JP2005180996A - ガス測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ガス測定部にエアを流通させるエアポンプ2を設け、ガス測定部1,6に流通されるエア量を制御する流量制御部16を設けたガス測定装置であって、
エアポンプ2にバッファ部13を連設して、エアポンプ2と流量制御部16との間に配置するとともに、バッファ部13の内圧をモニタする圧力検知部14を設け、圧力検知部14の検知圧力に基づいてエアポンプ2の動作を制御する制御部15を設けた。
【選択図】 図1
Description
このとき、前記制御部による前記エアポンプの動作は、前記バッファ部の内圧を、下限しきい値の142kPa(1.4気圧)に達すると、エアポンプを稼働し、上限しきい値の182kPa(1.8気圧)に達すると、エアポンプを停止させるように制御する。
すると、バッファ部の内圧が、上限しきい値から下限しきい値に達するまでの約12分間エアポンプを停止することができる。逆に、下限しきい値から上限しきい値に達するまでには約15秒で済み、エアポンプの稼働効率を極めて少なくできた。しかも、その間、エア流量は20mL/分で極めて安定し、脈動もなかった。そのため、従来の装置では、装置全体としての通気抵抗が大きく、エアポンプの負荷が大きくなっていたのに対して、エアポンプの消費電力を極めて少なくでき、しかも、寿命を大きく延ばすことができた。
<熱線型ガス検知素子>
図2に示すように、ガス検知素子6aは、白金を主成分とし、線径30μm、巻き数15turn、長さ550μmの導線コイル6bに、金属酸化物半導体を塗布焼成して球状に形成した感応層6cを設けてある。
尚、前記導線コイル6bとしては、白金に代えて白金ロジウム、白金パラジウム等の貴金属線コイルを用いると、熱的安定性が高いので好ましい。また、酸化スズに代えて酸化インジウム、酸化鉄、酸化亜鉛、等の金属酸化物半導体も利用可能である。さらに、感応層には、ガス選択性を高める等の目的で、必要に応じてコーティング層6dが設けられる。
図3に示すように、ガス検知素子6aは、アルミナ基板6e上に金属酸化物半導体を主成分とする膜層(感応層)6cを備えて構成されており、この金属酸化物半導体膜層6cに電気的に接続された検出電極としての白金薄膜電極6gを備えて構成されている。そして、この白金薄膜電極6gに対して、この電極間における抵抗値の変化を検出するように、検出端子が設けられる。さらに、アルミナ基板6eの裏面側に白金薄膜ヒーター6hが備えられ、これにセンサ温度制御装置への加熱端子6fを設けて加熱手段が構成されている。この加熱手段は、センサの動作に適する450〜550℃にガス検知素子6aを加熱維持する。さらに、感応層には、ガス選択性を高める等の目的で、必要に応じてコーティング層6dが設けられる。
演算により求められたガス種および被検知ガスのガス濃度は、表示部12に表示され、分析結果を知ることができる。
このとき、前記制御部による前記エアポンプの動作は、前記バッファ部の内圧を、下限しきい値の30kPa(0.3気圧)に達すると、エアポンプを停止し、上限しきい値の61kPa(0.6気圧)に達すると、エアポンプを稼働させるように制御する。
1,6 ガス測定部
16 流量制御部
2 エアポンプ
13 バッファ部
15 制御部
Claims (5)
- ガス測定部にエアを流通させるエアポンプと、そのエア量を制御する流量制御部とを設けたガス測定装置であって、
前記エアポンプと前記流量制御部との間で、前記エアポンプに連接させてバッファ部配置するとともに、前記バッファ部の内圧をモニタする圧力検知部と、前記圧力検知部の検知圧力に基づいて前記エアポンプの動作を制御する制御部とを設けたガス測定装置。 - 前記エアポンプが、前記バッファ部を介して、前記ガス測定部にエアを流通可能に配置してあるとともに、前記制御部が、前記バッファ部の内圧が下限しきい値を下回ったときに前記エアポンプを稼働し、前記バッファ部の内圧が上限しきい値に上回ったときに前記エアポンプを稼働停止させる請求項1記載のガス測定装置。
- 前記エアポンプが、前記バッファ部を介して、前記ガス測定部からガスを吸引可能に配置してあるとともに、前記流量制御部が、前記バッファ部の内圧が上限しきい値を上回ったときに前記エアポンプを稼働し、前記バッファ部の内圧が下限しきい値を下回ったときに前記エアポンプを稼働停止させる請求項1記載のガス測定装置。
- 前記バッファ部に夾雑ガス吸着用のガス吸着剤を内装してある請求項1〜3のいずれか一項に記載のガス測定装置。
- 前記ガス測定部がカラム分離装置を備えている請求項1〜4のいずれか一項に記載のガス測定装置。
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