JP2005166760A - Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 - Google Patents
Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005166760A JP2005166760A JP2003400779A JP2003400779A JP2005166760A JP 2005166760 A JP2005166760 A JP 2005166760A JP 2003400779 A JP2003400779 A JP 2003400779A JP 2003400779 A JP2003400779 A JP 2003400779A JP 2005166760 A JP2005166760 A JP 2005166760A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lsi chip
- substrate
- heating block
- contact
- lsi
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Wire Bonding (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
Abstract
【解決手段】 基板9に実装されたLSIチップ13の側面13aに加熱ブロック3を当接し、LSIチップ13の側面13aと加熱ブロック3とを当接した状態で、LSIチップ13と異方性接着材14との界面にせん断応力が加わるように基板9を押圧して取り外す。
【選択図】 図1
Description
2 載置台
3 加熱ブロック
4 基板押圧機構
5 ピストン
6 エアシリンダ
7 液晶表示パネル
8 第1のガラス基板
9 第2のガラス基板
10,11 偏光板
12 電極端子
13 LSIチップ
14 異方性接着材
Claims (4)
- 異方性接着材によりLSIチップが実装された基板におけるLSIチップの取り外し装置において、
前記基板を載置させる載置台と、前記基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に当接し、該LSIチップを加熱する加熱ブロックと、前記LSIチップの側面と前記加熱ブロックが当接した状態で前記LSIチップと前記異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧させる押圧基板押圧機構と、取り外したLSIチップを除去するLSIチップ除去手段とを備えていることを特徴とするLSIチップの取り外し装置。 - 前記加熱ブロックの平面断面形状は、矩形型、L字型またはコ字型である請求項1に記載のLSIチップの取り外し装置。
- 前記LSIチップ除去手段は、前記LSIチップを吸着保持して移動可能な冷却ブロックである請求項1または2に記載のLSIチップの取り外し装置。
- 異方性接着材によりLSIチップが実装された基板におけるLSIチップのリペア方法において、
前記基板を載置台に載置させた後、基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に加熱ブロックを当接し、該LSIチップを加熱することにより前記異方性接着材を軟化させ、LSIチップの側面と加熱ブロックが当接した状態でLSIチップと異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧してLSIチップを取り外し、剥離したLSIチップを吸着して除去することを特徴とするLSIチップのリペア方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003400779A JP4252433B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003400779A JP4252433B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005166760A true JP2005166760A (ja) | 2005-06-23 |
JP4252433B2 JP4252433B2 (ja) | 2009-04-08 |
Family
ID=34724914
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003400779A Expired - Fee Related JP4252433B2 (ja) | 2003-11-28 | 2003-11-28 | Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4252433B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011028813A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Nhk Spring Co Ltd | ヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具 |
CN109526197A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-03-26 | 武汉联特科技有限公司 | 一种用于光学cob封装的返修装置 |
WO2023144972A1 (ja) * | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
CN109526197B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-06-04 | 武汉联特科技股份有限公司 | 一种用于光学cob封装的返修装置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110444487A (zh) * | 2019-06-28 | 2019-11-12 | 广东晶科电子股份有限公司 | 一种Mini LED模组的检修方法 |
-
2003
- 2003-11-28 JP JP2003400779A patent/JP4252433B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011028813A (ja) * | 2009-07-27 | 2011-02-10 | Nhk Spring Co Ltd | ヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具 |
US8689429B2 (en) | 2009-07-27 | 2014-04-08 | Nhk Spring Co., Ltd. | Method of reworking head suspension |
US9070418B2 (en) | 2009-07-27 | 2015-06-30 | Nhk Spring Co., Ltd. | Cutting jig for reworking head suspension |
CN109526197A (zh) * | 2018-09-30 | 2019-03-26 | 武汉联特科技有限公司 | 一种用于光学cob封装的返修装置 |
CN109526197B (zh) * | 2018-09-30 | 2024-06-04 | 武汉联特科技股份有限公司 | 一种用于光学cob封装的返修装置 |
WO2023144972A1 (ja) * | 2022-01-27 | 2023-08-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、及び基板処理方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4252433B2 (ja) | 2009-04-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN107068728A (zh) | Oled显示面板上电子器件的拆除方法 | |
JP2010152205A (ja) | Acf貼付装置及び表示装置の製造方法 | |
JP2008242074A (ja) | 液晶表示装置の製造方法及びこれに用いる吸着冶具 | |
JP4252433B2 (ja) | Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 | |
CN105307416A (zh) | 一种柔性板器件回收方法及回收设备 | |
JP4385895B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JP2006245554A (ja) | 電気部品の実装方法 | |
JP4515813B2 (ja) | 部品実装機 | |
KR100558564B1 (ko) | 회로기판 본딩장치 | |
KR20160094517A (ko) | 본딩장치 및 본딩방법 | |
WO2018221372A1 (ja) | 残渣層除去方法、残渣層除去装置、及び表示モジュール | |
JPH05315401A (ja) | 電子部品の接続装置 | |
KR20130038072A (ko) | 양면 에프피씨비 자동 접착 장치 및 방법 | |
JP5356873B2 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
KR101524975B1 (ko) | 칩 제거용 공구 및 이를 이용한 칩 제거 방법 | |
KR20110021614A (ko) | 집적회로 접촉 프로브 유닛 및 그의 제조방법 | |
JP2008135643A (ja) | 圧着装置および圧着方法 | |
CN102184680A (zh) | 用于绑定平板显示器的方法和装置 | |
JP7137512B2 (ja) | 圧着接合装置 | |
JP2005086145A (ja) | 熱圧着装置および表示装置の製造方法 | |
JPH10153789A (ja) | 液晶パネルのtcpリペア方法 | |
JP4579658B2 (ja) | 被実装部材の実装装置及び実装方法 | |
JP3477601B2 (ja) | 偏光板張り付け装置及びその張り付け方法 | |
JP2001007489A (ja) | フレキシブルケーブルの取外し方法及び取外し装置 | |
JP2007096188A (ja) | 圧着装置および圧着方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061127 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081007 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081205 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090113 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130 Year of fee payment: 6 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |