JP2005111729A - ガスバリアフィルム - Google Patents
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- 230000004888 barrier function Effects 0.000 title claims abstract description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 32
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims abstract description 24
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 24
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 22
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 19
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims abstract description 17
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical group N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 17
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 96
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 28
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 230000003213 activating effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 abstract description 52
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 22
- 230000035699 permeability Effects 0.000 abstract description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 abstract description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 abstract 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract 2
- 239000007792 gaseous phase Substances 0.000 abstract 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 abstract 1
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 description 7
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 6
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 6
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 6
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 6
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 4
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 4
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 4
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 2
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-1-pentene Chemical compound CC(C)CC=C WSSSPWUEQFSQQG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 1
- 238000000089 atomic force micrograph Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 238000003851 corona treatment Methods 0.000 description 1
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000012769 display material Substances 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 229910001872 inorganic gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 239000005022 packaging material Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 1
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 1
- 238000009832 plasma treatment Methods 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002492 poly(sulfone) Polymers 0.000 description 1
- 229920006350 polyacrylonitrile resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 229920006380 polyphenylene oxide Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 238000003908 quality control method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000011179 visual inspection Methods 0.000 description 1
- 239000013585 weight reducing agent Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】 透明基体フィルム表面上に珪素を含む透明樹脂層を積層し、更に該樹脂層上に、珪素を含む透明無機薄膜層を積層することで、上記の性能を満たすガスバリアフィルムが得られる。上記の透明無機薄膜層は、窒化珪素膜であることが好ましく、更に化学的気相蒸着方法により形成されることが好ましい。
【選択図】 なし
Description
(1) 透明基体フィルム(A)と、
珪素を含む透明樹脂層(B)と、
珪素を含む透明無機薄膜層(C)とからなり、
A/B/Cの順の積層構造を有するガスバリアフィルムであり、
(2) 好ましくは透明無機薄膜層(C)が窒化珪素膜層(C1)であることを特徴とするガスバリアフィルムであり、
(3) 好ましくは透明無機薄膜層(C)が化学的気相蒸着方法により形成される窒化珪素膜(C2)であることを特徴とするガスバリアフィルムであり、
(4) 好ましくは透明無機薄膜層(C)が、真空容器内にガスを導入し、該導入ガスを発熱体により分解活性化させて基板に成膜を行って得られる窒化珪素膜(C3)であることを特徴とするガスバリアフィルムであり、
(5) 上記のガスバリアフィルムを表示部基板として用いた表示デバイスである。
(透明基体フィルム(A))
本発明にかかる透明基体フィルム(A)としては、プラスチックフィルムが好適に使用される。上記プラスチックフィルムは、透明性を有するフィルムであれば特に制限はない。具体的には、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリスルフォン、ポリエーテルスルフォン、ポリエステル、ポリメチルメタアクリレート、ポリカーボネート、ポリアリレート、ポリアセテート、ポリアミド、ポリ‐4−メチルペンテン−1、セルロース、ポリ塩化ビニル、ポリアクリロニトリル系樹脂、フェノキシ樹脂、ポリフェニレンオキサイド系樹脂等の透明性を有する樹脂からなるフィルムを例示できる。
本発明における、透明で珪素を含有する樹脂としては、代表的なものとして、シリコーン樹脂を例示することが出来る。シリコーン樹脂は、珪素、酸素、水素を主成分とする樹脂であり、様々な組成、分子量等を有する製品が市販されている。
本発明において、珪素を含有する透明無機薄膜層(C)として具体的には、窒化珪素薄膜層や酸化窒化珪素薄膜層を代表例として挙げることが出来る。特には窒化珪素薄膜(C1)であることが好ましい。
本発明におけるガスバリアフィルムは、透明基体フィルム(A)と、透明樹脂層(B)と、透明無機薄膜層(C)とからなり、A/B/Cの順の積層構造を有することを特徴とする。本発明のガスバリアフィルムの製造方法としては、透明基体フィルム(A)上に透明樹脂層(B)を公知の方法で形成し、更に透明無機薄膜層(C)を上記の方法で形成する方法が挙げられる。
基板には厚み125μmのPETフィルムを用い、当該フィルム上に固形シリコーン樹脂
(ラダー型シリコーンオリゴマー 商品名:グラスレジンGR100 昭和電工社製)をイソプロピルアルコールに30wt%となるように溶解した液をスピンコートにより厚み2μmとなるようにコーティングを行い、その後、クリーンオーブンにて120℃、12時間の架橋反応および乾燥を行った。
当該構成においてフィルムは無色透明であった。また、1μm2エリアでの原子間力顕微鏡像により求めた平均粗さRaは0.3nm、(最高点−最低点)を表すRmaxは3.2nmとなり、平坦かつ均一な窒化珪素膜が得られた。また、モダンコントロール社製PERMATRAN-W600により、温度40℃、相対湿度100%における透湿度測定を行ったところ、本測定での検出限界である0.02g/m2/day以下の値となり、高いガスバリア性能が得られた。
12 シリコーン樹脂層
13 窒化珪素薄膜
Claims (5)
- 透明基体フィルム(A)と、
珪素を含む透明樹脂層(B)と、
珪素を含む透明無機薄膜層(C)とからなり、
A/B/Cの順の積層構造を有するガスバリアフィルム。 - 透明無機薄膜層(C)が窒化珪素膜層(C1)であることを特徴とする請求項1記載のガスバリアフィルム。
- 透明無機薄膜層(C)が化学的気相蒸着方法により形成される窒化珪素膜(C2)であることを特徴とする請求項1記載のガスバリアフィルム。
- 透明無機薄膜層(C)が、真空容器内にガスを導入し、該導入ガスを発熱体により分解活性化させて基板に成膜を行って得られる窒化珪素膜(C3)であることを特徴とする請求項1記載のガスバリアフィルム。
- 請求項1乃至4のガスバリアフィルムを表示部基板として用いた表示デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346433A JP2005111729A (ja) | 2003-10-03 | 2003-10-03 | ガスバリアフィルム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003346433A JP2005111729A (ja) | 2003-10-03 | 2003-10-03 | ガスバリアフィルム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005111729A true JP2005111729A (ja) | 2005-04-28 |
JP2005111729A5 JP2005111729A5 (ja) | 2006-07-27 |
Family
ID=34539357
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003346433A Pending JP2005111729A (ja) | 2003-10-03 | 2003-10-03 | ガスバリアフィルム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005111729A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005342975A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Toppan Printing Co Ltd | 透明バリアフィルム |
JP2007245433A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Tohcello Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2007283612A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Tohcello Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2008036914A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Mitsui Chemicals Inc | ガスバリア性積層フィルム |
JP2013516337A (ja) * | 2010-01-07 | 2013-05-13 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | ガスバリアー性硬化オルガノポリシロキサン樹脂フィルム及びその製造方法 |
WO2013121666A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
-
2003
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005342975A (ja) * | 2004-06-02 | 2005-12-15 | Toppan Printing Co Ltd | 透明バリアフィルム |
JP2007245433A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Tohcello Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2007283612A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Tohcello Co Ltd | ガスバリアフィルム |
JP2008036914A (ja) * | 2006-08-04 | 2008-02-21 | Mitsui Chemicals Inc | ガスバリア性積層フィルム |
JP4728907B2 (ja) * | 2006-08-04 | 2011-07-20 | 三井化学株式会社 | ガスバリア性積層フィルム |
JP2013516337A (ja) * | 2010-01-07 | 2013-05-13 | 東レ・ダウコーニング株式会社 | ガスバリアー性硬化オルガノポリシロキサン樹脂フィルム及びその製造方法 |
WO2013121666A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
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