KR100563066B1 - 유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 - Google Patents
유기 전계 발광 표시 장치 및 이의 제조 방법 Download PDFInfo
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Abstract
Description
기본 압력 | 1.0 x 10-7 Torr |
가스 유량 | 산소 유량-2sccm 아르곤 유량-5sccm |
열증발원 | 텅스텐 보트, BN 보트 |
열증발원 작동 조건 | 200A |
이온 빔 소스 | 엔드홀형 이온 건 |
이온 빔 소스 작동 조건 | 방전 전류(Discharge current)-500mA 방전 전압(Discharge voltage)-300V 빔 전압(Beam Voltage)-150eV 빔 전류(Beam Current)-50mA |
증착 각도 | 90degrees |
기판 RPM | 4.5 |
기판 온도 | 80℃ |
증착 속도 | 5Å/sec |
Claims (17)
- 기판;상기 기판 상에 구비된 제 1 전극;상기 제 1 전극에 절연되도록 형성된 제 2 전극;상기 제 1 전극과 상기 제 2 전극 사이에 개재되며, 적어도 발광층을 포함하는 하나 이상의 유기층; 및상기 제 2 전극을 덮도록 형성된 보호층을 포함하고, 상기 보호층은 네트워크 포머(network former)-함유 절연 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질의 굴절율이 2.0 이상인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질의 옵티칼 밴드갭이 3.0eV 내지 6.0eV인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 네트워크 포머가 Li, Na, K, Ca, Sn, Rb, Cs, Ba, Pb, Be, Mg, Ce 및 Nb 중 하나 이상의 원자인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 절연 물질이 금속 산화물 및 질화물 중 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질이 SiLiO, SiNaO, SiKO, SiCaO, SiSnO, SiRbO, SiCsO 및 SiBaO 중 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제1항에 있어서,상기 보호층의 표면 조도(surface roughness)가 rms 5Å 내지 50Å인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 기판부에 제 1 전극을 형성하는 단계;상기 제 1 전극 상부에 적어도 발광층을 포함하는 하나 이상의 유기층을 형성하는 단계;상기 유기층을 덮도록 구비되는 제 2 전극을 형성하는 단계; 및상기 제 2 전극을 덮도록 보호층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 보호층은 네트워크 포머(network former)-함유 절연 물질로 이루어진 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질의 굴절율이 2.0 이상인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질의 옵티칼 밴드 갭이 3.0eV 내지 6.0eV인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 네트워크 포머-함유 절연 물질이 SiLiO, SiNaO, SiKO, SiCaO, SiSnO, SiRbO, SiCsO 및 SiBaO로 이루어진 군으로부터 선택된 하나 이상의 물질인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 보호층을 증발원(evaporation source) 및 이온 빔 소스(ion beam source)를 이용하는 이온 빔 보조 증착법(Ion Beam Assisted Deposition : IBAD)에 따라 형성하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 증발원으로부터 방출되는 입자가 금속 산화물 및 질화물 중 하나 이상의 물질과 Li, Na, K, Ca, Sn, Rb, Cs, Ba, Pb, Be, Mg, Ce 및 Nb 중 하나 이상의 원자를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 이온 빔 소스로부터 방출되는 이온이 불활성 원자 중 하나 이상의 원자의 이온인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 이온 빔 소스의 에너지가 50eV 내지 200eV인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 이온 빔 소스로부터 방출되는 이온 갯수와 상기 증발원으로부터 방출되는 입자 갯수의 비가 1:1 내지 0.9:1인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
- 제8항에 있어서,상기 보호층의 표면 조도가 rms 5Å 내지 50Å인 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치의 제조 방법.
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