JP2005116731A - 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 - Google Patents
電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005116731A JP2005116731A JP2003348019A JP2003348019A JP2005116731A JP 2005116731 A JP2005116731 A JP 2005116731A JP 2003348019 A JP2003348019 A JP 2003348019A JP 2003348019 A JP2003348019 A JP 2003348019A JP 2005116731 A JP2005116731 A JP 2005116731A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- electron
- light
- mark
- mark substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/317—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects for changing properties of the objects or for applying thin layers thereon, e.g. for ion implantation
- H01J37/3174—Particle-beam lithography, e.g. electron beam lithography
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y10/00—Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y40/00—Manufacture or treatment of nanostructures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
- H01J37/304—Controlling tubes by information coming from the objects or from the beam, e.g. correction signals
- H01J37/3045—Object or beam position registration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/248—Components associated with the control of the tube
- H01J2237/2482—Optical means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
光によるマーク検出を行う電子ビーム描画装置等において、高精度な合わせ描画が可能な描画技術を提供する。
【解決手段】
電子源101と、電子源101から放出される電子ビームを、試料124上に照射し走査して、試料上に所望のパターンを形成する電子光学系と、試料124を搭載するステージ125と、前記ステージ125に設けられたマーク基板126と、前記電子ビームの照射方向と同じ側にあって前記マーク基板126を照射する位置検出用の光ビームを放射する手段128、129と、前記光ビームを放射する手段と同じ側にあって前記マーク基板で反射した反射光を受光する光検出手段123と、前記光検出手段とは前記マーク基板に関して反対側にあって前記電子ビームの前記マーク基板への照射により得られる透過電子を受光する電子検出手段127とを有し、かつ、検出された前記反射光および前記透過電子の信号をもとに前記光ビームと前記電子ビームとの相対的位置情報を求めるよう構成する。
【選択図】 図1
Description
図1に、本実施例における装置構成を示す。本実施例では、可変矩形法と一括図形照射法の併用が可能な電子ビーム描画装置を対象とした。
本実施例では、装置としては図1と同等のものを用いたが、マーク検出部は、図4に示すものを用いた。図4では、電子ビーム用マーク407と光用マーク408を分離している。これは、それぞれに適したマークパターンを用いることで精度を向上させることを目的としている。ただし、マーク間の相対距離が熱やストレスに対して安定している必要があるために、両者は出来るだけ近傍に位置することが必要である。本実施例では、マーク基板として5μm厚のシリコンステンシル404に金属であるアルミ(Al)403を100nm厚蒸着している。アルミの電子線散乱能はシリコンとあまり差はないが、光の反射率を向上させる効果が期待できる。
図5に、本実施例の装置構成を示す。本実施例では、マルチビーム方式の電子ビーム描画装置を対象とした。電子源510で50kVに加速された電子ビーム511は、コンデンサレンズ512を通して平行ビームとし、複数の穴の空いたアパーチャ−アレイ513により複数のポイントビームに分離され、その後段にあるレンズアレイ514によりポイントビームの中間像516に結像される。複数のポイントビームは、個別にオンオフ制御可能なようにブランカーアレイ515、ブランキング絞り519が設けられている。こうして作られたマルチポイントビームは、第1投影レンズ518と第2投影レンズ521からなるダブレットレンズ522により縮小されて試料524上に結像される。ダブレットレンズの2つのレンズの間には偏向器520があり、試料524上での描画位置を規定する。
Claims (17)
- 電子源と、前記電子源から放出される電子ビームを、試料上に照射し走査して、前記試料上に所望のパターンを形成する電子光学系と、前記試料を搭載するステージと、前記ステージに設けられたマーク基板と、前記電子ビームの照射方向と同じ側にあって前記マーク基板を照射する位置検出用の光ビームを放射する手段と、前記光ビームを放射する手段と同じ側にあって前記マーク基板で反射した反射光を受光する光検出手段と、前記光検出手段とは前記マーク基板に関して反対側にあって前記電子ビームの前記マーク基板への照射により得られる透過電子を受光する電子検出手段とを有し、かつ、検出された前記反射光および前記透過電子の信号をもとに前記光ビームと前記電子ビームとの相対的位置情報を求めるよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板は、前記電子ビームを照射するマークと、前記光ビームを照射すマークとが異なるパターンで構成されていることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板は、前記光ビームを照射するマークの内部に前記電子ビームを照射するマークが配置されていることを特徴とする請求項1記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板は、支持体と、所定のパターンで配設された開口部とを有することを特徴とする請求項1、2又は3記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板の支持体が、軽元素からなり、かつ、前記支持体の少なくとも前記光ビームを放射する手段側もしくはその反対側の表面が、金属で被覆されていることを特徴とする請求項4記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板の支持体の少なくとも前記光ビームを放射する手段側もしくはその反対側の表面が、前記支持体を構成する主な原子の原子番号より大きな原子番号の原子を主な原子とする金属で被覆されていることを特徴とする請求項4記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板の支持体の厚さが、描画に用いる電子の飛程の1/2以下の厚さであることを特徴とする請求項4記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板の支持体を構成する主な原子がシリコンであり、かつ、前記支持体の少なくとも前記光ビームを放射する手段側もしくはその反対側の表面が、重金属もしくは貴金属で被覆されていることを特徴とする請求項4記載の電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板と前記電子検出手段の間に前記位置検出用の光ビームを吸収する部材を設けてなることを特徴とする請求項4記載の電子ビーム描画装置。
- 前記電子ビームを照射するマークの位置に対応する位置に透過電子絞りを、前記光ビームを照射するマークの位置に対応する位置に光の吸収体を、それぞれ前記マーク基板の照射面の反対側に設けてなることを特徴とする請求項2記載の電子ビーム描画装置。
- 電子源と、前記電子源から放出される電子ビームを、試料上に照射し走査して、前記試料上に所望のパターンを描画する電子光学系と、前記試料を搭載するステージと、前記ステージに設けられたマーク基板と、前記電子ビームの照射方向と同じ側にあって前記マーク基板を照射する位置検出用の光ビームを放射する手段と、前記光ビームを放射する手段と同じ側にあって前記マーク基板で反射した反射光を受光する光検出手段と、前記光検出手段とは前記マーク基板に関して反対側にあって前記電子ビームの前記マーク基板への照射により得られる透過電子を受光する電子検出手段とを有し、かつ、検出された前記反射光および前記透過電子の信号の併用により前記光ビームと前記電子ビームとの相対的位置情報を求めるよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
- 所定のピッチ間隔で配列された複数の電子ビームの各々を独立にオンオフ制御し、オンオフ制御された前記電子ビームをまとめて偏向走査せしめて、前記試料上に所望のパターンを描画する電子光学系と、前記試料を搭載するステージと、前記試料を搭載するステージと、前記ステージに設けられたマーク基板と、前記電子ビームの照射方向と同じ側にあって前記マーク基板を照射する位置検出用の光ビームを放射する手段と、前記光ビームを放射する手段と同じ側にあって前記マーク基板で反射した反射光を受光する光検出手段と、前記光検出手段とは前記マーク基板に関して反対側にあって前記電子ビームの前記マーク基板への照射により得られる透過電子を受光する電子検出手段とを有し、かつ、検出された前記反射光および前記透過電子をもとに前記光ビームと前記電子ビームとの相対的位置情報を求めるよう構成したことを特徴とする電子ビーム描画装置。
- 前記マーク基板は、前記複数の電子ビームのピッチ間隔の略整数倍のピッチを持つパターンが形成された光ビーム用のマークを有することを特徴とする請求項12記載の電子ビーム描画装置。
- 検出された前記反射光および前記透過電子の信号の併用によりベースライン補正を行うよう構成したことを特徴とする請求項12又は13記載の電子ビーム描画装置。
- 電子源から放出される電子ビームを、ステージ上に搭載された試料上に照射し走査して、前記試料上に所望のパターンを形成する工程と、前記ステージに設けられたマーク基板に、前記電子ビームの照射方向と同じ側から、位置検出用の光ビームを照射し、前記光ビームの照射方向と同じ側から、前記マーク基板で反射した反射光を受光する工程と、前記電子ビームを前記マーク基板へ照射し、前記反射光を受光する側とは前記マーク基板に関して反対側にあって、前記マーク基板を透過した透過電子を検出する工程と、検出された前記反射光および前記透過電子をもとに前記光ビームと前記電子ビームとの相対的位置情報を求める工程とを有し、前記光ビームにより前記試料上のマーク位置を検出し、求めた前記相対的位置情報に従って前記電子ビームによる描画を行うようにしたことを特徴とする電子ビーム描画方法。
- 前記前記マーク基板は、支持体と、所定のパターンで配設された開口部とを有することを特徴とする請求項15記載の電子ビーム描画方法。
- 前記電子ビームは、所定のピッチ間隔で配列された複数の電子ビームよりなるマルチビームであり、前記マーク基板は、前記マルチビームのピッチ間隔の略整数倍のピッチのパターンを持つ光ビーム用のマークが形成されていることを特徴とする請求項15記載の電子ビーム描画方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003348019A JP2005116731A (ja) | 2003-10-07 | 2003-10-07 | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
CNB2004100832273A CN100442435C (zh) | 2003-10-07 | 2004-09-29 | 电子束描绘装置和电子束描绘方法 |
US10/957,695 US7098464B2 (en) | 2003-10-07 | 2004-10-05 | Electron beam writing equipment and electron beam writing method |
EP04023853A EP1523028A3 (en) | 2003-10-07 | 2004-10-06 | Electron beam writing equipment and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003348019A JP2005116731A (ja) | 2003-10-07 | 2003-10-07 | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005116731A true JP2005116731A (ja) | 2005-04-28 |
Family
ID=34309199
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003348019A Pending JP2005116731A (ja) | 2003-10-07 | 2003-10-07 | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7098464B2 (ja) |
EP (1) | EP1523028A3 (ja) |
JP (1) | JP2005116731A (ja) |
CN (1) | CN100442435C (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011243957A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-12-01 | Canon Inc | 電子線描画装置及びデバイス製造方法 |
JP2015509666A (ja) * | 2012-03-08 | 2015-03-30 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
CN105247650A (zh) * | 2013-05-30 | 2016-01-13 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置、试样观察方法 |
JP2018536086A (ja) * | 2015-09-24 | 2018-12-06 | ア−カム アーベー | X線較正基準物 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4825450B2 (ja) * | 2005-05-16 | 2011-11-30 | 株式会社東芝 | パターン描画システム、荷電ビーム描画方法、及びフォトマスク製造方法 |
CN112461138B (zh) * | 2020-11-18 | 2022-06-28 | 苏州迈之升电子科技有限公司 | 一种交叉扫描测量方法及其测量光栅和应用 |
Family Cites Families (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS54128288A (en) * | 1978-03-29 | 1979-10-04 | Hitachi Ltd | Electron beam exposure device |
JPH0782987B2 (ja) * | 1988-01-13 | 1995-09-06 | 株式会社日立製作所 | 電子線描画装置 |
JP2831643B2 (ja) | 1988-02-23 | 1998-12-02 | 株式会社東芝 | パターン露光方法 |
US4885472A (en) * | 1988-03-14 | 1989-12-05 | The Perkin-Elmer Corporation | Silicon grid as a reference and calibration standard in a particle beam lithography system |
ATE171812T1 (de) * | 1988-06-01 | 1998-10-15 | Ims Ionen Mikrofab Syst | Ionenstrahllithographie |
JP2578519B2 (ja) * | 1990-06-01 | 1997-02-05 | 株式会社日立製作所 | 光線による位置検出機能付き荷電粒子線露光装置 |
JP3274212B2 (ja) * | 1993-03-18 | 2002-04-15 | 株式会社日立製作所 | 電子線検出器及びそれを用いた電子線描画装置 |
JP3141732B2 (ja) | 1995-07-05 | 2001-03-05 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子線装置 |
JP3278375B2 (ja) * | 1996-03-28 | 2002-04-30 | キヤノン株式会社 | 電子線発生装置、それを備える画像表示装置、およびそれらの駆動方法 |
JP3335845B2 (ja) * | 1996-08-26 | 2002-10-21 | 株式会社東芝 | 荷電ビーム描画装置及び描画方法 |
JP2865164B2 (ja) * | 1996-11-18 | 1999-03-08 | 株式会社日立製作所 | 粒子線描画装置 |
US6207962B1 (en) * | 1998-06-05 | 2001-03-27 | Nikon Corporation | Charged-particle-beam microlithography apparatus and methods exhibiting reduced thermal deformation of mark-defining member |
JP2000349000A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-15 | Nikon Corp | 荷電粒子線用標準マーク、それを有する荷電粒子線露光装置及び半導体デバイス製造方法 |
JP2002043207A (ja) * | 2000-07-24 | 2002-02-08 | Riipuru:Kk | 電子ビーム近接露光装置及び露光方法 |
US6831282B2 (en) * | 2001-02-09 | 2004-12-14 | Nikon Corporation | Methods and devices for evaluating beam blur in a charged-particle-beam microlithography apparatus |
US6762421B2 (en) * | 2001-03-09 | 2004-07-13 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Charged particle beam exposure apparatus and exposure method |
JP4023262B2 (ja) * | 2002-09-02 | 2007-12-19 | ソニー株式会社 | アライメント方法、露光方法、露光装置およびマスクの製造方法 |
-
2003
- 2003-10-07 JP JP2003348019A patent/JP2005116731A/ja active Pending
-
2004
- 2004-09-29 CN CNB2004100832273A patent/CN100442435C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2004-10-05 US US10/957,695 patent/US7098464B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-10-06 EP EP04023853A patent/EP1523028A3/en not_active Withdrawn
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011243957A (ja) * | 2010-04-20 | 2011-12-01 | Canon Inc | 電子線描画装置及びデバイス製造方法 |
JP2015509666A (ja) * | 2012-03-08 | 2015-03-30 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
JP2018061048A (ja) * | 2012-03-08 | 2018-04-12 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
KR101902469B1 (ko) | 2012-03-08 | 2018-09-28 | 마퍼 리쏘그라피 아이피 비.브이. | 정렬 센서 및 빔 측정 센서를 갖는 하전 입자 리소그래피 시스템 |
JP2020005005A (ja) * | 2012-03-08 | 2020-01-09 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
JP7040878B2 (ja) | 2012-03-08 | 2022-03-23 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
JP2022069530A (ja) * | 2012-03-08 | 2022-05-11 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム |
USRE49732E1 (en) | 2012-03-08 | 2023-11-21 | Asml Netherlands B.V. | Charged particle lithography system with alignment sensor and beam measurement sensor |
CN105247650A (zh) * | 2013-05-30 | 2016-01-13 | 株式会社日立高新技术 | 带电粒子束装置、试样观察方法 |
JP2018536086A (ja) * | 2015-09-24 | 2018-12-06 | ア−カム アーベー | X線較正基準物 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20050072939A1 (en) | 2005-04-07 |
EP1523028A3 (en) | 2011-06-01 |
US7098464B2 (en) | 2006-08-29 |
CN1606129A (zh) | 2005-04-13 |
EP1523028A2 (en) | 2005-04-13 |
CN100442435C (zh) | 2008-12-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4679978B2 (ja) | 荷電粒子ビーム応用装置 | |
JP2003297732A (ja) | 電子ビーム描画方法及び描画装置、並びにこれを用いた半導体製造方法 | |
JP2020005005A (ja) | アライメントセンサーとビーム測定センサーを備えている荷電粒子リソグラフィシステム | |
JP7080264B2 (ja) | フォトリソグラフィマスク上の要素の位置を決定するための装置および方法 | |
JPH10214779A (ja) | 電子ビーム露光方法及び該方法を用いたデバイス製造方法 | |
JP3962778B2 (ja) | 電子ビーム検出器、並びにそれを用いた電子ビーム描画方法及び電子ビーム描画装置 | |
JP2746125B2 (ja) | 電子線露光装置の装置較正用基準マーク及び装置較正方法。 | |
JPH09320931A (ja) | 結像特性計測方法及び該方法を使用する転写装置 | |
US4385238A (en) | Reregistration system for a charged particle beam exposure system | |
JP2004200549A (ja) | マルチ電子ビーム装置およびそれに用いられるマルチ電子ビーム電流の計測・表示方法 | |
JP2005116731A (ja) | 電子ビーム描画装置及び電子ビーム描画方法 | |
US5952133A (en) | Methods for evaluating image-forming characteristics of a projection-optical system used in a charged-particle-beam microlithography apparatus | |
US20010028037A1 (en) | Hollow-beam aperture for charged-particle-beam optical systems and microlithography apparatus, andbeam-adjustment methods employing same | |
US8507873B2 (en) | Drift measuring method, charged particle beam writing method, and charged particle beam writing apparatus | |
JP2000208079A (ja) | 電子線の強度分布を測定するピンホ―ル検出器 | |
JP4183454B2 (ja) | 電子ビーム描画装置 | |
JP3544657B2 (ja) | 電子ビーム描画装置 | |
US20240071714A1 (en) | Beam detector, multi charged particle beam irradiation apparatus, and beam detector adjustment method | |
CN117930318A (zh) | 束检测器、多带电粒子束照射装置及束检测器的调整方法 | |
JP4557603B2 (ja) | 電子ビーム応用装置および電子線描画装置 | |
KR20240005750A (ko) | 방사선 빔을 컨디셔닝하고 지향하기 위한 장치 | |
JP2001085302A (ja) | 荷電ビーム露光用マスク、荷電ビーム露光装置及び荷電ビーム露光方法 | |
CN117169267A (zh) | 评价电子射线观察装置的一次光学系统的方法、用于其的评价装置及其制造方法 | |
JPH11224642A (ja) | 電子ビーム露光装置および電子ビーム露光方法 | |
JP2004241652A (ja) | 基準マーク体及びそれを有する露光装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20051028 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20070418 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090212 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090217 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090413 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090924 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20091026 |
|
A912 | Re-examination (zenchi) completed and case transferred to appeal board |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20100219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110210 |