JP2005116408A - 酸化物超伝導薄膜およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 超伝導材料のREとBaの置換量、成膜時の基板温度、成膜時の酸素分圧を制御し、該超伝導材料を基板上に直接成長させる超伝導体層1を基板温度の高い条件で作製し、さらに該超伝導体層1上に成長させる超伝導体層2を基板温度の低い条件で作製することにより、二層以上の超伝導体層中の薄膜成長時に膜中に生成する積層欠陥の量を制御することにより、超伝導積層体中に微細なピンニング点を導入した超伝導薄膜。
【選択図】 図1
Description
PLD法により、MgO基板上に、Sm−Ba−Cu−O系酸化物超伝導積層体を積層した超伝導薄膜を作製した。
PLD法により、MgO基板上に、単一層のSm−Ba−Cu−O系酸化物超伝導体層を積層した超伝導薄膜を作製した。
MOCVD法により、SrTiO3基板上に、Nd−Ba−Cu−O系酸化物超伝導積層体を積層した超伝導薄膜を作製した。
2 第1超伝導体層
3 第2超伝導体層
4 欠陥
5 エッチングによって確認される欠陥
Claims (12)
- 基板と、該基板上に形成され、複数の超伝導体層から構成される超伝導積層体を含み、該複数の超伝導体層はそれぞれ異なる欠陥密度を有することを特徴とする超伝導薄膜。
- 前記複数の超伝導体層のそれぞれは、結晶のc軸が基板面に垂直であり、かつRE1+xBa2−xCu3O6+y(式中、REはLa、Nd、Sm、Eu、Gd、YおよびYbからなる群から選択され、xは0〜0.2であり、yは0〜2である)の一般式を有する酸化物で構成されていることを特徴とする請求項1に記載の超伝導薄膜。
- 前記超伝導積層体は、第1超伝導体層と第2超伝導体層から形成され、前記第1超伝導体層の欠陥密度は、前記第2超伝導体層の欠陥密度よりも小さいことを特徴とする請求項1または2に記載の超伝導薄膜。
- 前記超伝導積層体は、第1超伝導体層と第2超伝導体層から形成され、前記第1超伝導体層は、前記第2超伝導体層を形成する際の基板温度よりも少なくとも50℃以上高い基板温度において形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の超伝導薄膜。
- 基板上に、複数の超伝導体層から構成される超伝導積層体を積層して超伝導薄膜を製造する方法であって、
基板上に第1超伝導体層を形成する工程と、
該第1超伝導体層の上に第2超伝導体層を形成する工程と
を少なくとも備え、前記第1超伝導体層を形成する際の基板温度は、該第2超伝導体層を形成する際の基板温度よりも少なくとも50℃以上高いことを特徴とする超伝導薄膜の製造方法。 - 前記第1超伝導体層の欠陥密度が、前記第2超伝導体層の欠陥密度よりも小さいことを特徴とする請求項5に記載の超伝導薄膜の製造方法。
- 前記第1超伝導体層を形成する工程および前記第2超伝導体層を形成する工程は、0.1Torr(13.3Pa)以上の酸素分圧を有する雰囲気下,680℃以上の基板温度における物理気相成長法を用いて実施されることを特徴とする請求項5または6に記載の超伝導薄膜の製造方法。
- 前記第1超伝導体層を形成する工程および前記第2超伝導体層を形成する工程は、0.1Torr(13.3Pa)以上の酸素分圧を有する雰囲気下,680℃以上の基板温度における化学気相成長法を用いて実施されることを特徴とする請求項5または6に記載の超伝導薄膜の製造方法。
- 請求項1から4のいずれかに記載の超伝導薄膜を用いたことを特徴とする超伝導線材。
- 請求項1から4のいずれかに記載の超伝導薄膜を用いたことを特徴とする超伝導デバイス。
- 請求項5から8のいずれかに記載の超伝導薄膜の製造方法を用いたことを特徴とする超伝導線材の製造方法。
- 請求項5から8のいずれかに記載の酸化物系超伝導薄膜の製造方法を用いたことを特徴とする超伝導デバイスの製造方法。
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