JP2005174982A - 照明装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 制御ユニットの発熱がレーザ合成光学系に影響しないような一体構造の照明装置を提供する。
【解決手段】 波長の異なるレーザ光を発生する複数のレーザ光源から発せられるレーザ光をレーザ合成光学系で合成し、これら合成されたレーザ光のうち所望する波長のレーザ光を音響光学素子10で選択可能としたものであって、この音響光学素子10を制御するためのドライバ17および制御基板19をレーザ合成光学系および音響光学素子10と熱的に分離してユニット化した。
【選択図】 図3
【解決手段】 波長の異なるレーザ光を発生する複数のレーザ光源から発せられるレーザ光をレーザ合成光学系で合成し、これら合成されたレーザ光のうち所望する波長のレーザ光を音響光学素子10で選択可能としたものであって、この音響光学素子10を制御するためのドライバ17および制御基板19をレーザ合成光学系および音響光学素子10と熱的に分離してユニット化した。
【選択図】 図3
Description
本発明は、走査型レーザ顕微鏡などに使用される照明装置に関するものである。
従来、走査型レーザ顕微鏡などに使用される照明装置として、特許文献1に開示されものが知られている。図7は、かかる照明装置の概略構成を示すもので、レーザユニット701には、488nmの波長を発振するArレーザ702と、543nmの波長を発振するHe−Neレーザ703が設けられている。これらArレーザ702とHe−Neレーザ703の前方には、それぞれのレーザ光路を結合して488nmと543nmの波長を合成するためのミラー704とダイクロイックミラー705が配置され、ダイクロイックミラー705により導かれたレーザ光路には、488nmと543nmの波長を選択するための音響光学素子706が配置されている。音響光学素子706には、シングルモードファイバ707の光入射端が接続され、このシングルモードファイバ707の光出射端には、コリメートレンズ708を介してスキャンユニット709が接続され、音響光学素子706を透過したレーザ光は、シングルモードファイバ707、コリメートレンズ708を通って、平行光束となって、スキャンユニット709に供給されるようになっている。音響光学素子706には、信号ケーブル711を介して音響光学素子制御装置710が接続され、スキャンユニット709には、信号ケーブル713を介してスキャンユニット制御装置712が接続され、さらに、これら音響光学素子制御装置710とスキャンユニット制御装置712には、ケーブル715を介してコンピュータ714が接続され、このコンピュータ714の指示により音響光学素子制御装置710およびスキャンユニット制御装置712により音響光学素子706およびスキャンユニット709が制御されている。
特開2002−267933号公報
しかしながら、このような照明装置では、Arレーザ702とHe−Neレーザ703を有するレーザユニット701に含まれる音響光学素子706と、この音響光学素子706を制御する制御ユニットの音響光学素子制御装置710が別々に配置されるため、顕微鏡システム全体が占有する面積か大きくなるという問題を生じ、また、顕微鏡システムをセットアップする際に、信号ケーブル711などを配線しなければならないため、この時のセットアップが煩雑で作業性が悪化するという問題があった。
しかし、音響光学素子を含むレーザ合成光学系と制御ユニットを一体に構成すると、制御ユニットは、電源や制御基板などの熱源を有しているため、制御ユニットの発熱の影響を受けてレーザ合成光学系の取付けベースなどの支持部材が局所的に暖められ熱変形が発生したり、レーザ光が通過する空気層の密度が変化して屈折率が変化するなどして、レーザ光の光軸にずれを発生し、レーザ出力が不安定になるおそれがあった。
本発明は上記事情に鑑みてなされたもので、制御ユニットでの発熱によるレーザ光発生手段への影響を無くすことができる照明装置を提供することを目的とする。
請求項1記載の発明は、波長の異なるレーザ光を発生する複数のレーザ光源と、これらレーザ光源から発せられるレーザ光を合成するためのレーザ光合成手段および該レーザ光合成手段で合成されたレーザ光のうち所望する波長のレーザ光を選択する波長選択手段を有するレーザ光発生手段と、前記波長選択手段を制御する制御手段と、を具備し、少なくとも前記制御手段と前記レーザ光発生手段を熱的に分離して一体化したことを特徴としている。
請求項2記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記レーザ光発生手段および制御手段は、それぞれユニット化され、前記レーザ光発生手段のユニット上に前記制御手段のユニットを配置したことを特徴としている。
請求項3記載の発明は、請求項2記載の発明において、制御手段のユニットは、前記レーザ光発生手段のユニットの上方を開閉可能に設けられたことを特徴としている。
請求項4記載の発明は、請求項2または3記載の発明において、前記制御手段のユニットは、冷却手段を有し、且つ前記レーザ光発生手段のユニットとの間の空気の流れを遮断する構成としたことを特徴としている。
請求項5記載の発明は、請求項1記載の発明において、前記複数のレーザ光源のそれぞれのレーザ光出射口近辺に、レーザ光遮断手段を設けたことを特徴としている。
本発明によれば、波長選択手段を制御する制御手段をレーザ光合成手段および波長選択手段を有するレーザ光発生手段と熱的に分離してユニット化し、このユニットをレーザ光発生手段の上方に配置する構成としたので、大きなフットプリントが必要なくなり、顕微鏡システムのコンパクト化を図ることができる。
また、本発明によれば、ユニット化された発熱源の制御手段を熱的に分離し、レーザ光発生手段への熱的影響を排除することで、これらレーザ光発生手段のベース部の熱変形を原因とするレーザ光の光軸のずれの発生を確実に防止できるので、安定したレーザ光の出力により安定した画像や、正確な測定結果を得ることができる。
さらに、本発明によれば、制御手段のユニットに冷却手段を設けたので、発熱源となる制御手段の冷却効率が格段に向上でき、さらに制御手段のユニットとレーザ光発生手段のユニットとの間で空気が循環しない構造としているため、レーザ光合成手段および波長選択手段の近傍での空気の密度の変化を原因とするレーザ光の光軸のずれの発生を確実に防止できるので、安定したレーザ光の出力により安定した画像や正確な測定結果を得ることができる。
さらにまた、本発明によれば、制御手段のユニットを取り外しすることなく、レーザ光合成手段および波長選択手段を有するレーザ光発生手段のユニットを開閉できるので、レーザ光合成手段および波長選択手段へのアクセスが容易に可能となり、光軸調整作業などの保守点検を簡単に行なうことができる。
以下、本発明の一実施の形態を図面に従い説明する。
図1は、本発明が適用される照明装置の概略構成を示している。
図において、1はベース部で、このベース部1は長方形の板状からなっている。このベース部1上の一方端部側には、レーザ光源としての488nmを発振するアルゴンレーザ2、543nmを発振するグリーンヘリウムネオンレーザ3、633nmを発振するレッドヘリウムネオンレーザ4がベース部1上の幅方向に並べて配置されている。
ベース部1上の他方端部側には、後述するレーザ合成手段と波長選択手段を有するレーザ光発生手段をユニット化して収容する光学ボックス5が配置されている。この光学ボックス5は、図3に示すようにベース部1を底板とし、このベース部1上に設けられた四方の側壁501と、これら側壁501の上方を覆う天板を兼ねた、後述する電装ボックス14の底板141により構成されている。
このような光学ボックス5には、図2の示すようなレーザ合成手段としてのレーザ合成光学系5aが収容されている。レーザ合成光学系5aは、グリーンヘリウムネオンレーザ3から発せられるレーザ光の光路上に反射ミラー6が配置されている。また、反射ミラー6の反射光路とレッドヘリウムネオンレーザ4から発せられるレーザ光の光路との交点に第1の合成ダイクロイックミラー7が配置されている。この第1の合成ダイクロイックミラー7は、グリーンヘリウムネオンレーザ3から発せられるレーザ光を透過し、レッドヘリウムネオンレーザ4から発せられるレーザ光を反射するもので、これらのレーザ光を合成して出射するようになっている。
第1の合成ダイクロイックミラー7からのレーザ光の出射光路とアルゴンレーザ2から発せられるレーザ光の光路との交点に第2の合成ダイクロイックミラー8が配置されている。この第2の合成ダイクロイックミラー8は、アルゴンレーザ2から発せられるレーザ光を透過し、第1の合成ダイクロイックミラー7から出射されるレーザ光を反射し、これらレーザ光を合成して出射するようになっている。第2の合成ダイクロイックミラー8からのレーザ光の出射光路には、反射ミラー9が配置されている。反射ミラー9の反射光路には、波長選択手段としての音響光学素子10が配置されている。音響光学素子10は、アルゴンレーザ2、グリーンヘリウムネオンレーザ3およびレッドヘリウムネオンレーザ4から出射されるレーザ光から所望する波長のレーザ光のみを取り出すためのものである。
音響光学素子10からの出射光の光路上には、カプラ11が配置されている。カプラ11には、ファイバユニット12が取り付けられている。ファイバユニット12は、音響光学素子10からのレーザ光のビーム径を適切なものに変換して、スキャンユニット(不図示)に照明光として導くもので、光ファイバとしてシングルモードファイバ121が用いられている。このシングルモードファイバ121の光入射端には、カプラ11に対応するカップリングレンズ122が設けられ、光出射端には、コリメートレンズ123が設けられている。この場合、シングルモードファイバ121は、カップリングレンズ122に平行光束が入射したときの焦点位置に光入射端が位置され、コリメートレンズ123から平行光束が出射する際の焦点位置に光出射端が位置されるようになっている。
光学ボックス5の上方には、後述する制御手段をユニット化して収容する電装ボックス14が配置されている。この電装ボックス14は、図3に示すように光学ボックス5の天板を兼ねた底板141と天板142により構成されている。この場合、図4(a)に示すように、底板141は、両側端部を同方向に折り曲げて側壁141a、141bを形成し、また、天板142も、両側端部を同方向に折り曲げて側壁142a、142bを形成し、これら底板141と天板142を組み合わせることで電装ボックス14を構成している。また、電装ボックス14は、底板141を蝶番15を介して光学ボックス5に支持されており、蝶番15を中心に回動させることで、光学ボックス5の上面を開閉できるようになっている(図3(a)(b)参照)。
電装ボックス14内の底板141上には、制御手段としてのドライバ17と制御基板19が配置されている。この場合、ドライバ17は、音響光学素子10を動作させるためのもので、断熱部材16を介して底板141上に取り付けられ、また、制御基板19は、選択波長の指示値を出してドライバ17を制御するもので、断熱部材18を介して底板141上に取り付けられている。
電装ボックス14の底板141に形成された一方の側壁141aには、冷却ファン20が設けられている。この冷却ファン20は、ドライバ17と制御基板19を強制的に冷却するためのものである。また、他方の側壁141bには、空気取り入れ口21が設けられている。この空気取り入れ口21は、電装ボックス14の外部の空気を電装ボックス14内に取り入れるためのものである。
電装ボックス14の底板141には、孔部22が形成されている。この孔部22は、光学ボックス5と電装ボックス14を連通するもので、ケーブル23が挿通されている。このケーブル23は、光学ボックス5内の音響光学素子10と電装ボックス14内のドライバ17の間を電気的に接続するためのものである。また、孔部22上には、パッキン24が設けられている。このパッキン24は、図4(b)に示すように孔部22にケーブル23を通した状態で孔部22面を塞ぐようにしたもので、電装ボックス14と光学ボックス5の間での空気の流れを遮断するようにしている。
次に、このように構成された実施の形態の作用を説明する。
ここでは、音響光学素子10が、543nmを発振するグリーンヘリウムネオンレーザ3からのレーザ光のみを透過可能にした場合を例にとり説明する。
この場合、グリーンヘリウムネオンレーザ3から発せられた543nmのレーザ光は、反射ミラー6で90度折り返された後、第1の合成ダイクロイックミラー7を透過し、第2の合成ダイクロイックミラー8で反射し、さらに反射ミラー9で反射して音響光学素子10に入射する。また、レッドヘリウムネオンレーザ4から発せられた633nmのレーザ光は、第1の合成ダイクロイックミラー7で反射した後、第2の合成ダイクロイックミラー8で反射し、さらに反射ミラー9で反射して音響光学素子10に入射する。さらに、アルゴンレーザ2から発せられた488nmのレーザ光は、第2の合成ダイクロイックミラー8を透過した後、反射ミラー9で反射して音響光学素子10に入射する。
この状態で、音響光学素子10は、制御基板19の指示値によりドライバ17を介して543nmの波長のレーザ光を透過可能としているので、音響光学素子10に入射したアルゴンレーザ光、グリーンヘリウムネオンレーザ光およびレッドヘリウムネオンレーザ光のうちのグリーンヘリウムネオンレーザ光のみが音響光学素子10を透過し、ファイバユニット12のカップリングレンズ122、シングルモードファイバ121、コリメートレンズ123を透過して、スキャンユニット(不図示)へ出力される。
この場合、音響光学素子10を動作させるドライバ17および制御基板19は、それぞれ発熱しており、電装ボックス14内部の空気は暖められる。この暖められた空気は、その性質上、電装ボックス14内部を上方へと移動していくが、その途中で、冷却ファン20によって電装ボックス14外へと強制的に排出される。また、暖められた空気が強制的に電装ボックス14外部に排出されたことで、電装ボックス14内部の気圧が低下するため、電装ボックス14外の空気が空気取り入れ口21を通って電装ボックス14内部へ流入する。このとき、電装ボックス14内のドライバ17と光学ボックス5内の音響光学素子10とを電気的に接続するケーブル23を通すための孔部22は、パッキン24によって塞がれているため、電装ボックス14の下部に配置されている光学ボックス5内部の気圧は変化することがない。
従って、このようにすれば、レーザ合成光学系5aと音響光学素子10が格納されている光学ボックス5の上方に、音響光学素子10を制御するためのドライバ17および制御基板19などの発熱源を収容する電装ボックス14が配置されるようになっているので、大きなフットプリントを必要とすることがなくなり、このような照明装置を装着した顕微鏡システム全体がコンパクトに構成することができる。
また、電装ボックス14内のドライバ17および制御基板19は、それぞれ断熱部材16,18を介して底板141に取り付けられ、また、電装ボックス14内部は、冷却ファン20で強制的に冷却され、さらには電装ボックス14からレーザ合成光学系5aが配置される光学ボックス5のベース部1までの熱伝達経路がかなり長くなっているので、ベース部1がドライバ17および制御基板19からの熱により歪みを発生することが全くない。さらに、電装ボックス14内を冷却ファン20により強制的に空冷することにより、電装ボックス14の電気系近傍で暖められた空気は、強制的に外部に排出され、このとき、(電装ボックス14から排出される空気の量)>(光学ボックス5へ流入される空気の空気の量)であった場合、(光学ボックス5の気圧)>(電装ボックス14の気圧)となるが、光学ボックス5と電装ボックス14の間はパッキン24で遮断され、光学ボックス5と電装ボックス14との間で空気が循環しないようになっているので、光学ボックス5から電装ボックス14へ空気が流れることがないので、光学ボックス5内の気圧は、ほぼ一定に保たれる。これにより、光学ボックス5のベース部1が局所的に暖められて熱変形を発生することがなく、さらに、レーザ光が通過する光学ボックス5内の空気層の密度が変化して屈折率が変化することもないので、レーザ光の光軸ずれの発生を確実に防止できる。このことは、ファイバユニット12から変動のない安定したレーザ光が出射されることにつながり、このようなレーザ光を顕微鏡システムの照明光として適用することで、安定した画像を取得でき、正確な観察結果を得ることができる。
さらに、電装ボックス14は、光学ボックス5上方において、開閉可能となっていて、光学ボックス5内部のレーザ合成光学系5aなどの部位のアクセスを簡単にできるので、レーザ合成光学系5aでの光軸調整なども容易に行なうことができる。また、このアクセスを行う際、電装ボックス14を開閉しても、ドライバ17と音響光学素子10の間を電気的に接続するケーブル23を取り外す必要がないので、ケーブルの着脱といった面倒な作業等が発生することがなく、保守点検を簡単に行なうことができる。
(変形例1)
上述した実施の形態では電装ボックス14に冷却ファン20を設けて、電装ボックス14内部で暖められた空気を強制的に外部に排出するようにしたが、例えば、図3と同一部分には同符号を付した図5に示すように、ドライバ17および制御基板19にそれぞれ冷却手段としての放熱板31,32を取付け、これら放熱板31,32を直接電装ボックス14の天板142に取り付けることで、ドライバ17および制御基板19で発生する熱を電装ボックス14の天板142に伝達し放熱させるような構成としてもよい。
上述した実施の形態では電装ボックス14に冷却ファン20を設けて、電装ボックス14内部で暖められた空気を強制的に外部に排出するようにしたが、例えば、図3と同一部分には同符号を付した図5に示すように、ドライバ17および制御基板19にそれぞれ冷却手段としての放熱板31,32を取付け、これら放熱板31,32を直接電装ボックス14の天板142に取り付けることで、ドライバ17および制御基板19で発生する熱を電装ボックス14の天板142に伝達し放熱させるような構成としてもよい。
このようにすれば、冷却ファン20が必要なくなるので、例えば、壁際などに密着させて配置することが可能になるなど、設置場所の制限を大幅に緩和することができる。
(変形例2)
ところで、音響光学素子10にはクロストークといった現象がつきものである。このクロストークとは、音響光学素子10への指示値以外の波長も若干透過させてしまう現象で、例えば、指示値が543nmのみ透過であっても、488nmや633nmの波長を100分の数%程度透過してしまう現象である。
ところで、音響光学素子10にはクロストークといった現象がつきものである。このクロストークとは、音響光学素子10への指示値以外の波長も若干透過させてしまう現象で、例えば、指示値が543nmのみ透過であっても、488nmや633nmの波長を100分の数%程度透過してしまう現象である。
そこで、図2と同一部分には、同符号を付した図6に示すように、488nmを発振するアルゴンレーザ2、543nmを発振するグリーンヘリウムネオンレーザ3、633nmを発振するレッドヘリウムネオンレーザ4のそれぞれの出射口近辺に、レーザ光手段手段としてのメカニカルシャッタ41、42、43を配置するような構成としてもよい。
このようにすれば、音響光学素子10への指示値に応じてメカニカルシャッタ41、42、43の開閉を制御することにより、音響光学素子10のクロストークによる影響を完全に排除することができるようになり、例えば分光データを取得するような測定において、さらに正確な測定結果を得ることができる。
なお、本発明は、上記実施の形態に限定されるものでなく、実施段階では、その要旨を変更しない範囲で種々変形することが可能である。
さらに、上記実施の形態には、種々の段階の発明が含まれており、開示されている複数の構成要件における適宜な組み合わせにより種々の発明が抽出できる。例えば、実施の形態に示されている全構成要件から幾つかの構成要件が削除されても、発明が解決しようとする課題の欄で述べた課題を解決でき、発明の効果の欄で述べられている効果が得られる場合には、この構成要件が削除された構成が発明として抽出できる。
1…ベース部、2…アルゴンレーザ、
3…グリーンヘリウムネオンレーザ、4…レッドヘリウムネオンレーザ
5…光学ボックス、501…側壁、5a…レーザ合成光学系
6…反射ミラー、7…第1の合成ダイクロイックミラー
8…第2の合成ダイクロイックミラー、9…反射ミラー
10…音響光学素子、11…カプラ、12…ファイバユニット
121…シングルモードファイバ、122…カップリングレンズ
123…コリメートレンズ、14…電装ボックス
141…底板、141a.141b…側壁
142…天板、15…蝶番、16.18…断熱部材
17…ドライバ、19…制御基板、20…冷却ファン
21…空気取り入れ口、22…孔部、23…ケーブル
24…パッキン、31.32…放熱板、41.42、43…メカニカルシャッタ
3…グリーンヘリウムネオンレーザ、4…レッドヘリウムネオンレーザ
5…光学ボックス、501…側壁、5a…レーザ合成光学系
6…反射ミラー、7…第1の合成ダイクロイックミラー
8…第2の合成ダイクロイックミラー、9…反射ミラー
10…音響光学素子、11…カプラ、12…ファイバユニット
121…シングルモードファイバ、122…カップリングレンズ
123…コリメートレンズ、14…電装ボックス
141…底板、141a.141b…側壁
142…天板、15…蝶番、16.18…断熱部材
17…ドライバ、19…制御基板、20…冷却ファン
21…空気取り入れ口、22…孔部、23…ケーブル
24…パッキン、31.32…放熱板、41.42、43…メカニカルシャッタ
Claims (5)
- 波長の異なるレーザ光を発生する複数のレーザ光源と、
これらレーザ光源から発せられるレーザ光を合成するためのレーザ光合成手段および該レーザ光合成手段で合成されたレーザ光のうち所望する波長のレーザ光を選択する波長選択手段を有するレーザ光発生手段と、
前記波長選択手段を制御する制御手段と、を具備し、
少なくとも前記制御手段と前記レーザ光発生手段を熱的に分離して一体化したことを特徴とする照明装置。 - 前記レーザ光発生手段および制御手段は、それぞれユニット化され、前記レーザ光発生手段のユニット上に前記制御手段のユニットを配置したことを特徴とする請求項1記載の照明装置。
- 制御手段のユニットは、前記レーザ光発生手段のユニットの上方を開閉可能に設けられたことを特徴とする請求項2記載の照明装置。
- 前記制御手段のユニットは、冷却手段を有し、且つ前記レーザ光発生手段のユニットとの間の空気の流れを遮断する構成としたことを特徴とする請求項2または3記載の照明装置。
- 前記複数のレーザ光源のそれぞれのレーザ光出射口近辺に、レーザ光遮断手段を設けたことを特徴とする請求項1記載の照明装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2007066641A1 (ja) * | 2005-12-05 | 2007-06-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | レーザ光源装置及び画像表示装置 |
JP2014232286A (ja) * | 2013-05-30 | 2014-12-11 | オリンパス株式会社 | 顕微鏡システム |
JP2016068136A (ja) * | 2014-09-30 | 2016-05-09 | ブラザー工業株式会社 | レーザ加工ヘッド |
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Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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