JP2005114623A - Ｉｄｄｑ測定ポイント選別方法、検査装置、およびｉｄｄｑ測定ポイント用プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】 ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できない大きさを有する集積回路の故障を判定するのに十分なＩＤＤＱ測定ポイント選別方法を提供する。
【解決手段】 故障辞書を参照し、複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する。選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数および全重複検出故障数を算出する。前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する。前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出し、所定の故障検出率に達するまで上記工程を繰り返し実行する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、半導体集積回路のＩＤＤＱテスト（静止電源電流検査）に用いるＩＤＤＱ測定ポイントを選別する方法、その方法を用いた検査装置、およびＩＤＤＱ測定ポイント用プログラムに関する。

ＣＭＯＳ集積回路のテスト方法として、ファンクションテストの他に、例えば開放故障やショート故障モードが検出できるＩＤＤＱテストが用いられている。

ＩＤＤＱテストとは、静止状態にあるＣＭＯＳ集積回路に流れる微小な電流を測定し、その電流値の大小によって開放故障やショート故障などを検出するものである。これは、正常なＣＭＯＳ集積回路では、静止状態において電源電流は僅かしか流れないことを利用しているので、静止状態において回路に多くの電流が流れる場合には、回路内に何らかの欠陥（故障）を含んでいることを意味する。

通常、ＣＭＯＳ集積回路が動作している時は、その内部状態が時々刻々変化しているので、動作中のテストパタンにおいて静止状態となるサイクルの時に、ＩＤＤＱを測定している。このＩＤＤＱテストが可能な静止状態となるサイクルのことをＩＤＤＱ測定ポイントと呼んでいる。

検出能力だけを考慮するならば、できるだけ多様な内部状態でのテストをおこなうのが良く、静止状態が実現されている全てのサイクルについてＩＤＤＱテストをおこなうことが望ましい。

しかし、ＩＤＤＱを測定するためには、集積回路の内部の信号が“１”から“０”、あるいは“０”から“１”に切り換わるまでの過渡電流が落ち着くまで待たねばならず、一回の測定に時間がかかるため、ＩＤＤＱ測定ポイントが多いとテスト時間が長くなってしまう。

そのため、測定可能な全てのＩＤＤＱ測定ポイントにおいてＩＤＤＱテストをおこなうのではなく、予めテスト品質を維持するのに必要十分なＩＤＤＱ測定ポイントを選別してからＩＤＤＱテストをおこなうことが要求される。

こうした要求を満たす従来のＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法の一例について、図１４を用いて説明する。図１４はこのＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法を示すフローチャートである。

図１４に示すように、集積回路の入力ピンに印加されるテストパタンから論理シミュレーションにより求めたＩＤＤＱ測定ポイントとノードの論理パタンの関係を記述した故障辞書を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかからＩＤＤＱテストのためのターゲットとなる故障（以下、検出故障という）の数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントを選別する（ステップＳ１０１）。

次に、ＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて、新たに検出される故障（以下、新検出故障という）の数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントを選別する（ステップＳ１０２）。

次に、選別されたＩＤＤＱ測定ポイントにおける故障検出率を算出し（ステップＳ１０３）、所定の故障検出率に達しているか否かを判定する（ステップＳ１０４）。

所定の故障検出率に達していなければ、ステップ１０２に戻り、所定の故障検出率に達するまでステップ１０２からステップ１０４を繰り返す。一方、所定の故障検出率に達していれば、選別を終了する。

このようにして、新検出故障数が最も多いＩＤＤＱ測定ポイントを優先的に選別して、ＩＤＤＱテストをおこなっている。

また、別のＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法が知られている（例えば、特許文献１参照。）。この特許文献１に開示されたＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法について、図１５を用いて説明する。図１５はこのＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法を示すフローチャートである。

図１５に示すように、テストパタンファイル内のテストパタンから、Ｎ個のテストパタンを仮に選別して、仮選別パタンとして読み出し（ステップＳ２０１）、この読み出されたＮ個の仮選別パタンの故障検出率を算出する（ステップＳ２０２）。

次に、仮選別したＮ個のテストパタン以外の、次のテストパタンを読み込み（ステップＳ２０３）、テストパタンが終了したか否か、読み込んだテストパタンはＩＤＤＱ検査に適しているか否かがチェックされる（ステップＳ２０４、ステップ２０５）。

次に、読み込んだテストパタンを既に仮選択されているＮ個のテストパタンと１つずつ入れ換えて、それぞれの故障検出率を算出し、その中から最も故障検出率が向上するものと交換する（ステップＳ２０６）。そして、ステップＳ２０３からステップＳ２０６までを全てのテストパタンについて繰り返している。

このようにして、故障検出率の最も高いＮ個のテストパタンが最終的に選別されるので、最終的に選別されたＮ個のテストパタンとなる各ＩＤＤＱ測定ポイントにおいてＩＤＤＱを測定し、ＩＤＤＱテストをおこなっている。

しかしながら、従来、あるいは特許文献１に開示されたＩＤＤＱテストにおいては、良品のＩＤＤＱは故障によるＩＤＤＱの増加量に比べて無視できるくらい小さいことを前提としている。

このため、近年、ＣＭＯＳ集積回路の微細化、高集積化に伴い、ＭＯＳＦＥＴの漏れ電流（ＦＥＴ漏れ電流）が指数関数的に増加するため、ＣＭＯＳ集積回路の製造ロット内、あるいは製造ロット間でのＩＤＤＱのばらつきが故障によるＩＤＤＱの増加量に対して無視できないほど大きくなってきている。そのため、予め良品のＩＤＤＱから定めた所定の値を基準値としたＩＤＤＱテストでは正確な良・不良の判定が困難になるという問題がある。

これに対して、複数のＩＤＤＱ測定ポイントでのＩＤＤＱのベクトル波形を用いて故障を検出するΔＩＤＤＱテストといわれる手法が知られている（例えば、特許文献２参照。）。

この特許文献２に開示されたＩＤＤＱテストについて、図を用いて説明する。図１６はＣＭＯＳ集積回路の良品選別法を示すフローチャート、図１７は良品のＣＭＯＳ集積回路の間でベクトル波形が相似である場合を示す図である。

図１６において、選別されるＣＭＯＳ集積回路のグループ（被選別ＩＣ群）から１個のＣＭＯＳ集積回路を抽出して基準ＩＣとし、この基準ＩＣを被選別ＩＣから外している（ステップＳ３０１）。

次に、図１７に示すように、基準ＩＣと残りの被選別ＩＣ群を順次比較ＩＣとし、基準ＩＣのベクトル波形Ｄｉｅ−Ａに対して比較ＩＣのベクトル波形Ｄｉｅ−Ｂをシフトしたり、あるいは縦方向に拡大したりしてベクトル波形の相似検査をおこない（ステップＳ３０２）、相似検査をおこなった被選別ＩＣ群の中に、ベクトル波形が相似している比較ＩＣがあるか否かを判定する（ステップＳ３０３）。

被選別ＩＣ群の中にベクトル波形が相似てある比較ＩＣがない場合は、基準ＩＣを不良品であると判別し（ステップＳ３０４）、被選別ＩＣ群の中にベクトル波形が相似てある比較ＩＣがある場合は、比較ＩＣを良品と判定し、比較ＩＣを被選別ＩＣ群から外している（ステップＳ３０５）。

この特許文献２に開示されたＩＤＤＱテストでは、ベクトル波形が相似でないと判断された被選別ＩＣは全て不良となる。そのため、従来のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法では、全ＩＤＤＱ測定ポイントで検出される重複した故障（以下、全重複検出故障という）がある場合は、全ＩＤＤＱ測定ポイントで一様に故障による電流が増加するため、もともとＩＤＤＱの大きい良品との区別が困難あるいは不可能となる。

従って、実際のＩＤＤＱテストにおいては、故障検出率はＩＤＤＱ測定ポイント選別時に算出した故障検出率に達せず、ＩＤＤＱテストの品質が低下する恐れがある。
特開平９−１２７２１３号公報（３頁、図１） 特開２００２−１０７４０４号公報（７頁、図１０）

上述した従来、あるいは特許文献１に開示されたＩＤＤＱ測定ポイント選別方法では、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できない大きさを有する集積回路の故障を判定することは難しい。

また、上述した特許文献２に開示されたＩＤＤＱテストでは、全重複検出故障が発生した場合は良品との判別を誤る恐れがある。

本発明は、上記問題点を解決するためになされたもので、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できない大きさを有する集積回路の故障を判定するのに十分なＩＤＤＱ測定ポイント選別方法、その方法を用いた検査装置、およびＩＤＤＱ測定ポイント用プログラムを提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法では、ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかから所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントを選別する方法であって、故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の工程と、前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出する第２の工程と、前記前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の工程と、前記第２及び第３の工程で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の工程と、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出する第５の工程と、前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達したか否かを判定する第６の工程とを具備し、前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで、前記第２の工程から第６の工程を繰り返し実行し、前記第１及び第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイントが前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶されることを特徴とする。

また、本発明の一態様の検査装置では、半導体集積回路のＩＤＤＱテストに用いる検査装置において、前記半導体集積回路の複数の入力ピンに印加されるテストパタンから論理シミュレーションにより求めたＩＤＤＱ測定ポイントと複数のノードの論理パタンを記述した故障辞書が記憶される故障辞書記憶部と、複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補が予め記憶されている測定ポイント候補情報記憶部と、選別されたＩＤＤＱ測定ポイントの情報が記憶されるＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部と、前記故障辞書記憶部を参照して前記ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に記憶されている前記複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する制御部とを有し、前記制御部は、選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出し、前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出し、前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存し、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出し、前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまでこれらの処理を繰り返し実行してＩＤＤＱ測定ポイントを前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶することを特徴とする。

更に、本発明の一態様のＩＤＤＱ測定ポイント用プログラムでは、ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかから所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントを選別するプログラムであって、
故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の機能と、選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出する第２の機能と、前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の機能と、前記第２及び第３の機能で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の機能と、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出する第５の機能と、前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで前記第２の機能から第５の機能を繰り返し実行する第６の機能と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できないほど大きな集積回路に対しても故障を判別するのに十分なＩＤＤＱ測定ポイント選別方法、およびＩＤＤＱ測定ポイント用プログラムを提供することができる。また、該ＩＤＤＱ測定ポイント選別方法を用いた検査装置によれば、高い信頼性を提供することができる。

以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。

本発明の実施例１に係わるＩＤＤＱの検査装置について、図１を用いて説明する。本実施例の検査装置は、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できないほど大きな集積回路に対しても故障を判別するのに十分なＩＤＤＱ測定ポイントを選別してＩＤＤＱ検査を実現するためのもので、図１はＩＤＤＱの検査装置を示すブロック図である。

図１に示すように、本実施例の検査装置１１は、集積回路の入力ピンに印加されるテストパタンから論理シミュレーションにより求めたＩＤＤＱ測定ポイントとノードの論理パタンを記述した故障辞書を記憶する故障辞書記憶部１２と、この故障辞書記憶部１２の故障辞書を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補の故障状態を解析してＩＤＤＱ測定ポイントを選別するプログラムなどを格納したプログラム格納部１３と、ＩＤＤＱ測定ポイント候補の情報を一時格納するＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部１４と、選別されたＩＤＤＱ測定ポイントの情報を一時格納するＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５と、一連のＩＤＤＱ測定ポイントを選別する処理を実行する処理制御部１６と、入出力制御部１７を介して処理結果を出力する出力装置１８と、処理制御部１６への指示等を入力する入力装置１９と、集積回路のＩＤＤＱを測定するＩＣテスタ２１と、ＩＣテスタ２１にテストパタンを供給するテストパタン発生器２２とで構成されている。なお、上記「ノード」とは、集積回路内部のそれぞれの信号線のことである。

故障辞書記憶部１２、プログラム格納部１３、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部１４およびＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５は、一部はコンピュータ内部の主記憶装置で構成しても良いし、このコンピュータに接続された半導体メモリー、磁気ディスク、磁気テープ、光ディスクなどの記憶装置で構成しても構わない。

また、処理制御部１６は、コンピュータシステムの中央演算処理装置の一部を構成しており、集中処理方式または分散処理方式のコンピュータシステムで実行される。

この処理制御部１６は、プログラム格納部１３に格納されているプログラムを読み込み実行するもので、故障数算出プログラム３１と、ＩＤＤＱ測定ポイント選択プログラム３２と、故障検出率判定プログラム３３と、ＩＤＤＱ測定ポイント出力プログラム３４を実行する。その手順に従ってコンピュータシステムの中央演算処理装置にて実行されるが、専用のハードウェーアで実行されるものでも構わない。

次に、ＩＤＤＱ測定ポイント選別方法について、図１乃至図６を用いて説明する。図２乃至図６は、ＩＤＤＱ測定ポイント選別方法を示す図で、図２はその選別方法を示すフローチャート、図３乃至図６は情報記憶部１４に記憶されている集積回路のＩＤＤＱテストをおこなう領域のＩＤＤＱ測定ポイントとノードの論理パタンを示す図である。ここでは、ＩＤＤＱ測定ポイントの数が「８」、ノードの数が「９」、所定の故障検出率が「１」の場合の論理パタンを示している。

先ず、故障数算出プログラム３１は、故障辞書記憶部１２の故障辞書を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部１４に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補から検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別し、選別されたＩＤＤＱ測定ポイント候補をＩＤＤＱ測定ポイントとしてＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存する（ステップＳ０１）。

次に、故障数算出プログラム３１は、ステップＳ０１又は後述するステップＳ０４で選別されなかったＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて、「新検出故障数」を算出し（ステップＳ０２）、続いて「全重複検出故障数」を算出する（ステップＳ０３）。

次に、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、ステップＳ０２で得られた「新検出故障数」とステップＳ０３で得られた「全重複検出故障数」の差を求めて、この差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別する。そして、その選別されたＩＤＤＱ測定ポイントをＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に追加して保存する（ステップＳ０４）。

次に、故障検出率判定プログラム３３は、ステップＳ０１、Ｓ０４で選別されたＩＤＤＱ測定ポイントにおける「故障検出率」を算出し（ステップＳ０５）、所定の故障検出率（この例では「１」）に達しているか否かを判定する（ステップＳ０６）。

所定の故障検出率「１」に達していなければ、ステップＳ０２に戻り、所定の故障検出率に達するまでステップＳ０２〜ステップＳ０６の処理を繰り返す。一方、所定の故障検出率に達していれば、ＩＤＤＱ測定ポイントの選別を終了する。

そして、ＩＤＤＱ測定ポイント出力プログラム３４は、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存されている最終的に選択された複数のＩＤＤＱ測定ポイント情報をＩＣテスタ２１に出力する。

そして、ＩＣテスタ２１は、テストパタン発生器２２から出力されるテストパタンを１パタンずつ被検査集積回路の入力ピンに印加していき、ＩＤＤＱテストをおこなうために選択されたＩＤＤＱ測定ポイントにきたら一旦止めて、現在印加しているテストパタンに固定してＩＤＤＱを測定する。

このようにして、複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかから、全重複検出故障を含まない「故障数が最も多いＩＤＤＱ測定ポイント」を優先的に選別して、ＩＤＤＱテストをおこなう。

次に、上述した各ステップの具体的な動作について、図３乃至図６を用いて説明する。まず、図３乃至図６において、ノード１〜９の論理レベルが“１”の場合は、ノード１〜９の論理レベルが“０”となり得る故障、例えばノードのＶｓｓショート故障が検出される。また、ノード１〜９の論理レベルが“０”の場合は、ノード１〜９の論理レベルが“１”となり得る故障、例えばノードのＶｄｄショート故障が検出される。これにより、故障数はノード数の２倍（この例では「１８」）存在する。一方、ノード１〜９の論理レベルが“Ｘ”になる場合がある。この場合は、論理関係は不定であり故障は検出できない。

先ず始めに、図３に示すように、故障数算出プログラム３１は、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部１４に記憶されている各ＩＤＤＱ測定ポイント候補から検出可能な故障の数（以下、「検出故障数」と称する）を調べる。例えば、測定ポイント１は、ノード１〜９のうちノード５とノード６が故障検出が出来ない不定な論理レベル“Ｘ”であるため、「検出故障数」は９−２＝７であり、また、測定ポイント２は、不定な論理レベル“Ｘ”であるノードが無く、「検出故障数」は９−０＝９となる。以下、同様にしてノード３〜９についても「検出故障数」を求める。

これにより、「検出故障数」が最大（即ち、「９」）であるＩＤＤＱ測定ポイント候補は、測定ポイント２、測定ポイント３、測定ポイント７の３つが検出される。故障数算出プログラム３１は、「検出故障数」が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補が複数ある場合で、測定ポイントの番号の若い方を採用するとした場合では測定ポイント２を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存する（図２のステップＳ０１）。

次に、図４に示すように、故障数算出プログラム３１は、選別されなかった測定ポイント１、３〜９（以下、非選別の測定ポイントという）ごとに選別された測定ポイント２（以下、既選別の測定ポイントという）と合わせて、新たに検出される新検出故障数と、全ての測定ポイントで同じ故障が重複して検出される全重複検出故障数を算出する。

例えば、図４（ａ）に示すように、非選別の測定ポイント１と既選別の測定ポイント２を合わせると、測定ポイント１の「検出故障数」は７であるが、そのうちノード１、ノード３、ノード８は、測定ポイント２と論理状態が変らず既に検出されている。このため、「新検出故障数」は７−３＝４となる。また、全測定ポイント１〜９で測定ポイント１と重複している故障はノード１、ノード３、ノード８であり、「全重複検出故障数」は３となる。

以下同様にして、故障数算出プログラム３１は、図４（ｂ）から図４（ｇ）に示すように、測定ポイント３〜８までの「新検出故障数」と「全重複検出故障数」を算出する（図２のステップＳ０２、Ｓ０３）。

そして、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、算出した「新検出故障数」と「全重複検出故障数」の差が最大となる測定ポイント候補を選別し、その選別した測定ポイントをＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に追加して保存する。

例えば、図４（ｄ）に示すように、測定ポイント５は「新検出故障数」が５、「全重複故障数」が１で、その差が最大４になるので、ここでは、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、測定ポイント５を選別して、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に追加保存する（図２のステップＳ０４）。これにより、測定ポイント２の「検出故障数」が９、測定ポイント５の「新検出故障数」が５、測定ポイント２と測定ポイント５の「全重複検出故障数」が１であるため、検出可能な故障数は９＋５−１＝１３となる。故障は全ノード数の２倍（９×２＝１８）であるので、測定ポイント２と測定ポイント５を選別したことにより、全故障数１８のうち１３の故障が検出されたことになる。

次に、故障検出率判定プログラム３３は、選別された測定ポイント２と測定ポイント５における故障検出率を算出する（図２のステップＳ０５）。故障検出率とは、例えば、縮退故障モデルによれば全ノード数のうち“０”および“１”にセットされているノードの数を示すもので、次の式によって算出される。

故障検出率＝（Ｓ０＋Ｓ１）／（２×Ｎ） ・・・（１）
式（１）において、Ｓ０は一度でも“０”になったノードの数、Ｓ１は一度でも“１”になったノードの数、Ｎは全ノードの数である。

ここでは、上述した縮退故障モデルに修正を加えて、「全重複検出故障」を含まない故障検出率を次の式によって算出する。

故障検出率＝（Ｓ０＋Ｓ１−Ｄ）／（２×Ｎ） ・・・（２）
式（２）において、Ｄは “０”または“１”から一度も変化しなかったノード数である。これにより、選別された測定ポイント２と測定ポイント５における故障検出率は、（９＋５−１）／（２×９）＝０．７２２となり、予め設定された所定の故障検出率「１」に達していない（図２のステップＳ０６のＮｏ）。

次に、図５に示すように、所定の故障検出率「１」を得るためには測定ポイントを増やす必要があるので、故障数算出プログラム３１は、選別されなかった測定ポイント（測定ポイント１，３，４，６−８）候補ごとに、選別された測定ポイント２および測定ポイント５と合わせて「新検出故障数」と「全重複検出故障数」を算出する。

例えば、図５（ａ）に示すように、非選別の測定ポイント１と既選別の測定ポイント２および測定ポイント５を合わせると、測定ポイント１の「検出故障数」は７であるが、そのうちノード１−４、およびノード７、ノード８は、測定ポイント２または測定ポイント５と論理状態が変らず既に検出されているので、「新検出故障数」は７−６＝１となる。また、全測定ポイントで重複している故障はノード１のみであり、「全重複検出故障数」は１となる。

以下同様にして、故障数算出プログラム３１は、図５（ｂ）〜図５（ｆ）に示すように、測定ポイント３、４、測定ポイント６−８までの「新検出故障数」と「全重複故障数」を算出する（図２のステップＳ０２、Ｓ０３）。

そして、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、算出した「新検出故障数」と「全重複故障数」の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部１５に追加して保存する。

例えば、図５（ｄ）に示すように、測定ポイント６は「新検出故障数」が３、「全重複故障数」が０であり、その差が最大３となるので、ここでは、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は測定ポイント６を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部１５に追加保存する（図２のステップＳ０４）。

これにより、測定ポイント２の「検出故障数」が９、測定ポイント５の「新検出故障数」が５、測定ポイント６の「新検出故障数」が３、測定ポイント２〜測定ポイント６までの「全重複検出故障数」が０であるため、検出可能な故障数は９＋５＋３−０＝１７となる。測定ポイント２と測定ポイント５に加えて、測定ポイント６を選別したことにより、全故障数１８のうち１７の故障が検出されたことになる。

次に、故障検出率判定プログラム３３は、選別された測定ポイント２〜測定ポイント６における「故障検出率」を算出する（図２のステップＳ０５）。しかし、このでも「故障検出率」は（９＋５＋３−０）／（２×９）＝０．９４４となり、まだ所定の故障検出率「１」に達していない（図２のステップＳ０６のＮｏ）。

次に、図６に示すように、所定の故障検出率「１」を得るためには更に測定ポイントを増やす必要があるので、故障数算出プログラム３１は、選別されなかった測定ポイント（測定ポイント１，３，４，７，８）候補ごとに、選別された測定ポイント２、測定ポイント５および測定ポイント６と合わせて、「新検出故障数」と「全重複検出故障数」を算出する。

例えば、図６（ａ）に示すように、非選別の測定ポイント１と既選別の測定ポイント２、測定ポイント５および測定ポイント６を合わせると、測定ポイント１の「検出故障数」は７であるが、既に全てのノード１−９で“０”または“１”が検出されているので、「新検出故障数」および「全重複検出故障数」はともに０である。

以下同様にして、故障数算出プログラム３１は、図６（ｂ）〜図６（ｅ）に示すように、測定ポイント３、４、７、８までの「新検出故障数」と「全重複故障数」を算出する（ステップＳ０２、Ｓ０３）。

そして、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、算出した「新検出故障数」と「全重複故障数」の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部１５に追加して保存する。

例えば、図６（ｂ）および図６（ｅ）に示すように、測定ポイント３および測定ポイント８において、「新検出故障数」が１、「全重複故障数」が０となり、その差が最大１となるので、ここでは、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は番号の若い測定ポイント３を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部１５に追加保存する（ステップＳ０４）。

これにより、測定ポイント２の「検出故障数」が９、測定ポイント５の「新検出故障数」が５、測定ポイント６の「新検出故障数」が３、および測定ポイント３の「新検出故障数」が１、測定ポイント２〜測定ポイント６までの「全重複検出故障数」が０であるため、検出可能な故障数は９＋５＋３＋１−０＝１８となる。測定ポイント２、３、５、６の４つの測定ポイントを選別したことにより、全故障数１８の全ての故障が検出されたことになる。

次に、故障検出率判定プログラム３３は、選別された測定ポイント２、３、５、６の「故障検出率」を算出する（図２のステップＳ０５）。すると、「故障検出率」は（９＋５＋３＋１−０）／（２×９）＝１となり（図２のステップＳ０６のＹｅｓ）、故障検出率「１」が達成され、測定ポイントの選別を終了する。

以上説明したように、実施例１のＩＤＤＱ検査装置によれば、ＩＤＤＱ測定ポイント候補の故障状態を解析し、全重複検出故障を含まない故障数により所定の故障検出率を満たす測定ポイントを選別してＩＤＤＱテストをおこなうので、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できないほど大きな集積回路でもＩＤＤＱテストをおこなうことができる。

また、全ての測定ポイントにおいて、１つのノードに同じ故障が重複して検出される全重複検出故障を含まない故障数を算出するようにしたので、ＩＤＤＱが故障による電流増加量に対して無視できないほど大きな集積回路においても、故障を判別するのに十分な測定ポイントが選別できる。従って、ＩＤＤＱテスト精度が向上し、信頼性の高い半導体集積回路が得られる。

実施例１では、最初に複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補から検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を選別する場合について説明したが、予め指定したＩＤＤＱ測定ポイントを選別しても構わない。

（実施例１の変形例）
図７は、実施例１の変形例を示すフローチャートである。本変形例において図２と同一のステップには、同一符号を付してそのステップの説明は省略し、異なるステップについて説明する。

本変形例が実施例１と異なる点は、測定ポイントの選別基準に全重複検出故障を含まない故障数によるものか否かを選択できるようにしたことである。

即ち、図７に示すように、「新検出故障数」を算出するステップＳ０２と「全重複検出故障数」を算出するステップＳ０３の間に、測定ポイントの選別基準に全重複検出故障を含まない故障数によるものか否かを選択するステップＳ０７を設けている。そして、全重複検出故障を含まない故障数によることが選択されなかった場合（ステップＳ０７のＮｏ）、故障数算出プログラム３１は、新検出故障が最大になるＩＤＤＱ測定ポイント候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイントリスト１５に追加して保存する（ステップＳ０８）。一方、全重複検出故障を含まない故障数によることが選択された場合は（ステップＳ０７のＹｅｓ）、上述したステップ０３へ処理が移行する。

この選別基準の選択は、例えば所定の選別回数ごとにおこなっても良く、全重複検出故障数の出現頻度や所定の故障検出率の達成度に基づいておこなっても良い。あるいはそれらを組み合わせておこなっても構わない。

以上説明したように、上述の変形例では、ＩＤＤＱ測定ポイントの選別基準に全重複検出故障を含まない故障数によるか否かを選択できるようにしたので、ＩＤＤＱ測定ポイント候補とノードの論理パタンの冗長性を排除できる。従って、選別に要する時間を短縮することが出来る。

次に、本発明の実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイント選別方法について、図８乃至図１２を用いて説明する。図８はＩＤＤＱ測定ポイント候補のグルーピングを示す図、図９はグルーピングされたＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補からＩＤＤＱ測定ポイントの選別方法を示すフローチャート、図１０乃至図１２はＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別工程を順に示す図である。

本実施例２が上記実施例１と異なる点は、ＩＤＤＱ測定ポイント候補を所定のグルーピンクルールに基づいてグループ化したことにある。

即ち、図８に示すように、故障数算出プログラム３１は、ＩＤＤＱ測定ポイント候補を所定のグルーピンクルールにしたがってグルーピングする。例えば、番号の若い順に３つおきにグルーピングする場合、測定ポイントｐ１、ｐ２、ｐ３を測定ポイントグループＧ１とし、以下同様にして、測定ポイントグループＧｍまでを作成する。

次に、このＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補から、図９に示したフローチャートに従い、ＩＤＤＱ測定ポイントグループを選別する。このフローチャートは、上述した図２のフローチャートと同様であり、その説明は省略する。

次に、図９に示したフローチャートの各ステップの具体的な動作について、図面を用いて説明する。図１０乃至図１２は、図３に示したＩＤＤＱ測定ポイント候補を番号の若い順に３つおきにグルーピングしてＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を作成し、ＩＤＤＱ測定ポイントグループを選別する場合の例である。

始めに、図１０に示すように、故障数算出プログラム３１は、ＩＤＤＱ測定ポイント候補をそれぞれグルーピングして「検出故障数」および「全重複検出故障数」を全測定ポイントでノードが“０”である「全重複検出“０”故障」と、全測定ポイントでノードが“１”である「全重複検出“１”故障」に分けて算出する。

例えば、図１０（ａ）に示すように、測定ポイントｐ１、ｐ２、ｐ３の「検出故障数」は測定ポイントｐ１の「検出故障数」が７、測定ポイントｐ２の「新検出故障数」が６、測定ポイントｐ３の「新検出故障数」が２であるため、検出可能な故障数は７＋６＋２＝１５となり、「全重複検出“０”故障数」が１（ノード８）、「全重複検出“１”故障数」が２（ノード１と３）となる。

これにより、故障数算出プログラム３１は、グルーピングされたＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補が得られるので、そのなかから「検出故障数」が最大になるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存する。

例えば、図１１に示すように、測定ポイントグループＧ１、Ｇ２では、「検出故障数」が等しいので番号の若い測定ポイントグループＧ１を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存する（図９のステップＳ２１）。

次に、故障数算出プログラム３１は、非選別のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに既選別の測定ポイントグループを合わせて、「新検出故障数」と、「全重複検出“０”故障数」および「全重複検出“１”故障数」をそれぞれ算出する（図９のステップＳ２２、２３）。

そして、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、算出した「新検出故障数」と「全重複検出故障数」の差が最大になるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存する。

例えば、図１２に示すように、非選別の測定ポイントグループＧ２と測定ポイントグループＧ１を合わせると、「新検出故障数」が３、「全重複検出故障」が０となり、その差は最大３になるので、ここでは、測定ポイントグループＧ２を選択する（図９のステップＳ２４）。

これにより、測定ポイントグループ１の「検出故障数」が１５、測定ポイントグループ２の「新検出故障数」が３、「全重複検出“０”故障数」および「全重複検出“１”故障数」が０であるため、検出可能な故障数は１５＋３−０＝１８となる。測定ポイントグループ１、２の測定ポイントグループを選別したことにより、全故障数１８の全ての故障が検出されたことになる。

次に、故障検出率判定プログラム３３は、選別された測定ポイントグループＧ１、Ｇ２における「故障検出率」を算出する（図９のステップＳ２５）。故障検出率＝（１５＋３−０）／（２×９）＝１となり、故障検出率「１」が達成されたので（図９のステップＳ２６のＹｅｓ）、ＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別を終了する。

以上説明したように、実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイント選別方法によれば、予めＩＤＤＱ測定ポイント候補をグルーピングしてＩＤＤＱ測定ポイント候補の数を減らし、選別回数を削減することができる。これにより、選別に要する時間が短縮され、故障を判別するのに十分なＩＤＤＱ測定ポイントの選別が可能である。従って、ＩＤＤＱテスト精度が向上し、信頼性の高い半導体集積回路が得られる。

ここでは、ＩＤＤＱ測定ポイント候補のグルーピングは、所定の個数づつ昇順にグルーピングする場合について説明したが、所定の個数づつ降順にグルーピングしても良く、また所定の個数づつランダムにグルーピングしても良く、あるいは所定の個数づつ予め指定した個数おきに間引きしてグルーピングしても良く、さらには予め指定したＩＤＤＱ測定ポイント候補をグルーピングしても構わない。

また、予め所定の個数を指定して全重複検出故障数が最小となるＩＤＤＱ測定ポイント候補の組み合わせ順にグルーピングしても構わない。

更に、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に保存されている複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループを、再度グルーピングして第２のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を作成し、この第２のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補から第２のＩＤＤＱ測定ポイントグループを選別するようにしても構わない。これにより、更に選別回数を削減することが可能である。

（実施例２の変形例）
図１３は、本発明の実施例２の変形例を示すフローチャートである。本変形例において上記図９と同一のステップには、同一符号を付してそのステップの説明は省略し、異なるステップについて説明する。

本変形例が実施例２と異なる点は、ＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別を、全重複検出故障を含まない故障数による否かを選択できるようにしたことである。

即ち、図１３に示すように、「新検出故障数」を算出するステップＳ２２と「全重複検出故障数」を算出するステップＳ２３の間に、測定ポイントグループの選別基準を全重複検出故障を含まない故障数によるものか否かを選択するステップＳ２７を設けている。ステップＳ２７において、全重複検出故障を含まない故障数によることが選択されなかった場合は（ステップＳ０２７のＮｏ）、ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム３２は、新検出故障が最大になるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を選別し、ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部１５に追加して保存する（ステップＳ０２８）。

この選別基準の選択は、例えば所定の選別回数ごとにおこなっても良いし、全重複検出故障数の出現頻度や所定の故障検出率の達成度に基づいておこなっても良い。あるいはそれらを組み合わせておこなっても構わない。

以上説明したように、上述の変形例では、ＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別基準に全重複検出故障を含まない故障数によるか否かを選択できるようにしたので、ＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補とノードの論理パタンの冗長性を排除できる。従って、選別に要する時間が短縮される。

本発明の実施例に係る検査装置を示すブロック図。 本発明の実施例１に係るＩＤＤＱ測定ポイント選別の動作を示すフローチャート。 本発明の実施例１に係るＩＤＤＱ測定ポイントとノードの論理パタンを示す図。 本発明の実施例１に係るＩＤＤＱ測定ポイントの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例１に係るＩＤＤＱ測定ポイントの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例１に係るＩＤＤＱ測定ポイントの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例１に係る変形例を示すフローチャート。 本発明の実施例２に係ＩＤＤＱ測定ポイントのグルーピングを説明するための図。 本発明の実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイント選別の動作を示すフローチャート。 本発明の実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例２に係るＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別工程を説明するための示す図。 本発明の実施例２に係わる変形例を示すフローチャート。 従来のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法を示すフローチャート。 従来のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法を示すフローチャート。 従来のＩＤＤＱテスト方法を示すフローチャート。 ベクトル波形の相似関係を説明するための図。

符号の説明

１１ 検査装置
１２ 故障辞書記憶部
１３ プログラム格納部
１４ ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部
１５ ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部
１６ 処理制御部
１７ 入出力制御部
１８ 出力部
１９ 入力部
２１ ＩＣテスタ
２２ テストパタン発生器
３１ 故障数算出プログラム
３２ ＩＤＤＱ測定ポイント選別プログラム
３３ 故障検出率判定プログラム
３４ ＩＤＤＱ測定ポイント出力プログラム

Claims (16)

1. ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかから所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントを選別する方法であって、
   故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の工程と、
   前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出する第２の工程と、
   前記前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の工程と、
   前記第２及び第３の工程で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の工程と、
   前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出する第５の工程と、
   前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達したか否かを判定する第６の工程とを具備し、
   前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで、前記第２の工程から第６の工程を繰り返し実行し、前記第１及び第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイントが前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶されることを特徴とするＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
2. 前記第２の工程と前記第５の工程の間に、前記新検出故障数が最大のＩＤＤＱ測定ポイント候補を選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第７の工程を設け、
   前記ＩＤＤＱ測定ポイントの選別基準に前記全重複検出故障数を含まない故障数によらない場合、前記第３および第４の工程に代えて前記第７の工程によるＩＤＤＱ測定ポイントの選別をおこなうようにしたことを特徴とする請求項１記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
3. ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補を予めグルーピングした複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループの中から所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントグループを選別する方法であって、
   故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイングループト候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の工程と、
   前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて新検出故障数を算出する第２の工程と、
   前記前段の工程で選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の工程と、
   前記第２及び第３の工程で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補をすくなくとも１つ選別して、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の工程と、
   前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントグループから故障検出率を算出する第５の工程と、
   前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達したか否かを判定する第６の工程とを具備し、
   前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで、前記第２の工程から第６の工程を繰り返し実行し、前記第１及び第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループが前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶されることを特徴とするＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
4. 前記第２の工程と前記第５の工程の間に、前記新検出故障数が最大のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第７の工程を設け、
   前記ＩＤＤＱ測定ポイントの選別基準に前記全重複検出故障数を含まない故障数によらない場合、前記第３および第４の工程に代えて前記第７の工程によるＩＤＤＱ測定ポイントグループの選別をおこなうようにしたことを特徴とする請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
5. 前記検出故障数は、前記ＩＤＤＱ測定ポイント候補又は前記ＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補に設定される複数のノードの論理レベルが所定の値を示しているノードの数であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
6. 前記新検出故障数は、前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又は前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループの複数のノードの論理レベルと前記選別されなかったＩＤＤＱ測定ポイント候補又は前記選別されなかったＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補の対応するノードの論理レベルとが異なる値を示しているノードの数であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
7. 前記全重複検出故障数は、前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又は前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループの複数のノードの論理レベルと前記選別されなかったＩＤＤＱ測定ポイント候補又は前記選別されなかったＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補の対応するノードの論理レベルとが同じ値を示しているノードの数であることを特徴とする請求項１記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
8. 前記故障検出率は、前記第１の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又はＩＤＤＱ測定ポイントグループの前記検出故障数と前記第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又はＩＤＤＱ測定ポイントグループの前記新検出故障数の和を２倍のノード数で除した値であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
9. 前記故障検出率は、前記第１の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又はＩＤＤＱ測定ポイントグループの前記検出故障数と前記第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又はＩＤＤＱ測定ポイントグループの前記新検出故障数の和から、前記第４の工程で選別されたＩＤＤＱ測定ポイント又はＩＤＤＱ測定ポイントグループの前記全重複検出故障数を引き、それを２倍のノード数で除した値であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
10. 前記前段の工程は、前記第１の工程及び前記第４の工程であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
11. 前記所定の故障検出率は、１以上であることを特徴とする請求項１又は請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
12. 前記ＩＤＤＱ測定ポイント候補のグルーピングルールを、予め指定できるようにしたことを特徴とする請求項３記載のＩＤＤＱ測定ポイント選別方法。
13. 半導体集積回路のＩＤＤＱテストに用いる検査装置において、
    前記半導体集積回路の複数の入力ピンに印加されるテストパタンから論理シミュレーションにより求めたＩＤＤＱ測定ポイントと複数のノードの論理パタンを記述した故障辞書が記憶される故障辞書記憶部と、
    複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補が予め記憶されている測定ポイント候補情報記憶部と、
    選別されたＩＤＤＱ測定ポイントの情報が記憶されるＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部と、
    前記故障辞書記憶部を参照して前記ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に記憶されている前記複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する制御部とを有し、
    前記制御部は、
    選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出し、
    前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出し、
    前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存し、
    前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出し、
    前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまでこれらの処理を繰り返し実行してＩＤＤＱ測定ポイントを前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶する
    ことを特徴とする検査装置。
14. 半導体集積回路のＩＤＤＱテストに用いる検査装置において、
    前記半導体集積回路の複数の入力ピンに印加されるテストパタンから論理シミュレーションにより求めたＩＤＤＱ測定ポイントグループと複数のノードの論理パタンを記述した故障辞書が記憶される故障辞書記憶部と、
    複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補が予め記憶されている測定ポイント候補情報記憶部と、
    選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループの情報が記憶されるＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部と、
    前記故障辞書記憶部を参照して前記ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に記憶されている前記複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補の検出故障数を算出し、その検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する制御部とを有し、
    前記制御部は、
    選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて新検出故障数を算出し、
    前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて全重複検出故障数を算出し、
    前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存し、
    前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントグループから故障検出率を算出し、
    前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまでこれらの処理を繰り返し実行してＩＤＤＱ測定ポイントグループを前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に記憶する
    ことを特徴とする検査装置。
15. ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補のなかから所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントを選別するプログラムであって、
    故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の機能と、
    選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて新検出故障数を算出する第２の機能と、
    前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイント候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の機能と、
    前記第２及び第３の機能で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイント候補を少なくとも１つ選別して前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の機能と、
    前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントから故障検出率を算出する第５の機能と、
    前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで前記第２の機能から第５の機能を繰り返し実行する第６の機能と、
    を有することを特徴とするＩＤＤＱ測定ポイント用プログラム。
16. ＩＤＤＱテストに用いる複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補のなかから所定の故障検出率を満たすＩＤＤＱ測定ポイントグループを選別するプログラムであって、
    故障シミュレーションによる故障辞書が予め記憶されている故障辞書記憶部を参照し、ＩＤＤＱ測定ポイント候補情報記憶部に予め記憶されている複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補の検出故障数を算出し、その算出した検出故障数が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を少なくとも１つ選別してＩＤＤＱ測定ポイン情報記憶部に保存する第１の機能と、
    選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて新検出故障数を算出する第２の機能と、
    前記選別されなかった複数のＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補ごとに前記選別されたＩＤＤＱ測定ポイントグループと合わせて全重複検出故障数を算出する第３の機能と、
    前記第２及び第３の機能で算出した前記新検出故障数と前記全重複検出故障数の差が最大となるＩＤＤＱ測定ポイントグループ候補を少なくとも１つ選別して、前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存する第４の機能と、
    前記ＩＤＤＱ測定ポイント情報記憶部に保存されているＩＤＤＱ測定ポイントグループから故障検出率を算出する第５の機能と、
    前記故障検出率が前記所定の故障検出率に達するまで前記第２の機能から第５の機能を繰り返し実行する第６の機能と、
    を有することを特徴とするＩＤＤＱ測定ポイント用プログラム。

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