JP2005153057A - マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光学装置及び光スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】 片持ち梁構造を持つ可動部を、接触している固定部から離れ易くし、作動不良になり難くする。
【解決手段】 可動部は、固定端が脚部１２を介して固定された片持ち梁構造をなす梁部１３から構成される。梁部１３は、固定端と自由端との間に、機械的に直列に接続された２つの梁構成部１４，１５を有する。固定端側の梁構成部１４は板ばね部である。自由端側の梁構成部１５は剛性を有する剛性部である。梁構成部１５は、梁部１３が力を受けない状態で、固定端側から自由端側に向かう方向に沿って基板１１と反対側に反っている。
【選択図】 図２

Description

本発明は、マイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光学装置及び光スイッチに関するものである。この光学装置及び光スイッチは、例えば、光通信装置や光伝送装置等で用いることができるものである。

マイクロマシニング技術の進展に伴い、種々の分野においてマイクロアクチュエータの重要性が高まっている。マイクロアクチュエータが用いられている分野の一例として、例えば、光通信などに利用され光路を切り替える光スイッチを挙げることができる。このような光スイッチの一例として、下記の特許文献１に開示された光スイッチを挙げることができる。

マイクロアクチュエータは、固定部と、固定部に対して移動可能とされた可動部とを備えているが、可動部が片持ち梁構造を持つタイプのマイクロアクチュエータもある。例えば、特許文献１の図８や、特許文献２の図２６、図３６〜図４０には、可動部が片持ち梁構造を持つ例が開示されている。

ここで、特許文献１の図８に開示された光スイッチについて説明する。この光スイッチは、マトリクス状に光導波路が形成されるとともにその交差点にミラーが進出し得る溝が形成された光導波路基板と、マイクロアクチュエータ及びミラーが形成されたアクチュエータ基板と、を備えている。ミラーがマイクロアクチュエータにより駆動され、ミラーが光導波路基板の前記溝内に進出した時に光がそのミラーで反射される一方、ミラーが前記溝から退出した時に光が直進することにより、光路が切り替えられる。

そして、特許文献１の図８に開示された光スイッチで採用されているマイクロアクチュエータでは、可動部は一様に構成された板ばね部のみで構成されている。板ばね部の先端側にミラーが固定されている。この板ばね部は、駆動力が与えられていない場合には、基板と反対側に反って湾曲しており、駆動力が与えられると、板ばね部の基板側の面全体が基板上の面に当接する。駆動力が与えられなくなると、板ばね部のバネ力（内部応力）によって基板と反対側に反って湾曲した状態に戻る。

また、特許文献２の図２６、図３６〜図４０に開示された光スイッチで採用されているマイクロアクチュエータでは、基板に対して固定された片持ち梁構造を持つ可動部は、その固定端と自由端との間に梁部を有している。該梁部は、前記固定端と前記自由端との間に機械的に直列に接続されたばね部と剛性部とを有している。前記ばね部は、前記剛性部に対して固定端側に配置されている。前記剛性部は、平面を維持するように構成されている。
特開２００１−１４２００８号公報 国際公開第０３／０６０５９２号パンフレット

しかしながら、前述した特許文献１に開示されているマイクロアクチュエータでは、駆動力が与えられたときに、可動部の全体を構成する板ばね部の基板側の面全体が基板上の面に当接するため、両者の間の接触面積がかなり大きくならざるを得ない。したがって、可動部が基板の上面に貼り付いて離れなくなってしまうような事態が生じ易く、作動不良になり易かった。

また、前述した特許文献２に開示されているマイクロアクチュエータでは、剛性部が平面を維持するように構成されているので、可動部が基板に接触する際には、前記剛性部が全体的に基板に接触するため、両者の間の接触面積が比較的大きい。また、剛性部が平面を維持するように構成されているので、可動部が基板に引き寄せられて剛性部が基板に接触した状態では、当該剛性部は、可動部を基板から離れる方向に付勢する力を生ずるように変形するようなことがない。したがって、このマイクロアクチュエータでは、可動部が基板の上面に貼り付いて離れなくなってしまうような事態が比較的生じ易く、作動不良となるのを必ずしも十分に防ぐことは困難であった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、片持ち梁構造を持つ可動部が、接触している固定部から離れ易くなって、作動不良になり難いマイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光学装置及び光スイッチを提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、本発明の第１の態様によるマイクロアクチュエータは、固定部と、該固定部に対して固定端が固定された片持ち梁構造を持つ可動部とを備え、前記可動部は、前記可動部の前記固定端と自由端との間に梁部を有し、前記梁部は、前記固定端と前記自由端との間に機械的に直列に接続されたばね部と剛性部とを有し、前記ばね部は、前記剛性部に対して前記固定端側に配置され、前記剛性部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って前記固定部とは反対側に反っているものである。

本発明の第２の態様によるマイクロアクチュエータは、前記第１の態様において、前記剛性部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定部とは反対側に全体的に湾曲していることにより前記固定部とは反対側に反っているものである。

なお、前記第１の態様では、この第２の態様に限定されるものではなく、例えば、前記剛性部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記剛性部の途中の一箇所以上で局所的に前記固定部とは反対側に折れ曲がることにより前記固定部とは反対側に反っていてもよい。

本発明の第３の態様によるマイクロアクチュエータは、前記第１又は第２の態様において、前記可動部を前記固定部に引き寄せる力を発生させる手段を備え、前記手段の一部を構成し前記可動部に設けられる要素が、前記剛性部における前記ばね部寄りの部分又は前記ばね部に設けられたものである。

本発明の第４の態様によるマイクロアクチュエータは、前記第３の態様において、前記要素が静電力を発生するための電極であるものである。

本発明の第５の態様によるマイクロアクチュエータは、前記第１乃至第４のいずれかの態様において、前記剛性部は、主面部と、該主面部から立ち上がるか又は立ち下がった補強部とを有するものである。

本発明の第６の態様によるマイクロアクチュエータは、前記ばね部及び前記剛性部はそれぞれ薄膜で構成されたものである。

なお、前記第１乃至第６の態様において、前記剛性部と接触する前記固定部の部分、もしくは前記固定部と接触する前記剛性部の部分に、凹凸構造が形成されていてもよい。

本発明の第７の態様による光学装置は、前記第１乃至第６のいずれかの態様によるマイクロアクチュエータと、前記可動部に設けられた光学素子と、を備えたものである。

本発明の第８の態様による光スイッチは、前記第１乃至第６のいずれかの態様によるマイクロアクチュエータと、前記可動部に設けられたミラーと、を備えたものである。

本発明によれば、片持ち梁構造を持つ可動部が、接触している固定部から離れ易くなって、作動不良になり難いマイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光学装置及び光スイッチを提供することができる。

以下、本発明によるマイクロアクチュエータ、並びに、これを用いた光学装置及び光スイッチについて、図面を参照して説明する。

［第１の実施の形態］

図１は、本発明の第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１及びこれにより駆動される光学素子としてのミラー２を模式的に示す概略平面図である。図１では、基板１１上に形成された固定電極１６は、想像線で示している。図２は、図１中のＸ１−Ｘ２線に沿った概略断面図である。図３は、図１中のＹ１−Ｙ２線に沿った概略断面図である。説明の便宜上、図１乃至図３に示すように、互いに直交するＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を定義する。また、Ｘ軸方向のうち矢印の向きを＋Ｘ方向と呼び、その反対の向きを−Ｘ方向と呼び、Ｙ軸方向及びＺ軸方向についても同様とする。ＸＹ平面は基板１１の面と平行となっている。これらの点は、後述する各図についても同様である。なお、図２及び図３は、駆動信号が供給されていない状態（すなわち、可動部が力を受けていない状態）を示している。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１は、シリコン基板やガラス基板等の基板１１と、脚部１２と、Ｚ軸方向から見た平面視でＸ軸方向に延びた１本の帯板状の梁部１３と、固定電極１６と、を備えている。

梁部１３の固定端（−Ｘ方向の端部）は、基板１１上のシリコン酸化膜等の絶縁膜１７上に形成されたＡｌ膜からなる配線パターン１８（図１では省略）を介して基板１１から立ち上がる立ち上がり部を持つ脚部１２を介して、基板１１に機械的に接続されている。梁部１３の＋Ｘ方向の端部は自由端となっている。したがって、本実施の形態では、梁部１３は片持ち梁となっており、梁部１３が、片持ち梁構造を持つ可動部を構成している。また、本実施の形態では、基板１１、絶縁膜１７及び固定電極１６が、固定部を構成している。

本実施の形態では、梁部１３の自由端側の上部（すなわち、後述する梁構成部１５の上部）には、被駆動体としてのＡｕ、Ｎｉ又はその他の金属からなるミラー２が設けられている。

梁部１３は、その固定端と自由端との間に機械的にＸ軸方向に直列に接続された２つの梁構成部１４，１５を、有している。梁構成部１４，１５は、いずれもＺ軸方向から見た平面視でＸ軸方向に延びた帯板状に構成されている。固定端側（−Ｘ側）の梁構成部１４はＺ軸方向に撓み得る板ばね部となっているのに対し、自由端側（＋Ｘ側）の梁構成部１５はＺ軸方向（基板１１側及びその反対側）の撓み及びその他の方向の撓みに対して実質的に剛性を有する剛性部となっている。

梁構成部１４は、下側のＳｉＮ膜２１と上側のＡｌ膜２２とが積層された２層の薄膜で、板ばねとして作用するように構成されている。梁構成部１５は、梁構成部１４からそのまま連続して当該梁構成部１５における全領域に延びたＳｉＮ膜２１と、梁構成部１４からそのまま連続して当該梁構成部１５における梁構成部１４側の領域においてＳｉＮ膜２１上に部分的に積層されたＡｌ膜２２と、からなる薄膜で構成されている。このように、Ａｌ膜２２は、梁構成部１５においては、最も梁構成部１４寄りの部分に設けられている。梁構成部１５は、梁構成部１４とは異なり、Ｚ軸方向から見た平面視で短冊状の平面状の主面部１５ａの他に、主面部１５ａにおける外周付近に当該主面部１５ａを周回するようにＺ軸方向から見た平面視でロの字状に形成され主面部１５ａから＋Ｚ方向に突出した凸条部１５ｂを有している。凸条部１５ｂは、主面部１５ａから立ち上がる立ち上がり部を有し、この立ち上がり部が主面部１５ａを補強する補強部となって、梁構成部１５に前述した剛性を持たせている。

例えば、凸条部１５ｂの外周側の立ち上がり部のみを残し、凸条部１５ｂの内周側の立ち上がり部をなくして主面部１５ａの高さを本実施の形態で凸条部１５ｂの上面と同一にしても、同様の補強効果が得られる。ただし、この場合に比べて本実施の形態の方が、梁部１３が力を受けていない状態で、可動電極として兼用される梁構成部１５におけるＡｌ膜２２と固定電極１６との間の距離が短くなり、静電力の駆動電圧が低減できるので好ましい。凸条部１５ｂは、本実施の形態では前述したようにロの字状に形成されているが、例えば、＋Ｙ側及び−Ｙ側において平面視でＸ軸方向に延びる部分のみを形成し、＋Ｘ側及び−Ｘ側においてＹ軸方向に延びる部分については形成しなくてもよい。凸条部１５ｂをこのように形成しても、Ｚ軸方向の撓みに対する剛性を梁構成部１５に持たせることができる。

なお、梁構成部１４，１５の材料や層数は前述した例に限定されるものではなく、例えば、ＳｉＮ膜２１に代えて他の絶縁膜を用いてもよいし、Ａｌ膜２２に代えて他の導電膜を用いてもよい。

また、梁構成部１４は、図２に示すように、駆動信号が供給されていない状態において、膜２１，２２の応力によって、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って全体的に上方（基板１１と反対側、＋Ｚ側）に湾曲している。梁構成部１５は、駆動信号が供給されていない状態において（本実施の形態では、駆動信号が供給されている状態においても）、膜２１，２２の応力によって、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って上方（基板１１と反対側、＋Ｚ側）に反っている。本実施の形態では、梁構成部１５は、梁構成部１４の曲率より小さい曲率で全体的に湾曲することにより、上方に反っている。もっとも、梁構成部１５は、その途中の一箇所以上で局所的に上方に折れ曲がることにより、上方に反っていてもよい。

本実施の形態では、脚部１２は、梁構成部１４を構成するＳｉＮ膜２１及びＡｌ膜２２がそのまま連続して延びることによって構成されている。Ａｌ膜２２は、脚部１２においてＳｉＮ膜２１に形成された開口を介して配線パターン１８に電気的に接続されている。なお、脚部１２の上部には、脚部１２の強度を補強するために、凸条部１９がＺ方向から見た平面視で口の字状に形成されている。

本実施の形態では、静電力を駆動力として作動するように構成されている。具体的には、本実施の形態では、梁構成部１５におけるＡｌ膜２２が可動電極として兼用され、梁構成部１５におけるＡｌ膜２２（したがって、梁構成部１５における最も梁構成部１４寄りの部分）と対向する基板１１上の絶縁膜１７上の領域に、Ａｌ膜からなる固定電極１６が形成されている。なお、固定電極１６がこの領域に形成されていれば、梁構成部１５の全領域においてＡｌ膜２２がＳｉＮ膜２１上に形成されていても良く、梁構成部１５のＡｌ膜２２における固定電極１６との対向部分のみが静電力を発生させるための可動電極となる。また、可動電極が梁構成部１５における最も梁構成部１４寄りではないが梁構成部１４寄りの部分となるように、梁構成部１５におけるＡｌ膜２２の配置及び固定電極１６の配置を設定してもよい。

梁構成部１５におけるＳｉＮ膜２１は、Ａｌ膜２２と固定電極１６とが電気的に接触しないようにするための絶縁層としても機能している。なお、図面には示していないが、固定電極１６を構成するＡｌ膜は配線パターンとしても延びており、前記配線パターン１８と共に利用することによって、固定電極１６と可動電極として兼用された梁構成部１５におけるＡｌ膜２２との間に電圧を、駆動信号として印加できるようになっている。

この電圧（駆動信号）を印加すると、固定電極１６と梁構成部１５における可動電極としてのＡｌ膜２２との間に静電力（駆動力）が作用し、梁構成部１４のバネ力（内部応力）に抗して、梁構成部１５の梁構成部１４寄りの部分が基板１１側へ引き寄せられて、それに伴い梁構成部１４が変形する。そして、梁構成部１５が基板１１側に当接した位置で停止し、それによりミラー２が基板１１へ近接した位置へ移動した状態となる。図４は、この状態を示しており、図２に対応する概略断面図である。一方、この電圧を印加しないと、固定電極１６と梁構成部１５における可動電極としてのＡｌ膜２２との間に静電力（駆動力）が作用しなくなり、梁構成部１４のバネ力（内部応力）によって、図２に示す状態に戻り、ミラー２は基板１１から離れた元の上方位置へ戻る。基板１１には、外部からの制御信号に応じてこの駆動信号を生成する駆動回路を搭載しておいてもよく、この点は後述する各実施の形態についても同様である。

図１乃至図４に示すミラー２を搭載したマイクロアクチュエータ１は、図２及び図３に示すように入射光を入射させることで、光スイッチとして用いることができる。図２及び図３において、Ｋは、ミラー２の進出位置に対する入射光の光路の断面を示している。図２に示す状態では、ミラー２が入射光の光路に進出して、入射光を反射させる。なお、入射光の入射角度は、このときに所望の角度でミラー２により反射されるように設定される。一方、図３に示す状態では、ミラー２が入射光の光路から退出し、入射光はミラー２で反射されることなくそのまま通過する。このようにして、入射光が反射される状態とそのまま通過される状態とに切り替えられる。

前述したように、本実施の形態では、駆動信号によって生ずる静電力によって駆動される。もっとも、本発明では、磁気力やローレンツ力など他の駆動力や任意の２種類以上を複合した駆動力により駆動されるように構成することもできる。また、例えば、異なる膨張係数を有する異なる物質の互いに重なった少なくとも２つの層の、熱膨張による変形を利用した駆動方式を採用してもよい。この場合、例えば、光や赤外線の吸収や電気抵抗部への通電などによって、前記変形のための熱を与えることができ、照射光量や通電量を駆動信号として用いることができる。

次に、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１の製造方法の一例について、図５を参照して説明する。図５は、この製造方法の各工程をそれぞれ模式的に示す概略断面図であり、図２に対応している。

まず、シリコン基板１１の上面に熱酸化によってシリコン酸化膜１７を成膜し、その上にＡｌ膜を蒸着又はスパッタ法等によりデポした後に、フォトリソエッチング法により、そのＡｌ膜を固定電極１６、配線パターン１８及びその他の配線パターンの形状にパターニングする（図５（ａ））。次いで、この状態の基板上に、犠牲層となるレジスト３０を塗布し、このレジスト３０に、脚部１２のコンタクト部に応じた開口３０ａをフォトリソエッチング法により形成する（図５（ｂ））。

次に、図５（ｂ）に示す状態の基板の全面に犠牲層となるレジスト３１を塗布し、フォトリソエッチング法により、レジスト３１における凸条部１５ｂ，１９に対応した部分のみを島状に残して他の部分を除去する（図５（ｃ））。

その後、脚部１２及び梁部１３（梁構成部１４，１５）となるべきＳｉＮ膜２１をプラズマＣＶＤ法等により形成した後、フォトリソエッチング法によりパターニングし、それらの形状とする（図５（ｄ））。このとき、脚部１２におけるコンタクト部には開口を形成しておく。

次いで、脚部１２及び梁部１３（梁構成部１４、及び、梁構成部１５の一部）となるべきＡｌ膜２２を蒸着又はスパッタ法等によりデポした後に、フォトリソエッチング法によりパターニングし、それらの形状にする（図５（ｅ））。

次に、図５（ｅ）に示す状態の基板の全面に犠牲層となるレジスト３２を厚塗りし、レジスト３２を露光、現像してミラー２が成長される領域をレジスト３２に形成した後、電解メッキによりミラー２となるべきＡｕ、Ｎｉ又はその他の金属を成長させる（図５（ｆ））。最後に、レジスト３０〜３２をプラズマアッシング法等により除去する。これにより、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１が完成する。

なお、前述した製造工程において、レジスト３０〜３２を除去した際に、梁構成部１４が上方に相対的に大きい曲率で湾曲するとともに梁構成部１５が上方に相対的に小さい曲率で湾曲するような内部応力が、梁構成部１４，１５の構成膜に残るような条件で、当該構成膜の成膜や前記犠牲層の形成などを行う。

ここで、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１と比較される比較例によるマイクロアクチュエータ４１を、図６乃至図８に示す。図６は、このマイクロアクチュエータ４１及びこれにより駆動されるミラー２を模式的に示す概略平面図である。図７は、図６中のＸ３−Ｘ４線に沿った概略断面図であり、駆動信号が供給されていない状態（すなわち、可動部が力を受けていない状態）を示している。図８は、図６中のＸ３−Ｘ４線に沿った概略断面図であり、駆動信号が供給されている状態を示している。図６乃至図８は、図１、図２及び図４にそれぞれ対応している。図面には示していないが、図６中のＹ３−Ｙ４線に沿った概略断面図は図３と同様となる。図６乃至図８において、図１乃至図４中の要素と同一又は対応する要素には同一符号を付し、その重複する説明は省略する。

この比較例によるマイクロアクチュエータ４１が本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１と異なる所は、以下に説明する点のみである。

マイクロアクチュエータ４１では、梁構成部１５の全領域においてＡｌ膜２２がＳｉＮ膜２１上に形成され、固定電極１６が梁構成部１５と対向する基板１１上の絶縁膜１７上の領域に形成されている。これにより、梁構成部１５の全領域のＡｌ膜２２が可動電極となっている。

また、マイクロアクチュエータ４１では、梁構成部１５は、駆動信号が供給されていない状態において、Ｚ軸方向に実質的に湾曲しておらず、平面を維持している。製造時に、梁構成部１４，１５の成膜や犠牲層の形成などの条件を適宜設定することで、梁構成部１５を平面を維持するようにしておくことができる。

この比較例によるマイクロアクチュエータ４１では、梁構成部１５が力を受けない状態で図７に示すように平面を維持するように構成されていることから、駆動信号が供給されると、図８に示すように、梁構成部（剛性部）１５の全体が固定電極１６に接触するので、その接触面積が比較的大きい。また、梁構成部１５が力を受けない状態で図７に示すように平面を維持するように構成されているので、図８に示すように梁構成部１５が固定電極１６に接触した状態において、梁構成部１５は、梁構成部１５を固定電極１６から離れる方向に付勢する力を生ずるように変形するようなことがない。したがって、このマイクロアクチュエータ４１では、梁構成部１５が固定電極１６に貼り付いて離れなくなってしまうような事態が比較的生じ易く、作動不良となるのを必ずしも十分に防ぐことは困難である。

これに対して、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１では、梁構成部１５が力を受けない状態で図２に示すように上方に反っているとともに、可動電極及び固定電極１６が梁構成部１５における梁構成部１４寄りに配置されていることから、駆動信号が供給されると、図４に示すように、梁構成部１５（剛性部）の一部のみが固定電極１６に接触するだけに留まる。このため、両者の間の接触面積が小さくなる。したがって、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１では、比較例によるマイクロアクチュエータ４１に比べて、梁構成部１５が、接触している固定電極１６から離れ易くなって、作動不良となり難い。

なお、梁構成部１５と接触する基板１１側の部分、もしくは基板１１側と接触する梁構成部１５の部分に、凹凸構造を形成しておくと、両者の間の接触面積をより小さくすることができ、ひいては、両者の間がより離れ易くなって、より作動不良となり難くなるので、好ましい。

本実施の形態では、前述したように、可動電極を梁構成部１５における梁構成部１４寄りの部分に設けているが、その代わりに、可動電極を梁構成部１４に設けてもよい。この場合、例えば、固定電極１６を梁構成部１４と対向する絶縁膜１７上の領域に形成することで、梁構成部１４におけるＡｌ膜２２を可動電極として兼用すればよい。ただし、可動電極の位置が固定端側に寄るほど、てこの原理によって作動に必要な駆動力が大きくなって、必要な駆動電圧は大きくなる。

［第２の実施の形態］

図９は、本発明の第２の実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０及びこれにより駆動されるミラー２を模式的に示す概略断面図であり、駆動信号が供給されていない状態（すなわち、可動部が力を受けていない状態）を示している。図９は、図２及び図７に対応している。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０が前記第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１と異なる所は、マイクロアクチュエータ５０では、図６乃至図８に示す前記比較例によるマイクロアクチュエータ４１と同じく、梁構成部１５の全領域においてＡｌ膜２２がＳｉＮ膜２１上に形成され、固定電極１６が梁構成部１５と対向する基板１１上の絶縁膜１７上の領域に形成され、これにより、梁構成部１５の全領域のＡｌ膜２２が可動電極となっている点のみである。

したがって、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０が前記比較例によるマイクロアクチュエータ４１と異なる所は、マイクロアクチュエータ４１では、梁構成部１５は、駆動信号が供給されていない状態において、Ｚ軸方向に実質的に湾曲しておらず、平面を維持しているのに対し（図７参照）、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０では、梁構成部１５は、図９に示すように、前記第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１と同じく、上方に反っている点のみである。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０では、駆動信号が供給されると、図８に示す状態と同じ状態となって、梁構成部（剛性部）１５の全体が固定電極１６に接触するので、前記比較例によるマイクロアクチュエータ４１と同じくその接触面積が比較的大きい。しかしながら、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０では、梁構成部１５が力を受けない状態で図９に示すように上方に反っているので、梁構成部（剛性部）１５の全体が固定電極１６に接触したときに、梁構成部１５が平板状に変形する。この変形は、梁構成部１５を固定電極１６から離れる方向に付勢する力を生ずるような変形である。したがって、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０では、比較例によるマイクロアクチュエータ４１に比べて、梁構成部１５が、接触している固定電極１６から離れ易くなって、作動不良となり難い。

［第３の実施の形態］

図１０は、本発明の第３の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１及びこれにより駆動されるミラー２を模式的に示す概略平面図である。図１０では、可動部及び脚部の表面に全体に渡って形成された保護膜としてのＳｉＮ膜１４４は省略して示し、本来実線で書くべき凸条部１４９，１５０のラインを破線で示し、Ａｌ膜１４２，１４３にそれぞれ異なるハッチングを付している。図１１は、図１０中のＸ１１−Ｘ１２線に沿った概略断面図である。図面には示していないが、図１０中のＸ１９−Ｘ２０線に沿った概略断面図は図１１と同様となる。図１２は、図１０中のＸ１３−Ｘ１４線に沿った概略断面図である。図面には示していないが、図１０中のＸ１７−Ｘ１８線に沿った概略断面図は図１２と同様となる。図１３は、図１０中のＸ１５−Ｘ１６線に沿った概略断面図である。図１４は、図１０中のＹ１１−Ｙ１２線に沿った概略断面図である。図１５は、図１０中のＹ１３−Ｙ１４線に沿った概略断面図である。図１６は、図１０中のＹ１５−Ｙ１６線に沿った概略断面図である。図１７は、図１０中のＹ１７−Ｙ１８線に沿った概略断面図である。なお、図１１乃至図１７では、梁構成部１３２〜１３５がＺ軸方向に湾曲していないものとして示しているが、梁構成部１３２，１３４は、実際には、図１中の梁構成部１４と同様に、可動部が力を受けていない状態において＋Ｚ方向に相対的に大きい曲率で湾曲している。また、梁構成部１３３，１３５は、実際には、図１中の梁構成部１５と同様に、可動部が力を受けていない状態において＋Ｚ方向に相対的に小さい曲率で湾曲している。

前記第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１が静電力のみを駆動力とするように構成されていたのに対し、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１は、静電力及びローレンツ力の両方を駆動力とするように構成されている。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１は、シリコン基板やガラス基板等の基板１２１と、脚部１２２，１２３と、Ｚ軸方向から見た平面視で主としてＸ軸方向に並行して延びた２本の帯板状の梁部１２４，１２５と、梁部１２４，１２５の先端（自由端、＋Ｘ方向の端部）に設けられそれらの間を機械的に接続する平面視で長方形状の接続部１２６と、梁部１２４を構成する梁構成部１３３及び梁部１２５を構成する梁構成部１３５の固定端側同士を補強のために機械的に接続する接続部１２７と、固定電極１２８と、を備えている。

梁部１２４の固定端（−Ｘ方向の端部）は、基板１２１上のシリコン酸化膜等の絶縁膜１２９上に形成されたＡｌ膜からなる配線パターン１３０，１３１（図１０では省略）をそれぞれ介して基板１２１から立ち上がる立ち上がり部を持つ２つの個別脚部１２２ａ，１２２ｂからなる脚部１２２を介して、基板１２１に機械的に接続されている。同様に、梁部１２５の固定端（−Ｘ方向の端部）は、基板１２１上の絶縁膜１２９上に形成されたＡｌ膜からなる２つの配線パターン（図示せず）をそれぞれ介して基板１２１から立ち上がる立ち上がり部を持つ２つの個別脚部１２３ａ，１２３ｂからなる脚部１２３を介して、基板１２１に機械的に接続されている。前述したように、梁部１２４，１２５の自由端間が接続部１２６で機械的に接続され、梁構成部１３２，１３４の固定端側同士が接続部１２７で機械的に接続されている。したがって、本実施の形態では、梁部１２４，１２５及び接続部１２６，１２７が、全体として、片持ち梁構造を持つ可動部を構成している。本実施の形態では、基板１２１、固定電極１２８及び絶縁膜１２９が、固定部を構成している。

梁部１２４は、前記可動部の固定端と自由端との間に機械的にＸ軸方向に直列に接続された２つの梁構成部１３２，１３３を有している。梁構成部１３２は、Ｚ軸方向から見た平面視でＸ軸方向に延びた帯板状に構成されている。梁構成部１３３は、帯板状に構成され、図１０に示すように、Ｚ軸方向から見た平面視で、主としてＸ軸方向に延びているものの、−Ｘ側の位置でＹ軸方向に折れ曲がったような形状を有している。固定端側（−Ｘ側）の梁構成部１３２はＺ軸方向に撓み得る板ばね部となっているのに対し、自由端側（＋Ｘ側）の梁構成部１３３はＺ軸方向（基板１２１側及びその反対側）の撓み及びその他の方向の撓みに対して実質的に剛性を有する剛性部となっている。

梁構成部１３２は、下側のＳｉＮ膜１４１と中間のＡｌ膜１４２，１４３と上側の保護膜としてのＳｉＮ膜１４４とが積層された３層（ただし、Ａｌ膜１４２，１４３間の隙間では２層）の薄膜で、板ばねとして作用するように構成されている。Ａｌ膜１４２とＡｌ膜１４３とは、同一階層に形成されているが、図１０に示すように、若干Ｙ軸方向に隙間をあけて形成され、互いに電気的に分離されている。これは、Ａｌ膜１４２を静電力用の可動電極への配線として用い、Ａｌ膜１４３をローレンツ力用の電流経路を形成するための配線として用いるためである。静電力用の配線ではほとんど電流を流さない一方、ローレンツ力用の配線では比較的大きい電流を流すため、ローレンツ力用の配線の電気抵抗を低減するべく、Ａｌ膜１４２は幅が狭く形成され、Ａｌ膜１４３は幅が広く形成されている。

梁構成部１３３は、梁構成部１３２からそのまま連続して延びた下側のＳｉＮ膜１４１と中間のＡｌ膜１４２，１４３と上側の保護膜としてのＳｉＮ膜１４４とが積層された３層（ただし、Ａｌ膜１４２，１４３が形成されていない箇所では２層）の薄膜で、構成されている。後述する凸条部１４９，１５０を形成することによって、梁構成部１３３に前述した剛性を持たせている。

図１１では、梁構成部１３２がＺ軸方向に湾曲していないものとして示しているが、梁構成部１３２は、実際には、図１中の梁構成部１４と同様に、可動部が力を受けていない状態において、膜１４１〜１４４の応力によって、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って全体的に上方（基板１２１と反対側、＋Ｚ側）に湾曲している。また、図１１では、梁構成部１３３がＺ軸方向に湾曲していないものとして示しているが、梁構成部１３３は、実際には、図１中の梁構成部１５と同様に、可動部が力を受けていない状態において、膜１４１〜１４４の応力によって、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って全体的に梁構成部１３２の曲率より小さい曲率で上方（基板１２１と反対側、＋Ｚ側）に湾曲している。このような湾曲状態は、膜１４１，１４２，１４４の成膜条件や犠牲層の形成条件などを適宜設定することにより、実現することができる。

本実施の形態では、脚部１２２は、梁構成部１３２を構成するＳｉＮ膜１４１，１４４及びＡｌ膜１４２，１４３がそのまま連続して延びることによって構成され、２つの個別脚部１２２ａ，１２２ｂを有している。脚部１２２が２つの個別脚部１２２ａ，１２２ｂを有しているのは、静電力用の配線とローレンツ力用の配線とを分離して、Ａｌ膜１４２とＡｌ膜１４３とを基板１２１上の別々の配線パターン１３０，１３１にそれぞれ電気的に接続させるためである。Ａｌ膜１４２は、個別脚部１２２ａにおいてＳｉＮ膜１４１に形成された開口を介して配線パターン１３０に電気的に接続されている。Ａｌ膜１４３は、個別脚部１２２ｂにおいてＳｉＮ膜１４１に形成された開口を介して配線パターン１３１に電気的に接続されている。なお、脚部１２２の上部には、脚部１２２の強度を補強するために、凸条部１５１がＺ方向から見た平面視で個別脚部１２２ａ，１２２ｂを一括して囲むように口の字状に形成されている。

梁部１２５及び脚部１２３は、前述した梁部１２４及び脚部１２２とそれぞれ全く同一の構造を有している。梁部１２５を構成する梁構成部１３４，１３５は、梁部１２４を構成する梁構成部１３２，１３３に相当している。脚部１２３を構成する個別脚部１２３ａ，１２３ｂは、脚部１２２を構成する個別脚部１２２ａ，１２２ｂにそれぞれ相当している。また、脚部１２３の上部には、前述した凸条部１５１に相当する凸条部１５２が形成されている。

接続部１２６は、梁構成部１３３，１３５からそのまま連続して延びた下側のＳｉＮ膜１４１と中間のＡｌ膜１４３と上側のＳｉＮ膜１４４とが積層された３層（ただし、Ａｌ膜１４３が形成されていない箇所では２層）の薄膜で、構成されている。接続部１２６には、被駆動体としてのＡｕ、Ｎｉ又はその他の金属からなるミラー２が設けられている。

接続部１２７は、梁構成部１３３，１３５からそのまま連続して延びた下側のＳｉＮ膜１４１と中間のＡｌ膜１４２と上側のＳｉＮ膜１４４とが積層された３層の薄膜で、構成されている。

本実施の形態では、梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７に一括して剛性を付与するべく、図１０中の破線で示すように、平面視でこれらの一括した領域の外周側において周回するように凸条部１４９が形成され、前記一括した領域の内周側に周回するように凸条部１５０が形成されている。この凸条部１４９，１５０によって、梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７が補強されて剛性を有している。したがって、梁構成部１３３，１３５の間が接続部１２６，１２７で機械的に接続されていることから、梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７が全体として１つの剛性部を構成している。

接続部１２７におけるＡｌ膜１４２の部分が静電力用の可動電極として兼用され、接続部１２７におけるＡｌ膜１４２の部分と対向する基板１２１上の領域には、Ａｌ膜からなる静電力用の固定電極１２８が形成されている。これによって、梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７が全体としてなす剛性部における梁構成部１３２，１３４寄りの部分に、静電力用の可動電極が設けられている。図面には示していないが、固定電極１２８を構成するＡｌ膜は配線パターンとしても延びており、前記配線パターン１３０と共に利用することによって、固定電極１２８と可動電極として兼用された接続部１２７におけるＡｌ膜１４２との間に電圧を、静電力用駆動信号として印加できるようになっている。

一方、前述した説明からわかるように、Ａｌ膜１４３によって、脚部１２２の個別脚部１２２ｂ下の配線パターン１３１から、梁構成部１３２→梁構成部１３３→接続部１２６→梁構成部１３５→梁構成部１３４を経て、脚部１２３の個別脚部１２３ｂ下の配線パターン（図示せず）へ至る、電流経路が構成されている。この電流経路のうち、接続部１２６におけるＹ軸方向に沿った電流経路（電流方向−Ｙ方向）が、Ｘ軸方向の磁界内に置かれたときに、基板１２１側（−Ｚ方向）へ向かうローレンツ力を発生させる部分となっている。したがって、永久磁石等（図示せず）を用いてＸ軸方向の磁界内に置き、前記電流経路へ電流（ローレンツ力用駆動信号）を流すと、その電流の向きに応じて、接続部１２６におけるＡｌ膜１４３にローレンツ力（駆動力）が−Ｚ方向又は＋Ｚ方向へ作用する。

なお、本実施の形態では、可動部及び脚部の表面に全体に渡って、保護膜としてのＳｉＮ膜１４４が形成されているが、このＳｉＮ膜１４４は形成しなくてもよい。ただし、この場合、Ａｌ膜１４２，１４３の電気的な絶縁を確保するため、ミラー２の下部にはＳｉＮ膜１４４を残しておく。なお、前述した第１及び第２の実施の形態においても、ＳｉＮ膜１４４に相当する保護膜を形成しておいてもよい。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１も、前記第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１と同様の製造方法により、製造することができる。

本実施の形態によれば、ローレンツ力と静電力の両方を駆動力として用いることが可能である。例えば、ローレンツ力のみまたはローレンツ力と静電力の両方で可動部を基板１２１側へ押し下げ、接続部１２６が基板１２１に当接するかあるいはその手前の設定位置まで達したら、ローレンツ力を切り静電力だけで、接続部１２６を基板１２１に当接した状態に保持することができる。

図１０乃至図１７に示すミラー２を搭載したマイクロアクチュエータ１１１も、図１乃至図４に示すミラー２を搭載したマイクロアクチュエータ１と同様に、光スイッチとして用いることができる。

本実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。すなわち、梁構成部１３３，１３５が力を受けない状態で上方に反っているとともに、可動電極及び固定電極１２８が梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７が全体としてなす剛性部における梁構成部１３２，１３４寄りの位置に（すなわち、接続部１２７に）配置されていることから、静電力で可動部が基板１２１側に保持されている状態では、当該剛性部の一部のみ（接続部１２７の付近のみ）が固定電極１２８に接触するだけに留まる。このため、両者の間の接触面積が小さくなる。したがって、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１では、可動部が、接触している基板１２１側から離れ易くなって、作動不良となり難い。

本実施の形態では、前述したように可動電極が接続部１２７に設けられ、これに対向する領域に固定電極１２８が形成されているが、本発明では、その代わりに、例えば、可動電極を接続部１２６に設け、これに対向する領域に固定電極１２８を形成してもよい。この場合、可動部が静電力によって基板１２１側に保持されているときには、前記第２の実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０と同様に、梁構成部１３３，１３５の全体が基板１２１側に接触し、両者の接触面積が大きくなる。しかしながら、このマイクロアクチュエータでは、本実施の形態と同じく梁構成部１３３，１３５が力を受けない状態で上方に反っているので、梁構成部１３３，１３５の全体が基板１２１側に接触したときに、梁構成部１３３，１３５が平板状に変形する。この変形は、梁構成部１３３，１３５を基板１２１側から離れる方向に付勢する力を生ずるような変形である。したがって、このマイクロアクチュエータにおいても、梁構成部１３３，１３５が基板１２１側から離れ易くなって、作動不良となり難い。

［第４の実施の形態］

図１８は、本発明の第４の実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１及びこれにより駆動されるミラー部６４を示す概略斜視図である。図１９（ａ）は図１８中のマイクロアクチュエータ６１の可動板６３を示す概略平面図であり、図１９（ｂ）は図１９（ａ）中のＭ−Ｍ断面図である。図２０は、図１８中のマイクロアクチュエータ６１の可動板６３を上から見たときのＡｌ膜７２のパターン形状を示す図である。理解を容易にするため、図２０において、Ａｌ膜７２の部分にハッチングを付している。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１は、固定部を構成する基板６２と、基板６２に設けられた可動部としての可動板６３と、を備えている。可動板６３には、光学素子部としてのミラー部６４が搭載されている。ミラー部６４は、光学素子として、光学膜からなるミラー８１を含んでいる。以下の説明からわかるように、マイクロアクチュエータ６１は、前記第３の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１と基本的に同様に構成されている。

可動板６３は、図１９及び図２０に示すように、可動板６３の平面形状の全体に渡る下側の窒化ケイ素膜（ＳｉＮ膜）７１及び上側のＳｉＮ膜７３と、これらの膜７１，７３の間において部分的に形成された中間のＡｌ膜７２とから構成されている。すなわち、可動板６３は、下から順にＳｉＮ膜７１，７３を積層した２層膜からなる部分と、下から順にＳｉＮ膜７１、Ａｌ膜７２及びＳｉＮ膜７３を積層した３層膜からなる部分とを、併有している。このように、可動板６３は薄膜で構成されている。Ａｌ膜７２のパターン形状は図２０に示す通りであるが、これについては後述する。

可動板６３は、図１８及び図１９（ａ）に示すように、ミラー部６４を搭載するための搭載部としての長方形状のミラー部搭載板６３ｂと、ミラー部搭載板６３ｂの端部に接続された２本の帯状の支持板６３ｃとを含む。支持板６３ｃは、それぞれの端部に脚部６３ａ及び脚部６３ｄを有している。脚部６３ａ及び６３ｄは、いずれも基板６２に固定されており、可動板６３は、脚部６３ａ及び６３ｄを固定端とする片持ち梁構造を持つ可動部となっている。各脚部６３ａは図１０中の脚部１２２ａ，１２３ａにそれぞれ相当し、各脚部６３ｄは図１０中の脚部１２２ｂ，１２３ｂにそれぞれ相当している。

可動板６３には、図１８及び図１９に示すように、可動板６３のミラー部６４を搭載している部分を取り囲むように、凸部７４が設けられている。凸部７４は、図１９（ｂ）に示すように、可動板６３を構成する複層膜を凸型にすることにより形成されている。この凸部７４は、可動板６３の支持板６３ｃの一部の領域にも設けられている。なお、支持板６３ｃの脚部６３ａ，６３ｄ寄りの領域には、凸部７４は設けられていない。

本実施の形態では、このように凸部７４を設けることにより、段差（主面部から立ち上がる又は立ち下がる立ち上がり部又は立ち下がり部）が生じ、この段差が主面部を補強する補強部となる。これにより、可動板６３のうち、凸部７４で囲まれた領域及び凸部７４が設けられた領域、すなわち、支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂが、実質的に剛性を有する剛性部となっている。支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂが、図１０中の梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７が全体としてなす剛性部に相当している。ただし、可動板６３では、図１０中の梁構成部１３３，１３５及び接続部１２６，１２７により囲まれた開口部分に相当する開口部分はない。

また、凸部７４の一部７４ａ，７４ｂは、図１９（ａ）に示すように、可動板６３のうちミラー部搭載板６３ｂの中央部に向かって延びている。これにより、凸部７４で囲まれたミラー部搭載板６３ｂの中央部の面積が大きい場合であっても、中央部の領域の形状を一定に維持することができる。また、凸部７４の一部７４ｂは、後述する薄膜立体構造体６５の１段目を兼用している。

支持板６３ｃの脚部６３ａ，６３ｄに近い領域は、凸部７４が設けられていないことにより、Ｚ軸方向に撓み得る板ばね部となっている。各支持板６３ｃの脚部６３ａ，６３ｄに近い部分が、図１０中の梁構成部１３２，１３４に相当している。

図面には示していないが、本実施の形態では、各支持板６３ｃの脚部６３ａ，６３ｄに近い部分は、図１中の梁構成部１４と同様に、可動板６３が力を受けていない状態で、膜７１〜７３の応力によって、固定端側（−Ｙ側）から自由端側（＋Ｙに向かう方向に沿って全体的に上方（基板６２と反対側、＋Ｚ側）に湾曲している。また、図面には示していないが、支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂがなす剛性部は、図１中の梁構成部１５と同様に、可動板６３が力を受けていない状態において、膜７１〜７３の応力によって、固定端側から自由端側に向かう方向に沿って全体的に梁構成部１３２の曲率より小さい曲率で上方（基板６２と反対側、＋Ｚ側）に湾曲している。このような湾曲状態は、膜７１〜７３の成膜条件や犠牲層の形成条件などを適宜設定することにより、実現することができる。

ここで、可動板６３のＡｌ膜７２の形状について説明する。本実施の形態では、前記第３の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１と同様にローレンツ力と静電力の両方を用いて可動板６３を駆動するために、図２０に示すような形状に、Ａｌ膜７２をパターニングしている。

Ａｌ膜７２のうちパターン７２ａは、２つの脚部６３ｄのうちの一方から、可動板６３の外周の縁に沿って延びて可動板６３の先端まで到達した後、可動板６３の反対側の縁に沿って他方の脚部６３ｄに達するパターンである。このパターン７２ａは、ローレンツ力により可動板６３を駆動する際に、ローレンツ力を生じさせるための電流を流す配線として用いられる。パターン７２ａは、脚部６３ｄにおいて基板６２に設けられた配線（図示せず）と接続され、脚部６３ｄを介して基板６２からローレンツ力用駆動信号としての電流が供給される。パターン７２ａのうち、可動板６３の先端の一辺６３ｅに沿ってＹ軸方向に延びた直線部分が、磁界内に配置されて通電によりローレンツ力を生じる電流路（ローレンツ力用電流路）を構成している。したがって、永久磁石等（図示せず）を用いてローレンツ力用電流路をＸ軸方向の磁界内に置き、パターン７２ａに電流を供給すると、ローレンツ力用電流路に、その電流の向きに応じて、＋Ｚ方向又は−Ｚ方向のローレンツ力が生ずる。

また、Ａｌ膜７２のうちパターン７２ｂは、２つの脚部６３ａのそれぞれから、可動板６３の内側の縁に沿ってミラー部搭載板６３ｂの固定端側（−Ｘ側）まで延び、ミラー部搭載板６３ｂの固定端側に配置された長方形状のパターン７２ｄに接続されている。パターン７２ｄもＡｌ膜７２のうちのパターンである。パターン７２ｂは、脚部６３ａにおいて基板６２に設けられた配線（図示せず）と接続され、基板６２の固定電極との間に電圧が印加される。これにより、パターン７２ｄと基板６２の固定電極との間に静電力が生じ、可動板６３は基板６２に引き寄せられる。図面には示していないが、基板６２の固定電極は、パターン７２ｄと対向する領域に形成されている。

本実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１も、前記第３の実施の形態によるマイクロアクチュエータ１１１と同様に、ローレンツ力と静電力の両方を駆動力として用いることが可能である。例えば、ローレンツ力のみまたはローレンツ力と静電力の両方で可動板６３を基板６２側へ押し下げ、可動板６３が基板６２に当接するかあるいはその手前の設定位置まで達したら、ローレンツ力を切り静電力だけで、可動板６３を基板６２に当接した状態に保持することができる。

次に、ミラー部６４の構造について、図１８の他に、図２１及び図２２を参照して説明する。

図２１は、図１８中のミラー部６４を示す概略斜視図である。図２２（ａ）は、図１８中のミラー部６４を示す概略断面図である。図２２（ｂ）は、図２２（ａ）中のＡ矢視図である。

本実施の形態では、ミラー部６４は、図１８、図２１及び図２２に示すように、光学膜からなるミラー８１の他に、２本の支持部（第１の膜部材）８２と、２つの接続部８４と、２本の支持部（第２の膜部材）８３と、ミラー８１を直接的に支持する光学膜支持部８５とを有している。支持部８２と支持部８３は、例えば、帯状に形成され、いずれも長手方向に円弧状に湾曲している。また、接続部８４と光学膜支持部８５とミラー８１には、剛性を高めるために、縁に段差（折り返し）が形成されている。２本の支持部８２の一方の端部は、脚部８２ｃにより可動板６３のミラー部搭載板６３ｂに固定されている。２本の支持部８２の先端には、それぞれ接続部８４を介して支持部８３の上端が接続されている。２本の支持部８３は下向きに垂れ下がり、それらの先端は、光学膜支持部８５の両端を支持している。光学膜支持部８５には、ミラー８１が搭載されている。これにより、ミラー８１を搭載した光学膜支持部８５は、２本の支持部８３によって吊り下げられた構成となっている。

湾曲した支持部８２は、図２２（ａ）に示すようにＳｉＮ膜８２ａとＡｌ膜８２ｂとを積層した２層膜である。一方、支持部８３は、Ａｌ膜８３ａとＳｉＮ膜８３ｂとを積層した２層膜である。支持部８２，８３は、いずれも、Ａｌ膜とＳｉＮ膜との熱膨張係数の差異によって生じる応力並びに成膜時に生じる応力によって円弧状に湾曲している。このとき、図２１及び図２２（ａ）に示すように、支持部８２は、可動板６３に突出する様に湾曲しているのに対して、支持部８３は、支持部８２とは逆向きに湾曲している。このような湾曲を実現するために、支持部８２は、可動板６３側からＳｉＮ膜８２ａ、Ａｌ膜８２ｂの順に積層され、支持部８３は、可動板６３側からＡｌ膜８３ａ、ＳｉＮ膜８３ｂの順に積層されている。

このように支持部８３を支持部８２に対して逆向きに湾曲させることにより、図２２（ａ）のように、ミラー８１が支持される位置を、可動板６３に近い低い位置にすることができるとともに、水平方向については、支持部８２の脚部８２ｃに近い位置にミラー８１を支持することができる。また、温度変化により支持部８２，８３の湾曲状態が変化してもミラー８１の位置が大きく変化しにくい。これにより、ミラー部６４は、ミラー８１が振動しにくく、ミラー８１の位置を安定させることができる。

さらに、可動板６３のミラー部搭載板６３ｂ上には、図１８及び図２１に示すように、光学膜支持部８５の片面側（脚部８２ｃが配置されている側とは逆の側）に、２つの薄膜立体構造体６５がストッパとして搭載されている。薄膜立体構造体６５は、光学膜支持部８５の両脇を図２１中の−Ｙ方向に押して支える位置に配置されている。このように薄膜立体構造体６５が光学膜支持部８５を図２１の−Ｙ方向に支えることにより、温度変化により支持部８２，８３の湾曲状態が変化しても、ミラー８１の位置及び向きを安定して一定に維持することができる。

次に、薄膜立体構造体６５の構造について、図２３（ａ），（ｂ），（ｃ）を参照して説明する。図２３（ａ）は図１８中の薄膜立体構造体６５を示す概略平面図、図２３（ｂ）は図２３（ａ）中のＢ−Ｂ’矢視図、図２３（ｃ）は図２３（ａ）中のＣ−Ｃ’矢視図である。

本実施の形態では、薄膜立体構造体６５は、４段の単位構造部材９１〜９４を積み重ねた構造である。１段目の単位構造部材９１は、可動板６３のミラー部搭載板６３ｂの凸部７４の一部７４ｂと兼用されており、可動板６３と一体に構成されている。単位構造部材９２，９３は、図２３（ｃ）に示すように、複数の支持部５１と、平面部５２とを有している。平面部５２は、両端が支持部５１によって支えられている。２段目の単位構造部材９２は、１段目の単位構造部材９１上に配置された３つの支持部５１と、３つの支持部５１の間に支持された２つの平面部５２とを有する。３段目の単位構造部材９３は、２段目の単位構造部材９２の２つの平面部５２の上にそれぞれ配置された２つの支持部５１と、その間に支持された１つの平面部５２とを有する。最上段の４段目の単位構造部材９４は、３段目の単位構造部材９３の１つの平面部５２上に配置された１つの支持部５１を有し、平面部５２は有していない。最上段の単位構造部材９４は、最下段の単位構造部材９１の幅よりも突出する突起部４９が備えられている。この突起部４９が、図２１に示すように光学膜支持部８５と接して−Ｙ方向に押し、光学膜支持部８５を支持している。

単位構造部材９２，９３は、それぞれ連続した一つの膜によって、支持部５１と平面部５２とが一体に形成されている。また、単位構造部材９４は、連続した一つの膜によって支持部と突起部４９とが一体に形成されている。支持部５１は、４つの側面と底面とを有し、これらが連続した膜により形成されている。

２段目から４段目の単位構造部材９２〜９４が互いに接する部分、すなわち支持部５１の底面と、それを搭載する平面部５２との間には、特別な接着層は配置されていないが、成膜時に膜同士が固着する力により、固定されている。また、２段目の単位構造部材９２の支持部５１のうちの底面は、成膜時に、１段目の単位構造部材９１を構成する薄膜の可動板６３に固着し、これにより単位構造部材９１に固定されている。

２段目及び３段目の単位構造部材９２〜９３において、複数の支持部５１の間隔は、平面部５２がそれ自身の膜応力やその上段の支持部５１から受ける重さによって撓みを生じない程度の間隔であって、かつ、支持部５１を配置可能な面積の平面部５２が確保できる間隔となるように定められている。

また、２段目から４段目の単位構造部材９２〜９４は、膜の周縁部を２回屈曲させることによって形成した段差（折り返し）５３を有している。これにより、薄い膜で構成されているにも拘わらず変形しにくく、薄膜立体構造体６５の剛性を高めている。また、単位構造部材９２〜９４を構成する膜に内部応力が存在している場合であっても、変形が生じるのを段差５３によって防止することができ、立体構造を保持できる。

このように、本実施の形態の薄膜立体構造体６５は、高さがあり、剛性があり、しかも、自重が軽い立体構造体を提供できる。したがって、この薄膜立体構造体６５をミラー部６４の光学膜支持部８５のストッパとして用いることにより、可動板６３に負担を与えることなく、温度変化に対してミラー部６４の位置を維持することができる。

単位構造部材９１〜９４は、可動板６３及びミラー部６４の構成部材とは、全く別の工程で形成することはもちろん可能である。しかしながら、単位構造部材９１を可動板６３の一部とするのと同様に、可動板６３やミラー部６４を構成する部材の成膜時に単位構造部材９２〜９４を同時に形成することにより、製造工程を大幅に簡略化することができる。本実施の形態では、２段目の単位構造部材９２は、支持部８３及び支持部８２を構成する膜を成膜する際に同時に形成した３層膜によって構成する。３段目の単位構造部材９３は、ミラー８１を構成する膜を成膜する際に同時に形成された薄膜によって構成する。単位構造部材９４は、ミラー部６４とは別に、ＳｉＮ膜により形成する。

以上説明したミラー部６４を搭載したマイクロアクチュエータ６１は、基本的に、特許文献２の図２６、図３６〜図４０に開示された光スイッチと同様の構造を有している。ただし、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１では、前述したように、（ｉ）支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂがなす剛性部が、可動板６３が力を受けていない状態において、固定端側から自由端側に向かう方向に沿って全体的に上方に湾曲している点と、（ｉｉ）静電力用可動電極となるＡｌ膜７２のパターン７２ｄが、ミラー部搭載板６３ｂの固定端側に配置されることで、前記剛性部における板ばね部（支持板６３ｃの脚部６３ａ，６３ｄに近い部分）寄りに配置され、静電力用固定電極がこの位置のパターン７２ｄと対向する位置に配置されている点の、２つの点で、特許文献２に開示された光スイッチのマイクロアクチュエータとは異なっている。

前述した可動板６３、ミラー部６４及び薄膜立体構造体６５は、膜の形成及びパターニング、エッチング、犠牲層の形成・除去などの半導体製造技術を利用して、製造することができ、具体的には、例えば、特許文献２に開示されている光スイッチの製造方法と同様の製造方法を採用することができる。ただし、その場合、前記（ｉ）の湾曲状態が得られるように、膜７１〜７３の成膜条件や犠牲層の形成条件などを適宜設定する。

図１８乃至図２３に示すミラー部６４を搭載したマイクロアクチュエータ６１も、図１乃至図４に示すミラー２を搭載したマイクロアクチュエータ１と同様に、光スイッチとして用いることができる。

本実施の形態によれば、前記第１の実施の形態と同様の利点が得られる。すなわち、本実施の形態では、前記特徴（ｉ）及び（ｉｉ）を有しているので、静電力で可動板６３が基板６２側に保持されている状態では、支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂがなす剛性部の固定端側の一部（可動電極を構成するＡｌ膜７２のパターン７２ｄの付近のみ）が基板６２側に接触するだけに留まる。このため、両者の間の接触面積が小さくなる。したがって、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１では、可動板６３が、接触している基板６２側から離れ易くなって、作動不良となり難い。

本実施の形態では、前述したように可動電極をなすＡｌ膜７２のパターン７２ｄが、ミラー部搭載板６３ｂの固定端側に配置され、これに対向する領域に固定電極が形成されているが、本発明では、その代わりに、例えば、可動電極をなすＡｌ膜７２のパターン７２ｄをミラー部搭載板６３ｂの自由端側に配置し、これに対向する領域に固定電極１２８を形成してもよい。この場合、可動板６３が静電力によって基板６２側に保持されているときには、前記第２の実施の形態によるマイクロアクチュエータ５０と同様に、支持板６３ｃのミラー部搭載板６３ｂ寄りの部分及びミラー部搭載板６３ｂがなす剛性部の全体が基板６２側に接触し、両者の接触面積が大きくなる。しかしながら、このマイクロアクチュエータでは、本実施の形態と同じく前記剛性部が力を受けない状態で上方に反っているので、前記剛性部の全体が基板６２側に接触したときに、前記剛性部が平板状に変形する。この変形は、可動板６３を基板６２側から離れる方向に付勢する力を生ずるような変形である。したがって、このマイクロアクチュエータにおいても、可動板６３が基板６２側から離れ易くなって、作動不良となり難い。

ただし、このマイクロアクチュエータでは、前記剛性部の全体が基板６２側に接触したときに、前記剛性部が平板状に変形して、ミラー部搭載板６３ｂが平板状に変形してしまうため、薄膜立体構造体６５の突起部４９がミラー部６４の光学膜支持部８５と接する位置が変化して、ミラー８１の位置及び向きが微妙に変化するおそれがある。

これに対し、本実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１では、前記特徴（ｉ）のみならず前記特徴（ｉｉ）も有しているので、可動板６３が静電力によって基板６２側に保持されても、前記剛性部は元の湾曲状態を保ってほとんど変形しない。よって、本実施の形態によれば、ミラー８１の位置及び向きを安定して一定に維持することができるという利点も同時に得られる。

［第５の実施の形態］

図２４は、本実施の形態の第５の実施の形態による光学装置を模式的に示す概略構成図である。図２４において、Ｘ’軸及びＹ’軸は、Ｘ軸及びＹ軸をそれぞれＺ軸回りに４５゜回転した軸を示す。

本実施の形態による光学装置は、光スイッチシステムとして構成されている。本実施の形態による光学装置は、図２４に示すように、光スイッチアレー２０１と、ｍ本の光入力用光ファイバ２０２と、ｍ本の光出力用光ファイバ２０３と、ｎ本の光出力用光ファイバ２０４と、光スイッチアレー２０１に対して後述するように磁界を発生する磁界発生部としての磁石２０５と、光路切替状態指令信号に応答して、当該光路切替状態指令信号が示す光路切換状態を実現するための制御信号を光スイッチアレー２０１に供給する制御部としての外部制御回路２０６と、を備えている。図２４に示す例では、ｍ＝３、ｎ＝３となっているが、ｍ及びｎはそれぞれ任意の数でよい。

本実施の形態では、磁石２０５は、光スイッチアレー２０１の下側に配置された永久磁石であり、光スイッチアレー２０１に対して、Ｘ軸方向に沿ってその＋側へ向かう略均一な磁界を発生している。もっとも、磁界発生部として、磁石２０５に代えて、例えば、他の形状を有する永久磁石や、電磁石などを用いてもよい。

本実施の形態では、光スイッチアレー２０１は、前述した図１８乃至図２３に示すミラー部６４を搭載したマイクロアクチュエータ６１を、基板６２上にｍ×ｎ個配置した構成を有している。図２４では、基板６２と、ミラー部６４のミラー８１のみを示している。

ｍ本の光入力用光ファイバ２０２は、基板６２に対するＹ’軸方向の一方の側からＹ’軸方向に入射光を導くように、ＸＹ平面と平行な面内に配置されている。ｍ本の光出力用光ファイバ２０３は、ｍ本の光入力用光ファイバ２０２とそれぞれ対向するように基板６２に対する他方の側に配置され、光スイッチアレー２０１のいずれのミラー８１によっても反射されずにＹ’軸方向に進行する光が入射するように、ＸＹ平面と平行な面内に配置されている。ｎ本の光出力用光ファイバ２０４は、光スイッチアレー２０１のいずれかのミラー８１により反射されて−Ｘ’軸方向に進行する光が入射するように、ＸＹ平面と平行な面内に配置されている。ｍ×ｎ個のミラー８１は、ｍ本の光入力用光ファイバ２０２の出射光路と光出力用光ファイバ２０４の入射光路との交差点に対してそれぞれ、マイクロアクチュエータ６１により進出及び退出可能にＺ軸方向に移動し得るように、２次元マトリクス状に基板６２上に配置されている。なお、本例では、ミラー８１の向きは、その法線がＸＹ平面と平行な面内においてＹ軸’と４５゜をなすＹ軸と平行となるように設定されている。もっとも、その角度は適宜変更することも可能であり、ミラー８１の角度を変更する場合には、その角度に応じて光出力用光ファイバ２０４の向きを設定すればよい。また、本実施の形態による光学装置は光ビームを空間で交差させてスイッチを行う装置であり、ファイバー端には光ビームとの結合を改善する為に、レンズを挿入することもある。なお、この光スイッチシステムの光路切替原理自体は、従来の２次元光スイッチの光路切替原理と同様である。

本実施の形態によれば、前記第４の実施の形態によるマイクロアクチュエータ６１が用いられていることから、作動不良になり難くなり、信頼性を高めることができる。

光スイッチアレー２０１として、前述した図１８乃至図２３に示すミラー部６４を搭載したマイクロアクチュエータ６１に代えて、前記第１乃至第３の実施の形態に関連して説明したミラー搭載のマイクロアクチュエータを、基板上に２次元に配置したものを、用いてもよい。

なお、前記第１乃至第４の実施の形態に関連して説明したミラー搭載のマイクロアクチュエータは、アレー化することなく、単体の光スイッチとして用いてもよいことは、言うまでもない。

以上、本発明の各実施の形態について説明したが、本発明はこれらの実施の形態に限定されるものではない。

例えば、前述した各実施の形態は本発明を光スイッチに適用した例であったが、本発明は、ミラー２，８１に代えて、光の反射率の低い遮光膜や、偏光特性を有する偏光膜や、光波長フィルタ特性を有する光学薄膜などを搭載することにより、光減衰器、偏光器、波長選択器等の種々の光学装置に適用することができる。

本発明の第１の実施の形態によるマイクロアクチュエータ及びこれにより駆動されるミラーを模式的に示す概略平面図である。 可動部が力を受けていない状態における、図１中のＸ１−Ｘ２線に沿った概略断面図である。 図１中のＹ１−Ｙ２線に沿った概略断面図である。 可動部が基板側に保持された状態における、図１中のＸ１−Ｘ２線に沿った概略断面図である。 図１に示すマイクロアクチュエータの製造方法の各工程をそれぞれ模式的に示す概略断面図である。 比較例によるマイクロアクチュエータ及びこれにより駆動される光学素子としてのミラーを模式的に示す概略平面図である。 可動部が力を受けていない状態における、図６中のＸ３−Ｘ４線に沿った概略断面図である。 可動部が基板側に保持された状態における、図６中のＸ３−Ｘ４線に沿った概略断面図である。 本発明の第２の実施の形態によるマイクロアクチュエータ及びこれにより駆動されるミラーを模式的に示す概略断面図である。 本発明の第３の実施の形態によるマイクロアクチュエータ及びこれにより駆動されるミラーを模式的に示す概略平面図である。 図１０中のＸ１１−Ｘ１２線に沿った概略断面図である。 図１０中のＸ１３−Ｘ１４線に沿った概略断面図である。 図１０中のＸ１５−Ｘ１６線に沿った概略断面図である。 図１０中のＹ１１−Ｙ１２線に沿った概略断面図である。 図１０中のＹ１３−Ｙ１４線に沿った概略断面図である。 図１０中のＹ１５−Ｙ１６線に沿った概略断面図である。 図１０中のＹ１７−Ｙ１８線に沿った概略断面図である。 本発明の第４の実施の形態によるマイクロアクチュエータ及びこれにより駆動されるミラー部を示す概略斜視図である。 図１８中のマイクロアクチュエータの可動板を示す概略平面図と、そのＭ−Ｍ断面図である。 図１８中のマイクロアクチュエータの可動板のＡｌ膜のパターン形状を示す図である。 図１８中のミラー部を示す概略斜視図である。 図１８中のミラー部を示す他の図である。 図１８中の薄膜立体構造体を示す図である。 本実施の形態の第５の実施の形態による光学装置を模式的に示す概略構成図である。

符号の説明

１，５０，６１，１１１ マイクロアクチュエータ
２，８１ ミラー
１１，６２，１２１ 基板
１３ 梁部
１４，１３２，１３４ 梁構成部（ばね部）
１５，１３３，１３５ 梁構成部（剛性部）
１６ 固定電極
６３ 可動板
６４ ミラー部

Claims (8)

1. 固定部と、該固定部に対して固定端が固定された片持ち梁構造を持つ可動部とを備え、
   前記可動部は、前記可動部の前記固定端と自由端との間に梁部を有し、
   前記梁部は、前記固定端と前記自由端との間に機械的に直列に接続されたばね部と剛性部とを有し、
   前記ばね部は、前記剛性部に対して前記固定端側に配置され、
   前記剛性部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定端側から前記自由端側に向かう方向に沿って前記固定部とは反対側に反っていることを特徴とするマイクロアクチュエータ。
2. 前記剛性部は、前記可動部が力を受けない状態で、前記固定部とは反対側に全体的に湾曲していることにより前記固定部とは反対側に反っていることを特徴とする請求項１記載のマイクロアクチュエータ。
3. 前記可動部を前記固定部に引き寄せる力を発生させる手段を備え、
   前記手段の一部を構成し前記可動部に設けられる要素が、前記剛性部における前記ばね部寄りの部分又は前記ばね部に設けられたことを特徴とする請求項１又は２記載のマイクロアクチュエータ。
4. 前記要素が静電力を発生するための電極であることを特徴とする請求項３記載のマイクロアクチュエータ。
5. 前記剛性部は、主面部と、該主面部から立ち上がるか又は立ち下がった補強部とを有することを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
6. 前記ばね部及び前記剛性部はそれぞれ薄膜で構成されたことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のマイクロアクチュエータ。
7. 請求項１乃至６のいずれかに記載のマイクロアクチュエータと、前記可動部に設けられた光学素子と、を備えたことを特徴とする光学装置。
8. 請求項１乃至６のいずれかに記載のマイクロアクチュエータと、前記可動部に設けられたミラーと、を備えたことを特徴とする光スイッチ。

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