JP2005123387A - 基板保持具及び基板の表面処理方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 排気管を必要とせず、より小型の基板保持具であって、かつ基板に与える影響を最小に抑えることができる基板保持具及びこれを用いた基板の表面処理方法を提供する。
【解決手段】 被処理物である基板1を保持する基板保持具20であって、基板保持具本体2と、前記基板保持具本体2の一面上の前記基板1の周縁部に対応する位置に配置される第1の弾性部材3aと、前記第1の弾性部材3aよりも内側に設けられ、基板1が保持されたときに前記第1の弾性部材3aとの間で環状の閉空間9を形成する第2の弾性部材3bと、基板1が保持された時に前記第2の弾性部材3bより内側の空間10と外部とを連通させる第1の孔4と、を有することを特徴とする基板保持具20。
【選択図】 図1
【解決手段】 被処理物である基板1を保持する基板保持具20であって、基板保持具本体2と、前記基板保持具本体2の一面上の前記基板1の周縁部に対応する位置に配置される第1の弾性部材3aと、前記第1の弾性部材3aよりも内側に設けられ、基板1が保持されたときに前記第1の弾性部材3aとの間で環状の閉空間9を形成する第2の弾性部材3bと、基板1が保持された時に前記第2の弾性部材3bより内側の空間10と外部とを連通させる第1の孔4と、を有することを特徴とする基板保持具20。
【選択図】 図1
Description
本発明は、被処理物である基板を保持する基板保持具及びこれを用いた基板の表面処理方法に関する。
MEMSに代表されるマイクロマシニング技術においては、基板表面に半導体のフォトリソグラフィー技術を応用し微細な加工を施している。このような加工終了後、基板を裏面より全面エッチングすることにより基板を薄くする、基板に孔を開けるなどの処理が求められるようになっている。このように、基板の一面をエッチングなどで処理する際、他方の一面をエッチング液などから保護する必要が生じることがある。したがって、例えば、基板を保持する保持治具に、基板のエッチング液より保護したい面が接するように配し、この保持治具と基板との間の空間を減圧状態にすることによって、基板をエッチング液に浸した際、エッチング液が保持治具と基板との間に浸透することを防止するということが行われている(例えば、特許文献1参照。)。
特開平9−246235号公報
しかしながら、上記の方法においては、基板と保持治具との間の空間を減圧状態にするために、基板と保持治具との間の空間に通ずる空洞部を保持治具に設け、さらにこの空洞部に連結し、減圧状態を作り出すために排気を行うための管が設けられている。このような構成の保持治具においては、排気を行うための排気管などが存在するため、保持治具全体が大型化し、例えばエッチング中に基板を回転させることが困難であった。このため、均一なエッチングを行うことができないという問題を抱えていた。また、大型の保持治具は、複数のウエハを大量に同時にエッチングすることが極めて難しいという欠点もあった。さらに、エッチングの際に基板の保持治具側の一面全体が減圧状態に維持されるので、外部からの圧力によって基板が歪むなどの悪影響があった。
したがって、本発明は、排気管を必要とせず、より小型の基板保持具であって、かつ基板に与える影響を最小に抑えることができる基板保持具及びこれを用いた基板の表面処理方法を提供することを目的とする。
したがって、本発明は、排気管を必要とせず、より小型の基板保持具であって、かつ基板に与える影響を最小に抑えることができる基板保持具及びこれを用いた基板の表面処理方法を提供することを目的とする。
すなわち、本発明の基板保持具は、被処理物である基板を保持する基板保持具であって、基板保持具本体と、前記基板保持具本体の一面上の前記基板の周縁部に対応する位置に配置される第1の弾性部材と、前記第1の弾性部材よりも内側に設けられ、基板が保持された時に前記第1の弾性部材との間で環状の閉空間を形成する第2の弾性部材と、基板が保持された時に前記第2の弾性部材より内側の空間と外部とを連通させる第1の孔と、を有することを特徴とする。
また、本発明の基板の表面処理方法は、上記の基板保持具を用いて、前記基板保持具の前記第1及び第2の弾性部材上に前記基板を載置した状態で、密閉容器内において減圧状態とすることで前記基板を保持する基板保持工程と、前記減圧状態よりも高い圧力下において前記基板の表面処理を行う表面処理工程と、を備えたことを特徴とする。
また、本発明の基板の表面処理方法は、上記の基板保持具を用いて、前記基板保持具の前記第1及び第2の弾性部材上に前記基板を載置した状態で、密閉容器内において減圧状態とすることで前記基板を保持する基板保持工程と、前記減圧状態よりも高い圧力下において前記基板の表面処理を行う表面処理工程と、を備えたことを特徴とする。
上記の構成の基板保持具上に基板を配し、これを密閉容器内で減圧状態とすることで、第1の弾性部材と第2の弾性部材との間の閉空間が減圧状態となる。次いで、密閉容器内の圧力を前の減圧状態よりも高くすると、前記閉空間の減圧状態が維持される一方、前記第2の弾性部材より内側の空間(すなわち基板の中央寄りの空間)は外部と連通させる第1の孔を通して、前記閉空間に対して正圧になる。その結果、基板と基板保持具が密着し、基板を保持することができる。一旦保持してしまえば、前記減圧状態より低い圧力にしない限り、基板はずっと保持されたままであり、排気管などを必要としない。したがって、本発明の基板保持具は、小型であり大量処理もし易い。さらに、従来技術の課題のひとつであった基板の変形などの問題を改善し、基板の周縁部以外に悪影響を及ぼさずに基板の表面処理を行うことができる。
前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材との間には、前記環状の閉空間と外部とを連通させる第2の孔が設けられていることが好ましい。第1の弾性部材と第2の弾性部材との間に第2の孔があれば、前述した基板の表面処理工程を終了した後、この第2の孔を介して前記閉空間を外部と同じ圧力にすることができ、容易に基板と基板保持具を剥離することが可能になる。
また、前記第1の孔が、開閉可能とされたことが好ましい。第1の孔が開閉可能であれば、基板と基板保持具を減圧により密着させ、第1の孔を介して前記閉空間以外の部分を正圧にした後、さらに第1の孔を閉じることによって基板の周縁部以外は正圧を維持しつつも、エッチング液に基板全体を浸した際、基板と基板保持具の間の空間にエッチング液が浸透することを防ぐことができる。
さらに、前記第2の孔が、開閉可能とされたことが好ましい。第2の孔が開閉可能であれば、減圧する際には第2の孔を閉じた状態で、第2の孔、第1の弾性部材、第2の弾性部材の間の空間を負圧にすることによって基板と基板保持具を密着させ、この状態で基板の表面処理を行った後、第2の孔を開放することによって、前記空間を外部と同じ圧力にすれば、基板と基板保持具を剥離することが容易に可能となる。
さらに、前記基板保持具本体に第1の弾性部材と第2の弾性部材をそれぞれ位置決めする凹部が設けられていることが好ましい。この凹部によって、第1の弾性部材と第2の弾性部材をそれぞれ所望の位置に配しやすくなり、基板と基板保持具の密着性をより確実なものにすることができる。
したがって、本発明の基板の表面処理方法は、より好ましくは、前記基板保持工程において、前記第2の孔を閉じた状態で、前記密閉容器内において減圧状態とし、前記基板保持工程の後、前記第1の孔を閉じた状態で前記基板表面処理工程を行い、前記基板の表面処理工程の後、前記第2の孔を開放し、前記基板と前記基板保持具とを剥離するものである。
このような方法によって、基板に与える影響を最小限に抑えつつ、エッチング液が基板の被処理表面以外に付着することを効果的に防止できる。また、本発明の基板保持具は、従来のものに比べ、排気管等を備えていないため、基板の表面処理中に小回りが利き、かつ同時に大量の基板の表面処理する場合にも好適である。
このような方法によって、基板に与える影響を最小限に抑えつつ、エッチング液が基板の被処理表面以外に付着することを効果的に防止できる。また、本発明の基板保持具は、従来のものに比べ、排気管等を備えていないため、基板の表面処理中に小回りが利き、かつ同時に大量の基板の表面処理する場合にも好適である。
本実施形態においては、配線層が形成された基板の前記配線層と反対側の一面を、基板保持具を用いてウエットエッチングにより全面をエッチング処理し、基板を所望の厚さに形成する場合を例にとり説明する。
図1(a)は、本実施形態の基板保持具を示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A’における断面図である。以下、図を参照して本実施形態を詳細に説明する。
図1(a)は、本実施形態の基板保持具を示す平面図であり、図1(b)は、図1(a)のA−A’における断面図である。以下、図を参照して本実施形態を詳細に説明する。
図1(b)に示す基板1は、ガラスからなる板状の基板であって、被処理面1a及び被保護面1bを有している。被処理面1aは、後述するウェットエッチングによって表面処理される面である。被保護面1bには、図示しない配線層が形成されており、さらにその上に図示しない保護膜を有している。このような基板1を、被保護面1bが、基板保持具20側に接するように基板保持具20上に載置する。
基板保持具20には、基板保持具本体2、第1のOリング(第1の弾性部材)3a、第2のOリング(第2の弾性部材)3b、第1のスルーホール(第1の孔)4、第2のスルーホール(第2の孔)5、各スルーホール用の栓(開閉手段)7、8が具備されている。また、図示はしないが、この基板保持具20は基板を保持する際には基板1とともに密閉容器内に収容されて使用される。
基板1を基板保持具20上に載置し、栓7及び栓8によって第1のスルーホール4及び第2のスルーホール5を閉じると、2つの密閉空間が生じる。ここで、基板1と2つのOリング3a、3bと基板保持具本体2との間の密閉空間を第1の空間9と称する。一方、基板1と基板保持具本体2と第2のOリング3bとの間の密閉空間を第2の空間10と称する。
基板保持具本体2は、テフロン(登録商標)からなる。図1(b)に示すように、基板保持具本体2は、基板1を載置する側に2つのOリング3a、3bを配するための溝6を有している。この溝6は、凹形状をしており、溝6が形成される位置は、基板保持具20上に配される基板1の形状に基づいて、外側の溝6aが基板1の外周部に対応する位置にある。内側の溝6bは、外側の溝6aより5mm〜10mm内側に配置されている。本実施形態においては、基板1が平面視して半径rの円形であるため、外側の溝6aは環状であり、外側の外周が略半径rとなっている。内側の溝6bは、溝6aより前述したように若干小さな環状である。このような溝6は、基板保持具本体2の所定の箇所に周知の加工技術により形成されたものである。
Oリング3a、3bは、フッ素系ゴムからなるもので、第1のOリング(第1の弾性部材)3aは、上述した外側の溝6a上に、第2のOリング(第2の弾性部材)3bは、内側の溝6b上に配されている。
ここで、上述のようにOリング3a、3bにより、基板の表面と基板保持具本体2との隙間を気密的に封止するためには、Oリング3a、3bの線径Lおよびショアー硬度Hsは、それぞれ、次のように設定するのが好ましい。
すなわち、Oリング3a、3bの反発力Fは、下記に示す[数1]によって求められる。
ここで、上述のようにOリング3a、3bにより、基板の表面と基板保持具本体2との隙間を気密的に封止するためには、Oリング3a、3bの線径Lおよびショアー硬度Hsは、それぞれ、次のように設定するのが好ましい。
すなわち、Oリング3a、3bの反発力Fは、下記に示す[数1]によって求められる。
ここで、つぶし率εとは、Oリングを押し潰したときの、Oリングの線径Lに対するつぶし量の割合である。例えば、線径Lが1mmのOリングを、0.2mm押し潰した場合には、つぶし率εは、0.2/1として表される。
このため、Oリング3a、3bの線径Lとショアー硬度Hsとを、前記[数1]で求められる反発力Fが、圧力差により生じる基板に対する押圧力より小さくなるように設定することにより、Oリング3a、3bと、基板1の表面および基板保持具本体2との密着性をより高めることができ、その結果、基板1を基板保持具本体2により確実に吸着・保持することができる。
また、Oリング3a、3bの反発力により生じる平均圧力Pは、次式[数2]で求められる。
このため、Oリング3a、3bの線径Lとショアー硬度Hsとを、前記[数1]で求められる反発力Fが、圧力差により生じる基板に対する押圧力より小さくなるように設定することにより、Oリング3a、3bと、基板1の表面および基板保持具本体2との密着性をより高めることができ、その結果、基板1を基板保持具本体2により確実に吸着・保持することができる。
また、Oリング3a、3bの反発力により生じる平均圧力Pは、次式[数2]で求められる。
このため、Oリング3a、3bの線径Lとショアー硬度Hsとを、前記[数2]で求められる平均圧力Pが、ウェットエッチングで用いるエッチング液の水圧よりも高く(特に、1.5〜3.5倍程度高く)なるように設定することにより、Oリング3a、3bがエッチング液の水圧により変形するのをより確実に防止することができ、密閉空間9、10へのエッチング液の侵入を阻止することができる。
なお、Oリング3a、3bの線径Lとショアー硬度Hsとを、前記[数1]及び[数2]の双方を満足するよう設定するのがより好ましい。これにより、基板1の基板保持具本体2への吸着・保持性が高まり、且つ、密閉空間9、10へのエッチング液の侵入をより確実に阻止することができる。
なお、Oリング3a、3bの線径Lとショアー硬度Hsとを、前記[数1]及び[数2]の双方を満足するよう設定するのがより好ましい。これにより、基板1の基板保持具本体2への吸着・保持性が高まり、且つ、密閉空間9、10へのエッチング液の侵入をより確実に阻止することができる。
本実施形態においては、後述するエッチング工程において、エッチャントとして水酸化カリウム水溶液を用いるため、Oリング(弾性部材)3a、3bとして水酸化カリウムに耐性を有するフッ素系ゴムを選択したが、これに限定されるものではなく、基板表面処理を行う際使用する液体に応じて適宜変更可能である。また、本実施形態においては第1のOリング3aと第2のOリング3bとは同材料であるが、これに限定されるものではない。例えば、第2のOリング3bは、基板1の表面処理の際、エッチャントに触れることがないので、耐エッチャント性を有していなくてもよい。
基板保持具本体2において、第2のOリング3bのさらに内側に第1のスルーホール(第1の孔)4が配置されている。この第1のスルーホール4は、基板保持具本体2を板厚方向に貫通している。大きさは、基板保持具20の大きさ、すなわち基板1の大きさにもよるが、本実施形態では、径100mmの基板保持具20に対して径1mm〜2mm程度である。円柱状の孔である必要はなく、例えば多角柱状の孔等でもよく、折曲していてもよい。また、このような孔を複数設けてもよい。
基板保持具本体2において、第1のOリング3aと第2のOリング3bとの間の任意の位置に、上述した第1のスルーホール4と同様に第2のスルーホール(第2の孔)5が設けられている。本発明の基板保持具において、この第2のスルーホール5は必須ではないが、後述する基板1の表面処理方法において、基板1の被処理面1aを処理した後、基板1と基板保持具20とを容易に剥離するために、本実施形態においては、この第2のスルーホール5を設けた構成となっている。
さらに、第1のスルーホール4及び第2のスルーホール5には、それぞれ栓(開閉手段)7、8が設けられている。これらの栓7、8は、スルーホール4、5の開閉をするものである。本実施形態では、エッチャントに耐性のあるOリングシールがねじにより固定され、気体/液体の流れを遮断するようになっている。
以下、本発明に係る基板1の表面処理方法について図を参照して詳細に説明する。
本実施形態においては、上述した基板1の被処理面1aを水酸化カリウム水溶液中に浸し、ウェットエッチングする。
<基板保持工程>
最初に、図1(b)に示すように、基板保持具20の溝6にOリング3a、3bを配置した状態で、基板1を被保護面1bが基板保持具20に接するように載置する。また、栓7、8によってスルーホール4、5を閉じておく。この状態で、基板保持具20及び基板1が収容されている密閉容器内の圧力を下げる。このようにすることによって、第1の空間9及び第2の空間10内の空気が、基板1、Oリング3a、3b、基板保持具本体2間の隙間より排気され、前記第1の空間9及び第2の空間10が0.1気圧程度に減圧される。
本実施形態においては、上述した基板1の被処理面1aを水酸化カリウム水溶液中に浸し、ウェットエッチングする。
<基板保持工程>
最初に、図1(b)に示すように、基板保持具20の溝6にOリング3a、3bを配置した状態で、基板1を被保護面1bが基板保持具20に接するように載置する。また、栓7、8によってスルーホール4、5を閉じておく。この状態で、基板保持具20及び基板1が収容されている密閉容器内の圧力を下げる。このようにすることによって、第1の空間9及び第2の空間10内の空気が、基板1、Oリング3a、3b、基板保持具本体2間の隙間より排気され、前記第1の空間9及び第2の空間10が0.1気圧程度に減圧される。
上記の減圧状態を5〜10秒程度維持し、次いで、前記密閉容器内を大気圧に戻す。この時、前記第1の空間9及び第2の空間10が大気圧に戻るより早く、基板1及び基板保持具20外方よりかかる圧力によりOリング3a、3bが変形し、基板1が基板保持具20に強く引き付けられる。そのため前記第1の空間9及び第2の空間10は封止され、前述した減圧状態を保つようになる。
さらに、上記の大気圧開放後5〜10秒後、栓7を開放し、スルーホール4を介して第1の空間9を大気開放し、第1の空間9内の圧力を減圧状態の前の状態に戻す。この時、栓8は閉じた状態を維持し、第2の空間10は減圧状態を持続するため、基板1は基板保持具20に保持されたままである。第1の空間9のみを大気開放した後、栓7を再び閉じる。
さらに、上記の大気圧開放後5〜10秒後、栓7を開放し、スルーホール4を介して第1の空間9を大気開放し、第1の空間9内の圧力を減圧状態の前の状態に戻す。この時、栓8は閉じた状態を維持し、第2の空間10は減圧状態を持続するため、基板1は基板保持具20に保持されたままである。第1の空間9のみを大気開放した後、栓7を再び閉じる。
<表面処理工程>
次に、ウェットエッチングを行う。本実施形態においては、上記の基板保持具に保持された基板1を水酸化カリウム水溶液中に浸し、所定の厚さになるように、時間、温度等を調整する。前述したように、第1の空間9は減圧状態であるため、基板1の被保護面1bはOリング3a、3bと密着しており、且つ、栓7は閉じられているので、被保護面1bに上記水酸化カリウム水溶液が接触することがない。また、第2の空間10内は大気圧であるので、基板1が水酸化カリウム水溶液中にあっても、外部からの圧力によって基板1が変形することがない。
次に、ウェットエッチングを行う。本実施形態においては、上記の基板保持具に保持された基板1を水酸化カリウム水溶液中に浸し、所定の厚さになるように、時間、温度等を調整する。前述したように、第1の空間9は減圧状態であるため、基板1の被保護面1bはOリング3a、3bと密着しており、且つ、栓7は閉じられているので、被保護面1bに上記水酸化カリウム水溶液が接触することがない。また、第2の空間10内は大気圧であるので、基板1が水酸化カリウム水溶液中にあっても、外部からの圧力によって基板1が変形することがない。
ウェットエッチングを終えた後、基板1と基板保持具20を水酸化カリウム水溶液から取り出し、乾燥させた後、栓8を開放し、第2の空間10を大気開放する。このようにすることによって、基板1と基板保持具20を容易に剥離することができる。
以上、本実施形態について詳細に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。例えば、本実施形態のように基板の被処理面1aを所定の厚さにする他、基板に孔を開ける、めっき処理する、など種々の表面処理において適用可能である。また、スルーホール5は必ずしもなくてもよく、基板の表面処理後、基板と基板保持具を剥離する際も、第1の空間9内の減圧状態による基板とOリングの密着力以上の外力によって基板を基板保持具20から剥離したりすることも可能である。栓7、8も、スルーホール4、5の開閉をできるものであれば、スライド式の蓋など適当なものを選択できる。
1…基板、1a…被処理面、1b…被保護面、2…基板保持具本体、3a…第1のOリング(第1の弾性部材)、3b…第2のOリング(第2の弾性部材)、4…第1のスルーホール(第1の孔)、5…第2のスルーホール(第2の孔)、9…第1の空間、10…第2の空間、20…基板保持具。
Claims (8)
- 被処理物である基板を保持する基板保持具であって、基板保持具本体と、前記基板保持具本体の一面上の前記基板の周縁部に対応する位置に配置される第1の弾性部材と、前記第1の弾性部材よりも内側に設けられ、基板が保持された時に前記第1の弾性部材との間で環状の閉空間を形成する第2の弾性部材と、基板が保持された時に前記第2の弾性部材より内側の空間と外部とを連通させる第1の孔と、を有することを特徴とする基板保持具。
- 前記第1の弾性部材と前記第2の弾性部材との間に、前記環状の閉空間と外部とを連通させる第2の孔を有することを特徴とする請求項1に記載の基板保持具。
- 前記第1の孔が、開閉可能とされたことを特徴とする請求項1又は2に記載の基板保持具。
- 前記第2の孔が、開閉可能とされたことを特徴とする請求項1ないし3のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記基板保持具本体に前記第1の弾性部材を位置決めする凹部が設けられたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 前記基板保持具本体に前記第2の弾性部材を位置決めする凹部が設けられたことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか一項に記載の基板保持具。
- 請求項1ないし6のいずれか一項に記載の基板保持具を用いた基板の表面処理方法であって、前記基板保持具の前記第1及び第2の弾性部材上に前記基板を載置した状態で、密閉容器内において減圧状態とすることで前記基板を保持する基板保持工程と、
前記減圧状態よりも高い圧力下において前記基板の表面処理を行う表面処理工程と、を備えたことを特徴とする基板の表面処理方法。 - 前記基板保持工程において、前記前記第2の孔を閉じた状態で、前記密閉容器内において減圧状態とし、
前記基板保持工程の後、前記第1の孔を閉じた状態で前記基板表面処理工程を行い、
前記基板表面処理工程の後、前記第2の孔を開放し、前記基板と前記基板保持具とを剥離することを特徴とする請求項7に記載の基板の表面処理方法。
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