KR101165323B1 - 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치 - Google Patents

과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치에 관한 것으로서, 종래에는 폐황산을 다시 과산화수소와 황산으로 분해시키는 장치가 없었기 때문에 폐황산을 폐기시킴으로써 자원을 낭비하게 되며, 환경을 오염시키는 문제점이 있었다.
따라서 본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산을 재사용할 수 있도록 과산화수소와 분리시키는 장치에 있어서, 일측에는 내부의 유량을 표시하는 유량계(110)가 구비되고, 상부에는 과산화수소에 오염된 폐황산의 주입관(120)과 세정탑 연결관(130) 및 개폐 가능한 맨홀(140)이 설치되며, 상부 일측에는 과산화수소 분리된 황산 재주입관(150)이 구비되고, 하부 일측에는 제1펌프(160)가 설치된 폐황산 공급관(180)이 구비되는 폐황산 수조(100);와 상하 다공망판(210)(220) 사이에 과산화수소 분해제(230)가 채워진 과산화수소 분해조(250)를 중심으로 하측 다공망판(220) 아래쪽에는 폐황산 공급관(180)을 연결하여 폐황산이 하부로 유입되며, 상측 다공망판(210) 위쪽에는 황산 재주입관(150)과 그 보다 높은 위치에 가스배출관(260)이 구비된 과산화수소 분해탑(200);과 가스입자를 분산시켜 물과의 접촉면적을 넓혀주는 충진재(310)가 제2다공판(320) 위에 일정 높이 채워지고 충진재(310) 위로 물을 분사시키는 살수봉(350)이 설치된 가스흡수조(360)(370)를 복층으로 구비하되, 하측 가스흡수조(370) 아래에는 물이 채워지는 하단부 수조(380)와의 사이에 과산화수소 분해탑(200)의 가스배출관(260)을 연결하고, 수조(380) 일측에는 살수봉(350)으로 물을 공급하도록 제2펌프(395)가 구비된 급수관(390)을 설치하며, 상측 가스흡수조(360) 상부에 환기관(340)이 형성된 가스 흡수탑(300);으로 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.

Description

과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치{recycling device of waste contaminated with hydrogen peroxide to sulfuric acid}
본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세히는 반도체의 생산과정 중 세정과정에서 발생하는 과산화수소에 오염된 폐황산(이하 "폐황산"이라 칭함)을 과산화수소 분해제를 이용하여 과산화수소를 분해시키되, 분해제를 통해 과산화수소를 연속 분해시키는 공정을 반복하여 수행함으로써, 과산화수소 잔류량을 제거하고 순도 높은 황산을 재활용할 수 있도록 한 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체의 생산과정은 크게 세정공정과 열처리공정, 불순물 도입공정 및 박막 형성공정, 리소그래피 공정과 평탄화 공정으로 나뉘는 것이다.
이러한 생산공정 중 세정공정은 리소그래피(lithography)를 처음으로 하는 각 공정 사이에 반드시 행해야 하는 공정인 것이다.
여기서 리소그래피는 집적 회로 제작 시 실리콘칩 표면에 만들고자 하는 패턴을 빛으로 촬영한 수지를 칩 표면에 고정한 후 화학 처리나 확산 처리하는 기술로, 이 기술의 핵심은 짧은 파장의 빛을 사용하여 정밀도를 높이는 것으로, 처음에는 가시광선, 자외선을 사용했으나 최근에는 전자 빔을 사용해 더 미세한 패턴을 만드는 것이다.
즉, 이러한 세정공정은 표면 청정화를 위한 공정이며, 또한 열처리, 산화 등의 공정 전에 행하여지는 것으로, "후처리" 또는 "전처리" 라 불리기도 하는 것이다.
세정공정은 기술로서는 상당히 표준화하기 어려운 종정 중 하나로, 지금까지도 약액을 사용하는 WET처리가 중심으로, 미국의 RCA사에서 개발한 실리콘 세정법. 화학적방법인 RCA세정의 경우 유기물과 금속 불순물을 제거하게 되는 것이다.
세정은 리소그래피를 처음으로 하는 각 공정 사이에서 반드시 행해야 하는 것으로, 표면 청정화를 위한 공정이다. 또한, 열처리, 산화 등의 공정 전에 행하여지는 것으로, “후처리" “전처리”라 불리기도 한다.
이 공정은 지금까지도 약액을 사용하는 기술로서는 상당히 표준화 하기 어려운 공정 중 하나로, WET처리가 중심으로 RCA세정의 경우는 H₂SO⁴(황산), HCI, NH⁴OH, HF, H₂O₂(과산화수소)등의 약액 조합에 의해 처리되는 것이다.
그리고, 세정 공정이 의한 제거 대상물은 유기물 잔사, 산화물 잔사, 금속오염, 파티클(먼지) 등이 되는 것이다.
또한, 초음파 브러시(Blush) 등의 물리적 방법도 필요에 따라 추가될 수 있으며,“보이지 않는 오염”, 결정결함, 데미지(손상) 등의 제거도 세정의 구분에 포함하기도 한다.
하지만, 이와 같은 반도체 세정공정은 다음과 같은 문제점이 있었다.
즉, 세정공정 중 과산화수소에 오염된 폐황산이 발생하게 되는 문제점이 있었다.
특히, 이렇게 발생한 폐황산은 폐기되어야 하는데, 폐황산을 폐기시키기 위해서는 많은 비용이 소요되며, 폐황산으로 인해 자연이 환경이 오염되는 문제점도 있었다.
따라서 본 발명의 목적은 높은 순도의 황산에 오염된 과산화수소를 분해시키고, 또한 이러한 순도 높은 황산을 재활용할 수 있도록 함으로써, 세정공정 중 폐황산이 발생하게 되는 문제점과, 이렇게 발생한 폐황산은 폐기되어야 하는데, 폐황산을 폐기시키기 위해서는 많은 비용이 소요되며, 폐황산으로 인해 자연이 환경이 오염되는 문제점을 효과적으로 해결할 수 있도록 한 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치를 제공하는 데 있다.
이와 같은 본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산을 재사용할 수 있도록 과산화수소를 분해시키는 장치에 있어서, 일측에는 내부의 유량을 표시하는 유량계가 구비되고, 상부에는 폐황산의 주입관과 세정탑 연결관 및 개폐 가능한 맨홀이 설치되며, 상부 일측에는 과산화수소 분리된 황산 재주입관이 구비되고, 하부 일측에는 제1펌프가 설치된 폐황산 공급관이 구비되는 폐황산 수조;와 상하 다공망판 사이에 과산화수소 분해제가 채워진 과산화수소 분해조를 중심으로 하측 다공망판 아래쪽에는 폐황산 공급관을 연결하여 폐황산이 하부로 유입되며, 상측 다공망판 위쪽에는 황산 재주입관과 그 보다 높은 위치에 가스배출관이 구비된 과산화수소 분해탑;과 가스입자를 분산시켜 물과의 접촉면적을 넓혀주는 충진재가 제2다공판 위에 일정 높이 채워지고 충진재 위로 물을 분사시키는 살수봉이 설치된 가스흡수조를 복층으로 구비하되, 하측 가스흡수조 아래에는 물이 채워지는 하단부 수조와의 사이에 과산화수소 분해탑의 가스배출관을 연결하고, 수조 일측에는 살수봉으로 물을 공급하도록 제2펌프가 구비된 급수관을 설치하며, 상측 가스흡수조 상부에 환기관이 형성된 가스 흡수탑;으로 이루어진 것을 특징으로 한다.
그리고, 과산화수소 분해탑의 과산화수소 분해조에 채워지는 과산화수소분해제는 활성탄이고, 가스 흡수탑의 가스흡수조에 채워지는 충진재는 외벽에 다수의 구멍이 형성되고 내부에 방사형 격벽이 형성된 폴링(Pall ring)으로 형성하며, 과산화수소 분해탑의 상하 다공망판은, 활성탄이 통과되지 않는 크기의 구멍이 형성된 상하 다공판과; 상하 다공판 사이에 설치되는 100~150 메쉬의 미세한 필터망;으로 구성되어 활성탄 가루가 여과되게 하고, 폐황산 수조와 과산화수소 분해탑을 연결하는 폐황산 재주입관의 직경은 폐황산 공급관의 직경보다 크고, 과산화수소 분해탑과 가스흡수탑을 연결하는 가스배출관의 직경은 폐황산 재주입관의 직경보다 크게 형성하며, 폐황산 수조와 과산화수소 분해탑 사이에 설치되는 폐황산 공급관에는, 시료 채취 밸브가 구비된 시료채취관을 형성하여 과산화수소 분해탑으로 공급되는 시료의 과산화수소 농도를 측정할 수 있도록 형성함으로써 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 것이다.
이와 같은 본 발명은 반도체의 생산과정 중 세정과정에서 발생하는 과산화수소에 오염된 폐황산을 과산화수소 분해제를 이용하여 과산화수소와 황산으로 분리 분해시킴으로써, 황산을 재활용할 수 있는 효과가 있는 것이다.
그리고, 과산화수소 분해제를 이용하여 폐황산의 과산화수소와 황산을 분리 분해시키는 공정을 반복하여 수행함으로써, 순수한 황산을 얻을 수 있는 효과가 있는 것이다.
또한, 폐황산을 매립하거나 폐기하지 않고 재활용함으로써, 환경을 오염시키지 않는 효과도 있는 것이다.
도 1 은 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치를 보여주는 전개도.
도 2 는 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치의 과산화수소 분해탑을 보여주는 요부확대도.
도 3 은 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치의 폴링을 보여주는 사시도.
이하 본 발명의 특징을 효과적으로 달성할 수 있는 바람직한 실시 예로서 그 기술구성 및 작용효과를 첨부된 도면에 의하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
즉, 도 1 은 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치를 보여주는 전개도이고, 도 2 는 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치의 과산화수소 분해탑을 보여주는 요부확대도, 도 3 은 본 발명에 따른 폐황산의 재활용 장치의 폴링을 보여주는 사시도이다.
이와 같은 본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산을 재사용할 수 있도록 과산화수소와 분리시키는 장치에 있어서, 일측에는 내부의 유량을 표시하는 유량계(110)가 구비되고, 상부에는 폐황산의 주입관(120)과 세정탑 연결관(130) 및 개폐 가능한 맨홀(140)이 설치되며, 상부 일측에는 과산화수소 분리된 황산 재주입관(150)이 구비되고, 하부 일측에는 제1펌프(160)가 설치된 폐황산 공급관(180)이 구비되는 폐황산 수조(100);와 상하 다공망판(210)(220) 사이에 과산화수소 분해제(230)가 채워진 과산화수소 분해조(250)를 중심으로 하측 다공망판(220) 아래쪽에는 폐황산 공급관(180)을 연결하여 폐황산이 하부로 유입되며, 상측 다공망판(210) 위쪽에는 황산 재주입관(150)과 그 보다 높은 위치에 가스배출관(260)이 구비된 과산화수소 분해탑(200);으로 이루어진 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 가스입자를 분산시켜 물과의 접촉면적을 넓혀주는 충진재(310)가 제2다공판(320) 위에 일정 높이 채워지고 충진재(310) 위로 물을 분사시키는 살수봉(350)이 설치된 가스흡수조(360)(370)를 복층으로 구비하되, 하측 가스흡수조(370) 아래에는 물이 채워지는 하단부 수조(380)와의 사이에 과산화수소 분해탑(200)의 가스배출관(260)을 연결하고, 수조(380) 일측에는 살수봉(350)으로 물을 공급하도록 제2펌프(395)가 구비된 급수관(390)을 설치하며, 상측 가스흡수조(360) 상부에 환기관(340)이 형성된 가스 흡수탑(300);으로 이루어지며, 과산화수소 분해탑(200)의 과산화수소 분해조(250)에 채워지는 과산화수소 분해제(230)는 활성탄이고, 가스 흡수탑(300)의 가스흡수조(360)(370)에 채워지는 충진재(310)는 외벽(410)에 다수의 구멍(430)이 형성되고 내부에 방사형 격벽(450)이 형성된 폴링(Pall ring)이다.
여기서, 과산화수소 분해탑(200)의 상하 다공망판(210)(220)은, 활성탄이 통과되지 않는 크기의 구멍(215)이 형성된 상하 다공판(211)과; 상하 다공판(211) 사이에 설치되는 100~150 메쉬의 미세한 필터망(213);으로 구성되어 활성탄 가루가 여과되게 형성하고, 폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200)을 연결하는 폐황산 재주입관(150)의 직경은 폐황산 공급관(180)의 직경보다 크고, 과산화수소 분해탑(200)과 가스흡수탑(300)을 연결하는 가스배출관(260)의 직경은 폐황산 재주입관(150)의 직경보다 크게 형성된 것임을 특징으로 하는 것이다.
또한, 폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200) 사이에 설치되는 폐황산 공급관(180)에는, 시료 채취 밸브(550)가 구비된 시료채취관(500)을 형성하여 과산화수소 분해탑(200)으로 공급되는 시료의 과산화수소 농도를 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 것이다.
그리고, 미설명 부호 (290)은 작업자가 과산화수소 분해탑 내부를 볼 수 있는 투시창이다.
이와 같은 본 발명은 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치에 관한 것이다.
즉, 폐황산을 과산화수소와 황산으로 분리 분해하여 황산을 재활용하게 되는 것이다.
우선 폐황산을 주입관(120)을 통해 폐황산 수조(100)로 유입시키게 되는 것이다.
이때, 폐황산 수조(100)에는 유량계(110)가 설치되어 있어서 작업자가 폐황산 수조(100) 내의 폐황산 수위를 조절할 수 있으며, 폐황산 수조(100)의 상부에는 개폐 가능한 맨홀(140)이 형성되어 있어서, 작업자가 폐황산 수조(100) 내부를 세척하거나 보수할 수 있게 되는 것이다.
또한, 폐황산 수조(100)의 상부에는 폐황산에서 발생되는 가스에 의해 폐황산 수조(100) 내부의 압력이 높아지는 것을 방지하게 위해 세정탑 연결관(130)이 세정탑과 연결되어 있어서, 폐황산 수조(100)의 가스가 일정 압력 이상을 넘게 되면 가스를 세정탑으로 배출하게 되는 것이다.
폐황산 수조(100)에 폐황산이 차게 되면 주입관(120)를 폐쇄하고 제1펌프(160)를 작동시켜 폐황산 수조(100) 하부에 구비되는 폐황산 공급관(180)을 통해 과산화수소 분해탑(200)으로 폐황산을 공급하게 되는 것이다.
이때, 폐황산 공급관(180)의 제1펌프(160) 전방에는 밸브가 구비되어 폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200) 사이의 폐황산 공급관(180)을 개폐시킬 수 있게 되는 것이다.
이렇게, 과산화수소 분해탑(200) 하부로 유입된 폐황산은 하측 다공망판(220)을 통해 과산화수소 분해제(230)가 구비되는 과산화수소 분해조(250)로 이동한 후, 다시 상측 다공망판(210)을 지나게 되는 것이다.
이때, 폐황산은 과산화수소 분해조(200)의 과산화수소 분해제(230)에 의해 과산화수소가 분해되어 황산은 상측 다공망판(210) 상부의 황산 재주입관(150)을 통해 다시 폐황산 수조(100)로 유입되며, 가스 형태로 분리된 과산화수소는 폐황산 재주입관(150) 상부에 형성되는 가스배출관(260)을 통해 가스 흡수탑(300)으로 유입되는 것이다.
이렇게, 폐황산의 과산화수소를 분해시키는 분해조(250)의 상하 다공망판(210)(220)은, 상하 다공망판(210)(220) 사이에 구비되는 과산화수소 분해제(230)인 활성탄이 과산화수소 분해조(250) 상하로 통과되지 않는 크기의 구멍(215)이 형성된 상하 다공판(211)과, 상하 다공판(211) 사이에 설치되는 100~150 메쉬의 미세한 필터망(213)으로 형성되어 있어서, 과산화수소 분해조(250)를 오염시키지 않고 과산화수소 분해조(250) 내부에서 과산화수소를 분해할 수 있게 되는 것이다.
그리고, 황산 재주입관(150)을 통해 폐황산 수조(100)로 재주입되는 황산은 폐황산 수조(100)에 모아져 다시 폐황산 공급관(180)을 통해 과산화수소 분해탑(200)으로 유입되며, 과산화수소 분해탑(200)의 과산화수소 분해조(250)를 지나면서 황산에 남아있는 과산화수소는 다시 재분해되고, 이렇게 재분해된 황산은 다시 황산 재주입관(150)을 통해 폐황산 수조(100)로 유입되는 것이다.
이러한 과정을 반복하는 동안 폐황산은 이산화탄소와 분해되면서 점점 순도가 높은 황산으로 변해가며, 작업자가 원하는 순수한 황산이 만들어질 때까지 무한 반복작업을 수행하게 되며, 작업자가 원하는 순수한 황산이 만들어졌는지 확인하기 위해서 폐황산 공급관(180)의 일측에 구비되는 시료채취관(500)의 시료채취 밸브(550)를 열어 황산 시료를 채취함으로써 과산화수소의 농도를 측정할 수 있게 되는 것이다.
특히, 과산화수소 분해탑(200)의 상부에 개폐 가능하도록 설치되는 투시창(290)을 통해 작업자는 과산화수소 분해탑(200) 내부를 관찰할 수 있기 때문에, 과산화수소 분해탑(200) 내부를 작업자가 수시로 관찰함으로써 과산화수소 분해탑(200)의 오작동이나 과산화수소 분해 상태 등을 용이하게 확인할 수 있게 되는 것이다.
과산화수소 분해탑(200)에서 황산과 분해된 과산화수소는 가스배출관(260)을 통해 가스흡수탑(300)으로 유입되는 것이다.
이렇게, 가스흡수탑(300)의 하부로 유입되는 가스 형태의 과산화수소는 복수층으로 형성되는 제2다공판(320)을 차례로 거쳐 가스흡수탑(300) 상부의 환기관(340)을 통해 외부로 배출되는 것이다.
이때, 과산화수소가 제2다공판(320) 상부에는 외벽(410)에 다수개의 구멍(430)이 형성되고 내부에는 방사형의 격벽(450)이 구비되는 폴링이 충진재(310)로 채워지며, 충진재(310) 상부에는 충진재(310) 위로 물을 분사시키는 살수봉(350)이 설치된 가스흡수조(360)(370)를 순차적으로 통과하게 되는 것이다.
그리고, 가스흡구탑(300)의 하측 가스흡수조(370) 하부에는 일정량의 물이 채워지는 하단부 수조(380)가 구비되고, 하단부 수조(380)의 일측에는 살수봉(350)으로 물을 공급하는 제2펌프(395)가 구비된 급수관(390)이 설치되어 있어서, 살수봉(350)을 통해 물을 분사시키면 과산화수소가 가스흡수조(300)의 충진재(310)인 폴링을 지나면서 물과 과산화수소의 접촉면적이 확대되므로 과산화수소를 물에 원활하게 용해시켜 하단부 수조(380)로 물과 함께 저장시키게 되는 것이다.
이렇게 과산화수소가 물에 용해되어 하단부 수조(380)에 저장됨으로써, 가스흡수탑(300) 상단의 환기관(340)을 통해서는 과산화수소가 거의 포함되지 않은 맑은 공기가 배출되는 것이다.
특히, 폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200)을 연결하는 폐황산 재주입관(150)의 직경은 폐황산 공급관(180)의 직경보다 크게 형성하고, 과산화수소 분해탑(200)과 가스흡수탑(300)을 연결하는 가스배출관(260)의 직경은 폐황산 재주입관(150)의 직경보다 크게 형성함으로써, 폐황산 수조(100)에서 폐황산을 과산화수소 분해탑(200)으로 공급시키는 속도보다 과산화수소 분해탑(200)에서 과산화수소와 분해되어 폐황산 수조(100)로 재유입되는 황산의 유입속도를 높게 하며, 과산화수소 분해탑(200)에서 과산화수소와 분해되어 폐황산 수조(100)로 재유입되는 황산의 유입속도보다 과산화수소 분해탑(200)에서 가스흡수탑(300)으로 유입되는 가스배출관(260)의 유입속도를 높게 조절함으로써, 과산화수소와 황산을 분해시키는 공정이 균형있게 이루어질 수 있게 되는 것이다.
100 : 폐황산 수조 120 : 주입관
130 : 세정탑 연결관 140 : 맨홀
150 : 황산 재주입관 160 : 제1펌프
200 : 과산화수소 분해탑 210 : 상측 다공망판
211 : 상하 다공판 213 : 필터망
215 : 구멍 220 : 하측 다공망판
230 : 과산화수소 분해제 250 : 과산화수소 분해조
260 : 가스배출관 300 : 가스 흡수탑
310 : 충진재 320 : 제2다공판
350 : 살수봉 360 : 가스흡수조
370 : 가스흡수조 380 : 하단부 수조
390 : 급수관 395 : 제2펌프
410 : 외벽 430 : 구멍
450 : 격벽 500 : 시료채취관
550 : 시료채취 밸브

Claims (5)

  1. 과산화수소에 오염된 폐황산을 재사용할 수 있도록 과산화수소와 분리시키는 장치에 있어서,
    일측에는 내부의 유량을 표시하는 유량계(110)가 구비되고, 상부에는 과산화수소에 오염된 폐황산의 주입관(120)과 세정탑 연결관(130) 및 개폐 가능한 맨홀(140)이 설치되며, 상부 일측에는 과산화수소 분리된 황산 재주입관(150)이 구비되고, 하부 일측에는 제1펌프(160)가 설치된 폐황산 공급관(180)이 구비되는 폐황산 수조(100);와
    상하 다공망판(210)(220) 사이에 과산화수소 분해제(230)가 채워진 과산화수소 분해조(250)를 중심으로 하측 다공망판(220) 아래쪽에는 폐황산 공급관(180)을 연결하여 폐황산이 하부로 유입되며, 상측 다공망판(210) 위쪽에는 황산 재주입관(150)과 그 보다 높은 위치에 가스배출관(260)이 구비된 과산화수소 분해탑(200);과
    가스입자를 분산시켜 물과의 접촉면적을 넓혀주는 충진재(310)가 제2다공판(320) 위에 일정 높이 채워지고 충진재(310) 위로 물을 분사시키는 살수봉(350)이 설치된 가스흡수조(360)(370)를 복층으로 구비하되, 하측 가스흡수조(370) 아래에는 물이 채워지는 하단부 수조(380)와의 사이에 과산화수소 분해탑(200)의 가스배출관(260)을 연결하고, 수조(380) 일측에는 살수봉(350)으로 물을 공급하도록 제2펌프(395)가 구비된 급수관(390)을 설치하며, 상측 가스흡수조(360) 상부에 환기관(340)이 형성된 가스 흡수탑(300); 으로 이루어지되
    과산화수소 분해탑(200)의 상하 다공망판(210)(220)은,
    활성탄이 통과되지 않는 크기의 구멍(215)이 형성된 상하 다공판(211)과; 상하 다공판(211) 사이에 설치되는 100~150 메쉬의 미세한 필터망(213);으로 구성되어 활성탄 가루가 여과되게 하며,
    폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200)을 연결하는 폐황산 재주입관(150)의 직경은 폐황산 공급관(180)의 직경보다 크고,
    과산화수소 분해탑(200)과 가스흡수탑(300)을 연결하는 가스배출관(260)의 직경은 폐황산 재주입관(150)의 직경보다 크게 형성된 것임을 특징으로 하는 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    과산화수소 분해탑(200)의 과산화수소 분해조(250)에 채워지는 과산화수소 분해제(230)는 활성탄이고,
    가스 흡수탑(300)의 가스흡수조(360)(370)에 채워지는 충진재(310)는 외벽(410)에 다수의 구멍(430)이 형성되고 내부에 방사형 격벽(450)이 형성된 폴링(Pall ring)인 것을 특징으로 하는 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    폐황산 수조(100)와 과산화수소 분해탑(200) 사이에 설치되는 폐황산 공급관(180)에는,
    시료 채취 밸브(550)가 구비된 시료채취관(500)을 형성하여 과산화수소 분해탑(200)으로 공급되는 시료의 과산화수소 농도를 측정할 수 있도록 한 것을 특징으로 하는 과산화수소에 오염된 폐황산의 재활용 장치.
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