KR101902185B1 - 버블층을 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버 - Google Patents

버블층을 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버 Download PDF

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KR101902185B1
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(주)중앙플랜트
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Abstract

본 발명에 따른 버블 스크러버는 인입되는 가스를 물 또는 세정액과 접촉시켜 버블화함으로써 가스와 물의 접촉면적을 극대화하고, 이를 통해서 비산하는 가스상 물질 및 미세 입자를 거품막에 의하여 포집하여 처리할 수 있는 기술이다. 이를 통해 미세입자를 포함하는 오염물질의 처리 성능이 매우 높고, 내부 침전물의 적체가 없으며, 압력 강하가 아주 낮고, 시간에 따른 성능 저하가 거의 없으며, 버블층의 기포에 의해 자동 세척되어 분해, 청소 등의 유지 관리가 거의 필요 없다는 장점이 있다.

Description

버블층을 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버 {Scrubber for removing fine particle and treatment of gas using bubble layer}
본 발명은 버블층을 이용한 미세입자 제거 및 가스 처리용 스크러버에 관한 것으로서, 구체적으로는 인입되는 유해가스를 포수제(collector, 捕收劑)를 포함하는 물 또는 세정액과 접촉시켜 인입되는 가스에 의해 생성된 공기방울을 다수 포함한 버블층을 형성하고, 상기 미세입자와 가스상 물질을 상기 버블층에 포집하여 미세입자 제거 및 가스 처리하는 스크러버에 관한 것이다.
현재 국내 주력산업의 한 분야를 차지하는 반도체 및 디스플레이 산업은 제조 공정시 다양한 종류의 기체(또는 유해가스)및 미세입자를 발생한다. 상기 기체를 처리하는 방법은 통상적으로 스크러버 방식의 포집 방법을, 미세입자의 처리는 전기집진법, 또는 이들의 혼합된 방식을 사용한다.
스크러버는 기체를 정화하기 위해 수십 년 전부터 사용되어온 가장 일반적인 환경 설비로서 액체(세정액)를 위에서 분사하고 아래부터 기체(유해가스)를 불어넣어 액체(세정액)에 용해되는 기체상 물질을 흡수, 제거하고 고체상 물질은 미세 액적과 충돌해 세정하는 원리다. 따라서 기체와 액체가 만나는 시간이 길어질수록 기체 중의 물질이 흡수, 혹은 충돌되는 양이 증가되어 처리 효율이 좋아진다.
스크러버에 배치되는 충전물에는 여러가지 종류가 있다. 대표적인 흡착제로서 일본 공개특허공보 제61-35849호에 기재된 활성탄, 일본 공개특허공보 제61-61619호에 기재된 NaOH, Ca(OH)2, Mg(OH)2와 같은 염기성 물질의 흡착제, 미국 특허공보 제5322674호에 기재된 활성탄과 염기성 물질을 혼합한 경우가 있다. 이와 같은 흡착제는 포화 상태에 이르면 유해물질의 흡착 능력이 현저히 저하되기 때문에 일정시간 사용한 후에는 흡착제를 재생하거나 교환해주어야 하는 문제가 있다. 또한 압력강하가 클 수밖에 없어 대량의 유해가스 처리를 처리하는데 다소 부적합한 문제점이 있다.
다른 방식으로는 기체와 액체의 접촉 시간 및 면적을 크게 하기 위한 필터 형태가 있다. 또는 이들을 혼용한 방식도 가능하다. 흡착제로 사용되는 활성탄 등과 같은 재료를 여과매체로 사용하고, 여기에 첨가물이 부가된 수용액을 분사한다(등록특허공보 제10-0340384호).
등록특허공보 제1414128호, 공개특허공보 제2015-0019897호, 공개특허공보 제2015-0142560호는 세정탑 내부로 공급되는 오염가스를 세정액의 내부에서 기포로 분사하여 세정액에 노출되는 면적을 증가시킴으로써 오염가스에 포함된 오염물질의 제거하는 장치에 관한 것이다.
등록특허공보 제1414128호는 기포를 생성하기 위해서 별도의 초음파를 사용하고 있으나, 대규모의 스크러버에서 기포를 생성하기에는 적합하지 않다(도 1 참조). 공개특허공보 제2015-0019897호는 계면활성제를 사용하였으나, 구체적인 계면활성제에 대해서는 언급하지 않고 있다. 그러나 미세입자를 포함하는 오염물질을 제거하는 스크러버 내에서 일반적인 계면활성제로는 1㎜ 이하의 기포를 생성하는 것이 거의 불가능하며 공개특허공보 제2015-0019897호에 이러한 기술적 사상 및 해결책에 대해서는 전혀 제시된 바가 없다.
한편 제2015-0142560호는 별도로 고안되 노즐을 사용하여 기포를 생성하고 있으나, 발생된 기포가 일정한 높이의 층을 이루지 못하는 문제점이 있다.
이와 같이 기체와 액체의 접촉 면적이 매우 큰 기포 또는 버블을 이용한 오염물질의 제거가 시도되고 있으나, 실제 현장에서 효과를 나타낼 수 있는 1㎜이하의 기포가 일정한 높이의 층을 이룰 수 있는 기술은 아직까지 제시된 바가 없다.
본 명세서 전반에서 사용되는 가스, 기체, 유해가스, 또는 오염가스는 제거되어야 하는 물질이 고상인 입자, 기상, 또는 액상으로 존재하는 전반적으로 기상 형태인 것이다.
본 명세서에서 기포, 버블, 거품, 거품막 등은 내부가 기체이며 외부 또는 계면이 액체인 상태를 의미한다. 특히 버블, 거품막은 물속에 존재하는 공기방울 형태가 아닌 일반적으로 사용되는 비눗방울 형태를 의미한다.
일본 공개특허공보 제61-35849호 일본 공개특허공보 제61-61619호 미국 특허공보 제5322674호 등록특허공보 제0340384호 등록특허공보 제1414128호 공개특허공보 제2015-0019897호 공개특허공보 제2015-0142560호
본 발명은 기존 스크러버에 사용되는 충전물의 문제점인 고체에 의한 막힘, 액체 투과성, 내부 침전물의 적체, 압력 강하, 성능 저하, 세척 및 분해 등의 유지관리의 어려움을 해결할 수 있는 스크러버를 제공하고자 한다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서 본원 발명에서는 인입되는 유해가스를 포수제를 포함하는 물 또는 세정액과 접촉시켜 입경이 작은 공기방울을 다수 포함한 버블층을 생성하고, 상기 버블층에 의해서 미세입자를 포함하는 가스상 물질과 물의 접촉면적을 극대화하고, 이를 통해서 비산하는 가스상 물질 및 미세 입자를 버블층에 포집하여 처리할 수 있는 기술을 제공한다.
본 발명에 따른 제1양태는 일측에 마련된 미세입자 및 유해가스 유입구와 타측에 마련된 처리가스 배출구; 상기 미세입자 및 유해가스 유입구와 상기 처리가스 배출구 사이에 위치하며 하기 공기분산관, 하기 버블층 발생필터, 하기 버블층 차단필터, 하기 2차 세정액 분사노즐을 포함하는 미세입자 및 유해가스 처리부; 상기 미세입자 및 유해가스 처리부 하단에 위치하며 상기 미세입자 및 유해가스 유입구를 통해 유입된 미세입자 및 유해가스를 다수의 구멍을 통해 기포로 분사하는 공기분산관; 상기 공기분산관을 통해 분산된 유입공기가 기포가 되어 버블층을 형성하게 하는 버블층 발생필터; 상기 버블층 발생필터의 상단에 위치하며 버블층의 높이를 조절하는 버블층 차단필터; 상기 버블층 차단필터의 상단에 위치하며 세정액을 분무하는 2차 세정액 분사노즐; 상기 세정액을 보관하는 세정액 저장부;를 포함하는 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제2양태는 상기 미세입자 및 유해가스 유입구를 통해 유입된 미세입자 및 유해가스를 상기 공기분산관을 통해 분사하기전 1차 세정액 분사 노즐을 통해서 상기 미세입자를 조대화시키고 유입가스를 세정하여 미세입자 및 유해가스를 전처리 하는 미세입자 및 유해가스 전처리부; 상기 미세입자 및 유해가스 전처리부를 통해서 처리된 미세입자 및 유해가스를 상기 처리가스 배출구를 통해 배출하기전 비산 액적을 제거하는 비산 액적 제거부가 추가된 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제3양태는 상기 미세입자 및 유해가스 전처리부는 상기 1차 세정액 분사노즐을 통해서 배출되는 세정액을 사용하여 유해가스의 미립자를 조대화하고, 상기 비산 액적 제거부는 데미스터를 사용하여 비산 액적을 제거하며, 상기 제거된 비산 액적을 비산 액적 회수부로 회수한 후 상기 세정액 저장부로 이송하는 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제4양태는 상기 미세입자 및 유해가스 처리부 하단으로부터 배출되는 세정액이 1차로 수집되는 곳으로서 세정액 내의 오염물질은 하부로 분리되며 상부로부터 배출되는 세정액을 상기 세정액 저장부로 회수시키는 슬러지 저장부;가 추가된 버블 스크러버를 제공한다.
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본 발명에 따른 제6양태는 상기 버블층 발생필터에서 버블 형성을 도울 수 있는 버블액를 보관하는 버블액 저장탱크; 상기 버블액을 공급하는 버블액 공급펌프; 상기 버블액을 이송하기 위한 버블액 공급배관이 추가된 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제7양태는 상기 버블액은 비이온성 계면활성제와 양쪽성이온 계면활성제가 혼합된 것이거나 음이온성 계면활성제를 포함하는 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제8양태는 상기 버블액은 상기 세정액과 같이 공급되거나, 상기 버블층 발생필터에 직접 공급되는 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제9양태는 상기 세정액 저장부의 세정액은 상기 1차 세정액 분사노즐 및 상기 2차 세정액 분사노즐에 동시에 공급되는 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제10양태는 상기 공기분산관은 1개 이상의 배관에 기포가 분사될 수 있는 다수의 구멍이 형성된 것이며, 상기 버블층 발생필터는 격자형태이고, 상기 버블층 차단필터는 상기 버블층 발생필터의 격자보다 단위 크기가 큰 격자형태인 버블 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제11양태는 상기 공기분산관은 적어도 일부가 세정액 내에 잠겨있는 상태이며, 상기 버블층 발생필터는 적어도 일부는 세정액에 잠겨있는 상태가 아닌것인 버블층 스크러버를 제공한다.
본 발명에 따른 제12양태는 상기 버블층 발생필터는 공기분산관으로 생성되는 기포 및 상기 버블층 내의 버블층에 의하여 세정되며, 버블층 차단필터는 상기 2차 세정액 분사노즐에 의하여 분사되는 세정액에 의하여 세정되는 버블 스크러버를 세정하는 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 제13양태는 상기 1차 세정액 분사노즐 및 상기 2차 세정액 분사노즐에서 분사된 세정액의 수위를 상기 슬러지 배출구의 상부에서 배출되는 세정액의 높이를 조절함으로써 버블 스크러버의 버블층 높이와 차압을 조절하는 방법을 제공한다.
본 발명에 따른 버블층 스크러버는 미세입자를 포함하는 오염물질의 처리 성능이 매우 높고, 내부 침전물의 적체가 없으며, 압력 강하가 아주 낮고, 시간에 따른 성능 저하가 거의 없으며, 버블층에 의해 자동 세척되어 분해, 청소 등의 유지관리가 거의 필요 없다는 장점이 있다.
또한 종래의 버블층에 비해서 본원 발명에서 생성된 버블층은 매우 두꺼울 뿐만 아니라 상기 두께를 쉽게 조절할 수 있으며, 계속적인 장시간의 운전에도 버블층이 계속 유지된다.
도 1은 종래의 기술에 따른 오염가스 세정장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오염가스 세정장치의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블층 발생필터의 사진이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기포와 버블층의 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 사진이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명을 보다 상세히 설명한다. 그러나 첨부된 도면은 본 발명의 기술적 사상의 내용과 범위를 쉽게 설명하기 위한 예시일 뿐, 이에 의해 본 발명의 기술적 범위가 한정되거나 변경되는 것은 아니다. 또한 이러한 예시에 기초하여 본 발명의 기술적 사상의 범위 안에서 다양한 변형과 변경이 가능함은 당업자에게는 당연할 것이다.
또한, 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니 되며, 발명자는 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석 되어야 만 한다. 따라서 본 명세서에 기재된 실시 예는 본 발명의 가장 바람직한 일 실시 예에 불과할 뿐이고 본 발명의 기술적 사상을 모두 대변하는 것은 아니므로, 본 출원시점에 있어서 이들을 대체할 수 있는 다양한 균등물과 변형 예들이 있을 수 있음을 이해하여야 한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 오염가스 세정장치의 단면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 오염가스 세정장치의 개략적인 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 버블층 발생필터의 사진이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기포와 버블층의 사진이다.
도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 사진이다.
(실시예)
도 2에서 파란색 선 또는 파란색 점선 화살표는 세정액 또는 세정액의 이동을 의미하며, 주황색 실선 화살표는 유해가스의 이동을 의미한다. 검은색 간격이 넓은 점선은 해당 부분을 지시하기 위한 것이며, 검은색 실선 화살표는 부호 번호와 연결하기 위한 지시선이다.
본 발명에 따른 버블 스크러버는 일측에 마련된 미세입자 및 유해가스 유입구(2), 타측에 마련된 처리가스 배출구(8), 상기 미세입자 및 유해가스 유입구(2)와 상기 처리가스 배출구(8) 사이에 위치하며 공기분산관(4), 버블층 발생필터(6), 버블층 차단필터(7), 2차 세정액 분사노즐(35)을 포함하는 미세입자 및 유해가스 처리부(10)를 포함한다.
미세입자 및 유해가스 처리부(10)는 구체적으로 하단에 위치하며 미세입자 및 유해가스 유입구(2)를 통해 유입된 미세입자 및 유해가스를 다수의 구멍을 통해 기포로 분사하는 공기분산관(4), 공기분산관(4)을 통해 분사하는 기포가 버블층을 형성하게 하는 버블층 발생필터(6), 버블층 발생필터(6)의 상단에 위치며 버블층의 높이를 조절하는 버블층 차단필터(7) 및 버블층 차단필터(7)의 상단에 위치하며 세정액을 분무하는 2차 세정액 분사노즐(35)로 구성된다.
공기분산관(4)은 1개 이상의 배관에 기포가 분사될 수 있는 다수의 구멍이 형성된 것이며, 버블층 발생필터(6)는 격자형태이다. 도 2에서 도면 부호 6의 검은색의 사각형 격자형태가 버블층 발생필터(6)를 나타낸 것이며, 버블층 발생필터(6)를 실제 실시예를 도 3에 나타내었다. 도3에서 하나의 격자 간격은 약 5㎝ 내외로서 이러한 격자의 간격은 필요한 버블에 따라 통상의 기술자가 조절할 수 있다.
버블층 차단필터(7)는 상기 버블층 발생필터와 같거나 버블층 발생필터의 격자보다 단위 크기가 큰 격자형태일 수 있다. 버블층 발생필터 또는 버블층 차단필터는 기체와 액체의 접촉 면적을 늘려줄 수 있는 형태가 바람직하며, 버블층 차단필터는 본 출원인에 의해서 출원된 클린필터 형태일 수 있다(특허 등록번호 10-1726299호 참조).
공기분산관(4)은 적어도 일부가 세정액 내에 잠겨있는 상태로서 공기분산관(4)의 구멍을 통해서 배출되는 유해가스가 세정액에서 기포를 형성하게 되며, 버블층 발생필터(6)는 적어도 미세입자 및 유해가스 유입시 일부는 세정액에 잠겨있는 상태가 아닌 것으로서 통상적으로 말하는 비누거품형태가 층을 이루도록 한다. 본 발명의 일실시예에 따른 기포 및 버블층의 예시를 도 4에 게시하였다.
도 4의 아래쪽에 세정액에 잠겨있는 공기분산관(4)과 공기분산관(4)의 기포 발생을 위한 구멍을 볼 수 있으며, 세정액의 액체 상단에는 미세한 버블층이 구성되어 있음을 알 수 있다.
도 2에서 볼 수 있듯이, 미세입자 및 유해가스 유입구(2)를 통해 유입된 미세입자 및 유해가스를 상기 공기분산관(4)을 통해 분사하기전 1차 세정액 분사노즐(34)을 통해서 전처리하는 미세입자 및 유해가스 전처리부(11)가 있다. 미세입자 및 유해가스 전처리부(11)는 상기 1차 세정액 분사노즐(34)을 통해서 배출되는 세정액을 사용하여 미세입자 및 유해가스의 미립자를 조대화한다.
미세입자 및 유해가스 처리부(10)를 통해서 처리된 미세입자 및 유해가스를 처리가스 배출구(8)를 통해 배출하기전 비산 액적 제거부(20)에서 비산 액적을 제거한다. 비산 액적 제거부(20)는 데미스터(21)를 사용하여 비산 액적을 제거하며, 제거된 비산 액적을 비산 액적 회수부(22)로 회수한 후 세정액 저장부(30)로 이송한다.
미세입자 및 유해가스 처리부(10) 하단으로부터 배출되는 세정액이 1차로 수집되는 곳으로서 세정액 내의 오염물질은 하부로 분리되며 상부로부터 배출되는 세정액을 상기 세정액 저장부로 회수시키는 슬러지 저장부(36)가 추가될 수 있다. 슬러지 저장부(36) 미세입자 및 유해가스 처리부(10)로부터 계속 배출되는 오염물질을 포함하는 세정액으로부터 침전되는 슬러지 형태의 유해물질은 하단에 누적되어 측면의 경사진 부분으로 배출될 수 있다. 이러한 경사진 형태의 배출은 일 실시예의 하나로서 액체에 포함된 용해되지 않는 고체 물질을 침전을 통해서 다양하게 분리할 수 있음은 통상의 기술자가 쉽게 변형할 수 있는 것이다.
슬러지 저장부(36)에 저장된 슬러지인 오염물질은 일정 주기로 슬러지 배출구(37)을 이용하여 처리할 수 있다.
슬러지 저장부(36)의 상단 또는 측면에는 세정액이 오버플로우(38) 할 수 있는 수단이 마련된다. 1차 세정액 분사노즐(34) 및 2차 세정액 분사노즐(35)에서 분사된 세정액의 수위와 이에 다른 차압은 슬러지 배출구(37)의 상부 또는 측면에서 배출되는 오버플로우에 따른 세정액의 높이를 조절함으로써 조절할 수 있다.
도 5를 참조하면, 좌측의 하단에는 세정액과 공기분산관에 의해 발생된 기포가 있으며, 좌측 중단은 버블층 발생필터에 의한 버블층, 좌측 상단은 버블층 차단필터에 의해서 버블층이 차단된 것을 보여준다. 도 5의 중단에는 슬러지 저장부(36)의 세정액과 하단의 슬러지가 보인다. 도 5에서 슬러지 배출구는 뒷면에 위치하여 도 5에서는 관측되지 않는다. 슬러지 배출구의 세정액 높이를 조절함으로써 차압과 버블층의 높이를 조절하였다.
오버플로우 된 세정액(38)은 측면에 보관된 후 한번 더 오염물질이 침전되어 세정액을 분리 할 수 있으며, 도 2의 실시예서는 하단의 세정액 드레인(39)를 통해서 세정액을 세정액 저장부(30)로 이송한다.
세정액 저장부(30)의 위치는 운전 방법에 따라 변경할 수 있으며, 반드시 도 2와 같이 미세입자 및 유해가스 처리부(10) 하단에 배치되어야 하는 것은 아니다. 또한 세정액 저장부(30)에서는 오염물질이 하부에 분리 또는 침전된 상태로 있을 수 있으며, 이를 계속적, 주기적으로 제거할 수 있음은 통상의 기술자에게 자명한 것이다.
세정액은 처리하고자 하는 유해가스에 따라서 산성, 알칼리성 용액의로 변경이 가능하다.
세정액 저장부(30)의 세정액은 1차 세정액 분사노즐(34) 및 2차 세정액 분사노즐(35)에 동시에 공급될 수 있다. 1차 세정액 분사노즐(34) 및 2차 세정액 분사노즐(35)은 통상적인 액체 분사 노즐이므로 이에 대한 자세한 설명은 생략한다.
버블층 발생필터(6)에서 버블 형성을 도울 수 있는 버블액을 보관하는 버블액 저장탱크(40), 버블액을 공급하는 버블액 공급펌프(41), 버블액을 이송하기 위한 버블액 공급배관(42)이 추가될 수 있다. 버블액은 비이온성 계면활성제와 양쪽성이온 계면활성제가 혼합된 것이거나 음이온성 계면활성제를 포함하는 용액일 수 있으며, 음이온성 계면활성제가 바람직하다. 바람직한 실시예로는 비누 (지방산 나트륨) RCOO-Na+, 모노알킬 황산염 ROSO3 -M+, 알킬폴리옥시에틸렌 황산염 RO(CH2CH2O)mSO3 -M+, 알킬벤젠술폰산염 RR'CH2CHC6H4SO3 -M+, 모노알킬인산염 ROPO (OH)O-M+, 또는 SDS가 있다. 여기서 R은 작용기, M은 금속을 의미한다.
버블액은 세정액과 같이 공급되거나, 버블층 발생필터(6)에 직접 공급될 수 있다.
한편 본 발명에 따른 버블 스크러버는 운전 중에 세정이 동시에 이뤄지는 장점이 있다. 버블층 발생필터(6)는 공기분산관(3)으로 생성되는 기포 및 상기 버블층 내의 버블층에 의하여 세정되며, 버블층 차단필터(7)는 2차 세정액 분사노즐(35)에 의하여 분사되는 세정액에 의하여 세정된다. 본 실시예에 따른 버블 스크러버는 1개월 이상을 계속 운전하여도 버블층 발생필터(6) 및 버블층 차단필터(7)의 별도 세정이 필요 없을 만큼 운전 중 세정이 이뤄지는 것으로 관측되었다.
또한 스크러버 자체의 효과는 통상의 필터 또는 충진물에 의한 스크러버보다 매우 월등한 세정효과를 보였으며, 파일롯 테스트 결과 미세입자는 처리가스 배출구(8)에서 관측이 되지 않을 만큼 효율이 매우 우수한 것으로 파악되었다.
이상에서 대표적인 실시예를 통하여 본 발명에 대하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 상술한 실시예에 대하여 본 발명의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 다양한 변형이 가능함을 이해할 것이다. 그러므로 본 발명의 권리범위는 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 안 되며, 후술하는 특허청구범위뿐만 아니라 이 특허청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
1 : 본체 2 : 미세입자 및 유해가스 유입구
3 : 기포 발생부 4 : 공기분산관
5 : 버블 발생부 6 : 버블층 발생필터
7 : 버블층 차단필터 8 : 처리가스 배출구
9 : 배기 송풍기
10 : 미세입자 및 유해가스 처리부 11 : 유해가스 전처리부
20 : 비산 액적 제거부 21 데미스터
22 : 비산 액적 회수부 23 : 비산 액적 회수배관
30 : 세정액 저장부 31 : 세정액 공급펌프
32 : 세정액 공급배관 33 : 세정액 분사배관
34 : 1차 세정액 분사노즐 35 : 2차 세정액 분사노즐
36 : 슬러지 저장부 37 : 슬러지 배출구
38 : 세정액 오버플로우 39 : 세정액 드레인
40 : 버블액 저장탱크 41 : 버블액 공급펌프
42 : 버블액 공급배관

Claims (13)

  1. 일측에 마련된 미세입자 및 유해가스 유입구와 타측에 마련된 처리가스 배출구;
    상기 미세입자 및 유해가스 유입구와 상기 처리가스 배출구 사이에 위치하며 하기 공기분산관, 하기 버블층 발생필터, 하기 버블층 차단필터, 하기 2차 세정액 분사노즐을 포함하는 미세입자 및 유해가스 처리부;
    상기 미세입자 및 유해가스 처리부 하단에 위치하며 상기 미세입자 및 유해가스 유입구를 통해 유입된 미세입자 및 유해가스를 다수의 구멍을 통해 기포로 분사하는 공기분산관;
    상기 공기분산관을 통해 분산된 유입공기가 기포가 되어 버블층을 형성하게 하는 버블층 발생필터;
    상기 버블층 발생필터의 상단에 위치하며 버블층의 높이를 조절하는 버블층 차단필터;
    상기 버블층 차단필터의 상단에 위치하며 세정액을 분무하는 2차 세정액 분사노즐;
    상기 세정액을 보관하는 세정액 저장부;를 포함하는 버블 스크러버.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 미세입자 및 유해가스 처리부 하단으로부터 배출되는 세정액이 1차로 수집되는 곳으로서 세정액 내의 오염물질은 하부로 분리되며 상부로부터 배출되는 세정액을 상기 세정액 저장부로 회수시키는 슬러지 저장부;가 추가된 버블 스크러버.
  5. 삭제
  6. 제1항에 있어서,
    상기 버블층 발생필터에서 버블 형성을 도울 수 있는 버블액를 보관하는 버블액 저장탱크;
    상기 버블액을 공급하는 버블액 공급펌프;
    상기 버블액을 이송하기 위한 버블액 공급배관이 추가된 버블 스크러버.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 버블액은 비이온성 계면활성제와 양쪽성이온 계면활성제가 혼합된 것이거나 음이온성 계면활성제를 포함하는 버블 스크러버.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 버블액은 상기 세정액과 같이 공급되거나, 상기 버블층 발생필터에 직접 공급되는 버블 스크러버.
  9. 삭제
  10. 제1항에 있어서,
    상기 공기분산관은 1개 이상의 배관에 기포가 분사될 수 있는 다수의 구멍이 형성된 것이며,
    상기 버블층 발생필터는 격자형태이고,
    상기 버블층 차단필터는 상기 버블층 발생필터와 같거나 버블층 발생필터의 격자보다 단위 크기가 큰 격자형태인 버블 스크러버.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 공기분산관은 적어도 일부가 세정액 내에 잠겨있는 상태이며,
    상기 버블층 발생필터는 적어도 일부는 세정액에 잠겨있는 상태가 아닌 것인 버블 스크러버.
  12. 제1항, 제4항, 제6항 내지 제8항, 제10항, 제11항 중 어느 한 항에 따른 버블 스크러버를 세정하는 방법에 있어서,
    상기 버블층 발생필터는 공기분산관으로 생성되는 기포 및 상기 버블층 내의 버블에 의하여 세정되며,
    버블층 차단필터는 상기 2차 세정액 분사노즐에 의하여 분사되는 세정액에 의하여 세정되는 버블 스크러버를 세정하는 방법.
  13. 삭제
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