOEL素子11がデータ信号の電圧にしたがった輝度で発光し続ける。
図4は、図3に示す表示装置30の1画素分の断面構造を模式的に表している。図4に示すように、表示装置30を構成する基板12上には、駆動トランジスタ32が形成されている。詳細には、駆動トランジスタ32は、基板12上に形成されたゲート電極40と、その上面に重ねられたゲート絶縁膜41と、このゲート絶縁膜41を介してゲート電極40の上方に形成されたポリシリコン膜等の半導体薄膜42と、から構成される。
半導体薄膜42には、OEL素子に供給される電流の通路となるソースS、チャネルCh及びドレインDが形成される。チャネルChはゲート電極40の上方に位置するよう設けられている。半導体薄膜42のソースSおよびドレインDは、それぞれ、ソース電極44およびドレイン電極43に電気的に接続されている。
基板12上には、上述した駆動トランジスタ32等を覆うように、ポリイミド等の塗布膜から構成される平坦化膜45が形成されている。平坦化膜45の上には、反射層13、層間絶縁層14が順次形成されている。
層間絶縁層14の上には、画素毎にITO等から構成される陽極層15が形成されている。陽極層15は、ソース電極44に電気的に接続されている。
陽極層15の上には、上記で詳述したように、有機層16(正孔輸送層20および発光層21)と、BaやLi等の低仕事関数の導電性材料から構成される電子注入層17と、Al等から構成される極薄のバッファー層18と、インジウム亜鉛酸化物等から構成される透明陰極層19と、が順に積層されている。
陽極層15の上には、上記で詳述したように、有機層16(正孔輸送層20および発光層21)と、BaやLi等の低仕事関数の導電性材料から構成される電子注入層17と、Al等から構成される極薄のバッファー層18と、インジウム亜鉛酸化物等から構成される透明陰極層19と、が順に積層されている。
透明陰極層19の上には、内部への水分や酸素の侵入を防止するための封止層46が形成されている。封止層46の材料としては、テトラフルオロエチレンと、少なくとも一種類のコモノマーを含むモノマー混合物を共重合させて得られる共重合体;共重合主鎖中に環状構造を有する合フッ素共重合体;ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリメタクリレート、ポリイミド、ポリユリア、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン、ポリジクロロジフルオロエチレン又はクロロトリフルオロエチレンとジクロロジフルオロエチレンとの共重合体;In、Sn、Pb、Au、Cu、Ag、Al、Ti、Ni等の金属;MgO、SiO、SiO2、GeO、NiO、CaO、BaO、Fe2O、Y2O3、TiO2等の金属酸化物;MgF2,LiF,AlF3,CaF2等の金属フッ化物;パーフルオロアルカン、パーフルオロアミン、パーフルオロポリエーテル等の液状フッ素化炭素;および当該液状フッ素化炭素に水分や酸素を吸着する吸着剤を分散させた組成物等が挙げられる。
また、封止層46の形成にあたっては、真空蒸着法、スピンコート法、スパッタリング法、キャスト法、MBE(分子線エピタキシー)法、クラスターイオンビーム蒸着法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法(高周波励超イオンプレーティング法)、反応性スパッタリング法、CVD法等を適宜採用することができる。
上記構成の表示装置30では、多数の画素をマトリクス状に並べ、与えられた輝度情報に応じて画素毎に光強度を制御することによって画像を表示する。OEL素子を用いるこの表示装置30は、液晶ディスプレイと異なり、各画素に発光素子を有する自発光型であり、液晶ディスプレイに比べて画像の視認性が高い、バックライトが不要、応答速度が速い等の利点を有する。
さらに、本実施の形態に係る表示装置30では、有機層16と透明陰極層19との間にバッファー層18を設けているため、上記表示素子について述べたのと同様に、高輝度、高電流利用効率といった高い表示品質が実現されており、また、生産性を落とすことなく製造可能である。
本発明は、上記実施の形態に限られず、種々の変更、変形が可能である。
上記実施の形態では、バッファー層18を1層設ける構成とした。しかし、バッファー層18は、図13に示すように、複数設けてもよい。この場合、各バッファー層18は、同種あるいは多種の材料からそれぞれ構成可能であり、全体として低抵抗性および高透過率ならびに所望の膜厚が達成されればよい。例えば、電子注入層17と接する層には、これと密着性の高い材料を用い、透明陰極層19と近い層にはこれと密着性の高い材料を用いるようにしてもよい。また、上方の(透明陰極層19に近い)層には、酸化しにくい材料や物理ダメージの緩衝効果の大きい材料を用いるようにしてもよい。
上記実施の形態では、バッファー層18を1層設ける構成とした。しかし、バッファー層18は、図13に示すように、複数設けてもよい。この場合、各バッファー層18は、同種あるいは多種の材料からそれぞれ構成可能であり、全体として低抵抗性および高透過率ならびに所望の膜厚が達成されればよい。例えば、電子注入層17と接する層には、これと密着性の高い材料を用い、透明陰極層19と近い層にはこれと密着性の高い材料を用いるようにしてもよい。また、上方の(透明陰極層19に近い)層には、酸化しにくい材料や物理ダメージの緩衝効果の大きい材料を用いるようにしてもよい。
また、上記実施の形態では、基板の反対側から発光光を取り出すトップエミッション構造の表示素子について説明したが、これに限らず、基板側から発光した光を取り出すボトムエミッション構造の表示素子にも適用可能である。いずれの場合にも、陰極形成の際の素子ダメージは緩衝され、表示品質の向上等の効果が得られることは勿論である。
なお、上記実施の形態では、有機層16を発光層21と正孔輸送層20の2層構造としたがこれに限らず、発光層単層でもよく、また図14に示すように、有機材からなる電子輸送性の電子輸送層27と発光層21の2層構造でもよく、また電子輸送層、発光層、正孔輸送層のように3層構造としてもよく、さらに4層以上であってもよい。
なお、上記実施の形態では、有機層16を発光層21と正孔輸送層20の2層構造としたがこれに限らず、発光層単層でもよく、また図14に示すように、有機材からなる電子輸送性の電子輸送層27と発光層21の2層構造でもよく、また電子輸送層、発光層、正孔輸送層のように3層構造としてもよく、さらに4層以上であってもよい。
以下、本実施の形態の具体的実施例を挙げ、本発明をさらに詳細に説明する。
上記実施の形態にて説明した表示素子について種々の試験を行った。なお、以下の試験において、表示素子は、基板はシリコン基板から構成され、陽極層はITOから構成され、発光層はポリフルオレン誘導体から構成され、電子注入層はバリウム(Ba)から構成され、バッファー層はアルミニウム(Al)から構成され、陰極層はインジウム亜鉛酸化物から構成される。
また、特に、電子注入層、バッファー層および陰極層の作製条件について表1に示す。なお、各層の作製は、同一チャンバ内で連続的に行った。
上記実施の形態にて説明した表示素子について種々の試験を行った。なお、以下の試験において、表示素子は、基板はシリコン基板から構成され、陽極層はITOから構成され、発光層はポリフルオレン誘導体から構成され、電子注入層はバリウム(Ba)から構成され、バッファー層はアルミニウム(Al)から構成され、陰極層はインジウム亜鉛酸化物から構成される。
また、特に、電子注入層、バッファー層および陰極層の作製条件について表1に示す。なお、各層の作製は、同一チャンバ内で連続的に行った。
上記構成の表示素子について、電圧と輝度との関係、電圧と電流密度との関係、輝度と電流比視効率との関係について調べた。ここで、電流比視効率(cd/A)とは、電流当たりの輝度を示し、電流の利用効率を表す値である。電界発光素子において、輝度は電流に比例し、したがって、電流比視効率は素子の特性を把握するのに有効である。
より詳細には、電流比視効率は、物性的特性、特に、注入された正孔と電子との比、および、発光の深さに依存する。
電流比視効率は、注入される正孔および電子の注入バランスと、それぞれのキャリアのモビリティに依存する。注入バランスが崩れると、過剰な方のキャリアは電極へと流れ込み、発光に寄与しないリーク電流となる。
電流比視効率は、注入される正孔および電子の注入バランスと、それぞれのキャリアのモビリティに依存する。注入バランスが崩れると、過剰な方のキャリアは電極へと流れ込み、発光に寄与しないリーク電流となる。
発光深さについては、再結合が起きて発光する部分(発光部分)が電極に近い場合は、熱失活する確率が高い。また、発光部と電極との距離によって、干渉の影響を受ける。発光の部位は、正孔注入層からの正孔および陰極層からの電子の注入性と、発光層内での正孔および電子のモビリティによって決まる。仮に電子の注入性が低いとすると、正孔注入層から発光層への注入が過剰に行われ、再結合せずに陰極層に流れ込む割合が大きくなり、この場合、電流の利用効率は低くなる。
このように、電流の利用効率(電流比視効率)から電界発光素子の表示品質を判断することができる。
このように、電流の利用効率(電流比視効率)から電界発光素子の表示品質を判断することができる。
図5および6に、バッファー層を有さない表示素子およびこれを有する表示素子における、上面発光の電圧と輝度の関係および電圧と電流密度の関係を示す。
図5に示されるように、バッファー層を有さない場合には、電圧6Vを超えた程度から発光を示している。一方、バッファー層を有する場合には、4Vを超えた程度で発光を示し、さらに、バッファー層を設けない場合よりも低電圧で高い輝度が実現されている。このように、バッファー層を設けることにより、低電圧化と輝度向上とが図れることがわかる。
図6に示されるように、バッファー層の有無は電流密度に大きな影響を受けないが、図5との相関から再結合領域での正孔と電子との量のバランスが向上したことが伺える。
図7および8に、図5および6に示す結果等から得た、バッファー層を設けた場合と設けない場合の、発光の、電圧と電流比視効率の関係、および輝度と電流比視効率の関係を示す。
図7に示されるように、バッファー層を設けた場合には、電流比視効率は、設けなかった場合と比較して大きく、例えば、6V付近では約10倍上昇していることがわかる。この結果から、バッファー層を設けることにより、電流の利用効率が向上し、これは、正孔と電子の注入バランスが良好に維持されていることによると考えられる。
また、図8に示されるように、バッファー層を設けた場合には、高い輝度で高い電流比視効率が維持されている。このように、バッファー層を備えた表示素子は、高い電流利用効率で、高輝度の表示が可能であり、より低いエネルギーでより高い表示品質が実現可能であることがわかる。
図9〜12に、バッファー層にアニール処理を行った表示素子について上記のような試験を行った結果を、アニール処理を行わなかった場合およびバッファー層を設けなかった場合の結果とともに示す。なお、アニール処理は、ホットプレート上で、100℃、30分間おいて行った。
図9および10に、上面発光の電圧と輝度の関係、および、電流密度と電圧の関係を示す。
図9に示されるように、バッファー層にアニール処理を施した場合には、そうでない場合と比較して約2倍輝度が向上していることがわかる。
また、図10に示されるように、流れる電流はアニール処理によってわずかに増大しているように見受けられる。
また、図10に示されるように、流れる電流はアニール処理によってわずかに増大しているように見受けられる。
このように、バッファー層にアニール処理を施した場合には、さらなる低電圧化と、高輝度化と、が実現可能である。これは、アニール処理によるバッファー層の膜質の向上、有機層との密着性の向上等により、後述するように電流の利用効率が向上していることによると考えられる。
図11および12に、図9および10に示す結果等から得た、バッファー層にアニール処理を施した場合の、電圧と電流比視効率の関係、および輝度と電流比視効率の関係を示す。
図11に示されるように、バッファー層にアニール処理を施した場合には、そうでない場合と比較して、電圧に対する電流比視効率は約1.5倍上昇していることがわかる。
また、図12においても、図11に示されるのと同様に、輝度に対する電流比視効率が非常に向上していることがわかる。
また、図12においても、図11に示されるのと同様に、輝度に対する電流比視効率が非常に向上していることがわかる。
このように、図11および12に示す結果から、アニール処理を施したバッファー層を用いることにより、電流の利用効率の向上が可能であり、したがって、より低いエネルギーで、より高輝度の表示が可能となることがわかる。
11・・・OEL素子、15・・・陽極層、16・・・有機層、17・・・電子注入層、18・・・バッファー層、19・・・透明陰極層
Claims (10)
- 基板上に設けられた陽極と、
前記陽極上に設けられ、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層と、
前記有機層上に設けられた電子注入層と、
前記電子注入層上に設けられたバッファー層と、
前記バッファー層上に設けられた陰極と、
を備える、ことを特徴とする表示素子。 - 前記バッファー層は、前記陰極作製の際のダメージを緩衝する、ことを特徴とする請求項1に記載の表示素子。
- 前記電子注入層と、前記バッファー層と、前記陰極と、は、透明材料から構成され、
前記発光層からの発光層は前記基板の反対側から取り出される、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の表示素子。 - 前記バッファー層は、アルミニウム、クロムおよびタングステンのいずれか1種あるいはその組み合わせからから構成される、ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の表示素子。
- 前記バッファー層はアルミニウムから構成され、25〜150Åの厚みを有する、ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の表示素子。
- 前記バッファー層を複数備える、ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の表示素子。
- 前記バッファー層には、アニール処理が施されている、ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の表示素子。
- 請求項1乃至7に記載の表示素子を備える、ことを特徴とする表示装置。
- 基板上に陽極を形成する工程と、
前記陽極上に、電界発光を利用して発光する発光層を含む有機層を形成する工程と、
前記有機層上に電子注入層を形成する工程と、
前記電子注入層上にバッファー層を形成する工程と、
前記バッファー層上に陰極を形成する工程と、
を備える、ことを特徴とする表示素子の製造方法。 - 前記バッファー層をアニール処理する工程をさらに備える、ことを特徴とする請求項9に記載の表示素子の製造方法。
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