JP2005099232A - 液晶表示装置用基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 表示領域の横方向に連続した開口部と、同じく横方向に連続した遮光層からなるストライプとが、表示領域の縦方向に繰返し配列され、各遮光層からなるスライプは、所定の線幅の第1 のラインと、第1のラインと同じ線幅を有し第1 のラインよりずれて配置された第2のラインと、第1 のラインと第2 のラインとをつなぐ繋ぎ部とを備えたもので、各遮光層からなるストライプの繋ぎ部は、ストライプの方向と直交する方向に揃えて配されている。
【選択図】 図1
Description
更に詳しくは、図6に示す装置は、ガラス基板630を、感光材面を上にして保持して、X、Y、Z軸方向及びθ方向に微動制御でき、且つ、少なくともX、Y方向の1方向に所定の距離だけステップ移動できるステージと、ガラス基板630上側にマスク(原版)640をマスク面を下にして保持するマスク保持部616と、マスク(原版)640の裏面かガラス基板630側へ露光光を照射するための光源部650(詳細は図6に示す)とを有し、マスク(原版)630の絵柄を等倍にて、露光する位置をずらして複数回、露光転写するための露光装置であり、ステージ610上のガラス基板630と、マスク(原版)640との位置合せを自動で行う自動アライメント機構と、原版の絵柄領域を遮蔽することにより露光領域を制御する露光領域制御機構と、該基板と原版とのギヤップを制御するギヤップ制御機構とを備えている。
また、上記のいずれかに記載の液晶表示装置用基板であって、遮光層からなるストライプのパターニングはフォトリソ法により行なわれたもので、該パターニングのための露光は、ステップ露光方式で、且つ、近接露光(プロキシミティ露光)方式を採り入れた露光法にて、ストライプの方向と直交する方向、所定幅だけ、ストライプの線方向にオーバラップさせて露光したものであることを特徴とするものである。
本発明の液晶表示装置用基板は、このような構成にすることにより、は、ストライプの繋ぎ部に起因する液晶表示装置での局部的なムラやスジが発生しない形態のカラーフィルタ基板の提供を可能としている。
11 基板
15 表示領域(画素領域とも言う)
20 ストライプ
25 繋ぎ部
30 画素
31 R着色画素部
32 G着色画素部
33 B着色画素部
40 着色層
41 R着色層
42 G着色層
43 B着色層
110 原版
111 パターン部
112 遮光部
120 (カラーフィルタ基板用の)基板
121 第1の露光により潜像
121A (第1の露光による)ストライプパターン潜像
122 第2の露光による潜像
122A (第2の露光による)ストライプパターン潜像
125 (第の露光領域と第2の露光領域との)境界部
131、132 マスキングアパーチャ
221 (第1の露光による)ストライプパターン潜像
222 (第2の露光による)ストライプパターン潜像
α1、α2 パターンずれ
Claims (4)
- 液晶表示装置用の基板であって、表示領域の横方向に連続した開口部と、同じく横方向に連続した遮光層からなるストライプとが、表示領域の縦方向に繰返し配列され、各遮光層からなるスライプは、所定の線幅の第1 のラインと、第1のラインと同じ線幅を有し第1 のラインよりずれて配置された第2のラインと、第1 のラインと第2 のラインとをつなぐ繋ぎ部とを備えたもので、各遮光層からなるストライプの繋ぎ部は、ストライプの方向と直交する方向に揃えて配されていることを特徴とする液晶表示装置用基板。
- 請求項1に記載の液晶表示装置用基板であって、表示領域の縦方向に並ぶように開口部に各着色層を配し、且つ、横方向のみに遮光層からなる帯状のストライプを画素の境部に設けて、縦方向に各色の画素を配列させているカラーフィルタ形成基板であることを特徴とする液晶表示装置用基板。
- 請求項2に記載の液晶表示装置用基板であって、横電界方式のもので、着色層は、隣合う遮光層からなるストライプ間に1ヶ所以上の屈曲部を有し、該着色層上に柱状スペーサを有することを特徴とする液晶表示装置用基板。
- 請求項1〜3に記載の液晶表示装置用基板であって、遮光層からなるストライプのパターニングはフォトリソ法により行なわれたもので、該パターニングのための露光は、ステップ露光方式で、且つ、近接露光(プロキシミティ露光)方式を採り入れた露光法にて、ストライプの方向と直交する方向、所定幅だけ、ストライプの線方向にオーバラップさせて露光したものであることを特徴とする液晶表示装置用基板。
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JP2011064736A (ja) * | 2009-09-15 | 2011-03-31 | Nikon Corp | 光学素子の製造方法 |
KR20150055377A (ko) * | 2013-11-13 | 2015-05-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기발광다이오드 표시장치의 제조방법 |
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