JP2005152820A - クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 - Google Patents
クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005152820A JP2005152820A JP2003396804A JP2003396804A JP2005152820A JP 2005152820 A JP2005152820 A JP 2005152820A JP 2003396804 A JP2003396804 A JP 2003396804A JP 2003396804 A JP2003396804 A JP 2003396804A JP 2005152820 A JP2005152820 A JP 2005152820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solvent
- cleaning
- clean room
- pipe
- local exhaust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Treating Waste Gases (AREA)
Abstract
【解決手段】クリーンルーム内に具備され、溶剤を使用して配管内部およびスリットダイ内部を洗浄する方法および装置であって、前記溶剤を使用する際にスリットダイノズル周縁の溶剤混入空気を吸引する吸入口を設け、前記吸入口から吸引される溶剤混入空気がアスピレーター(水流ポンプ)により吸引され、吸引された溶剤混入空気の溶剤が水中に吸収される事を特徴としたクリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法。
【選択図】図1
Description
装置である。
構成されている洗浄処理部6から形成され、洗浄処理部6と塗工ユニット部3は塗工ユニット部3のスリットダイ内部や配管内部を洗浄するための溶剤が移送され、さらに溶剤で洗浄後、洗浄した溶剤が配管内部等に残るのを防止するための乾燥ガスを移送すための洗浄配管13で接続されている。
口7がスリットダイ36近傍に設けられ、アスピレーター10の吸引力により吸引口7からスリットダイ36のスリットノズル先端部から吐出されている溶剤から放出された、溶剤を含んでいる空気が吸引され、空気吸収管14でタンク100内のアスピレーター10に送られて水に吸収される。
す説明図である。図3に示すように本発明のクリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置は塗工機の配管あるいはスリットダイ内部の洗浄に使用されるほか塗工作業時に塗工液中の溶剤がクリーンルーム内に放出するのを防ぐために用いることもできる。
2…クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置
3…塗工ユニット部
4…溶剤貯蔵部
5…乾燥ガスユニット部
6…洗浄処理部
7…吸引口
8…給水管
9…給水ポンプ
10…アスピレーター
11…第1シャワー板
11b…第2シャワー板
11c…第3シャワー板
12…乾燥配管
13…洗浄配管
14…空気吸収配管
15…溶剤タンク
16…ロードセル
17…溶剤送り出しバルブ
18…溶剤用流量計
19…溶剤用フィルター
20…第1切り換えバルブ
21…溶剤流量制御バルブ
22…乾燥ガス用流量計
23…乾燥ガス用流量制御バルブ
24…乾燥用ガスタンク
25…塗工液切り換えバルブ
26…塗工液挿入バルブ
27…オーバーフロー用切り換えバルブ
28…第2塗工液配管
29…第1廃棄用バルブ
30…第2廃棄用バルブ
31…塗工液供給ポンプ
32…第1塗工液配管
33…塗工液受け皿
34…廃液缶
35…廃液槽
36…ダイヘッド
37…第2塗工液配管
38…水配管
39…塗工液貯蔵タンク
40…トラップ
41…トラップフィルター
42…溶剤吸収水
43…排水パイプ
44…廃液槽
45…塗工液用フイルター
100…タンク
Claims (5)
- クリーンルーム内に設置され、2種類以上の溶剤を使用して配管内部およびスリットダイ内部を洗浄する装置であって、前記溶剤を使用する際にスリットダイ周縁の溶剤を含んでいる空気を吸引する吸入口を設け、前記吸入口から水が定圧循環しているアスピレーター(水流ポンプ)により溶剤を含んでいる空気が吸引され、吸引された溶剤を含んでいる空気の溶剤が水中に吸収される事を特徴としたクリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置。
- 前記、アスピレーターに定圧循環している水の補充と廃棄を行う機能を有する請求項1記載のクリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置。
- 前記、アスピレーターに定圧循環している水を冷却させる為の冷却機能を有する請求項1または2記載のクリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置。
- 配管内部の溶剤成分残留防止を目的とした乾燥と連動した吸引を行う機能を有する請求項1記載クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置。
- 前記、2種類以上の溶剤を使用して配管内部およびスリットダイ内部の洗浄はコーティング液と相溶性のあるものから順次洗浄性の高い溶剤へと切り換えて洗浄することを特徴としたクリーンルーム内装置配管洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003396804A JP4396241B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003396804A JP4396241B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005152820A true JP2005152820A (ja) | 2005-06-16 |
JP4396241B2 JP4396241B2 (ja) | 2010-01-13 |
Family
ID=34722140
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003396804A Expired - Fee Related JP4396241B2 (ja) | 2003-11-27 | 2003-11-27 | クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4396241B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006129447A1 (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-07 | Shinichi Kawamoto | シャワー装置 |
KR102259030B1 (ko) * | 2020-11-30 | 2021-05-31 | 박세진 | 폐기물 재활용 설비의 배기가스 제거장치 |
-
2003
- 2003-11-27 JP JP2003396804A patent/JP4396241B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2006129447A1 (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-07 | Shinichi Kawamoto | シャワー装置 |
KR102259030B1 (ko) * | 2020-11-30 | 2021-05-31 | 박세진 | 폐기물 재활용 설비의 배기가스 제거장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4396241B2 (ja) | 2010-01-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100891062B1 (ko) | 기판처리방법 및 기판처리장치 | |
JP5129042B2 (ja) | 基板の処理装置 | |
JPH08281039A (ja) | 空気清浄機 | |
CN104353663A (zh) | 一种具有出料除尘功能的土壤热脱附处理系统 | |
CN202570687U (zh) | 一种电子元器件清洗装置 | |
JP5297221B2 (ja) | 水溶性有機化合物の除去システム | |
JP3307429B2 (ja) | 真空洗浄・乾燥方法および装置 | |
CN209076327U (zh) | 一种含粉尘废气的处理装置 | |
JP4396241B2 (ja) | クリーンルーム内装置配管洗浄用局所排気装置及び洗浄方法 | |
CN207493402U (zh) | 一种废气处理装置 | |
KR101538865B1 (ko) | 누출가스 중화장치 | |
JP5996424B2 (ja) | 基板処理装置および基板処理方法 | |
JP2005342573A (ja) | 揮発性有機化合物の除去装置 | |
JP2004202306A (ja) | 空気浄化装置 | |
JP2009206303A (ja) | 半導体製造装置および半導体装置の製造方法 | |
KR101259830B1 (ko) | 지중정화시스템의 연무와 스컴 제거장치 | |
JPH11333215A (ja) | ろ過フィルターのエアーロック防止装置 | |
JP5832870B2 (ja) | 除染方法及び装置 | |
CN201070568Y (zh) | 一种废气处理装置 | |
JP3121160B2 (ja) | 気体の除塵・除菌装置 | |
JP5032516B2 (ja) | 空気中汚染物質の除去装置 | |
JP2011027377A (ja) | 加湿器及びこれを備えた空気調和機 | |
JP2002305173A (ja) | 基板処理装置 | |
KR102586153B1 (ko) | 가압탈수형 제염기 | |
JPH06294578A (ja) | 部品乾燥方法及び乾燥装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090616 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090805 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090929 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20091012 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121030 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131030 Year of fee payment: 4 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |