JP2005136136A - 半導体装置の製造方法およびウエーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 第1導電型のGaPウエーハを第1導電型の半導体層に接着する工程を含む半導体装置の製造方法において、安定したデバイス特性が得られ歩留まりが高い半導体装置の製造方法を提供する。また、そのためのGaPウエーハの製造方法を提供する。
【解決手段】 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、このGaPバッファー層にイオン注入法または固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングすることによりウエーハを製造する。
【選択図】 図1
【解決手段】 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、このGaPバッファー層にイオン注入法または固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングすることによりウエーハを製造する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体装置の製造方法およびウエーハの製造方法に関する。
発光ダイオードや半導体レーザなどの半導体発光装置は、小型、軽量、低消費電力、高信頼性などの特徴を兼ね備え、表示用光源や光通信用光源などの各種の用途に広く用いられている。実用化されている可視光LEDの材料としては、AlGaAs、GaP、InGaAlPなどの化合物半導体を挙げることができる。これらの材料のうち、InGaAlP系材料は、赤色から緑色の光の波長に対応する直接遷移型のバンド構造を有する。このため、このInGaAlP系材料は、赤色から緑色において高い内部量子効率が得られるLEDの材料として開発が進められてきた(例えば、特許文献1参照)。
上記のInGaAlP系材料は、GaAs基板と格子整合するため、GaAs基板上に形成される。しかしながら、このGaAs基板は、InGaAlP活性層からの光に対して不透明である。このため、このGaAs基板をそのままにしておくと、光取り出し効率を十分に高くすることができない。
そこで、InGaAlP系半導体発光装置の光取り出し効率を高くするため、GaAs基板上にInGaAlP系半導体からなるn型層、活性層、p型層を順次形成した後、p型層上に活性層からの光に対して透明なp型GaP基板を接着し、その後、活性層からの光を吸収するGaAs基板を除去する方法が提案されている。接着するp型GaP基板は、GaP系LED等で汎用されている基板であり、p型不純物を含む基板である(例えば、特許文献2参照)。このGaP基板およびGaAs基板は直径2インチ(約5cm)のものが多く用いられている。そして、この直径2インチの基板を例えば1個が350[μm]×350[μm]程度の複数の素子に分離し、この素子に電極を形成して、1つの基板から多数の透明基板型半導体発光装置が形成される。
上記の透明基板型半導体発光装置では、InGaAlP活性層からの光を吸収するGaAs基板がなくなるので、光取り出し効率が向上し、高い光出力が得られる。また、p型GaP基板のp型不純物濃度およびキャリア濃度を一定の値以下にし、p型不純物による光吸収を避けることで、さらに光取り出し効率が高められる。例えば、p型GaP基板のp型不純物にZnを用いる場合には、p型キャリア濃度が約5×1018[cm−3]以下になるようにして、光吸収を避けている。
特開平9−97920号公報
特開平8−233925号公報
上記のように、InGaAlP活性層と透明GaP基板とを用いた透明基板型半導体発光装置は、光出力が高い装置として注目されている。しかし、上記の透明基板型半導体発光装置では、歩留まりが低いという問題があった。もっとも、この透明基板型半導体発光装置では、通常の半導体発光装置と異なり、GaP基板とInGaAlP基板との接着工程が必要となる。このため、歩留まりが低くなるのはやむをえないと考えられていた。
また、上記の透明基板型半導体発光装置では、p型の透明GaP基板上にMOCVD法によりp型のGaP層を形成し、このp型のGaP層をInGaAlP系半導体からなるp型層に接着する方法も行われている。しかし、この方法でも、同様に、歩留まりが低いという問題があった。
しかしながら、本発明者は、透明基板型半導体発光装置の歩留まりを高くすべく、各種の実験を繰り返していた。その結果、一般的に供給されるGaP基板は基板面内でのキャリア濃度のばらつきが大きく、このばらつきによりGaP基板とInGaAlP系半導体層との接着界面のキャリア濃度が基板の位置によってばらついていることが分かった。そして、この基板の位置によるキャリア濃度ばらつきにより装置電圧が変化してしまい、キャリア濃度が低い位置から得られる装置の歩留まりが低下していることが分かった。具体的には、市販されている透明GaP基板は基板面内でキャリア濃度が5×1017〜5×1018(cm−3)の範囲でばらついており、キャリア濃度が低い位置から取り出される素子で電圧が上昇し、デバイス不良が発生することが分かった。そして、本発明者は、この接着界面でのキャリア濃度のばらつきを抑えることにより、透明基板型半導体発光装置の歩留まりを向上させることができると考えた。
本発明は、かかる課題の認識に基づくもので、その目的は、第1導電型のGaPウエーハを第1導電型の半導体層に接着する工程を含む半導体装置の製造方法において、安定したデバイス特性が得られ歩留まりが高い半導体装置の製造方法を提供することである。また、そのためのGaPウエーハの製造方法を提供することである。
本発明の実施の形態のウエーハの製造方法は、第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層にイオン注入法により第1導電型不純物をドーピングすることを特徴とする。
また、本発明の実施の形態のウエーハの製造方法は、第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層に固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングすることを特徴とする。
また、本発明の実施の形態の半導体装置の製造方法は、第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層にイオン注入法により第1導電型不純物をドーピングし、GaAs基板上に、InGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第2導電型半導体層を形成し、前記第2導電型半導体層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなり前記GaP基板に対して透光性を有する光を放射する活性層を形成し、前記活性層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第1導電型半導体層を形成し、前記GaAs基板上に形成された前記第1導電型半導体層と、前記GaP基板上に形成され前記第1導電型不純物がドープされた前記GaPバッファー層と、を接着し、前記活性層からの前記光に対して不透明な前記GaAs基板を除去することを特徴とする。
また、本発明の実施の形態の半導体装置の製造方法は、第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層に固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングし、GaAs基板上に、InGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第2導電型半導体層を形成し、前記第2導電型半導体層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなり前記GaP基板に対して透光性を有する光を放射する活性層を形成し、前記活性層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第1導電型半導体層を形成し、前記GaAs基板上に形成された前記第1導電型半導体層と、前記GaP基板上に形成され第1導電型不純物がドープされた前記GaPバッファー層と、を接着し、前記活性層からの前記光に対して不透明な前記GaAs基板を除去することを特徴とする。
なお、本明細書において、InGaAlP系半導体とは、組成式InxGayAl1−x−vP(0≦x≦1、0≦y≦1、0≦x+y≦1)で表される半導体である。また、AlGaAs系半導体とは、組成式AlzGa1−zAs(0≦z≦1)で表される半導体である。また基板とは、結晶板である。また、ウエーハとは、基板と、この基板上に結晶成長され基板と同一の材料からなる半導体バッファー層と、の両者、または、基板のみを意味する。
本発明によれば、第1導電型のGaPウエーハを第1導電型の半導体層に接着する工程を含む半導体装置の製造方法において、GaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成した後、このGaPバッファー層にイオン注入法または固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングしてGaPウエーハを製造したので、ウエーハ表面でのキャリア濃度のばらつきを抑え、歩留まりを高くすることができる。また、GaPウエーハの製造方法において、GaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成した後、このGaPバッファー層にイオン注入法または固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングしたので、ウエーハ表面でのキャリア濃度のばらつきを抑えることができる。
以下、本発明の実施の形態について詳細な説明を行う前に、本発明の前提となる、本発明者の独自の実験の結果について説明する。
本発明者は、実験により、InGaAlP系半導体からなる発光層と、透明GaP基板と、を用いた透明基板型半導体発光装置において、発光層と基板との接着面キャリア濃度と、装置電圧と、に密接な関連があることを独自に知得した。図12は、この実験に用いたサンプルの構造を示す断面図である。p型不純物であるZnがドープされた厚さ数百μmのp型(第1導電型)のGaP基板11上には、InGaAlP系半導体からなる発光層9が形成されている。この発光層9は、p形クラッド層(第1導電型の半導体層)4と、活性層3と、n形クラッド層2と、を有している。このn型クラッド層2上には、一方側の電極であるn側電極7が形成されている。他方側の電極であるp側電極8は、p型GaP基板11の図中下側に形成されている。この図12の装置の大きさは、幅(W)が約350μm、奥行き(L)が約350μmである。この図12の装置は、図13に示すような直径2インチ(約50000μm)のp型GaP基板11上に発光層9を形成し、その後この基板11を350μm×350μmのサイズにチップ化することにより得られたものである。
上記の透明基板型半導体発光装置では、基板11を構成するGaPのバンドギャプ波長よりも、発光層9を構成するInGaAlP系半導体のバンドギャップ波長の方が長い。このため、GaP基板11が発光層9からの光に対して透光性を有し、光取り出し効率が高くなる。また、上記のGaP基板11では、光吸収を避けるため、キャリア濃度が5×1018[cm−3]以下とされる。このようにキャリア濃度を制御することで、さらに光取り出し効率が高くなる。
本発明者は、図13のような一般的に供給されているp型GaP基板11を多数枚用意し、このp型GaP基板11の表面におけるキャリア濃度の面内分布を測定した。この測定は、やや広い領域での平均的なキャリア濃度をCV測定により測定した後、SIMSにより基板11の各位置におけるZn濃度を詳細に測定し、これらの測定値を解析して行った。その結果、一般的に供給されているp型GaP基板11では、表面のキャリア濃度が、基板11面内の位置によって、5.0×1017[cm−3]以上5.0×1018[cm−3]以下の範囲でばらついていることが分かった。
次に、本発明者は、このp型GaP基板11の表面のキャリア濃度と、装置の電圧と、の関係を調べる実験を行った。この実験の結果を図14に示す。
図14で、接着面キャリア濃度とは、p型GaP基板11の表面のキャリア濃度を意味する。この接着面キャリア濃度[cm−3]を横軸に、装置電圧[V]を縦軸に表し、横軸を対数スケール、縦軸をリニアスケールとすると、これらは直線の関係になる。そして、p型GaP基板11の表面のキャリア濃度が5.0×1017[cm−3]以上5.0×1018[cm−3]以下の範囲でばらついていることが原因で、装置電圧が約2.0V〜2.7Vの範囲Aでばらついていることが分かる。本発明者の実験では、接着面キャリア濃度が低くなり、装置電圧が高くなると、デバイス不良が起こりやすくなる。つまり、図13に示す基板11のうち、接着面キャリア濃度が低い位置から得られた装置は、歩留まりが悪くなる。
このように、本発明者の実験により、p型GaP基板11(図13)のうちの表面キャリア濃度が低い位置から得られる素子100(図12)の歩留まりが低くなることが分かった。
以上の図14のデータを前提に、以下、図面を参照にしつつ、本発明の実施例について説明する。以下では、2つの実施例について説明する。
図1は、本発明の実施例1の半導体装置を示す断面図である。この半導体装置は、電流注入により光を放射するLED(Light Emitting Diode)である。このLEDでは、厚さ数百μmのp型(第1導電型)のGaP基板11上に、ZnがドープされたGaPからなり厚さが0.2μmのGaPバッファー層12、InGaAlP系半導体からなる発光層9、が順次形成されている。この発光層9は、Znがドープされキャリア濃度(p型キャリア濃度)1.0×E16〜1.0×E19[cm−3]のIn0.49(Ga0.3Al0.7)0.51Pからなり厚さが0.5μmのp形クラッド層(第1導電型の半導体層)4、ノンドープのIn0.49(Ga0.75Al0.25)0.51Pからなり厚さが0.5μmの活性層3、Siがドープされキャリア濃度(n型キャリア濃度)1.0×E17〜1.0×E19[cm−3]のIn0.49(Ga0.3Al0.7)0.51Pからなり厚さが0.5μmのn形クラッド層2、を有している。このうち、活性層3は、n型クラッド層2およびp型クラッド層4よりも、Al組成が低くてバンドギャップエネルギーが小さくなっている。つまり、この発光層9は、バンドギャップが低い活性層3をバンドギャップが高いクラッド層2、4で挟み込んだ構造になっている。この発光層9のn型クラッド層2上には、一方側の電極であるn側電極7が形成されている。他方側の電極であるp側電極8は、p型GaP基板11の図中下側に形成されている。この図1の装置の大きさは、幅(W)が約350μm、奥行き(L)が約350μmである。なお、図1の装置では、基板11の厚さが数百μm、積層体9、12の厚さが1.7μmであるが、理解を容易にするため、縮尺を変えて示している。
図1の装置では、n側電極7とp側電極8からの電流注入により、活性層3が主に図中上下方向に光を放射する。このうち、図中上側に放射された光は、図中上側の面から取り出される。また、図1の装置では、この活性層3からの光に対し、GaP基板22が透明である。このため、図1の装置では、活性層3から図中下側に放射された光も、p側電極8によって図中上側に反射され、図中上側の面から取り出される。このように、図1の装置は、活性層3からの光に対してp型GaP基板が透明なので、光出力が高くなる。
次に、図1の装置の製造方法について、図2〜図6の断面図を用いて説明する。
(1)まず、図2に示すように、直系2インチ(約5cm=50000μm)のGaAs基板1(図13参照)上に、MOCVD法(有機金属化学気相成長法)により、発光層9を形成する。具体的には、n形のGaAs基板1をMOCVD装置内に入れ、反応ガスとしてトリメチルガリウム(以下、TMGという)、トリメチルアルミニウム(以下、TMAという)、トリメチルインジウム(以下、TMInという)およびホスフィン(以下、PH3という)を、n形不純物原料(n型不純物を添加するための原料)としてSiH4を、キャリアガスとして水素(H2)を、それぞれ用い、500〜900℃程度の温度で、In0.49(Ga0.3Al0.7)0.51Pからなるn型クラッド層2を形成する。その後、反応ガスのTMAを減らしてTMGを増やし、SiH4を止めて、ノンドープのIn0.49(Ga0.75Al0.25)0.51Pからなる活性層3を形成する。さらに、n形クラッド層2と同様の反応ガスで、p型不純物原料をジメチル亜鉛(DMZ)にして、In0.49(Ga0.3Al0.7)0.51Pからなるp形クラッド層4を形成する。なお、活性層3からの光に対し、GaAs基板1は不透明である。
(2)一方、図3に示すように、直系2インチのp形のGaP基板11上に、MOCVD法によりノンドープのGaPバッファー層12を0.2μm成長する。具体的には、p形のGaP基板11をMOCVD装置内に入れ、TMG、PH3、およびキャリアガスの水素(H2)と導入し、p型不純物原料を用いずに、500〜900℃程度で、GaPバッファー層12をエピタキシャル成長する。
(3)次に、図4に示すように、GaP基板11上のGaPバッファー層12にイオン注入によりZnイオンをドーピングして、接着用のウエーハ11、12を形成する。イオンドーピングは電界加速で不純物(Zn+イオン)をGaPバッファー層12に注入する。注入条件は、加速エネルギーを約500eV、照射時間を10分として、ドーズ量を3.0×E18〜5.0×E18[atom/cm2]とする。この後、GaPバッファー層12にアニール処理を施す。具体的には、アニールキャップ膜としてAlN膜を全面にスパッタ法で成膜し、高温アニールによってZnイオンを活性化する。アニ−ル条件は、N2流量:1000ccm、900℃、30minで行なう。これらの加速エネルギー、照射時間、ドーズ量、アニール条件、等は、GaPバッファー層中の最大キャリア濃度が約3.0×E18[cm−3]になるように設定した値である。上記のアニール後、アニ-ルキャップ膜のAlN膜をバッファードフッ酸(HF:NH4F=1:6)を用いたウエットエッチング法によって除去する。
(4)次に、図5に示すように、図2の発光層9のp型クラッド層4の表面と、図4のウエーハ11、12のGaPバッファー層12の表面と、を接着する。この接着は、両半導体層4、12の表面を重ね合せて、0.1〜10[kg/cm2]程度の圧力で圧接しながら700℃程度に加熱して圧着することにより行なう。
(5)次に、図6に示すように、活性層3からの光に対して不透明なGaAs基板1を、H2O2とH2SO4の混合液によりエッチングで除去する。その後、p型GaP基板11の図中下側の面の表面にAu-Ti合金またはAu-Zn-Ni合金などを真空蒸着などにより成膜してパターニングをすることによりp側電極8を形成する。また、発光層9のn型クラッド層2の表面に、Au-Ge-Ni合金などを全面に設けてn側電極7を形成する。その後、直径2インチ(約50000μm)の基板11を、350μm×350μmの複数の装置にチップ化し、図1に示すLEDが形成される。
以上説明した製造方法により形成される図1の半導体装置では、イオン注入法によりGaPバッファー層12にZnイオンを注入したので、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度を1.0×E18〜3.0×E18(cm−3)の範囲にし、安定したキャリア濃度でドーピングを行うことができる。これにより、装置の歩留まりを高くすることができる。以下、図7、図8、図14を用いて説明する。
図7は、図1のウエーハ11、12のGaPバッファー層12の表面におけるキャリア濃度の面内分布を示す図である。このキャリア濃度は、CV測定によりGaPバッファー層12の平均的なキャリア濃度を求めた後、SIMS分析によりZn濃度の分布を詳細に調べ、これらの結果を解析して、算出している。この図7では、図中に示すように、2インチのウエーハ面内の5つの点についてのキャリア濃度の分布を示している。この図7から、図1のウエーハ11、12では、GaPバッファー層12の表面のキャリア濃度の均一性が極めて高くなることが分かる。
また、図8は、図1のウエーハ11、12の中心におけるGaPバッファー層12のキャリア濃度の深さ方向の分布を示す図である。このキャリア濃度も、CV測定によりGaPバッファー層12の平均的なキャリア濃度を求めた後、SIMS分析によりZn濃度の分布を詳細に調べ、これらの結果を解析して、算出している。ここで、横軸の拡散距離は、表面からの深さと同じ意味である。この図8から、図1に示す厚さ0.2μmのGaPバッファー層12では、深さ0.2μmまで、つまりGaPバッファー層12の深さ方向の全体にわたって、キャリア濃度が、安定して、1.0×E18〜3.0×E18[cm−3]の範囲になることが分かる。
上記のように、図1のウエーハでは、GaPバッファー層12の膜厚0.2μm、最大キャリア濃度3.0×E18[cm−3]の設定で、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度のばらつきが1.0×E18〜3.0×E18[cm−3]の範囲Cになる(図14)。このため、GaPバッファー層12の表面のキャリア濃度も1.0×E18〜3.0×E18[cm−3]の範囲になる。これにより、図14から分かるように、装置電圧を約2.15〜2.5Vの範囲Cで安定させることができる。この結果、装置電圧の上昇による不良をなくし、歩留まりを高くすることができる。
これに対し、透明GaP基板11上にMOCVD法によりp型不純物原料を用いてp型のGaPバッファー層12を形成し、このGaPバッファー層12をp型クラッド層4に接着する方法では、GaPバッファー層12のキャリア濃度の面内分布が大きくなってしまい、歩留まりを高くすることはできなかった。
また、図1の装置では、一般的に供給されているp型GaP基板11をそのまま用いることができるので、p型GaP基板11のキャリア濃度を制御するような特殊なプロセスは不要で、コストが上昇することを避けることができる。
以上説明した図1の装置では、図1の装置では、GaPバッファー層12の最大キャリア濃度が3.0×E18[cm−3]になるように設定してイオン注入を行った。しかし、加速エネルギー、照射時間、ドーズ量、アニール条件、等を変化させることにより、最大キャリア濃度が5.0×E18[cm−3]になるように設定してイオン注入を行うこともできる。この場合、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度および表面のキャリア濃度を、1.0×E18以上5.0×E18[cm−3]以下の範囲にすることができる。これにより、図14から分かるように、装置電圧を約2.0〜2.5Vの範囲Bで安定させ、装置電圧の上昇による不良をなくし、歩留まりを高くすることができる。
これに対し、最大キャリア濃度が5.0×E18[cm−3]を超えると、p型不純物(Zn)による光吸収が起こり、光取り出し効率が低下してしまう。このため、最大キャリア濃度は、5.0×E18[cm−3]以下になるように設定する。
また、図1の装置では、p型GaPバッファー層12の膜厚を0.2μmとしたが、これを0.1μm以上5.0μm以下とすることもできる。これに対し、膜厚を0.1μm未満にすると上述の歩留まり上昇の効果が得にくくなる。また、膜厚を5.0μmよりも厚くすると、Znのイオン注入が困難になったり、バッファー層12の成長に時間がかかったりしてしまう。
また、上記のように、p型GaPバッファー層12の膜厚を0.1μm以上5.0μm以下の範囲にすれば、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度および表面のキャリア濃度を1.0×E18以上5.0×E18[cm−3]以下の範囲にすることができる。これにより、図14から分かるように、装置電圧を約2.0〜2.5Vの範囲Bで安定させ、装置電圧の上昇による不良をなくし、歩留まりを高くすることができる。
また、以上説明した図1の装置では、p型クラッド層4の厚さを0.5μm、活性層3の厚さを0.5μm、n型クラッド層2の厚さを0.5μmとしたが、これらの厚さは必要に応じて変化させることができる。例えば、これらの層の厚さは0.1〜2.0μm程度にすることができる。また、これらの層の2〜4では、キャリア濃度を適宜変更することもできる。
また、図1の装置では、活性層3を両クラッド層2、4により挟持し、活性層3と両クラッド層2、4の材料、たとえばAlの混晶比を異ならせ、活性層3にキャリアを閉じ込めやすくして活性層3を発光層とするダブルヘテロ接合構造であるが、活性層3を介さないでpn接合が形成され、pn接合部から発光を得る構造でもよい。
また、図1の装置では、GaPウエーハ11、12と、InGaAlP系半導体層9と、を組み合わせる発光装置について説明した。しかし、GaPウエーハ11、12と、AlGaAs系半導体層と、を組み合わせる発光装置を形成することもできる。また、必要に応じて、他の材料系の半導体層と組み合わせることもできる。具体的には、GaPは波長約550nm以上の光に対して透明なので、バンドギャップ波長が約550nm以上の半導体層と組み合わせることができる。
また、図1の装置では、p型とn型を逆にすることもできる。
実施例2の半導体装置の製造方法は、イオン注入法に代えて、固相拡散法によりGaPバッファー層12にZnイオンを注入する方法である。装置の構造は、実施例1(図1)と同様であり、詳細な説明は省略する。以下では、図2、図3、図9、図5、図6を用いて、装置(図1)の製造方法について説明する。
(1)まず、実施例1と同様に、図2に示すように、直系2インチ(約5cm)のGaAs基板1(図7参照)上に、MOCVD法(有機金属化学気相成長法)により、厚さが0.1〜2μm程度のn型クラッド層2と、厚さが0.1〜2μm程度の活性層3と、厚さが0.1〜2μm程度のp型クラッド層4と、からなる発光層9を形成する。
(2)また、実施例1と同様に、図3に示すように、直系2インチのp形のGaP基板11上に、MOCVD法によりノンドープのGaPバッファー層12を0.2μm程度成長する。
(3)次に、図9に示すように、図3のGaPバッファー層12上に、ZnO-SiO2混合膜からなる拡散源膜13を形成し、その上に、AlN膜からなるアニールキャップ膜14をスパッタ法で成膜する。その後、高温アニールによって拡散源膜13のZイオンをGaPバッファー層12内に拡散する。この高温アニールは、N2:1000ccm、700℃、60minの拡散条件で行なう。このアニール条件は、GaPバッファー層中の最大キャリア濃度が約3.0×E18[cm−3]になるように設定した値である。
(4)次に、図9のアニ-ルキャップ膜14および拡散源膜13をバッファードフッ酸によって除去する。その後、図5に示すように、図2の発光層9のp型クラッド層4の表面と、図4のウエーハ11、12のGaPバッファー層12の表面と、を接着する。
(5)次に、図6に示すように、活性層3からの光に対して不透明なGaAs基板1を、H2O2とH2SO4の混合液によりエッチングで除去する。その後、p側電極8、n側電極7を形成し、直径2インチ(約50000μm)の基板11を350μm×350μmの複数の素子にチップ化し、図1に示すLEDが形成される。
以上説明した製造方法により形成される実施例2の半導体装置では、図9に示すように固相拡散法によりGaPバッファー層12にZnをドーピングしている。これにより、図10および図11に示すように、GaPバッファー層12の膜中キャリア濃度分布、面内キャリア濃度分布のばらつきを1.0×E18〜3.0×E18[cm−3]の範囲内に抑えることができる。この結果、実施例1と同様に、装置電圧の上昇による不良をなくし、歩留まりを高くすることができる。
以上説明した実施例2の形態の装置では、GaPバッファー層12の最大キャリア濃度が3.0×E18[cm−3]になるように設定して固相拡散法によるドーピングを行った。しかし、アニール条件等を変化させることにより、最大キャリア濃度が5.0×E18[cm−3]になるように設定してイオン注入を行うこともできる。この場合、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度および表面のキャリア濃度を、1.0×E18以上5.0×E18[cm−3]以下の範囲にすることができる。
また、実施例2の形態の装置では、p型GaPバッファー層12の膜厚を0.2μmとしたが、これを0.1μm以上5.0μm以下とすることもできる。
また、上記のように、p型GaPバッファー層12の膜厚を0.1μm以上5.0μm以下の範囲にすれば、GaPバッファー層12の膜中のキャリア濃度および表面のキャリア濃度を1.0×E18以上5.0×E18[cm−3]以下の範囲にすることができる。これにより、図14から分かるように、装置電圧を約2.0〜2.5Vの範囲Bで安定させ、装置電圧の上昇による不良をなくし、歩留まりを高くすることができる。
また、実施例2の装置では、発光層9にInGaAlP系半導体を用いたが、AlGaAs系半導体を用いることもできる。また、実施例2の装置は、活性層3を両クラッド層2、4により挟持し、活性層3と両クラッド層2、4の材料、たとえばAlの混晶比を異ならせ、活性層にキャリアを閉じ込めやすくして活性層3を発光層とするダブルヘテロ接合構造であるが、活性層3を介さないでpn接合が形成され、pn接合部に発光層を形成する構造のものでもよい。
また、以上の実施例では、半導体発光装置を構成する各半導体層として、具体的な半導体材料を用い、その厚さやキャリア濃度が特定の例で示しているが、これらの例には限定されない。
1 GaAs基板
2 n型クラッド層
3 活性層
4 p型クラッド層
7 n側電極
8 p側電極
9 発光層
11 p型のGaP基板
12 GaPバッファー層
13 拡散源膜
14 アニールキャップ膜
2 n型クラッド層
3 活性層
4 p型クラッド層
7 n側電極
8 p側電極
9 発光層
11 p型のGaP基板
12 GaPバッファー層
13 拡散源膜
14 アニールキャップ膜
Claims (8)
- 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、
前記GaPバッファー層にイオン注入法により第1導電型不純物をドーピングすることを特徴とするウエーハの製造方法。 - 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、
前記GaPバッファー層に固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングすることを特徴とするウエーハの製造方法。 - 前記固相拡散法が、前記GaPバッファー層上にZnOを含む拡散源膜を形成し、前記拡散源膜上にAlNを含むアニールキャップ膜を形成し、高温アニールによってZnイオンを前記GaPバッファー層に拡散させる方法であることを特徴とする請求項2記載のウエーハの製造方法。
- 前記GaPバッファー層のキャリア濃度が1.0×1018cm−3以上5.0×1018cm−3以下であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載のウエーハの製造方法。
- 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層にイオン注入法により第1導電型不純物をドーピングし、
GaAs基板上に、InGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第2導電型半導体層を形成し、前記第2導電型半導体層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなり前記GaP基板に対して透光性を有する光を放射する活性層を形成し、前記活性層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第1導電型半導体層を形成し、
前記GaAs基板上に形成された前記第1導電型半導体層と、前記GaP基板上に形成され前記第1導電型不純物がドープされた前記GaPバッファー層と、を接着し、
前記活性層からの前記光に対して不透明な前記GaAs基板を除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 第1導電型のGaP基板上にMOCVD法により第1導電型不純物原料を用いずにGaPバッファー層を形成し、前記GaPバッファー層に固相拡散法により第1導電型不純物をドーピングし、
GaAs基板上に、InGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第2導電型半導体層を形成し、前記第2導電型半導体層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなり前記GaP基板に対して透光性を有する光を放射する活性層を形成し、前記活性層上にInGaAlP系半導体またはAlGaAs系半導体からなる第1導電型半導体層を形成し、
前記GaAs基板上に形成された前記第1導電型半導体層と、前記GaP基板上に形成され第1導電型不純物がドープされた前記GaPバッファー層と、を接着し、
前記活性層からの前記光に対して不透明な前記GaAs基板を除去することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記固相拡散法が、前記GaPバッファー層上にZnOを含む拡散源膜を形成し、前記拡散源膜上にAlNを含むアニールキャップ膜を形成し、高温アニールによってZnイオンを前記GaPバッファー層に拡散させる方法であることを特徴とする請求項5または請求項6記載の半導体装置の製造方法。
- 前記GaPバッファー層のキャリア濃度が1.0×1018cm−3以上5.0×1018cm−3以下であることを特徴とする請求項5乃至請求項7のいずれかに記載の半導体装置の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014504002A (ja) * | 2010-12-03 | 2014-02-13 | ザ・ボーイング・カンパニー | ウエハーの直接接合 |
CN108352306A (zh) * | 2015-11-02 | 2018-07-31 | 日本碍子株式会社 | 半导体元件用外延基板、半导体元件和半导体元件用外延基板的制造方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007059873A (ja) * | 2005-07-26 | 2007-03-08 | Sharp Corp | 半導体発光素子及びその製造方法 |
JP5306589B2 (ja) * | 2006-11-17 | 2013-10-02 | シャープ株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
KR20190079787A (ko) * | 2017-12-28 | 2019-07-08 | 삼성전자주식회사 | 반도체 발광소자의 제조 방법 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US35665A (en) * | 1862-06-24 | Improved metallic defensive armor for ships | ||
US4040080A (en) * | 1976-03-22 | 1977-08-02 | Hamamatsu Terebi Kabushiki Kaisha | Semiconductor cold electron emission device |
US4662060A (en) * | 1985-12-13 | 1987-05-05 | Allied Corporation | Method of fabricating semiconductor device having low resistance non-alloyed contact layer |
JP2914847B2 (ja) * | 1993-07-09 | 1999-07-05 | 株式会社東芝 | 半導体レーザ装置 |
-
2003
- 2003-10-30 JP JP2003370084A patent/JP2005136136A/ja not_active Abandoned
-
2004
- 2004-10-29 US US10/975,391 patent/US20050124086A1/en not_active Abandoned
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014504002A (ja) * | 2010-12-03 | 2014-02-13 | ザ・ボーイング・カンパニー | ウエハーの直接接合 |
US9564548B2 (en) | 2010-12-03 | 2017-02-07 | The Boeing Company | Direct wafer bonding |
CN108352306A (zh) * | 2015-11-02 | 2018-07-31 | 日本碍子株式会社 | 半导体元件用外延基板、半导体元件和半导体元件用外延基板的制造方法 |
CN108352306B (zh) * | 2015-11-02 | 2022-04-29 | 日本碍子株式会社 | 半导体元件用外延基板、半导体元件和半导体元件用外延基板的制造方法 |
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