JP2005166760A - Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 - Google Patents

Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005166760A
JP2005166760A JP2003400779A JP2003400779A JP2005166760A JP 2005166760 A JP2005166760 A JP 2005166760A JP 2003400779 A JP2003400779 A JP 2003400779A JP 2003400779 A JP2003400779 A JP 2003400779A JP 2005166760 A JP2005166760 A JP 2005166760A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lsi chip
substrate
heating block
contact
lsi
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2003400779A
Other languages
English (en)
Other versions
JP4252433B2 (ja
Inventor
Kenji Ikeda
賢治 池田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Display Corp
Original Assignee
Kyocera Display Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Display Corp filed Critical Kyocera Display Corp
Priority to JP2003400779A priority Critical patent/JP4252433B2/ja
Publication of JP2005166760A publication Critical patent/JP2005166760A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4252433B2 publication Critical patent/JP4252433B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Wire Bonding (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

【課題】 基板および電極端子を損傷することなく、さらに、基板の電極端子の狭ピッチ化にも容易に対応することができるLSIチップの取り外し装置およびこの装置によるLSIチップのリペア方法を提供すること。
【解決手段】 基板9に実装されたLSIチップ13の側面13aに加熱ブロック3を当接し、LSIチップ13の側面13aと加熱ブロック3とを当接した状態で、LSIチップ13と異方性接着材14との界面にせん断応力が加わるように基板9を押圧して取り外す。
【選択図】 図1

Description

本発明は、基板上に実装されたLSIチップのうち、故障あるいは接続不良等の不具合が生じたLSIチップの取り外し装置およびこの装置を使用したLSIチップのリペア方法に関する。
従来から、液晶表示パネル等の基板上に実装されたLSIチップにおいて、LSIチップに故障あるいは接続不良等の不具合が生じた場合、このLSIチップが実装された基板ごと破棄するか、あるいは、このLSIチップのリペアが行なわれてきた。
従来のLSIチップのリペア方法の一例としては、COG型液晶表示パネルにおいて電極端子が形成されたガラス基板上に異方性接着材により実装されたLSIチップに故障あるいは接続不良等の不具合が生じた際には、220〜240℃に加熱された加熱ヘッドを前記LSIチップの前記ガラス基板との接続面と対向する背面に押し当てて前記LSIチップを加熱し、前記LSIチップの熱により接続面の異方性接着材を軟化させる。そして、前記LSIチップの背面より荷重を加えながら前記LSIチップを取り外した後、LSIチップが取り外された基板に新しいLSIチップを実装することが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開平11−126799号公報
しかし、前述した加熱ヘッドをLSIチップの背面に押し当てて加熱し、LSIチップの背面より荷重を加えながらLSIチップを取り外す方法においては、LSIチップのみならずガラス基板に対しても荷重が加えられてしまい、ガラス基板および電極端子を損傷してしまう危険があった。
本発明はこのような問題点に鑑みてなされたもので、基板および電極端子を損傷することなく、故障したLSIチップを容易に取り外して除去することが可能なLSIチップの取り外し装置およびこの装置を使用したLSIチップのリペア方法を提供することを目的としている。
前述した目的を達成するため本発明に係るLSIチップの取り外し装置の特徴は、LSIチップが実装された基板を載置する載置台と、基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に当接し、該LSIチップを加熱する加熱ブロックと、前記LSIチップの側面と前記加熱ブロックが当接した状態で前記LSIチップと異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧させる基板押圧機構と、取り外したLSIチップを除去するLSIチップ除去手段とを備えている点にある。
また、前記加熱ブロックの平面断面形状は、矩形型、L字型またはコ字型であることが好ましく、また、前記LSIチップ除去手段は前記LSIチップを吸着保持して移動可能な冷却ブロックであることが好ましい。
また、本発明に係るLSIチップのリペア方法の特徴は、LSIチップが実装された基板を載置台に載置させた後、基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に加熱ブロックを当接し、該LSIチップを加熱することにより異方性接着材を軟化させ、LSIチップの側面と加熱ブロックが当接した状態でLSIチップと異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧してLSIチップを取り外し、剥離したLSIチップを吸着して除去する点にある。
本発明のLSIチップの取り外し装置およびこの装置を使用したLSIチップのリペア方法によれば、基板上に実装されたLSIチップの側面を加熱ブロックに当接させることにより、LSIチップと基板とを接続している異方性接着材を軟化させることができ、基板に荷重が加わることを防止することができる。そして、加熱ブロックとLSIチップの側面とが当接した状態においてLSIチップと異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧することにより、水平方向の押圧力が前記基板と前記LSIチップとの接着面に加わり、基板および基板上に形成された電極端子を損傷させることなくLSIチップを取り外すことができる。
以下、図面を用いて本発明のLSIチップの取り外し装置およびこの装置を使用したLSIチップのリペア方法の実施形態について説明する。なお、本実施形態においては液晶表示パネルに実装されたLSIチップのリペアを例に説明する。
図1は本発明の取り外し装置の概略図、図2は本発明の取り外し装置の使用例を示す説明図である。
本実施形態のLSIチップの取り外し装置1は、図1に示すように、液晶表示パネル7を載置する水平な載置台2と、前記載置台2に対して垂直に配設された加熱ブロック3と、前記液晶表示パネル7を前記加熱ブロック3側へ押圧する基板押圧機構4と、LSIチップを除去するLSIチップ除去手段(図示せず)とを有している。なお、この基板押圧機構4とは逆に、前記加熱ブロック3を前記液晶表示パネル7側へ押圧するような機構であってもよい。
前記加熱ブロック3は、図示しないヒーターを加熱することにより加熱し、本実施形態においては300℃以上に加熱される。
また、前記加熱ブロック3の基板と水平方向の断面形状は、矩形型でもよいが、L字型またはコ字型とするとLSIチップの2つ以上の側面に加熱ブロック3を当接でき、効率よく熱を伝えることができる。さらに、前記加熱ブロック3には、前記載置台2との対向距離、すなわち高さ位置を調節する調節機構(図示せず)が配設されており、前記加熱ブロック3の側面3aの端部が後述する液晶表示パネル7に実装されたLSIチップ13の側面13aに好適に当接するように加熱ブロック3の位置を調節することができるようになっている。
前記基板押圧機構4は、例えば水平方向に往復可動しうるピストン5を有するエアシリンダ6からなり、前記ピストン5の前記液晶表示パネル7と接触する押圧部5aは、ゴム等の弾性部材により形成されていてもよい。
前記エアシリンダ6の両端部にはそれぞれエアホース(図示せず)が接続されており、このエアホースより空気の供給方向を選択することにより前記ピストン5を水平方向に移動させ、前記液晶表示パネル7を押圧することができる。
また、本発明の取り外し装置1には、取り外したLSIチップ13を吸着して除去可能なLSIチップ除去手段(図示せず)を備えており、特に、LSIチップ除去手段として冷却ブロックを用いれば、取り外したLSIチップ13を急冷することができ、取り外したLSIチップ13が基板に再付着することを防止することができる。
前記液晶表示パネル7の第1のガラス基板8と第2のガラス基板9との間には液晶(図示せず)が封入されており、前記第1のガラス基板8と前記第2のガラス基板9の各表面にはそれぞれ偏光板10,11が貼着されている。
また、前記第2のガラス基板9には、前記第1のガラス基板8の端面から突出した突出部9aが形成されており、この突出部9a上にはLSIチップ13およびFPC(図示せず)を接続する電極端子12が形成されており、この電極端子12に異方性接着材14によりLSIチップ13が接続されている。
つぎに、このような構成からなるLSIチップの取り外し装置1を用いた本発明のLSIチップのリペア方法について説明する。
なお、ここで使用される液晶表示パネル7としては、予め点灯検査装置(図示せず)により点灯検査を行ない、LSIチップ13に故障あるいは接続不良等の不具合が認められたものを使用する。
まず、LSIチップ13に不具合が認められた液晶表示パネル7を、図1に示すように、取り外し装置1の載置台2上に前記LSIチップ13を加熱ブロック3と当接できるような向きに向けて載置する。そして、基板押圧機構4のエアシリンダ6を水平方向に可動して、図2(a)に示すように、ピストン5の押圧部5aを前記液晶表示パネル7に当接させ、さらに前記液晶表示パネル7を水平方向に移動させて前記液晶表示パネル7に実装されたLSIチップ13の側面13aを加熱ブロック3に当接させる。なお、このとき、前記加熱ブロック3は300℃以上に加熱させた状態にしておく。そして、前記LSIチップ13の側面13aを前記加熱ブロック3の側面3aの端部に2〜3秒程度当接させることにより、LSIチップ13による伝熱で電極端子12と前記LSIチップ13とを接続している異方性接着材14を軟化させることができる。そして、前記異方性接着材14が軟化した状態で、図2(b)に示すように、前記エアシリンダ6をさらに水平方向に可動させて前記液晶表示パネル7を前記加熱ブロック3側に対して押圧することにより前記LSIチップ13を容易に取り外すことができる。
このようにして前記LSIチップ13を取り外した後、LSIチップ除去手段により取り外したLSIチップ13を吸着して取り外し装置外に除去する。前記液晶表示パネル7を取り外し装置1から取り外し、前記液晶表示パネル7の電極端子12および電極端子12の周囲に付着している異方性接着材14を、トルエン、ヘキサン、アセトン等の有機溶剤を用いて除去した後、前記電極端子12に前記LSIチップ13と同種のLSIチップ(図示せず)を新たに異方性接着材14により接続することによりLSIチップをリペアすることができる。
以上説明したように、本発明のLSIチップの取り外し装置およびこの装置によるリペア方法によれば、液晶表示パネル7に接続されたLSIチップ13を取り外す際に、第2のガラス基板9、偏光板11および電極端子12に過剰な荷重あるいは熱を加えることなくLSIチップ13を取り外すことができ、第2のガラス基板9、偏光板11および電極端子12を損傷することを防止することができる。
なお、本発明は、前述した実施の形態に限定されるものではなく、必要に応じて種々の変更が可能である。例えば、本実施形態においては、液晶表示パネル7にFPCが接続される前に点灯検査を行ない、LSIチップ13の取り外しを行なっているが、液晶表示パネル7にFPCを接続した後にもLSIチップのリペアを行なうことができる。
また、本実施形態においては、液晶表示パネルに接続されたLSIチップのリペアを例に説明したが、異方性接着材によりLSIチップが実装されたプリント回路基板においても同様の効果を奏することができる。
本発明の取り外し装置の概略図 本発明の取り外し装置の使用例を示す説明図
符号の説明
1 取り外し装置
2 載置台
3 加熱ブロック
4 基板押圧機構
5 ピストン
6 エアシリンダ
7 液晶表示パネル
8 第1のガラス基板
9 第2のガラス基板
10,11 偏光板
12 電極端子
13 LSIチップ
14 異方性接着材

Claims (4)

  1. 異方性接着材によりLSIチップが実装された基板におけるLSIチップの取り外し装置において、
    前記基板を載置させる載置台と、前記基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に当接し、該LSIチップを加熱する加熱ブロックと、前記LSIチップの側面と前記加熱ブロックが当接した状態で前記LSIチップと前記異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧させる押圧基板押圧機構と、取り外したLSIチップを除去するLSIチップ除去手段とを備えていることを特徴とするLSIチップの取り外し装置。
  2. 前記加熱ブロックの平面断面形状は、矩形型、L字型またはコ字型である請求項1に記載のLSIチップの取り外し装置。
  3. 前記LSIチップ除去手段は、前記LSIチップを吸着保持して移動可能な冷却ブロックである請求項1または2に記載のLSIチップの取り外し装置。
  4. 異方性接着材によりLSIチップが実装された基板におけるLSIチップのリペア方法において、
    前記基板を載置台に載置させた後、基板に接しない状態で前記LSIチップの少なくとも一側面に加熱ブロックを当接し、該LSIチップを加熱することにより前記異方性接着材を軟化させ、LSIチップの側面と加熱ブロックが当接した状態でLSIチップと異方性接着材との界面にせん断応力が加わるように前記基板を押圧してLSIチップを取り外し、剥離したLSIチップを吸着して除去することを特徴とするLSIチップのリペア方法。
JP2003400779A 2003-11-28 2003-11-28 Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法 Expired - Fee Related JP4252433B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003400779A JP4252433B2 (ja) 2003-11-28 2003-11-28 Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003400779A JP4252433B2 (ja) 2003-11-28 2003-11-28 Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005166760A true JP2005166760A (ja) 2005-06-23
JP4252433B2 JP4252433B2 (ja) 2009-04-08

Family

ID=34724914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2003400779A Expired - Fee Related JP4252433B2 (ja) 2003-11-28 2003-11-28 Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4252433B2 (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011028813A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Nhk Spring Co Ltd ヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具
CN109526197A (zh) * 2018-09-30 2019-03-26 武汉联特科技有限公司 一种用于光学cob封装的返修装置
WO2023144972A1 (ja) * 2022-01-27 2023-08-03 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、及び基板処理方法
CN109526197B (zh) * 2018-09-30 2024-06-04 武汉联特科技股份有限公司 一种用于光学cob封装的返修装置

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110444487A (zh) * 2019-06-28 2019-11-12 广东晶科电子股份有限公司 一种Mini LED模组的检修方法

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011028813A (ja) * 2009-07-27 2011-02-10 Nhk Spring Co Ltd ヘッドサスペンションの再生方法及びリワーク用切断治具
US8689429B2 (en) 2009-07-27 2014-04-08 Nhk Spring Co., Ltd. Method of reworking head suspension
US9070418B2 (en) 2009-07-27 2015-06-30 Nhk Spring Co., Ltd. Cutting jig for reworking head suspension
CN109526197A (zh) * 2018-09-30 2019-03-26 武汉联特科技有限公司 一种用于光学cob封装的返修装置
CN109526197B (zh) * 2018-09-30 2024-06-04 武汉联特科技股份有限公司 一种用于光学cob封装的返修装置
WO2023144972A1 (ja) * 2022-01-27 2023-08-03 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置、及び基板処理方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP4252433B2 (ja) 2009-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107068728A (zh) Oled显示面板上电子器件的拆除方法
JP2010152205A (ja) Acf貼付装置及び表示装置の製造方法
JP2008242074A (ja) 液晶表示装置の製造方法及びこれに用いる吸着冶具
JP4252433B2 (ja) Lsiチップの取り外し装置およびlsiチップのリペア方法
CN105307416A (zh) 一种柔性板器件回收方法及回收设备
JP4385895B2 (ja) ボンディング装置
JP2006245554A (ja) 電気部品の実装方法
JP4515813B2 (ja) 部品実装機
KR100558564B1 (ko) 회로기판 본딩장치
KR20160094517A (ko) 본딩장치 및 본딩방법
WO2018221372A1 (ja) 残渣層除去方法、残渣層除去装置、及び表示モジュール
JPH05315401A (ja) 電子部品の接続装置
KR20130038072A (ko) 양면 에프피씨비 자동 접착 장치 및 방법
JP5356873B2 (ja) 電子部品の実装装置及び実装方法
KR101524975B1 (ko) 칩 제거용 공구 및 이를 이용한 칩 제거 방법
KR20110021614A (ko) 집적회로 접촉 프로브 유닛 및 그의 제조방법
JP2008135643A (ja) 圧着装置および圧着方法
CN102184680A (zh) 用于绑定平板显示器的方法和装置
JP7137512B2 (ja) 圧着接合装置
JP2005086145A (ja) 熱圧着装置および表示装置の製造方法
JPH10153789A (ja) 液晶パネルのtcpリペア方法
JP4579658B2 (ja) 被実装部材の実装装置及び実装方法
JP3477601B2 (ja) 偏光板張り付け装置及びその張り付け方法
JP2001007489A (ja) フレキシブルケーブルの取外し方法及び取外し装置
JP2007096188A (ja) 圧着装置および圧着方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20061127

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20080929

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20081007

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20081205

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20090113

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20090121

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120130

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130

Year of fee payment: 6

S533 Written request for registration of change of name

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150130

Year of fee payment: 6

R350 Written notification of registration of transfer

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees