JP2005101186A - 積層型半導体集積回路 - Google Patents
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Abstract
【課題】積層型半導体集積回路を小型化するとともに、半導体チップ間および半導体チップと基板との間の信号伝送速度を高速にする。
【解決手段】第一の半導体チップ2および第二の半導体チップ3を、素子面21,31を基板1側に向けて配置する。第一の半導体チップ2に貫通孔23を設け、素子面21の反対面25に配線7を形成する。この配線7と素子面21に形成されたバンプ51とを、貫通孔23を経由して、導電性材料からなる充填物6により接続する。第一の半導体チップ2と基板1をバンプ51と電極11により接続する。第一および第二の半導体チップ2,3間を、第一の半導体チップ1の配線7と、第二の半導体チップ3の素子面31に形成されたバンプ53とにより接続する。
【選択図】 図1
【解決手段】第一の半導体チップ2および第二の半導体チップ3を、素子面21,31を基板1側に向けて配置する。第一の半導体チップ2に貫通孔23を設け、素子面21の反対面25に配線7を形成する。この配線7と素子面21に形成されたバンプ51とを、貫通孔23を経由して、導電性材料からなる充填物6により接続する。第一の半導体チップ2と基板1をバンプ51と電極11により接続する。第一および第二の半導体チップ2,3間を、第一の半導体チップ1の配線7と、第二の半導体チップ3の素子面31に形成されたバンプ53とにより接続する。
【選択図】 図1
Description
この発明は、積層型半導体集積回路(基板上に複数の半導体チップが重ねて配置されている構造の集積回路)に関する。
半導体チップを基板に接続する方法として「フリップチップボンディング」が挙げられる。この方法では、半導体チップの素子面に形成された電極にバンプを形成し、このバンプ側を下に向け、このバンプと基板面のバンプ接続用電極の位置を合わせて、半導体チップを基板上に置き、バンプを加熱溶融させている。
一方、基板上に複数の半導体チップを重ねて配置することにより、小型で高密度な半導体集積回路を得ることが提案されている。例えば、下記の特許文献1には、図7に示すような半導体集積回路が記載されている。
一方、基板上に複数の半導体チップを重ねて配置することにより、小型で高密度な半導体集積回路を得ることが提案されている。例えば、下記の特許文献1には、図7に示すような半導体集積回路が記載されている。
この半導体集積回路はICパッケージであり、基板1上にフリップチップボンディングで、第一の半導体チップ2が接続されている。すなわち、第一の半導体チップ2は素子面21を下側(基板1側)に向けて配置されている。第二の半導体チップ3は、素子面31を上側に向けて、絶縁性接着層9を介して第一の半導体チップ2の上に配置されている。第二の半導体チップ3は、ワイヤ91を用いたボンディングで基板1の電極11と接続されている。また、基板1の上側全体が、第二の半導体チップ3の上面も保護されてワイヤ91も埋まるように、絶縁性樹脂8により封止されている。
このICパッケージによれば、第一および第二の半導体チップの両方が素子面を上側に向けて配置され、共にワイヤボンディングで基板と接続されているICパッケージと比較して、基板の面積を小さくできるとともに、基板と第一の半導体チップとの間の信号伝送速度を高速にできる。
特開2003−51580号公報
しかしながら、上記特許文献1に記載されたICパッケージは、絶縁性接着層9の存在および十分な厚さの絶縁性樹脂8を設けることで厚いものとなるため、小型化の点で改善の余地があるとともに、第二の半導体チップ3と基板1との信号伝送速度を改善することが課題として残されている。
本発明は、これらの課題が解決された積層型半導体集積回路を提供することを目的とする。
本発明は、これらの課題が解決された積層型半導体集積回路を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために、本発明は、基板上に複数の半導体チップが重ねて配置されている構造の積層型半導体集積回路において、全ての半導体チップが素子面を基板側に向けて配置され、最も基板側に配置された半導体チップは、素子面に形成されたバンプにより、基板面に形成された配線と接続され、最も基板から遠い位置に配置された半導体チップを除く全ての半導体チップは、素子面の反対面に配線が形成され、素子面に形成されたバンプと前記配線とが、この半導体チップを厚さ方向に貫通する貫通孔またはこの半導体チップの側面を経由して接続され、直近の半導体チップ間が、基板側に配置された半導体チップの前記配線と、基板から遠い側に配置された半導体チップの素子面に形成されたバンプと、により接続されていることを特徴とする積層型半導体集積回路を提供する。
これによれば、直近の半導体チップ間が最短距離で接続されるため、半導体チップ間で信号の高速伝送が可能になる。また、全ての半導体チップから基板に向けてワイヤボンディングを行う必要がないとともに、直近の半導体チップ間をインターポーザ等を介在させないで接続することができるため、基板の面積を小さくできるとともに、全体の厚さを薄くすることができる。
したがって、本発明の積層型半導体集積回路は、小型であるため高密度実装が可能となり、しかも半導体チップ間とチップ−基板間のいずれにおいても信号の高速伝送が可能となる。
以下、本発明の実施形態について説明する。
この実施形態では、積層型半導体集積回路の一例であるICパッケージについて説明する。
図1に示すように、このICパッケージは、基板1上に、第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3が、この順に重ねて配置されている構造の集積回路である。この基板1の上面(チップが配置される側の面)には、バンプ接続用の電極11を含む配線パターンが形成されている。また、この基板1の下面(チップが配置される側の反対面)には、実装用基板と接続される半田ボール(外部端子)4が形成されている。
この実施形態では、積層型半導体集積回路の一例であるICパッケージについて説明する。
図1に示すように、このICパッケージは、基板1上に、第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3が、この順に重ねて配置されている構造の集積回路である。この基板1の上面(チップが配置される側の面)には、バンプ接続用の電極11を含む配線パターンが形成されている。また、この基板1の下面(チップが配置される側の反対面)には、実装用基板と接続される半田ボール(外部端子)4が形成されている。
第一の半導体チップ2の素子面21および第二の半導体チップ3の素子面31は、基板1側に向けて配置されている。
第一の半導体チップ2は、素子面21に形成されたバンプ51により、基板1面に形成された配線パターンの電極11と接続されている。そして、このバンプ51の位置に、第一の半導体チップ2を厚さ方向に貫通する貫通孔23が形成されている。この貫通孔23内に導電性材料からなる充填物6が配置されている。
第一の半導体チップ2は、素子面21に形成されたバンプ51により、基板1面に形成された配線パターンの電極11と接続されている。そして、このバンプ51の位置に、第一の半導体チップ2を厚さ方向に貫通する貫通孔23が形成されている。この貫通孔23内に導電性材料からなる充填物6が配置されている。
第一の半導体チップ2の裏面(素子面21の反対面)25に、第二の半導体チップ3との接続用の配線7およびバンプ52が形成されている。配線7は貫通孔23の位置からチップ幅方向の内側に向けて延びており、バンプ52はその先端に接触するように形成されている。この配線7と素子面21のバンプ51とが、導電性材料からなる充填物6により、貫通穴23を経由して接続されている。
第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3との接続は、第一の半導体チップ2の裏面25のバンプ52と、第二の半導体チップ3の素子面31のバンプ53とで行われている。また、第一の半導体チップ2と基板1との間、および第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3との間は、絶縁性樹脂8により封止されている。
図2を用いて、第一の半導体チップ2に配線とバンプを形成する工程を説明する。図2に示す各工程は、ウエハの段階で(チップに切り出す前に)行う。
図2を用いて、第一の半導体チップ2に配線とバンプを形成する工程を説明する。図2に示す各工程は、ウエハの段階で(チップに切り出す前に)行う。
先ず、第一の半導体チップ2の裏面(素子面21の反対面)25に、規則的に多数のバンプを形成する。次に、第二の半導体チップ3との接続に使用するバンプ52より外側の所定位置に貫通孔23を開ける。図2(a)はこの状態を示す。貫通孔23の形成は、フォトリソグラフィ工程およびエッチング工程により行うことができる。
次に、この貫通孔23内に導電性材料からなる充填物6を形成する。図2(b)はこの状態を示す。充填物6の形成は、貫通孔23以外のウエハ面をマスクした状態で、スパッタリング法等により金属を貫通孔23内に堆積することで行うことができる。
次に、この貫通孔23内に導電性材料からなる充填物6を形成する。図2(b)はこの状態を示す。充填物6の形成は、貫通孔23以外のウエハ面をマスクした状態で、スパッタリング法等により金属を貫通孔23内に堆積することで行うことができる。
次に、充填物6とバンプ52を接続するように、素子面21の反対面25に配線7を形成する。図2(c)はこの状態を示す。配線7の形成は、フォトリソグラフィ工程およびエッチング工程により行うことができる。
次に、素子面21の充填物6の位置にバンプ51を形成する。図2(d)はこの状態を示す。
次に、素子面21の充填物6の位置にバンプ51を形成する。図2(d)はこの状態を示す。
第二の半導体チップ3の素子面31には、第一の半導体チップ2との接続に使用するバンプ53を形成する。また、基板1には、配線パターンと半田ボール(外部端子)4を予め設けておく。
そして、第一の半導体チップ2を、素子面21を基板1側に向けて基板1上に載せ、バンプ51と電極11を合わせ、バンプ51を加熱溶融させることにより、基板1上に第一の半導体チップ2を接続する。
そして、第一の半導体チップ2を、素子面21を基板1側に向けて基板1上に載せ、バンプ51と電極11を合わせ、バンプ51を加熱溶融させることにより、基板1上に第一の半導体チップ2を接続する。
次に、第二の半導体チップ3を、素子面31を基板1側に向けて第一の半導体チップ2上に載せ、そのバンプ53と第一の半導体チップ2のバンプ52とを合わせ、両バンプ52,53を加熱溶融させる。これにより、第一の半導体チップ2上に第二の半導体チップ3が接続される。
次に、第一の半導体チップ2と基板1との間、および第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3との間を、絶縁性樹脂8により封止する。これにより、図1に示すICパッケージが得られる。
次に、第一の半導体チップ2と基板1との間、および第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3との間を、絶縁性樹脂8により封止する。これにより、図1に示すICパッケージが得られる。
このICパッケージによれば、第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3が最短距離で接続されるため、図7のICパッケージと比較して、二つの半導体チップ間の信号伝送速度が高速になる。また、ワイヤボンディングを行わず、封止のための絶縁性樹脂8を第二の半導体チップ3の上に形成する必要がないため、図7のICパッケージと比較して小型になり、実装密度を高くすることができる。
なお、この実施形態では、第一の半導体チップ2が「最も基板側に配置された半導体チップ」に相当し、第二の半導体チップ3が「最も基板から遠い位置に配置された半導体チップ」に相当する。
また、この実施形態では、第一の半導体チップ2の基板1との接続用のバンプ51を、貫通孔23の充填物6の直下に設けたが、図3に示すように、このバンプ51は貫通孔23からずれた位置に設けてもよい。この例では、第一の半導体チップ2の素子面21にも配線71を形成することにより、貫通孔23よりチップ幅方向内側にバンプ51を設けている。
また、この実施形態では、第一の半導体チップ2の基板1との接続用のバンプ51を、貫通孔23の充填物6の直下に設けたが、図3に示すように、このバンプ51は貫通孔23からずれた位置に設けてもよい。この例では、第一の半導体チップ2の素子面21にも配線71を形成することにより、貫通孔23よりチップ幅方向内側にバンプ51を設けている。
また、上記実施形態では、貫通孔23を経由して素子面21のバンプ51と裏面25の配線7を接続するために、貫通孔23内に導電性材料を充填しているが、図4に示すように、貫通孔23の壁面のみに導電性材料からなる薄膜60を形成してもよい。この例では、第一の半導体チップ2の素子面21にも配線71を形成して、貫通孔23からずれた位置に基板1との接続用のバンプ51を設けている。また、裏面25の配線70および素子面21の配線71とも、貫通孔23の部分は開口部70a,71aとなっている。
また、上記実施形態では、第一の半導体チップ2の素子面21のバンプ51と裏面25の配線7とが、貫通孔23を経由して接続されているが、図5に示すように、第一の半導体チップ2に貫通孔23を設けずに、その側面28を経由して接続されていてもよい。この例では、裏面25の配線7aを側面28に至るまで形成するとともに、素子面21にも側面28からバンプ51に至る配線61aを形成し、これらと連続するように、側面28に導電性材料からなる薄膜61を形成している。
また、三つの半導体チップ2,3A,3Bが、この順に重ねて配置されている構造のICパッケージを図6に示す。三つの半導体チップ2,3A,3Bの素子面は全て、基板1側に向けて配置されている。第一の半導体チップ2と基板1は図1と同じである。第二の半導体チップ3Aには、第一の半導体チップ2と同様に、配線7、貫通孔23、充填物6、およびバンプ51,52が形成されている。そして、第三の半導体チップ3Bの素子面にバンプ54が形成されている。
この例では、第一の半導体チップ2だけでなく第二の半導体チップ3Aも、裏面25の配線7と素子面21のバンプ51とが、導電性材料からなる充填物6により、貫通穴23を経由して接続されている。
また、第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3Aとの接続は、第一の半導体チップ2の裏面25のバンプ52と、第二の半導体チップ3Aの素子面のバンプ51とで行われている。第二の半導体チップ3Aと第三の半導体チップ3Bとの接続は、第二の半導体チップ3Aの裏面のバンプ52と、第三の半導体チップ3Bの素子面のバンプ54とで行われている。第一の半導体チップ2の基板1に対する接続方法は、図1の場合と同じである。
また、第一の半導体チップ2と第二の半導体チップ3Aとの接続は、第一の半導体チップ2の裏面25のバンプ52と、第二の半導体チップ3Aの素子面のバンプ51とで行われている。第二の半導体チップ3Aと第三の半導体チップ3Bとの接続は、第二の半導体チップ3Aの裏面のバンプ52と、第三の半導体チップ3Bの素子面のバンプ54とで行われている。第一の半導体チップ2の基板1に対する接続方法は、図1の場合と同じである。
図6の例では、第一の半導体チップ2が「最も基板側に配置された半導体チップ」に相当し、第三の半導体チップ3Bが「最も基板から遠い位置に配置された半導体チップ」に相当する。
1…基板、11…バンプ接続用の電極(配線)、2…第一の半導体チップ、21…第一の半導体チップの素子面、23…貫通孔、25…第一の半導体チップの裏面(素子面の反対面)、28…側面、3,3A…第二の半導体チップ、3B…第三の半導体チップ、31…第二の半導体チップの素子面、4…半田ボール(外部端子)、51,52,53…バンプ、6…導電性材料からなる充填物、7…素子面と反対面に形成された配線、8…絶縁性樹脂。
Claims (1)
- 基板上に複数の半導体チップが重ねて配置されている構造の積層型半導体集積回路において、
全ての半導体チップが素子面を基板側に向けて配置され、
最も基板側に配置された半導体チップは、素子面に形成されたバンプにより、基板面に形成された配線と接続され、
最も基板から遠い位置に配置された半導体チップを除く全ての半導体チップは、素子面の反対面に配線が形成され、素子面に形成されたバンプと前記配線とが、この半導体チップを厚さ方向に貫通する貫通孔またはこの半導体チップの側面を経由して接続され、
直近の半導体チップ間が、基板側に配置された半導体チップの前記配線と、基板から遠い側に配置された半導体チップの素子面に形成されたバンプと、により接続されていることを特徴とする積層型半導体集積回路。
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JP2008282895A (ja) * | 2007-05-09 | 2008-11-20 | Sanae Murakami | 半導体パッケージ |
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JP2012084838A (ja) * | 2010-10-08 | 2012-04-26 | Universal Global Scientific Industrial Co Ltd | チップスタック構造 |
-
2003
- 2003-09-24 JP JP2003331667A patent/JP2005101186A/ja not_active Withdrawn
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