JP2005167139A - 波長選択方法、位置検出方法及び装置、並びに、露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 レジストが塗布される被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて前記被検出体の位置を検出する際に使用される光の波長を選択する波長選択方法であって、複数の波長の光を前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストに照射して、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの反射率を計測するステップと、前記計測ステップで計測した前記反射率が極大となる波長又は前記反射率が極大となる波長から所定の範囲の波長を有する光を選択するステップとを有することを特徴とする波長選択方法を提供する。
【選択図】 図14
Description
10 投影光学系
20 ウェハステージ
25 ウェハチャック
30 アライメント信号処理部
40 制御部
100 ウェハ
110 アライメントマーク
112 マークエレメント
120 レジスト
200 アライメント光学系
210 照明系
220 結像系
250 波長選択手段
252 円盤
254a乃至254j バンドパス干渉フィルタ
228及び229 ダイクロイックミラー
230 エリアセンサー
231 バンドパスフィルタ
231a乃至231c 多層膜
240 回折格子
Claims (13)
- レジストが塗布される被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて前記被検出体の位置を検出する際に使用される光の波長を選択する波長選択方法であって、
複数の波長の光を前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストに照射して、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの反射率を計測するステップと、
前記計測ステップで計測した前記反射率が極大となる波長又は前記反射率が極大となる波長から所定の範囲の波長を有する光を選択するステップとを有することを特徴とする波長選択方法。 - 前記計測ステップは、前記アライメントマークから反射される光から前記信号を生成するステップと、
前記生成ステップで生成された前記信号から光量を計測し、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの反射率を算出するステップとを有することを特徴とする請求項1記載の波長選択方法。 - 前記算出ステップは、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの光学定数及び膜厚から前記反射率を算出することを特徴とする請求項2記載の波長選択方法。
- 前記選択ステップは、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの屈折率及び厚さをn1及びd1とし、前記被検出体の屈折率をn2とすると、
n1<n2のときに、n1d1=λ/2+mλ/2 (m=0,1,2,・・・)
n1>n2のときに、n1d1=λ/4+mλ/2 (m=0,1,2,・・・)
を満足する波長λを有する光を選択することを特徴とする請求項1記載の波長選択方法。 - 前記選択ステップは、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの屈折率及び厚さをn1及びd1とし、前記レジストから前記被検出体への入射角度をθi、Jを自然数とすると、
の式から得られる反射率Rが最大となる波長λの光を選択することを特徴とする請求項1記載の波長選択方法。 - 前記波長から所定の範囲は、前記反射率が極大となる波長から30nmの波長範囲であることを特徴とする請求項1記載の波長選択方法。
- レジストが塗布される被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて前記被検出体の位置を検出する際に使用される光の波長を選択する波長選択方法であって、
前記レジストの光学定数及び膜厚毎に前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの反射率が極大となる光の波長を予め記憶するステップと、
前記レジストの光学定数及び膜厚を取得するステップと、
前記取得ステップで取得した前記レジストの光学定数及び膜厚に対応する前記レジストの反射率が極大となる光の波長を、前記記憶ステップで記憶した前記光の波長から選択するステップとを有することを特徴とする波長選択方法。 - レジストが塗布される被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて前記被検出体の位置を検出する位置検出方法であって、
請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の波長選択方法を用いて選択した波長の光を用いて前記アライメントマークを照射するステップと、
前記照射ステップで照射された前記アライメントマークから反射される光から前記信号を生成するステップとを有することを特徴とする位置検出方法。 - レジストが塗布される被検出体上に形成された複数のマークエレメントから構成されるアライメントマークの像の信号を用いて前記被処理体の位置を検出する位置検出装置であって、
複数の波長の光のうち、前記複数のマークエレメント以外の部分にある前記レジストの反射率が極大となる波長の光を選択する選択手段と、
前記選択手段が選択する前記波長の光から生成される前記信号に対して、前記アライメントマークの位置を決定するための処理を行う信号処理手段とを有することを特徴とする位置検出装置。 - 請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の波長選択方法を行うことができる処理手段を有することを特徴とする位置検出装置。
- レチクルに形成されたパターンを、投影光学系を介して被処理体上に露光する露光装置であって、
請求項9又は10記載の位置検出装置を有し、
前記位置検出装置を利用して前記被処理体の位置合わせを行うことを特徴とする露光装置。 - レチクルに形成されたパターンを、投影光学系を介して被処理体上に露光する露光方法であって、
請求項1乃至7のうちいずれか一項記載の波長選択方法で選択された波長の光を用いて、前記被処理体の位置合わせを行うステップと、
位置合わせが行われた前記被処理体に前記パターンを投影するステップとを有することを特徴とする露光方法。 - 請求項11記載の露光装置を用いて被処理体を露光するステップと、
露光された前記被処理体に所定のプロセスを行うステップとを有することを特徴とするデバイス製造方法。
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