JPH11333215A - ろ過フィルターのエアーロック防止装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ろ過フィルターのエアーロック現象を防止す
る。 【解決手段】 ウェハーを処理するための処理槽１と、
該処理前に予め処理液をろ過するためのろ過フィルター
を内部に有しかつ第１のエア抜きライン３１と接続され
た濾過器７と、該濾過器７の一次側に配され第２のエア
抜きライン３２と接続されたタンク体３０とを設け、少
なくとも前記濾過器７、タンク体３０を配管によって接
続し、さらに、第１のエア抜きライン３１のバルブ３４
と第２のエア抜きライン３２のバルブ３６とは別個独立
に動作可能とし、かつこれらの第１と第２のエア抜きラ
イン３１、３２を処理液の最上流側に直接接続する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体や液晶製造
工程におけるウェットエッチング、ウェット洗浄ウェッ
トスクラバー等のウェット処理、及びＣＭＰ（化学・機
械的研磨）、スピンコーター、スピンデベロッパー等の
非ウェット処理において問題となる、ろ過フィルターの
乾燥、エアーロック現象（フィルターがエアーにより詰
まり、フィルターのろ過面積が減少する現象）を防止す
ることができる装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図１は、従来の薬液循環系における薬液
のフィルターリングの流れを示すものである。

【０００３】薬液は、まず、薬液槽１の外槽３よりポン
プ５の吸引により流れ、ポンプ５を経て濾過器７内のフ
ィルターの一次側に供給される。次いで、薬液は濾過器
７のフィルターを通り抜けてフィルターの二次側に達す
る。この時に薬液中に混入したゴミやパーティクルはフ
ィルターに引っ掛かり通過することができない。ゴミや
パーティクルを落とした薬液は薬液槽１の内槽２に到達
し、槽内のウェハー（図示せず）に作用してエッチング
や洗浄が行われる。

【０００４】薬液供給系のフィルターリングについて
も、図２に示すように、薬液ボトル６からポンプ５で薬
液４を吸引し、濾過器７を通過し薬液槽１内に供給され
る。この時にゴミやパーティクルは濾過器７内のフィル
ターに引っ掛かり供給される薬液はクリーンになる。上
記薬液ボトル６から濾過器７への薬液４の搬送は、Ｎ₂
ガス等による圧送によっても行うことができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】前記の薬液循環系や薬
液供給系においては、実際にはポンプ動作、圧送Ｎ₂ガ
ス、配管継ぎ手部分のリークまたは配管径の変化等によ
り薬液中には泡、エアー等（以後は総称してエアーと呼
ぶ）が発生し、これが薬液と混ざった形で濾過器７内の
フィルターの一次側に供給される。

【０００６】このようなエアーのうちの一部は、図３に
示す濾過器７内のフィルター８の空孔に入らずに、エア
ー１０同士が合体しより大きく成長し、浮力により濾過
器７の上部に集まる。このようなエアーは、濾過器７の
上部に接続されたエアー抜きライン９の途中に設けられ
たエアー抜きバルブ１１の開閉によって再びエアーを薬
液槽１の外槽３又は薬液ボトル６に戻すことが従来より
行われている（図１、図２）。

【０００７】しかしながら、その他のエアーは、図３の
フィルター８の膜に付着しポンプまたは圧送の圧力によ
りフィルター８の膜内に押し込まれる。

【０００８】この様にフィルター８の膜中の空孔に押し
込まれたエアーはそこで安定し存在するため、以後、こ
の空孔を薬液が通ることはなくなる。従って、フィルタ
ー８における空孔は、徐々にエアーにより埋まってい
く。また、ゴミ、パーティクル等によってこの空孔が埋
まることもある。

【０００９】この様にしてフィルターがエアーにより詰
まること（エアーロック現象）により、薬液循環フィル
ターの場合、薬液の循環流量の減少が起こる。これは薬
液槽内の薬液のろ過流量の減少、つまりは単位時間当た
りのろ過量の減少を意味する。従って、循環ろ過による
薬液槽内の浮遊パーティクル除去能力が低下し、これが
製品に付着することで製品の歩留りを下げる大きな要因
となっていた。極端な場合は、全く循環しないためにポ
ンプ自身の圧力によってポンプが破損する場合もあっ
た。

【００１０】また、薬液供給フィルターの場合も同様
に、ろ過流量低下により供給時間が長くなり、これによ
って装置の液交換時間が長くなって稼働時間が減少する
ことがあった。これも同様に極端な場合は、薬液が供給
されなくなるケースもあった。

【００１１】このようなエアーロック現象を防止するた
めの手段として、特開昭６４−７５０１２号公報及び特
開平１−１２７００６号公報に、薬液循環ろ過装置が開
示されている。

【００１２】特開昭６４−７５０１２号公報に開示され
た薬液循環ろ過装置では、図４に示すように、フィルタ
ー膜１４を内蔵した濾過器１３の前段にエア溜タンク２
３が連結管２４を介して接続され、該エア溜タンク２３
にはエア抜き管１９と液面センサ２０が設けられてい
る。

【００１３】この装置においては、薬液導入部１７より
導入されたエアーによりフィルターの一次側の液面が所
定位置まで押し下げられると液面センサ２０の検知によ
りエア抜き管１９に設けられたエア抜き弁２２が開か
れ、エア抜きが行われる。逆に、これにより液面が上昇
すると液面センサ２０の検知によりエア抜き弁２２が閉
じられる。

【００１４】しかしながら、この装置においては、ポン
プにより薬液が薬液導入部１７からエアー溜タンク２３
を経て連結管２４を通ってフィルター１４の一次側に供
給される。従ってフィルター１４の一次側の濾過器１３
内に侵入し又は発泡性薬液により濾過器１３内で発生し
たエアー１２が薬液の流れに逆らって連結管２４を通過
してエアー溜タンク２３に戻ることは不可能であった。

【００１５】一方、特開平１−１２７００６号公報に開
示されている薬液循環ろ過装置においては、図５に示す
ように、フィルタ膜１４を内蔵した濾過器１３の上部に
エア抜き口２７を有しており、この濾過器１３の前段に
はエア溜タンク２３が接続され、濾過器１３のエア抜き
口２７とエア溜タンク２３の薬液導入部１７との間に、
エア還元管１５が接続されている。

【００１６】この装置においては、濾過器１３内に侵入
し、あるいは濾過器１３内で発泡したエアー１２は還元
流１８によりエアー還元管１５を通ってエア溜タンク２
３へ還元される。

【００１７】しかしながら、この装置では薬液導入部１
７中にエア還元管１５が配されているため、薬液には乱
気流防止板１６に当たって下側へ進む経路と、エア還元
管１５を経由する経路が存在する。このため、薬液がこ
のエア還元管１５を通ってフィルタ膜１４の一次側に到
達する場合は、エアー１２はこの流れに逆らって上昇で
きず、エアー抜きの効果が著しく低減される場合が有る
ことが解った。

【００１８】従って上記の２装置においては、いずれも
エアーロック現象を効果的に解決することは不可能であ
った。

【００１９】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決すべく、
本発明のろ過フィルターのエアーロック防止装置は、ウ
ェハーを処理するための処理槽と、該処理前に予め処理
液をろ過するためのろ過フィルターを内部に有しかつ第
１のエア抜きラインと接続された濾過器と、該濾過器の
一次側に配され、第２のエア抜きラインと接続された所
定の容積を有するタンク体とを有し、少なくとも前記濾
過器、タンク体が配管によって接続され、さらに、前記
第１のエア抜きラインと前記第２のエア抜きラインとは
別個独立に動作され、かつこれらの第１と第２のエア抜
きラインが処理液の最上流側に直接接続されていること
を特徴とする。

【００２０】又、前記タンク体は、その内部に、前記配
管内径の３倍以上２０倍以下の処理液移動長さを有し、
かつ前記配管内径の３倍以上５０倍以下のエアー移動高
さを有することが好ましい。

【００２１】本発明のろ過フィルターのエアーロック防
止装置は、例えば、ウェットエッチング、ウェット洗
浄、ウェットスクラバー等のウェット処理、ＣＭＰ（化
学・機械的研磨）、スピンコーター、スピンデベロッパ
ー等の非ウェット処理の処理液循環、供給系において好
適に用いることができる。

【００２２】また、処理液としては、薬液（ＮＨ₄Ｏ
Ｈ，Ｈ₂Ｏ₂，ＨＦ，ＨＮＯ₃，Ｈ₃ＰＯ₄，ＨＣｌ，Ｈ₂Ｓ
Ｏ₄，バッファードＨＦ，イソプロピルアルコール
等）、剥離剤、有機溶剤、又はこれらに界面活性剤等を
含んだもの、純水、フォトレジスト（環化ポリイソプレ
ン、ノボラック樹脂、スチレン等）、現像液（有機溶
剤、有機アルカリ、界面活性剤含有の有機アルカリ
等）、ＣＭＰスラリー（硝酸鉄系、過酸化水素水系、二
酸化マンガン系、シリカ系、アルミナ系、酸化セリウム
系等）、ＡＲＣ(Anti-Reflective Coating)，ＴＡＲ（T
op Anti-Reflection)等に使用する反射防止溶剤等を好
適に用いることができる。

【００２３】

【発明の実施の形態】図６に、本発明のろ過フィルター
のエアーロック防止装置の一例の概略図を示す。

【００２４】この例においては、ウェハー（図示せず）
をウェット処理するための処理槽１の上流方向に濾過器
７が配され、該濾過器７の一次側にはタンク体３０が配
されている。タンク体３０の上流側はポンプ５に接続さ
れている。

【００２５】処理槽１、濾過器７、タンク体３０、ポン
プ５は、内径１０〜５０ｍｍ程度でテフロン等で形成さ
れた配管で接続されている。さらに、濾過器７の上部に
は第１のエア抜きライン３１が接続されており、このエ
ア抜きライン３１は処理液の最上流側である処理槽１の
外槽３に至り、エアーが外槽３に直接戻ることができる
ように構成されている。同様に、タンク体３０には第２
のエア抜きライン３２が接続されており、処理槽１の外
槽３へエアーが直接戻ることができるように構成されて
いる。これらの第１のエア抜きライン３１と第２のエア
抜きライン３２にはバルブ３４、３６がそれぞれ設けら
れており、別個独立にエア抜きの操作を行うことができ
るようになっている。

【００２６】図７に、このろ過フィルターのエアーロッ
ク防止装置に用いる濾過器７とタンク体３０の拡大図を
示す。

【００２７】図中、円筒形状の濾過器７内には、ポリプ
ロピレン、ポリエチレン、又はテフロン製等のフィルタ
ー８が配されており、該フィルター８の一次側には、タ
ンク体３０が配管３８を介して接続されている。該タン
ク体３０は、ポンプ５と配管４０によって接続されてい
る。

【００２８】該タンク体３０の形状は特に問わないが、
例えば、円筒状、立方体状、直方体状、又はこれに類似
した形状とすることができる。図７のように円筒状の場
合は、その直径ｂが配管４０の内径ａの３倍以上２０倍
以下で、高さＣが内径ａの３倍以上５０倍以下であるこ
とが好ましい。同様に、立方体状、直方体状の場合に
は、一辺の長さ及び高さが上記範囲にあることが好まし
い。

【００２９】上記範囲に規定したのは、底面の直径又は
一辺の長さが３倍未満の場合は、タンク体３０の入口と
出口の距離が短すぎるため、エアー３３が浮力によって
浮く前にタンク体３０の出口からフィルター８の一次側
に処理液と一緒に流れてしまい、効力が無くなる。ま
た、底面の直径又は一辺の長さが２０倍を超えても効果
は変わらず、装置のコンパクト性が損なわれる。次に、
高さが３倍未満の場合は溜まったエアー３３が処理液の
流れに引っ張られて出口に流れるため効果が無くなる。
また、５０倍を超えても効果は変わらず、装置のコンパ
クト性が損なわれる。

【００３０】濾過器７とタンク体３０との距離ｄは、１
ｍ以内が望ましく、１５ｃｍ以内が最も好ましい。又、
距離ｄを０として濾過器７とタンク体３０とを一体とし
て形成しても良い。前記上限より距離が長くなると、濾
過器７とタンク体３０とを接続している配管３８中から
エアーの発生する確率が高くなり、タンク体３０によっ
てエアーを除去した意味がなくなる。

【００３１】又、タンク体３０は、フィルター８の一次
側の直近に接続することで効力を発揮するために、フィ
ルター８とタンク体３０との間にポンプ等のエアーが発
生する部品を接続した場合は効力が低下する。

【００３２】配管３８のタンク体３０側端部は垂直方向
上方に曲げられ、配管４０から流入した処理液がそのま
まタンク体３０の出口に流れないようになっている。な
お、配管３８、４０の形状、タンク体３０への接続位置
は、上記の作用を果たせば特に図７に示すものに限定さ
れない。例えば、配管３８、４０は、図７に示すように
一直線上に配置されるだけでなく、互いに直交するよう
に配したり、互いにタンク体の異なる高さに接続したり
して、配管４０から流入した処理液がそのままタンク体
３０から出ないようにすることもできる。さらに、タン
ク体３０中に遮蔽板を設けてこの作用を果たさせること
もできる。

【００３３】前記の濾過器７、タンク体３０は、ポリプ
ロピレン、ポリエチレン、テフロン等で形成することが
できる。

【００３４】次にこの装置を用いてろ過フィルターのエ
アーロックを防止する方法について説明する。

【００３５】まず、図６において、エアーを含んだ処理
液は、処理槽１の外槽３からポンプ５により吸引され該
ポンプ５を経てタンク体３０に入る。

【００３６】次に、図７に示すようにエアー３３を含ん
だ処理液はここで浮力によりタンク体３０の上部へ進む
エアー３３と処理液に分れる。エアー３３はタンク体３
０の上部で図６のエアー抜きバルブ３６が開くまでは溜
まり、バルブ３６が開くと同時にポンプ５の圧力によっ
て処理槽１の外槽３に直接戻る。一方、処理液は、タン
ク体３０出口側の配管３８より濾過器７のフィルター８
の一次側に送られる。そして、フィルター８で処理液は
ろ過されて、処理槽１の内槽２へ至る。

【００３７】また、濾過器７内で発生した若干のエアー
１０は、浮力により濾過器７上部に溜まり、エアー抜き
バルブ３４が開くと同時に薬液槽１の外槽３に直接戻
る。

【００３８】上記のように、タンク体３０中及び濾過器
７中にそれぞれ溜まったエアー３３及びエアー１０は、
それぞれ一定時間ごとにバルブ３６、３４を開けること
で放出できるが、このエアー放出のためのバルブ開閉
は、フィルターの大きさや循環流量や使用処理液等によ
って変化する。

【００３９】例えば、処理槽１の容量が４０Ｌ、循環流
量が２０Ｌ／ｍｉｎ、配管４０の径が３／４インチ、タ
ンク体３０の寸法が底面直径１６５ｍｍ、高さ３５０ｍ
ｍ、エアー抜きライン３１、３２の配管径１／４イン
チ、使用処理液 ＮＨ₄ＯＨ：Ｈ₂Ｏ₂：Ｈ₂Ｏ＝１：１：
６（６５℃）の場合、３分間に１０秒間程度の割合でバ
ルブ３６、３４を開ける様に設定することが好ましい。

【００４０】この間隔が短くバルブが開いている時間が
長過ぎると、フィルター８を通過する単位時間当たりの
処理液量が減少するため好ましくない。また、逆の場合
はタンク体３０のエアーが満タンになり、効果がなくな
る。また、濾過器７のエアー抜きとタンク体３０のエア
ー抜きは同時にならないように設定することが望まし
い。

【００４１】この装置においては、濾過器７に処理液が
入る前にタンク体３０に処理液を通過させ、予め発生し
たエアー３３をエア抜きライン３２を介して処理槽１の
外槽３に直接戻して濾過器７に入るエアーを大幅に減少
させると共に、濾過器７に侵入したエアー又は濾過器７
中で発生したエアーをエア抜きライン３１を介して処理
槽１の外槽３に直接戻すことができるので、ろ過フィル
ターのエアーロック現象を効果的に防止することができ
る。

【００４２】又、第１のエア抜きライン３１と第２のエ
ア抜きライン３２とはそれぞれバルブ３４、３６によっ
て別個独立に動作されかつエアーが処理槽１の外槽３に
直接戻されるため、従来装置のように還元されるべきエ
アーが薬液の流れにじゃまされることはなく、エア抜き
を効果的に行うことができる。

【００４３】以上、処理液循環系におけるろ過フィルタ
ーのエアーロック防止装置の一例を示したが、他の例と
して図８に、処理液供給系におけるエアーロック防止装
置の一例を示す。

【００４４】この場合は、濾過器７、タンク体３０にそ
れぞれ接続された第１のエア抜きライン４１、第２のエ
ア抜きライン４２は共に、処理液の最上流側である薬液
ボトル６に至り、エアーが薬液ボトル６に直接戻ること
ができるように構成されている。又、第１のエア抜きラ
イン４１、第２のエア抜きライン４２にそれぞれ設けら
れたバルブ４４、４６により別個独立にエア抜き操作を
行うことができる。この場合も処理液循環系の場合と同
様、エアーロック現象を効果的に防止することができ
る。

【００４５】

【実施例】図６、図７に示すろ過フィルターのエアーロ
ック防止装置を、半導体製造装置でウエハー洗浄を行う
ＲＣＡ洗浄工程（以後、ＲＣＡと呼ぶ）に用いて、実験
した。

【００４６】このＲＣＡの槽配列は、１槽目ＳＣ１洗
浄、２層目ＤＩＷ ＱＤＲ( DI WaterQuick Dump Rinc
e)、３槽目ＳＣ２洗浄、４槽目Ｈｏｔ ＤＩＷ ＱＤ
Ｒ、５槽目Ｆｉｎａｌ ＤＩＷ Ｒｉｎｃｅ、６槽目Ｉ
ＰＡ乾燥である。

【００４７】１槽目のＳＣ１洗浄槽の条件は、薬液槽１
の容量が４０Ｌ、循環流量が２０Ｌ／ｍｉｎ、濾過器７
の出入口の配管径が３／４インチ、濾過器７のエア抜き
ライン配管経１／４インチ、使用薬液 ＮＨ₄ＯＨ：Ｈ₂
Ｏ₂：Ｈ₂Ｏ＝１：１：６（６５℃）である。

【００４８】３槽目のＳＣ２洗浄槽の条件は、薬液槽１
の容量が４０Ｌ、循環流量が２０Ｌ／ｍｉｎ、濾過器７
の出入口の配管径が３／４インチ、濾過器７のエア抜き
ライン配管径１／４インチ、使用薬液 ＨＣｌ：Ｈ
₂Ｏ₂：Ｈ₂Ｏ＝１：１：５（８０℃）である。

【００４９】双方とも、フィルター８はテフロン製の１
０インチの長さのもので、ろ過径は０．１μｍのものを
使用した。

【００５０】まず、エアーロック現象の確認のための加
速実験として、タンク体を装着する前に前記の使用薬液
条件で濾過器７のエア抜きバルブを全く開けずに、薬液
循環を行った。

【００５１】その結果、１槽目については３１分で濾過
器７内がエアーで満タンとなった。そして、６３分後に
はフィルター８の二次側には薬液は全く流れなくなっ
た。これは、フィルターがエアーロック現象を起こした
ためである。

【００５２】また、３槽目については使用温度が８０℃
と高いために、２７分で濾過器７内がエアーで満タンと
なった。また、５４分後にはフィルター８の二次側には
薬液は全く流れなくなった。

【００５３】この状態でＲＣＡ洗浄を行い、パーティク
ルの付着をパーティクルカウンターで測定した結果、ウ
エハー３枚の平均付着数が３４５個であった。測定した
パーティクルサイズは０．３μｍ以上であり、処理条件
は、ＳＣ１洗浄１０分、ＳＣ２洗浄１０分である。

【００５４】次にこのエアーロック現象を起こしたフィ
ルター８をそのまま使用できないために、ＩＰＡ（イソ
プロピルアルコール）置換し直して濾過器７内に装着
し、よく純水で洗浄してＩＰＡを除去した上で、タンク
体３０を装着して同様の実験を実施した。その際に、１
槽目、３槽目共にタンク体３０のエア抜きバルブ３６を
３分間に１０秒間開けるように設定し、条件をそろえる
ために、濾過器７のエア抜きバルブ３４を全く開けず
に、薬液循環を行った。

【００５５】その結果、１槽目については１８０分まで
実験を行ったが、この段階で濾過器７内にエアーが４分
の１溜まっただけであった。このエアーは濾過器７内で
発泡したエアーが溜まったものである。循環流量は２０
Ｌ／ｍｉｎから１７Ｌ／ｍｉｎに下がっていたが、エア
ーロック現象は起こしていなかった。また、３槽目につ
いても同様に１８０分まで実験を行ったが、１槽目と同
レベルであった。

【００５６】この状態で同様のＲＣＡ洗浄を行い、パー
ティクルの付着をパーティクルカウンターで測定した結
果、ウエハー３枚の平均付着数が１１個であった。測定
したパーティクルサイズは０．３μｍ以上である。

【００５７】ここで、タンク体３０の寸法は、底面直径
１６５ｍｍ、高さ３５０ｍｍであり、出入口の配管３
８、４０の径は３／４インチのものを使用した。

【００５８】この実験より、本実施例のエアーロック防
止装置はフィルターのエアーロック現象の防止に大きく
貢献する事が分かった。

【００５９】

【発明の効果】本発明のろ過フィルターのエアーロック
防止装置においては、第１のエア抜きラインと接続され
た濾過器の一次側に、第２のエア抜きラインと接続され
た所定の容積のタンク体を配しているため、処理液が濾
過器に入る前にタンク体中を通過させ予め発生したエア
ーを第２のエア抜きラインを介して還元することにより
濾過器に入るエアーを大幅に減少させることができると
共に、濾過器に侵入したエアー又は濾過器中で発生した
エアーを第１のエア抜きラインを介して還元することが
できるので、ろ過フィルターのエアーロック現象の発生
を防止することができる。

【００６０】さらに、前記第１のエア抜きラインと前記
第２のエア抜きラインとは別個独立に動作され、かつこ
れらの第１と第２のエア抜きラインが処理液の最上流側
に直接接続されているので、エアーが循環系における処
理槽の外槽や供給系における薬液ボトル等に直接戻るこ
とが可能となり、従来装置のように還元されるべきエア
ーが薬液の流れにじゃまされることはなく、エア抜きを
効果的に行うことができる。

【００６１】又、前記タンク体が、その内部に、前記配
管内径の３倍以上２０倍以下の処理液移動長さを有し、
かつ前記配管内径の３倍以上５０倍以下のエアー移動高
さを有することにより、ろ過フィルターのエアーロック
現象をより効果的に防止することができる。

【００６２】従って、本発明のろ過フィルターのエアー
ロック防止装置によれば、フィルターのエアーロック現
象の防止により、フィルターの寿命が向上すると共に、
処理液の循環、供給効率を向上させることが可能とな
る。

【００６３】又、循環効率の低下によるパーティクルの
付着増加を防止することができるので、製品歩留りを向
上させることが可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】従来の薬液循環系における薬液のフィルターリ
ングの流れを示す概略図である。

【図２】従来の薬液供給系における薬液のフィルターリ
ングの流れを示す概略図である。

【図３】従来の濾過器内でのエアーと薬液の流れを示す
拡大図である。

【図４】従来の薬液循環ろ過装置の構成図である。

【図５】従来の薬液循環ろ過装置の構成図である。

【図６】本発明のろ過フィルターのエアーロック防止装
置の一例を示す概略図である。

【図７】本発明のろ過フィルターのエアーロック防止装
置に用いるタンク体と濾過器の拡大図である。

【図８】本発明のろ過フィルターのエアーロック防止装
置の他の例を示す概略図である。

【符号の説明】

１ 処理槽（薬液槽） ４ 処理液（薬液） ７ 濾過器 ８ フィルター ３０ タンク体 ３１ 第１のエア抜きライン ３２ 第２のエア抜きライン ３８ 配管 ４０ 配管 ４１ 第１のエア抜きライン ４２ 第２のエア抜きライン

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 佐藤 伸良 茨城県つくば市天久保２−24−２ (72)発明者 齋藤 恭子 茨城県つくば市松代２−23−４−207

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウェハーを処理するための処理槽と、該
   処理前に予め処理液をろ過するためのろ過フィルターを
   内部に有し、かつ、第１のエア抜きラインと接続された
   濾過器と、該濾過器の一次側に配され、第２のエア抜き
   ラインと接続された所定の容積を有するタンク体とを有
   し、少なくとも前記濾過器、タンク体が配管によって接
   続され、さらに、前記第１のエア抜きラインと前記第２
   のエア抜きラインとは別個独立に動作され、かつこれら
   の第１と第２のエア抜きラインが処理液の最上流側に直
   接接続されていることを特徴とするろ過フィルターのエ
   アーロック防止装置。
2. 【請求項２】 前記タンク体が、その内部に、前記配管
   内径の３倍以上２０倍以下の処理液移動長さを有し、か
   つ前記配管内径の３倍以上５０倍以下のエアー移動高さ
   を有する請求項１記載のろ過フィルターのエアーロック
   防止装置。