JP2005109030A - 電子デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
有機物のマスク材が除去される若しくは損傷されることなく被エッチング材に残留したハロゲン化物を除去することができる電子デバイス製造処理装置及び電子デバイス製造方法を提供することである。
【解決手段】
対向する位置に設置された電極を設け、これらの電極の一方に接続された高周波電源によってエッチングを行うエッチング工程を有し、前記エッチング工程で発生するハロゲン化物を除去するために、アンモニア雰囲気下または水蒸気雰囲気下で加熱をすることを特徴とする。
【選択図】 図1
有機物のマスク材が除去される若しくは損傷されることなく被エッチング材に残留したハロゲン化物を除去することができる電子デバイス製造処理装置及び電子デバイス製造方法を提供することである。
【解決手段】
対向する位置に設置された電極を設け、これらの電極の一方に接続された高周波電源によってエッチングを行うエッチング工程を有し、前記エッチング工程で発生するハロゲン化物を除去するために、アンモニア雰囲気下または水蒸気雰囲気下で加熱をすることを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、エッチング工程後に電子デバイス上に残留するハロゲン化物の除去を目的とした電子デバイス製造方法に関する。
従来、同一の有機物のマスク材を使用して複数種類のエッチングを行うエッチング方法において、そのエッチング工程毎に異なる装置若しくはチャンバを必要とする場合は、エッチング工程毎に被エッチング材を大気開放後、次の装置若しくはチャンバへ移動して処理を行っている。この場合問題となるのは、被エッチング材に残留したハロゲン化物と大気中の水分とが反応してフッ酸、塩酸、シュウ酸等を生成し、エッチング工程後に被エッチング材を溶かして所望の形状でなくしてしまうコロージョンである。
また、残留するハロゲン化物や、大気中の水分との反応により生成される酸化物が次工程へ影響し、所望の形状が得られなくなるなど種々の問題を引き起こす。
これを防止するためには、次装置若しくは次チャンバへ移動する時間を短くするか、マスク材を含む被エッチング材表面から、次エッチング工程で必要なマスク材の機能を残しながらハロゲン化物を除去する必要がある。
前者の方法は、次装置若しくは次チャンバへの搬送を真空中で行っており、次チャンバでの処理が終了次第、被エッチング材の搬出・搬入を行っている。
一方、後者におけるハロゲン化物の除去については、真空中のプラズマ処理によるアッシング(灰化)技術を利用した方法がある。
特開平06−204191号公報(第5頁、図1)
前者における移動時間を短く制御する方法では、次装置若しくは次チャンバへの移動は、次装置若しくは次チャンバが稼動中の場合には行うことができない。このため次装置若しくは次チャンバの稼動状況により移動時間を短くすることには限界がある。また、次装置若しくは次チャンバへ移動する時間を短くできても、部屋の湿度や温度によりコロージョンの生成状況が変化する。さらに、チャンバ間を真空搬送して連続処理を行う場合においては次チャンバのエッチング処理が終了するまで搬送が不可能となり、装置のスループットを低下させ、生産性が低下する問題もある。
又、後者におけるハロゲン化物の除去方法では、プラズマ処理により有機物のマスク材が除去されたり、損傷されたりして、次のエッチング工程においてマスク材としての機能が維持できなくなるという問題がある。
この発明は、上記の点に鑑みなされたもので、その目的は、複数種類のエッチング工程で用いる有機物のマスク材が除去される若しくは損傷されることなく被エッチング材に残留したハロゲン化物を除去することができる電子デバイス製造処理装置及び電子デバイス製造方法を提供することである。
上記目的を達成するために、本発明の電子デバイス製造方法はハロゲン化物を含有したガス雰囲気下でプラズマを生成し、被処理物上に形成された有機物のマスク材を利用してエッチング処理をする第1のエッチング処理工程と、アンモニア雰囲気下または水蒸気雰囲気下で該第1のエッチング処理後の被処理物を加熱することで、前記第1のエッチング処理工程で前記被処理物表面に残留付着したハロゲン化物を除去するハロゲン化物除去工程と、前記有機物のマスク材を利用して前記被処理物に対してエッチング処理する第2のエッチング工程とを有することを特徴とする。
本発明によれば、有機物のマスク材が除去される若しくは損傷されることなく被エッチング材に残留したハロゲン化物を除去することができる電子デバイス製造処理装置及び電子デバイス製造方法を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明に係る電子デバイス製造方法に関し、図1乃至図5を参照しながら説明する。
図1は、本発明の電子デバイス製造方法を実施するための処理装置を示したものである。図2は、図1中の第1のエッチング室1を詳細に示したものである。図3は、図1中のアンモニア(NH3)加熱室を詳細に示したものである。図4は、エッチングのプロセスフローを示したものである。図5は、フッ素の除去能力を4つの条件ごとに示したものである。図6は、電子デバイスを加熱する際の温度の変化とフッ素の除去状態を示したものである。
図1に示す処理装置は、第1のエッチング室1、第2のエッチング室2、アンモニア(NH3)加熱室4、及びカセットロード/アンロード室5が真空搬送室3を中心に設置されている。第1及び第2のエッチング室1、2は、有機物であるフォトレジストマスクを使用して被エッチング材(例えばSi+SiO,SiNが形成されたウェハ)をエッチングするチャンバである(詳細は図2に記載されている)。アンモニア(NH3)加熱室4は、アンモニアガス雰囲気でウェハの加熱を行うことでハロゲン化物を除去するチャンバである。
真空搬送室3は、搬送ロボット6を有しており、この搬送ロボット6により、第1のエッチング室1と、第2のエッチング室2、アンモニア加熱室4及びカセットロード/アンロード室5間のウェハの搬送を行っている。
カセットロード/アンロード室5は、未処理のウェハ10を複数枚収納したカセット、及びエッチング等の処理が終了した処理後のウェハ10を複数枚収納するカセットが設置され、未処理のウェハ10の搬入、及び処理後のウェハ10の搬出を行っている。
ウェハ10の処理の流れとしては、搬送ロボット6が未処理のウェハ10をカセットロード/アンロード室5から取り出し、第1のエッチング室1へ搬入する。第1のエッチング室1では、CF4、CHF3、C4F8、C5F8、C4F6HBR、NF3,Cl2、BCl3、HCl等のハロゲン化物を含有したガスをプラズマ化してエッチングする第1のエッチング処理を行う。この第1のエッチング処理では、エッチング終了後にガスに含まれるハロゲン化物がマスクを含むウェハ10表面に残留する。
第1のエッチング処理が終わると搬送ロボット6により処理済のウェハ10を第1のエッチング室1から搬出し、アンモニア加熱室4へ搬入する。アンモニア加熱室4では、搬入されたウェハ10をアンモニア雰囲気下で加熱し、表面に残留付着しているハロゲン化物とアンモニアを反応させてハロゲン化物を除去する処理を行う。
表面に残留付着していたハロゲン化物が除去されたウェハ10をアンモニア加熱室4から搬出し、第2のエッチング室2へ搬入する。第2のエッチング室2では、第1のエッチング工程と同様に、例えばCF4、CHF3、C4F8、C5F8、C4F6HBR、NF3,Cl2、BCl3、HCl等のハロゲン化物を含有したガスをプラズマ化してエッチングする第2のエッチング処理を行う。第2のエッチング処理が終わると搬送ロボット6により処理済のウェハ10を搬出し、カセットロード/アンロード室5へ搬送して処理を終了する。
次に、ここの処理装置について図面を参照しながら説明する。図2は第1のエッチング室1の詳細を示している。第1のエッチング室1は、上部電極7と下部電極11が対向する位置関係に設置されており、平行平板型のチャンバを構成している。下部電極11の上部電極7と対向する面には、ウエハ10が載置される。下部電極11にはマッチングボックス12を介して高周波電源13が接続されている。また、上部・下部電極7,11間に生じさせるプラズマ密度を大きく、均一化するための永久磁石9を上部、下部電極7,11の間と対応するチャンバ外に設置している。また、第1のエッチング室1には図示しない排気ポンプが接続されており、該エッチング室1を排気可能としている一方、該エッチング室1内にプラズマ化する処理ガス(例えばCF4、CHF3、C4F8、C5F8、C4F6HBR、NF3,Cl2、BCl3、HCl等のハロゲン化物を含有したガス)供給するためのガス供給手段(図示しない)も接続されている。図3はアンモニア加熱室4の詳細を示している。チャンバ25の上部には、アンモニアガスを導入するためのガス導入部17が設置されており、ガス導入部17はチャンバ25の内部上面に設けた拡散部23と接続している。この拡散部23は、細かい穴を多数有するプレートを有し、導入されてきたアンモニアガスを多数の穴から供給することでチャンバ25内の広い範囲に拡散して噴射することができる。拡散部23と対向する位置には、ウエハ10を載置することができるステージ15が配置され、このステージ15は下部に設けたヒータ16によりウエハ10を所望の温度に加熱可能な構成となっている。更に、チャンバ25下部には、チャンバ25内部を減圧及び排気するための排気ポンプ24が設けられている。このような構成のアンモニア加熱室4では、チャンバ25内を減圧した後、アンモニアガスを所定量導入し、ステージ15上に載置されたウエハ10をヒータ16によって250〜350℃にすることでウエハ10表面に残留付着したハロゲン化物の除去を行う。
図4を参照しながら、上述した各装置を利用しての処理プロセスについて説明する。ウエハ10は、シリコンウエハそのものであるウエハ下地21、例えばゲート電極として利用するPoly−Siからなる第1のエッチング材20、絶縁膜として利用する例えばSiNからなる第2のエッチング材19、マスクとして利用する有機物のマスク材からなるフォトレジスト18の順で積み重なった構造をしている。
処理プロセスとしては、先ず、第1及び第2のエッチング材20,19をエッチングするためにフォトレジスト18を露光、現像して所望のパターニングを行う(図4(a))。次に、第1のエッチング室1で第1のエッチング材19をエッチングする。先ず、図示しない排気ポンプにより排気を行なった後、CF4、CHF3、C4F8、C5F8、C4F6HBR、NF3,Cl2、BCl3、HCl等のハロゲン化物を含有した処理ガスを投入して所定の圧力状態とする。続いて、前記高周波電源13により高周波(例えば13.56MHz)を上部・下部電極7,11間にかけてプラズマ8を発生させ、下部電極11上に載置されたウエハ10に対し、プラズマ処理(第1のエッチング工程)を行う。この第1のエッチング工程を行うと、フォトレジスト18を含むウエハ10表面に処理ガスに含まれるハロゲン化物22が残留付着してしまう(図4(b))。第1のエッチング室1で第1のエッチング工程を終えたウエハ10は、搬送ロボット3により第1のエッチング室1から搬出され、真空搬送室3を通ってアンモニア加熱室4に運び込まれる。アンモニア加熱室4ではウエハ10に残留・付着したハロゲン化物22の除去を行う(図4(c))。具体的な工程としては、ウエハステージ15上にウエハ10を載置し、ヒータ16によりウエハ10を例えば250度〜350度に加熱する。そして、ウエハステージ15と対向する位置に設置されているガス導入部17からアンモニアガスを導入し、拡散部23を経由させてチャンバ25内に拡散させながら噴射する。第1のエッチング工程の際に生成されたハロゲン化物は、大気中の水分と反応してコロージョンを発生してしまうが、アンモニア加熱室4内の圧力、温度をハロゲン化水素の飽和蒸気圧曲線よりも圧力、温度の高い領域に設定して処理することにより、生成したフッ酸や塩酸、シュウ酸等を揮発除去させ、コロージョンの発生を抑止している。数値の一例を挙げると、処理チャンバ内の圧力50Pa 、プラズマ処理を行う場合はマイクロ波パワーは1.0kW、ウエハステージ温度250℃、処理時間60sec、ガス流量 50sccm(standard cc/min)の条件下で行う。
アンモニア加熱室4でのハロゲン化物の除去工程の後、ウエハ10は、搬送ロボット3によりアンモニア加熱室4から搬出され、真空搬送室3を通って第2のエッチング室2に運び込まれる。第2のエッチング室2では、フォトレジスト18及びエッチングされてパターニングされた第2のエッチング材をマスクに第1のエッチング材20に対し、第2のエッチング工程が行われる(図4(d))。処理プロセスの内容は、第1のエッチング室1で行った第1のエッチング工程と同様である。この第2のエッチング工程においてハロゲン化物が生成したとしても、その後の工程であるアッシング工程では、通常ウエハ10を250℃程度まで加熱するため、ハロゲン化物は問題ない程度まで除去されるので、コロージョンの発生は抑制される。アッシングにより、加工が終了する(図4(e))。
上述した実施の形態では、第1のエッチング工程と第2のエッチング工程でチャンバが異なっている。このときアンモニア加熱室4でハロゲン化物22を除去する処理を行わず、2つのエッチング工程間の放置時間が長いと第1のエッチング工程終了後、ウエハ10表面に残留・付着したハロゲン化物が大気中の水分と反応してコロージョンが発生してしまうが、本実施の形態では、2つのエッチングの工程間でアンモニア加熱処理を行うことでハロゲン化物を除去し、コロージョン発生を抑えることができる。アンモニア加熱処理の代わりに水蒸気を加熱して処理をすることで、ハロゲン化物の除去を行うことができる。
図5は、ハロゲン化物の一種であるフッ素を異なる条件下で除去した時の除去能力を示したもので、横軸はH2/Arガス加熱処理(H2/Ar Heart Only)、H2/Arガス(H2/Ar (5%))加熱とプラズマ処理、NH3ガス加熱処理(NH3 Heart Only)、NH3ガス(NH3 (100%))加熱とプラズマ処理の場合のそれぞれの項目を示しており、縦軸は、各条件下でハロゲン化物の除去処理を行った後のウエハ10表面をX線光電子分光(X-ray Photo-Electron Spectroscopy:XPS)装置により分析した結果であり、第1のエッチング工程後のフッ素量を1としたときのウエハ表面に残留しているフッ素量を示している。H2/Arガス加熱処理、H2/Arガス加熱+プラズマ処理に関しては比較の為に示している。H2/Arガス雰囲気で加熱のみした場合、フッ素は約70%までしか減少していないが、H2/Arガス加熱に加え、プラズマ処理を施すと、フッ素量は約20%まで減少することが分かる。しかし、プラズマ処理を施すことでフォトレジストマスクが形を崩し、第2のエッチング工程以降でマスクとしての役割を発揮しないという問題が発生する。
一方、NH3ガス雰囲気で250℃加熱することで、ハロゲン化物(この場合はフッ素)は約5%まで除去することができるのに対し、従来技術のようにNH3ガス加熱に加えプラズマ処理を施した場合でも、約4%までしかハロゲン化物の除去量を増やすことはできない。これらの結果、NH3ガス雰囲気加熱のみでもプラズマ処理を施した場合と同等程度までハロゲン化物が除去されていることが分かる。つまり、プラズマ処理を施すことで得られる差分は1%除去率を向上させることだけだが、プラズマ処理を行うと、前述のようにマスクの形が崩れ、以降の処理工程においてマスクとしての役割を発揮できないという不具合を生じることを考えると、加熱処理のみの方が優位である。
図6にH2/Ar雰囲気加熱処理時のハロゲン化物(この場合はフッ素)の除去能力の温度依存性を示す。H2/Ar雰囲気において加熱処理をしたもの、NH3雰囲気において加熱処理をしたもの、H2/Ar雰囲気において加熱処理とプラズマ処理をしたもの、NH3雰囲気において加熱処理とプラズマ処理をしたものの以上4つの条件について示した。縦軸はウエハ10に残ったハロゲン化物の量を示しており、処理前のハロゲン化物の量に対する処理後の量の割合を示したものである。横軸は処理温度である。
この結果から350℃の高温処理でH2/Ar雰囲気、及びNH3雰囲気において加熱のみでプラズマ処理なしでもハロゲン化物が約20%まで除去できる。しかし、350℃まで加熱するとフォトレジストの軟化温度を超えてしまい、レジストの焼けが発生するといった問題を引き起こす。
以上の結果から、250℃でNH3ガス雰囲気加熱処理をすることによりフォトレジストの損傷を極力抑えつつ、ハロゲン化物を効率的に除去することができる。
1 第1のエッチング室1
2 第2のエッチング室2
3 真空搬送室
4 アンモニア加熱室
5 カセットロード/アンロード室、
6 搬送ロボット
7 上部電極
8 プラズマ
9 永久磁石
10 ウエハ
11 下部電極
12 マッチングボックス
13 高周波電源
15 ウエハステージ
16 ヒータ
17 ガス導入部
18 フォトレジストマスク
19 第2のエッチング材
20 第1のエッチング材
21 ウエハ下地
22 ハロゲン化物
25 チャンバ
2 第2のエッチング室2
3 真空搬送室
4 アンモニア加熱室
5 カセットロード/アンロード室、
6 搬送ロボット
7 上部電極
8 プラズマ
9 永久磁石
10 ウエハ
11 下部電極
12 マッチングボックス
13 高周波電源
15 ウエハステージ
16 ヒータ
17 ガス導入部
18 フォトレジストマスク
19 第2のエッチング材
20 第1のエッチング材
21 ウエハ下地
22 ハロゲン化物
25 チャンバ
Claims (4)
- ハロゲン化物を含有したガス雰囲気下でプラズマを生成し、被処理物上に形成された有機物のマスク材を利用してエッチング処理をする第1のエッチング処理工程と、
アンモニア雰囲気下または水蒸気雰囲気下で該第1のエッチング処理後の被処理物を加熱することで、前記第1のエッチング処理工程で前記被処理物表面に残留付着したハロゲン化物を除去するハロゲン化物除去工程と、
前記有機物のマスク材を利用して前記被処理物に対してエッチング処理する第2のエッチング工程と
を有することを特徴とする電子デバイス製造方法。 - 前記ハロゲン化物除去工程は、アンモニア雰囲気下または水蒸気雰囲気下での加熱処理のみであることを特徴とする請求項1記載の電子デバイス製造方法。
- 前記ハロゲン化物除去工程では、前記被処理物を250度〜350度に加熱して処理することを特徴とする請求項1或いは2のいずれかに記載の電子デバイス製造方法。
- 前記ハロゲン化物除去工程は、ハロゲン化水素の飽和蒸気圧曲線よりも高い温度条件下で行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の電子デバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003338560A JP2005109030A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 電子デバイス製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003338560A JP2005109030A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 電子デバイス製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005109030A true JP2005109030A (ja) | 2005-04-21 |
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ID=34534039
Family Applications (1)
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---|---|---|---|
JP2003338560A Pending JP2005109030A (ja) | 2003-09-29 | 2003-09-29 | 電子デバイス製造方法 |
Country Status (1)
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008109136A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Applied Materials Inc | 熱プロセスによってエッチングされた基板からハロゲン残渣を除去するための統合された方法 |
JP2010519521A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 赤外線透過による基板温度測定 |
US9735002B2 (en) | 2006-10-26 | 2017-08-15 | Applied Materials, Inc. | Integrated apparatus for efficient removal of halogen residues from etched substrates |
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2003
- 2003-09-29 JP JP2003338560A patent/JP2005109030A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008109136A (ja) * | 2006-10-26 | 2008-05-08 | Applied Materials Inc | 熱プロセスによってエッチングされた基板からハロゲン残渣を除去するための統合された方法 |
CN102243989A (zh) * | 2006-10-26 | 2011-11-16 | 应用材料股份有限公司 | 通过热处理从所蚀刻的衬底去除卤素残余物的集成方法 |
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JP2010519521A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 赤外線透過による基板温度測定 |
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