JP2005121633A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2005121633A5
JP2005121633A5 JP2004248706A JP2004248706A JP2005121633A5 JP 2005121633 A5 JP2005121633 A5 JP 2005121633A5 JP 2004248706 A JP2004248706 A JP 2004248706A JP 2004248706 A JP2004248706 A JP 2004248706A JP 2005121633 A5 JP2005121633 A5 JP 2005121633A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ray
substrate
detection
moving
ray detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2004248706A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP4386812B2 (ja
JP2005121633A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2004248706A priority Critical patent/JP4386812B2/ja
Priority claimed from JP2004248706A external-priority patent/JP4386812B2/ja
Publication of JP2005121633A publication Critical patent/JP2005121633A/ja
Publication of JP2005121633A5 publication Critical patent/JP2005121633A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4386812B2 publication Critical patent/JP4386812B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP2004248706A 2003-08-27 2004-08-27 X線検査装置 Expired - Fee Related JP4386812B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004248706A JP4386812B2 (ja) 2003-08-27 2004-08-27 X線検査装置

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2003303188 2003-08-27
JP2003330180 2003-09-22
JP2004248706A JP4386812B2 (ja) 2003-08-27 2004-08-27 X線検査装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2005121633A JP2005121633A (ja) 2005-05-12
JP2005121633A5 true JP2005121633A5 (enrdf_load_stackoverflow) 2007-04-26
JP4386812B2 JP4386812B2 (ja) 2009-12-16

Family

ID=34623546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004248706A Expired - Fee Related JP4386812B2 (ja) 2003-08-27 2004-08-27 X線検査装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4386812B2 (enrdf_load_stackoverflow)

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB0415053D0 (en) * 2004-07-05 2004-08-04 Dage Prec Ind Ltd X-ray manipulator
JP4926645B2 (ja) * 2006-10-24 2012-05-09 名古屋電機工業株式会社 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP2008298480A (ja) * 2007-05-29 2008-12-11 Beamsense Co Ltd ステレオ透視装置およびそれを用いたステレオ観察方法
JP5125423B2 (ja) * 2007-11-01 2013-01-23 オムロン株式会社 X線断層画像によるはんだ電極の検査方法およびこの方法を用いた基板検査装置
JP4818245B2 (ja) * 2007-11-14 2011-11-16 株式会社 コアーズ 加熱型x線観察装置
WO2009078415A1 (ja) * 2007-12-17 2009-06-25 Uni-Hite System Corporation X線検査装置および方法
JP5396751B2 (ja) * 2008-06-18 2014-01-22 オムロン株式会社 X線利用の基板検査装置
CN102265143A (zh) * 2008-12-22 2011-11-30 欧姆龙株式会社 X射线检查方法和x射线检查装置
JP5444718B2 (ja) 2009-01-08 2014-03-19 オムロン株式会社 検査方法、検査装置および検査用プログラム
JP4574718B1 (ja) * 2009-04-22 2010-11-04 株式会社アドバンテスト 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
JP5569061B2 (ja) * 2010-03-15 2014-08-13 オムロン株式会社 X線検査方法、x線検査装置およびx線検査プログラム
JP5220060B2 (ja) * 2010-06-02 2013-06-26 株式会社アドバンテスト 電磁波測定装置、測定方法、プログラム、記録媒体
JP5999516B2 (ja) * 2011-08-05 2016-09-28 株式会社島津製作所 放射線撮影装置
JP2013061257A (ja) * 2011-09-14 2013-04-04 Omron Corp X線検査装置、x線検査装置の制御方法、x線検査装置を制御するためのプログラム、および、当該プログラムを格納した記録媒体
KR101181845B1 (ko) * 2011-12-22 2012-09-11 주식회사 쎄크 Smt 인라인용 자동 엑스선 검사장치
KR101381927B1 (ko) * 2013-09-13 2014-04-24 김선택 X선을 이용한 회로소자의 사위 촬영장치 및 방법
KR101467478B1 (ko) * 2013-09-13 2014-12-01 (주)시스트 X선을 이용한 회로소자의 촬영장치 및 방법
EP2927945B1 (en) * 2014-04-04 2023-05-31 Nordson Corporation X-ray inspection apparatus for inspecting semiconductor wafers
WO2017133847A1 (de) * 2016-02-04 2017-08-10 Yxlon International Gmbh Verfahren zur rekonstruktion eines prüfteils bei einem röntgen-ct-verfahren in einer röntgen-ct-anlage mittels einer intelligenten bahnkurve
DK3690429T3 (en) * 2019-02-04 2021-12-13 Microtec Srl Tunnel ct scanner
EP4414753A4 (en) 2021-10-08 2025-08-06 Nuctech Co Ltd POSTURE ADJUSTMENT STRUCTURE, TRANSMISSION DEVICE AND RADIATION IMAGING SYSTEM

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2005121633A5 (enrdf_load_stackoverflow)
CN1595124B (zh) X射线检查装置和x射线检查方法
TW449848B (en) Apparatus and method for inspecting defects on wafer periphery
JP6471151B2 (ja) X線検査システム及びそのようなx線検査システムを用いて試験対象物を回転する方法
JP4375555B2 (ja) X線ct装置
JPWO2009078415A1 (ja) X線検査装置および方法
JP4386812B2 (ja) X線検査装置
JP2008000220A5 (enrdf_load_stackoverflow)
KR20150065863A (ko) X선 촬영 장치
JP2012112790A (ja) X線ct装置
CN111432729B (zh) X射线ct拍摄装置
KR101228513B1 (ko) 비파괴 검사 시스템
JP2007333596A (ja) X線ct装置
JP4684063B2 (ja) タイヤx線撮影装置およびタイヤのx線撮影方法
JP2012042340A (ja) X線ct装置
KR101779471B1 (ko) X선 촬영 장치
CN106770386A (zh) 一种x光无损透视检测仪
JP4926645B2 (ja) 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
JP4926734B2 (ja) 放射線検査装置、放射線検査方法および放射線検査プログラム
CN209332070U (zh) 用于相位衬度成像的检查和/或处理装置
JP2005221460A (ja) X線ct装置
JP2009236490A (ja) 放射線検査装置、それを用いる放射線検査方法およびそれを制御する放射線検査プログラム
JP2009092590A (ja) X線検査装置
JP2004212200A (ja) X線検査装置、及び該x線検査装置の使用方法
JP2005021328A (ja) X線断層撮影システム