JP2005113162A - めっき方法及びめっき装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板の被めっき面に紫外線を照射し、この紫外線を照射した基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とする。このように、基板の被めっき面にめっきを行うのに先だって、基板の被めっき面に紫外線(UV光)を照射することにより、基板の被めっき面に僅かではあるが残留する有機物質を除去して、基板の被めっき面の濡れ性を向上させることができる。
【選択図】 図3
Description
このように、基板の被めっき面にめっきを行うのに先だって、基板の被めっき面に紫外線(UV光)を照射することにより、基板の被めっき面に僅かではあるが残留する有機物質を除去して、基板の被めっき面の濡れ性を向上させることができる。これは、UV光は、空気中の酸素に作用してオゾン分子や励起酸素原子を生成し、その結果、その励起酸素原子が基板の被めっき面に残存する有機物質を酸化分解し、CO2やH2Oとして揮発させて除去することができるからである。有機物質が完全に除去された基板の被めっき面は濡れ性が改善され、基板の被めっき面がめっき液に接触したとき、めっき欠陥の原因となる微小気泡(マイクロエアーボイド)が被めっき面に生じることをなくして、良好なめっきを行うことができる。
このように、紫外線を照射した基板の被めっき面を酸性液で処理することで、前述のようにして、濡れ性を改善した基板の被めっき面を活性化させ、めっき膜の被めっき面への密着を完全なものとして、めっき欠陥をなくし良好なめっきを行うことができる。
このように、基板の被めっき面にオゾンガスを暴露することによっても、前述の紫外線を照射する場合と同様に、基板の被めっき面に僅かに残存する有機物質を除去して被めっき面の濡れ性を向上させることができる。
請求項6に記載の発明は、前記オゾンガスは、オゾンの容積分率が10%以上のオゾンガスであることを特徴とする請求項4または5記載のめっき方法である。
このように、基板の被めっき面をオゾン水に接触させることによっても、前述の紫外線を照射する場合と同様に、基板の被めっき面に僅かに残存する有機物質を文化し除去して被めっき面の濡れ性を向上させることができる。
請求項9に記載の発明は、前記オゾン水は、溶解膜による拡散溶解によりオゾンガスを純水に溶解させたオゾン水であることを特徴とする請求項7または8記載のめっき方法である。
電解イオン水のアノード水(酸化性水)は有機物質を除去する効果があり、カソード水(還元性水)はパーティクルを効果的に除去する効果がある。このため、基板の被めっき面に電解イオン水を接触させることにより、基板の被めっき面の濡れ性を向上させたり、基板の被めっき面に付着したパーティクルを効果的に除去をして、クリーニング性を向上させたりすることができる。
請求項12に記載の発明は、前記電解イオン水は、純水または電解質を含む溶液に電気分解を行ったアノード水またはカソード水であることを特徴とする請求項10または11記載のめっき方法である。
例えば、シリコンウェーハや他の基板に、銅、ニッケルまたははんだ等からなる半導体回路の配線やバンプを、強酸性のめっき液を用いためっきで形成した場合、例えば、めっき後の基板のめっき面(めっき膜表面)を純水で洗浄し、弱アルカリ性水溶液で更に洗浄することで、純水による洗浄では洗浄されずに、基板のめっき面上に僅かに残留した酸性成分を弱アルカリ性溶液で中和して、めっき表面の酸化や表面変質などの不具合を防止することができる。
請求項15に記載の発明は、前記弱アルカリ性水溶液は、リン酸3ナトリウム水溶液、リン酸3カリウム水溶液、または希釈アンモニア水であることを特徴とする請求項13記載のめっき方法である。
請求項18に記載の発明は、前記装置フレーム内に収納され、基板を搬送する搬送装置と、前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項17記載のめっき装置である。
請求項20に記載の発明は、前記紫外線照射室は、UVランプ、低圧水銀ランプ、ArFエキシマレーザ、または誘電体バリア放電エキシマランプから発光される紫外線を基板の被めっき面に照射するように構成されていることを特徴とする請求項17乃至19のいずれかに記載のめっき装置である。
請求項22に記載の発明は、前記装置フレームの内部に収納され、基板を搬送する搬送装置と、前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項21記載のめっき装置である。
請求項24に記載の発明は、前記オゾンガス暴露室は、基板の被めっき面に、オゾンの容積比率が10%以上のオゾンガスを暴露するように構成されていることを特徴とする請求項21乃至23のいずれかに記載のめっき装置である。
請求項26に記載の発明は、前記装置フレーム内に収納され、基板を搬送する搬送装置と、前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項25記載のめっき装置である。
請求項28に記載の発明は、前記オゾン水処理室は、溶解膜による拡散溶解によりオゾンガスを純水に溶解させたオゾン水を基板の被めっき面に接触させるように構成されていることを特徴とする請求項25乃至27のいずれかに記載のめっき装置である。
請求項30に記載の発明は、前記装置フレームの内部に収納され、基板を搬送する搬送装置と、前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項29記載のめっき装置である。
請求項32に記載の発明は、前記電解イオン水処理室は、純水または電解質を含む溶液に電気分解を行ったアノード水またはカソード水を基板の被めっき面に接触させるように構成されていることを特徴とする請求項29乃至31のいずれかに記載のめっき装置である。
請求項34に記載の発明は、前記装置フレームの内部に収納され、基板を搬送する搬送装置と、前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項33記載のめっき装置である。
請求項36に記載の発明は、前記弱アルカリ処理室は、リン酸3ナトリウム、リン酸3カリウム、または希釈アンモニア水で基板のめっき面を洗浄するように構成されていることを特徴とする請求項35記載のめっき装置である。
請求項38に記載の発明は、前記装置フレーム内で、基板は水平状態で搬送されて処理されることを特徴とする請求項17乃至37のいずれかに記載のめっき装置である。
請求項40に記載の発明は、前記ウェットステーション内において、基板は基板ホルダに保持されて搬送され、処理されることを特徴とする請求項39記載のめっき装置である。
3,7,8a,8b 搬送ロボット
4 アライナ
5 基板装着台
9 装置フレーム
11,11a 水洗前処理室
12 洗浄・乾燥室
13a 薬液前処理室
14,14a 洗浄室
15,15a,19 めっき室
16 洗浄室
17 ブロー室
18 操作パネル
20 仮置台
21,21a 酸処理室
22 基板ホルダ
31 紫外線照射室
32 オゾンガス暴露室
33,33a オゾン水処理室
34,34a 電解イオン水処理室
35 オゾナイザ
36 オゾン水製造装置
37 溶解膜
38 電解イオン水製造装置
39,39a 弱アルカリ処理室
40 オゾナイザ放電体
42 下地膜
43 紫外線
45 オゾン分子
46 励起酸素原子
47 有機物質
50 めっき膜
51 めっき液
52 アノード
54 レジスト膜
55 レジストパターン
56 除去された有機物質
57 活性化させた下地表面
58 酸性液
60 誘電体バリア放電エキシマランプ
64 エキシマランプ電源
67 エキシマ光照射ユニット
68 レジスト表面
69 アース電源
70 高圧電源
71 誘電体
72 高周波高電圧交流電源
79 オゾン水
83 電解槽
84 陽極板
85 陰極板
86 陽イオン交換膜
88 電解イオン水
89 弱アルカリ性水溶液
102 めっき槽
104 アノード
105 調整板(レギュレーションプレート)
107 電源
108,109 導線
110 基板ヘッド
111 アノードホルダ
112 オーバーフロー槽
113 循環ポンプ
114 恒温器
115 底部ノズル
116 スプレーノズル
117 スプレーヘッド
118 基板チャック
119 サイドウォール
120 回転台
121 スライダ
123 攪拌パドル
124 オーバーフロー堰
125 パドルシャフト
126 めっき液排出口
127 フィルタ
128 圧力計
129 流量計
130 吹き付けノズル
131 液供給管
132 液排出管
200 仕切り板
202 ドライステーション
204 ウェットステーション
Claims (40)
- 基板の被めっき面に紫外線を照射し、この紫外線を照射した基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法。
- 前記紫外線を照射した基板の被めっき面を酸性液で処理した後、該被めっき面にめっきを行うことを特徴とする請求項1記載のめっき方法。
- 前記紫外線は、UVランプ、低圧水銀ランプ、ArFエキシマレーザ、または誘電体バリア放電エキシマランプから発光される紫外線であることを特徴とする請求項1または2記載のめっき方法。
- 基板の被めっき面にオゾンガスを暴露し、このオゾンガスを暴露した基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法。
- 前記オゾンガスを暴露した基板の被めっき面を酸性液で処理した後、該被めっき面にめっきを行うことを特徴とする請求項4記載のめっき方法。
- 前記オゾンガスは、オゾンの容積分率が10%以上のオゾンガスであることを特徴とする請求項4または5記載のめっき方法。
- 基板の被めっき面をオゾン水に接触させ、このオゾン水に接触させた基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法。
- 前記オゾン水に接触させた基板の被めっき面を酸性液で処理した後、該被めっき面にめっきを行うことを特徴とする請求項7記載のめっき方法。
- 前記オゾン水は、溶解膜による拡散溶解によりオゾンガスを純水に溶解させたオゾン水であることを特徴とする請求項7または8記載のめっき方法。
- 基板の被めっき面を電解イオン水に接触させ、この電解イオン水に接触させた基板の被めっき面にめっきを行うことを特徴とするめっき方法。
- 前記電解イオン水に接触させた基板の被めっき面を酸性液で処理した後、該被めっき面にめっきを行うことを特徴とする請求項10記載のめっき方法。
- 前記電解イオン水は、純水または電解質を含む溶液に電気分解を行ったアノード水またはカソード水であることを特徴とする請求項10または11記載のめっき方法。
- 基板の被めっき面に酸性めっき液を用いためっきを行い、
めっき後の基板のめっき面を純水で洗浄し、
めっき後の基板のめっき面を弱アルカリ性水溶液で洗浄することを特徴とするめっき方法。 - 前記弱アルカリ性水溶液は、電解イオン水を用いた弱アルカリ性水溶液であることを特徴とする請求項13記載のめっき方法。
- 前記弱アルカリ性水溶液は、リン酸3ナトリウム水溶液、リン酸3カリウム水溶液、または希釈アンモニア水であることを特徴とする請求項13記載のめっき方法。
- 前記基板の被めっき面には有機質のレジスト膜が塗布され、このレジスト膜にレジストパターンが形成されていることを特徴とする請求項1乃至15のいずれかに記載のめっき方法。
- 基板の被めっき面に紫外線を照射する紫外線照射室と、
前記紫外線照射室で紫外線を照射した基板の被めっき面にめっきを行うめっき室と、
前記紫外線照射室及び前記めっき室を内部に収納した装置フレームとを有することを特徴とするめっき装置。 - 前記装置フレーム内に収納した、基板を搬送する搬送装置と、
前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項17記載のめっき装置。 - 前記装置フレーム内に、前記紫外線を照射した基板の被めっき面を酸性液で処理する酸処理室を更に有することを特徴とする請求項17または18記載のめっき装置。
- 前記紫外線照射室は、UVランプ、低圧水銀ランプ、ArFエキシマレーザ、または誘電体バリア放電エキシマランプから発光される紫外線を基板の被めっき面に照射するように構成されていることを特徴とする請求項17乃至19のいずれかに記載のめっき装置。
- 基板の被めっき面にオゾンガスを暴露するオゾンガス暴露室と、
前記オゾンガス暴露室でオゾンガスを暴露した基板の被めっき面にめっきを行うめっき室と、
前記オゾンガス暴露室及び前記めっき室を内部に収納した装置フレームとを有することを特徴とするめっき装置。 - 前記装置フレームの内部に収容した、基板を搬送する搬送装置と、
前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項21記載のめっき装置。 - 前記装置フレーム内に、前記オゾンガスを暴露した基板の被めっき面を酸性液で処理する酸処理室を更に有することを特徴とする請求項21または22記載のめっき装置。
- 前記オゾンガス暴露室は、基板の被めっき面に、オゾンの容積比率が10%以上のオゾンガスを暴露するように構成されていることを特徴とする請求項21乃至23のいずれかに記載のめっき装置。
- 基板の被めっき面にオゾン水を接触させるオゾン水処理室と、
前記オゾン水処理室でオゾン水を接触させた基板の被めっき面にめっきを行うめっき室と、
前記オゾン水処理室及び前記めっき室を内部に収納した装置フレームとを有することを特徴とするめっき装置。 - 前記装置フレーム内に収納され、基板を搬送する搬送装置と、
前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項25記載のめっき装置。 - 前記装置フレーム内に、前記オゾン水を接触させた基板の被めっき面を酸性液で処理する酸処理室を更に有することを特徴とする請求項25または26記載のめっき装置。
- 前記オゾン水処理室は、溶解膜による拡散溶解によりオゾンガスを純水に溶解させたオゾン水を基板の被めっき面に接触させるように構成されていることを特徴とする請求項25乃至27のいずれかに記載のめっき装置。
- 基板の被めっき面に電解イオン水を接触させる電解イオン水処理室と、
前記電解イオン水処理室で電解イオン水を接触させた基板の被めっき面にめっきを行うめっき室と、
前記電解イオン水処理室及び前記めっき室を内部に収納した装置フレームとを有することを特徴とするめっき装置。 - 前記装置フレームの内部に収納され、基板を搬送する搬送装置と、
前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項29記載のめっき装置。 - 前記装置フレーム内に、前記電解イオン水を接触させた基板の被めっき面を酸性液で処理する酸処理室を更に有することを特徴とする請求項29または30記載のめっき装置。
- 前記電解イオン水処理室は、純水または電解質を含む溶液に電気分解を行ったアノード水またはカソード水を基板の被めっき面に接触させるように構成されていることを特徴とする請求項29乃至31のいずれかに記載のめっき装置。
- 基板の被めっき面に酸性めっき液を用いためっきを行うめっき室と、
めっき後の基板のめっき面を純水で洗浄する純水洗浄室と、
めっき後の基板のめっき面を弱アルカリ性溶液で洗浄する弱アルカリ処理室と、
前記めっき室、前記純水洗浄室及び前記弱アルカリ処理室を内部に収納した装置フレームとを有することを特徴とするめっき装置。 - 前記装置フレームの内部に収納され、基板を搬送する搬送装置と、
前記装置フレームとの間で基板の出し入れを行うロード・アンロード室とを更に有することを特徴とする請求項33記載のめっき装置。 - 前記弱アルカリ処理室は、イオン水を用いた弱アルカリ性水溶液で基板のめっき面を洗浄するように構成されていることを特徴とする請求項33または34記載のめっき装置。
- 前記弱アルカリ処理室は、リン酸3ナトリウム、リン酸3カリウム、または希釈アンモニア水で基板のめっき面を洗浄するように構成されていることを特徴とする請求項35記載のめっき装置。
- 前記めっき室は、電気めっきでめっきを行うことを特徴とする請求項17乃至36のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記装置フレーム内で、基板は水平姿勢で搬送されて処理されることを特徴とする請求項17乃至37のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記装置フレームは、ドライステーションとウェットステーションに区分され、基板は、ドライステーション内で水平姿勢で搬送されて処理され、ウェットステーション内で鉛直姿勢で搬送されて処理されることを特徴とする請求項17乃至37のいずれかに記載のめっき装置。
- 前記ウェットステーション内において、基板は基板ホルダに保持されて搬送され、処理されることを特徴とする請求項39記載のめっき装置。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003345062A JP2005113162A (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | めっき方法及びめっき装置 |
PCT/JP2004/014698 WO2005033376A2 (en) | 2003-10-02 | 2004-09-29 | Plating method and apparatus |
US10/571,751 US20070117365A1 (en) | 2003-10-02 | 2004-09-29 | Plating method and apparatus |
EP04788461A EP1668174A2 (en) | 2003-10-02 | 2004-09-29 | Plating method and apparatus |
KR1020067006392A KR101186240B1 (ko) | 2003-10-02 | 2004-09-29 | 도금방법 및 도금장치 |
TW093129807A TWI361846B (en) | 2003-10-02 | 2004-10-01 | Plating method and apparatus |
US12/461,613 US8317993B2 (en) | 2003-10-02 | 2009-08-18 | Plating method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003345062A JP2005113162A (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | めっき方法及びめっき装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005113162A true JP2005113162A (ja) | 2005-04-28 |
JP2005113162A5 JP2005113162A5 (ja) | 2006-11-16 |
Family
ID=34538440
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003345062A Pending JP2005113162A (ja) | 2003-10-02 | 2003-10-02 | めっき方法及びめっき装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005113162A (ja) |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060928 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060928 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090714 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090908 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091013 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100223 |