CN107272325B - 光罩及基于该光罩的曝光方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开一种光罩及基于该光罩的曝光方法。所述光罩在其显示开口区设置有显示屏，所述显示屏用于根据接收到的电驱动信号控制显示开口区的光透过率。基于此，本发明能够避免同一图案区域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸图案的制造。

Description

光罩及基于该光罩的曝光方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及曝光技术领域，尤其涉及一种光罩(Mask)及基于该光罩的曝光方法。

背景技术

当前，为了在较大面积的基板上形成预定图案，需要进行多次光罩制程。以图1所示的两次光罩制程为例，在第一次光罩制程后，基板10上形成有与光罩11的第一显示开口区111和第二显示开口区112相对应的图案101、102，然后移动光罩11。为了满足图案设计需求，需要将第二显示开口区112与基板10的预定区域103对齐，而此时光罩11的第一显示开口区111与图案102的所在区域相重叠，这无疑会使得图案102的所在区域在第二次光罩制程中被再次曝光。这种同一图案区域的多次曝光现象容易导致最终所制得的图案不符合生产要求，例如该区域的图案厚度较小，从而不利于大尺寸图案的制造。

发明内容

鉴于此，本发明提供一种光罩及基于该光罩的曝光方法，能够避免同一图案区域被多次曝光，有利于大尺寸图案的制造。

本发明一实施例的光罩，包括显示开口区和遮挡区，所述光罩在显示开口区设置有显示屏，所述显示屏用于根据接收到的电驱动信号控制所述显示开口区的光透过率。

本发明一实施例的曝光方法，包括：

提供一光罩，所述光罩的显示开口区设置有显示屏；

基于光罩进行光罩制程；

移动光罩，且所述光罩在移动前后具有重叠区域，所述显示开口区位于所述重叠区域内；

对显示屏施加电驱动信号，以使显示屏根据接收到的电驱动信号控制所述显示开口区的光透过率为零；

基于移动后的光罩继续进行光罩制程。

有益效果：本发明设计在光罩的显示开口区设置显示屏，通过显示屏控制该显示开口区的光透过率，能够避免同一图案区域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸图案的制造。

附图说明

图1是基于现有技术的光罩进行两次光罩制程的场景示意图；

图2是本发明的光罩一实施例的结构示意图；

图3是基于图2所示光罩进行两次光罩制程的场景示意图；

图4是本发明的曝光方法一实施例的流程示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明所提供的各个示例性的实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。在不冲突的情况下，下述各个实施例及其技术特征可以相互组合。

图2是本发明一实施例的光罩的结构示意图。如图2所示，本实施例的光罩20可以为板体结构，其包括两个显示开口区以及除两个显示开口区之外的遮挡区22，所述两个显示开口区分别为上下排布的第一显示开口区211和第二显示开口区212。在光罩制程中，遮挡区22用于阻挡光透过，显示开口区允许光透过，以对位于其正下方的区域进行曝光，从而便于后续在该曝光区域形成预定图案。

与图1所示光罩11不同的是，本实施例的光罩20在至少一个显示开口区设置有显示屏23，该显示屏23用于接收电驱动信号，并根据电驱动信号控制显示开口区的光透过率。以第一显示开口区211设置有显示屏23为例，显示屏23包括但不限于液晶显示屏(LiquidCrystal Display,LCD)，第一显示开口区211可以与显示屏23的有效显示区域(ActiveArea)231重叠，或者，沿垂直于光罩20的视线方向，第一显示开口区211的正投影落于显示屏23的有效显示区域231内。

基于显示屏23一般包括有效显示区域231以及围设于有效显示区域231周围的非显示区域232，因此，本实施例可以将非显示区域232与光罩20的遮挡区22固定，以此将显示屏23固定于光罩20的显示开口区。其中，显示屏23可以基于内嵌方式设置于光罩20的第一显示开口区211，当然本实施例也可以采用胶黏贴等方式将显示屏23贴附于第一显示开口区211，并且为了确保曝光区域的精确，本实施例可以将显示屏23贴附于光罩20背向所要形成图案的一侧。

进一步地，本实施例的显示屏23以可拆卸方式设置于第一显示开口区211。当需要对光罩20的其他显示开口区，例如第二显示开口区212，进行光透过率调节时，本实施例可以将显示屏23从第一显示开口区211拆下，并将其安装于第二显示开口区212。

下面以图3所示的两次光罩制程为例，介绍基于本实施例的光罩20形成曝光图案的原理及过程。

第一次光罩制程

首先，将光罩20紧贴于基板30的正上方，使得第一显示开口区211和第二显示开口区212分别与基板30的第一预定区域31和第二预定区域32对齐。然后，对显示屏23施加电驱动信号，显示屏23根据电驱动信号控制自身液晶偏转以允许光透过，以使得第一显示开口区211允许光透过。接着，从光罩20背向基板30的一侧对基板30进行曝光，光线透过第一显示开口区211和第二显示开口区212，并分别对第一预定区域31和第二预定区域32进行曝光，从而能够在第一预定区域31和第二预定区域32分别形成第一子图案和第二子图案。

第二次光罩制程

移动光罩20，使得第二显示开口区212与基板30的第三预定区域33对齐，此时光罩20在移动前后具有重叠区域，而第一显示开口区211位于该重叠区域内，并与基板30的第二预定区域32对齐。然后，对显示屏23施加电驱动信号，显示屏23根据电驱动信号控制自身液晶偏转以阻挡光透过，此时显示屏23的光透过率为零，第一显示开口区211不允许光透过。接着，从光罩20背向基板30的一侧对基板30进行曝光，光线仅透过第二显示开口区212，并对第三预定区域33进行曝光，从而能够在第三预定区域33形成第三子图案。

在第二次光罩制程中，由于显示屏23的光透过率为零，光线无法从第一显示开口区211透过，因此第二预定区域32没有被再次曝光，由此可见，本实施例通过显示屏23控制光罩20的显示开口区的光透过率，能够避免同一图案区域在多次光罩制程中被多次曝光，有利于大尺寸图案的制造。

应理解，本发明其他实施例可以在光罩20的每一个显示开口区均设置显示屏23，例如图2所示的第二显示开口区212也设置有显示屏23。另外，光罩20的材料可参阅现有技术，此处不予以赘述。

请参阅图4，为本发明一实施例的曝光方法。所述曝光方法包括：

S41：提供一光罩，光罩的显示开口区设置有显示屏。

S42：基于光罩进行光罩制程。

S43：移动光罩，且所述光罩在移动前后具有重叠区域，所述显示开口区位于所述重叠区域内。

S44：对显示屏施加电驱动信号，以使显示屏根据接收到的电驱动信号控制所述显示开口区的光透过率为零。

S45：基于移动后的光罩继续进行光罩制程。

本实施例的曝光方法可以基于具有上述实施例结构的光罩20，因此具有与其相同的有益效果。

另外，对于包含两次光罩制程的曝光方法，本实施例在步骤S45之后，可以继续执行步骤S43～S45，直至得到预定图案。

需要说明，以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，例如各实施例之间技术特征的相互结合，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (1)

1.一种曝光方法，其特征在于，所述曝光方法包括：

提供一光罩，所述光罩包括两个显示开口区，其中一个所述显示开口区设置有显示屏；

基于所述光罩进行光罩制程；

移动所述光罩，且所述光罩在移动前后具有重叠区域，所述设置有所述显示屏的显示开口区位于所述重叠区域内；

对所述显示屏施加电驱动信号，以使所述显示屏根据接收到的电驱动信号控制所述显示开口区的光透过率为零；其中，所述显示屏根据所述电驱动信号控制自身液晶偏转；

基于移动后的光罩继续进行光罩制程；

其中，所述显示开口区与所述显示屏的有效显示区域重叠，或者所述显示开口区的正投影落于所述显示屏的有效显示区域内；所述显示屏基于内嵌方式设置于所述光罩的显示开口区；或所述显示屏以可拆卸方式贴附于所述光罩的显示开口区，且所述显示屏贴附于所述光罩背向其所要形成图案的一侧。

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