JP2005098798A - 薄膜ガスセンサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属酸化物半導体の薄膜からなり、金属薄膜からなる電極3を備えたガス感応部2が絶縁体薄膜1上に形成されてなる薄膜ガスセンサにおいて、前記電極3の前記ガス感応部2に隣接する部分(接合層)を前記金属酸化物半導体の成分金属(第1の金属)と他の金属(第2の金属)(薄膜31)との金属間化合物Kからなるようにする。
【選択図】 図1
Description
前記第1の金属はSnであり、前記第2の金属はNiまたはAuであると良い。
実施例1
図1は本発明に係る薄膜ガスセンサの断面図であり、(a)は製造時の金属間化合物の形成前であり、(b)は金属間化合物の形成後である。
実施例2
構成は実施例1と同じである(図1)が、第2の金属としてAu、電極構成層にPtを用いた。
実施例3
図2は本発明に係る他の薄膜ガスセンサの断面図であり、(a)は製造時の金属間化合物の形成前であり、(b)は金属間化合物の形成後である。
実施例4
実施例3の構成において、第2の金属としてAu、電極構成層にはPtを用いた。
実施例5
図3は本発明に係る別の薄膜ガスセンサの断面図であり、(a)は製造時の金属間化合物の形成前であり、(b)は金属間化合物の形成後である。
2 ガス感応部
3 電極
31 (金属)薄膜
32 (金属)薄膜
33 (金属)薄膜
K 接合層
Claims (6)
- 金属酸化物半導体の薄膜からなり、金属薄膜からなる電極を備えたガス感応部が絶縁体薄膜上に形成されてなる薄膜ガスセンサにおいて、前記電極の前記ガス感応部に隣接する部分(接合層)は前記金属酸化物半導体の成分金属(第1の金属)と他の金属(第2の金属)との金属間化合物からなることを特徴とする薄膜ガスセンサ。
- 前記第1の金属はSnであり、前記第2の金属はNiまたはAuであることを特徴とする請求項1に記載の薄膜ガスセンサ。
- ガス感応部用の金属酸化物半導体薄膜形成工程および電極用の金属薄膜形成工程がこの順あるいは逆順で行われる薄膜ガスセンサの製造方法において、前記金属薄膜形成工程では前記ガス感応部に隣接するような順に前記第2の金属の薄膜形成が行われることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜ガスセンサの製造方法。
- ガス感応部用の金属酸化物半導体薄膜形成工程および電極用の金属薄膜形成工程がこの順で行われる薄膜ガスセンサの製造方法において、前記電極用の金属薄膜形成工程の前にH2ガス雰囲気中での熱処理工程が行なわれることを特徴とする請求項3に記載の薄膜ガスセンサの製造方法。
- ガス感応部用の金属酸化物半導体薄膜形成工程および電極用の金属薄膜形成工程がこの順あるいは逆順で行われる薄膜ガスセンサの製造方法において、前記金属薄膜形成工程では前記ガス感応部に隣接するようにSnの薄膜形成および前記第2の金属の薄膜形成がこの順あるいは逆順で行われることを特徴とする請求項1または2に記載の薄膜ガスセンサの製造方法。
- ガス感応部用の金属酸化物半導体薄膜形成工程および電極用の金属薄膜形成工程がこの順あるいは逆順で行われる薄膜ガスセンサの製造方法において、前記2つの薄膜形成工程の後、熱処理工程が行なわれ金属間化合物が形成されることを特徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載の薄膜ガスセンサの製造方法。
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JP2003331868A JP2005098798A (ja) | 2003-09-24 | 2003-09-24 | 薄膜ガスセンサおよびその製造方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007057254A (ja) * | 2005-08-22 | 2007-03-08 | Fuji Electric Fa Components & Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサおよびその製造方法 |
US20140209983A1 (en) * | 2013-01-31 | 2014-07-31 | Sensirion Ag | Integrated metal oxide chemical sensor |
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2003
- 2003-09-24 JP JP2003331868A patent/JP2005098798A/ja not_active Withdrawn
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