JP2005154162A - ガラスパイプ加工方法及び装置、ガラスパイプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明に係るガラス加工方法は、ガラス加工装置1を用いて、外径が30mm以上であり、肉厚が3mm以上かつ15mm未満であり、外径の非円率が1.0%以下である出発ガラスパイプGに対し、その周囲を円環状に囲む発熱部21を備えた加熱炉20を出発ガラスパイプGの長手方向に相対移動させて、出発ガラスパイプGの内付けまたは縮径を行う際に、発熱部21と出発ガラスパイプGのうち少なくとも一方の温度を測定して、その測定した温度に基づいて発熱部21の発熱量を調節する。
【選択図】 図2
Description
このような内付け工程を繰り返し行い、出発ガラスパイプの肉厚が所望の厚さとなるまでガラス層を複数層形成して、光ファイバ母材の中間体をなすガラスパイプを形成することができる。
そのため、加工後のガラスパイプの形状に歪みを生じさせてしまうことがあった。また、火炎により発生する風圧により、軟化した出発ガラスパイプを局所的に収縮させてしまうことがあった。
例えば、内付け工程で形成されたガラスパイプをコラプス法により中実化してガラスロッドとし、光ファイバ母材のコア部分を形成した場合には、その母材から得られた光ファイバのコアも非円化してしまい、偏波分散を生じる等して伝送特性を低下させてしまう。
なお、外径の非円率は、出発ガラスパイプの任意の円周上における外径のうち、最大値をa、最小値をb、平均値をcとしたときに、次式(1)により定義することができる。
{(a−b)/c}×100 ・・・(1)
図1に、本発明に係るガラスパイプ加工方法を実施することのできるガラスパイプ加工装置を示す。
図1に示すガラスパイプ加工装置1は、所謂内付け法(内付けCVD法)により、出発ガラスパイプの内側でガラス微粒子を生成し、それを出発ガラスパイプの内側に堆積させてガラス膜を形成するものである。
2つの支持部11の間には、出発ガラスパイプGを加熱するための加熱炉20が設けられている。この加熱炉20には、出発ガラスパイプGを円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉を用いることができ、例えば、誘導加熱炉や抵抗加熱炉を用いることができる。本実施形態では、誘導加熱炉を用いた場合について説明する。
また、ガス供給管15には、出発ガラスパイプGの内部の空間へガスを導入するためのガス導入手段(図示せず)が接続されている。ガス導入手段は、四塩化ケイ素(SiCl4)、酸素(O2)、ヘリウム(He)や四塩化ゲルマニウム(GeCl4)等を、単一のガスもしくは適宜混合したガスとして導入することができるように構成されている。
図2に示すように、本実施形態の加熱炉20は、高周波誘電加熱方式の炉であり、誘導コイル23に交流電流を流すことで発熱部21が発熱する。発熱部21は、出発ガラスパイプGの周囲を円環状に囲む円筒形状をなしており、その材質はグラファイトまたはジルコンである。この発熱部21がガラスの軟化点以上の温度に発熱することによって、出発ガラスパイプGを加熱して軟化させる。なお、出発ガラスパイプGの材質が、VAD法等により作成された純度の高いガラスの場合、軟化点は1700℃程度である。
誘導コイル23は、発熱部21の軸方向の中央部分を加熱するように配置されており、適宜その巻き数が設定されている。
また、発熱部21と誘導コイル23との間には、絶縁体22が設けられている。
このような構成により、穴21a,22aを通して、誘導コイル23の外側に配置された温度測定器24から出発ガラスパイプGの加熱されている領域の外表面温度を直接測定することができる。
また、出発ガラスパイプGの複数箇所の温度を測定するために、出発ガラスパイプGの温度を測定する温度測定器24は、複数設けられていても良い。
なお、本発明においては、発熱部21と出発ガラスパイプGの少なくともどちらか一方の温度を測定できれば良い。
図3に示すように、出発ガラスパイプGの内側には、その一端側(図中左側)からガスが供給され、他端側(図中右側)からそのガスが排出される。ガスを排出するガス排気管17と出発ガラスパイプGとの間には、バッファタンク16が設けられており、排出前のガスがこのバッファタンク16内に溜められる。バッファタンク16には、ガス管31が接続されており、流量調節器(MFC)30により調節された流量のガスが適宜バッファタンク16内に供給される。ガス管31から供給されるガスの量によって、バッファタンク16内の圧力が変化し、それに伴って出発ガラスパイプG内の圧力も変化する。
このような構成により、外径測定器27により測定された外径値と、圧力計29により測定されたバッファタンク16内の圧力値に基づいて、流量制御部28が流量調節器30を制御して、バッファタンク16内の圧力を調節する。バッファタンク16内の圧力が調節されることによって、出発ガラスパイプG内の圧力が調節され、軟化した出発ガラスパイプGの外径を調節することができる。
さらに、誘導コイル23の内側に配置された穴21aの、1つあたりの内周側の開口面積を1000mm2以下としておくことで、穴21aが形成されたことによる加熱に対する影響を少なくして、均一な加熱状態を保つことができる。また、発熱部21による加熱効率を良好に保つために、誘導コイル23の内側に配置された全ての穴21aの内周側の開口総面積を小さくすることが望ましい。例えば、誘導コイル23の内側に位置する発熱部21の内周側面積に対して、穴21aの内周側の開口総面積を50%以下とすると良い。
例えば他の発熱部として、図4に示すように、出発ガラスパイプGの長手方向(図中左右方向)に蛇行して全体として円筒形状をなす形状としても良い。この形態では、蛇行した隙間が、出発ガラスパイプGの長手方向に沿って形成されて発熱部の外周側と内周側を貫通する、スリット状の空隙部36である。そして、この空隙部36を通して出発ガラスパイプGの温度や外径を測定することができる。
また、図4に示すように、円周方向に不連続となっている箇所の両側に電極を接続して、発熱部35を電気抵抗式で発熱させることができる。その場合、図2に示したような誘導コイルは不要である。
また、他の発熱部として、2つ以上の円筒形状に分かれてその隙間が空隙部として形成された発熱部であっても良い。
なお、本発明において用いられる出発ガラスパイプGは、外径が30mm以上であり、肉厚が3mm以上かつ15mm未満であり、外径の非円率が1.0%以下である。好ましくは、内径が24mm以上であると良い。このような径が大きく厚さが薄い出発ガラスパイプを用いる場合に、本発明の非円抑制効果を顕著に得ることができる。
また、出発ガラスパイプGの長さは、例えば600mm程度のものを好適に用いることができる。
また、回転速度を150rpm以下とすることで、遠心力が過大となることによる出発ガラスパイプの振れ回りの発生を抑制できる。
そして、加熱炉20を出発ガラスパイプGの一端側から他端側に向けて(すなわち、長手方向に沿って)トラバースする。このとき、トラバースを開始する位置は、ガラス原料ガスが供給されるガス供給管15が設置された側とする。なお、トラバースする速度は、10mm/分以上に設定する。このようなトラバース速度とすることで、図2に示すように、出発ガラスパイプGの最高温度となる箇所T1から、その最高温度より30℃温度が下がる箇所T2までの距離L2を長くすることができ、出発ガラスパイプGの長手方向における粘度の変化の割合を小さくすることができる。したがって、出発ガラスパイプGの長手方向における外径の変動を抑制することができる。
もしくは、予め発熱部21の温度と出発ガラスパイプGの温度との関係を調べておき、温度測定器24により測定した発熱部21の温度を基に、出発ガラスパイプGの温度が所望の値となるように発熱部21の発熱量を調節してもよい。
また、発熱部21の温度と出発ガラスパイプGの温度の両方の測定値を用いて、発熱部21の発熱量を調節すると、さらに精度良く出発ガラスパイプGの温度を制御することができる。
図5に示すように、出発ガラスパイプGの縮径を行う際には、上記のガラスパイプ加工装置1(図1から図3参照)を用いて、同様の温度制御や圧力制御を行いつつ縮径を行って、非円率の小さいガラスパイプを得ることができる。なお、出発ガラスパイプGの内側に供給するガスは、窒素やアルゴン等の不活性ガスを用いると良い。また、出発ガラスパイプGの内側の圧力は、出発ガラスパイプGの外側に対して負圧とすることで、容易に縮径を行うことができるが、出発ガラスパイプGの外側に対してやや陽圧とすることで、非円率をさらに低減することができる。
上述したガラスパイプ加工装置1を用いて、上述した温度制御や圧力制御を行いつつ、出発ガラスパイプGの内付けを行った。出発ガラスパイプGは、外径35mm、内径27mm、非円率0.3%のものを用いた。また、内付け時の加熱炉20のトラバース速度は、100mm/分であり、出発ガラスパイプGの回転速度は40rpmとした。また、内付け時の出発ガラスパイプGの内側の圧力は、外側の大気圧に対して80Pa高い圧力とした。さらに、加熱された出発ガラスパイプGの外表面の最高温度は2100℃であった。
さらに、本実施例の結果と比較するために、加熱源に酸水素バーナを用いて、同様に出発ガラスパイプGの内付けを行った。
このように、本発明に係るガラスパイプ加工方法及びガラスパイプ加工装置によれば、外径の非円率が小さいガラスパイプを得られることが確認できた。
11 支持部
12 基台
13 チャック
14 支持レール(移動手段)
15 ガス供給管(ガス供給部)
16 バッファタンク
17 ガス排気管(ガス排出部)
20 加熱炉
21 発熱部
21a 穴
22 絶縁体
22a 穴
23 誘導コイル
24,25 温度測定器
26 電流制御部(発熱量調整手段)
27 外径測定器
28 流量制御部(圧力調整手段)
29 圧力計
30 流量調節器
31 ガス管
35 発熱部
36 空隙部
G 出発ガラスパイプ
G1 ガラス微粒子
G2 ガラス微粒子堆積体
G3 ガラス層
Claims (18)
- 外径が30mm以上であり、肉厚が3mm以上かつ15mm未満であり、外径の非円率が1.0%以下である出発ガラスパイプに対し、その周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉を前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させて、前記出発ガラスパイプの内付けまたは縮径を行う際に、前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定して、前記測定した温度に基づいて前記発熱部の発熱量を調節することを特徴とする、ガラスパイプ加工方法。
- 請求項1に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記発熱量の調節は、前記出発ガラスパイプの長手方向の100mm以上の領域に対して、前記相対移動とともに少なくとも1回行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1または2に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記発熱部の外側に設けた温度測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して、前記出発ガラスパイプの外表面の温度を測定することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から3の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記ガラスパイプの最高温度の箇所から最高温度より30℃低い温度となる箇所までの、前記出発ガラスパイプの長手方向に沿った距離を20mm以上とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から4の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記相対移動の速度を10mm/分以上とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から5の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの円周方向における最高温度と最低温度との差を200℃以下とすることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から6の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプを、その中心軸回りに10rpm以上150rpm以下の速度で回転させることを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から7の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの長手方向の100mm以上の領域に対して、前記相対移動とともに前記出発ガラスパイプの外径を測定して、前記測定した外径に基づいて前記出発ガラスパイプの内側の圧力を少なくとも1回調節することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項8に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記外径の測定は、レーザ光式モニタ、CCDカメラ、X線カメラのうち何れか1つ以上の外径測定器を用いて行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項8または9に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記外径の測定は、前記発熱部の外側に設けた外径測定器を用い、前記発熱部に設けた空隙部を通して行うことを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から10の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記内付けまたは前記縮径を行う際に、前記出発ガラスパイプの内側と外側の圧力差を、1500Pa以下に調節することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から11の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法であって、
前記出発ガラスパイプの外径Odと前記発熱部の内径IDの比ID/Odを、1.1〜5.0の範囲内に設定することを特徴とするガラスパイプ加工方法。 - 請求項1から12の何れか1項に記載のガラスパイプ加工方法を用いて加工され、外径の非円率が0.5%以下であることを特徴とするガラスパイプ。
- 被加熱体である出発ガラスパイプの周囲を円環状に囲む発熱部を備えた加熱炉と、
前記出発ガラスパイプの内側にガスを供給するガス供給部と、
前記出発ガラスパイプの内側からガスを排出するガス排出部と、
前記出発ガラスパイプと前記加熱炉とを前記出発ガラスパイプの長手方向に相対移動させる移動手段と、
前記発熱部と前記出発ガラスパイプのうち少なくとも一方の温度を測定する温度測定器と、
前記発熱部の発熱量を調節する発熱量調節手段とを備えていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 - 請求項14に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記出発ガラスパイプの外径を測定する外径測定器と、
前記出発ガラスパイプの内側の圧力を調節する圧力調節手段とを備えていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 - 請求項14または15に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記発熱部は、その内周側と外周側を貫通する空隙部を有することを特徴とするガラスパイプ加工装置。 - 請求項16に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記空隙部は、穴であって、
前記穴は、複数形成され、前記発熱部の同一長手方向または同一円周方向の何れにも並ばずに配置されていることを特徴とするガラスパイプ加工装置。 - 請求項16または17に記載のガラスパイプ加工装置であって、
前記加熱炉は、前記発熱部の周囲に誘導コイルを備えた誘導加熱炉であり、
前記空隙部は、穴であって、
前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の1つあたりの内周側開口面積は、1000mm2以下であり、
前記誘導コイルの内側に配置された前記穴の内周側開口総面積は、前記誘導コイルの内側に位置する前記発熱部の内周側面積の50%以下であることを特徴とするガラスパイプ加工装置。
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