JP2005096039A - 静電容量式可動構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】全体の寸法を大きくせずにマス部の変位量を大きくする。
【解決手段】ビーム部3は幅細の薄い帯状であって、マス部2の厚み方向からみた形状が正方形の渦巻き状に形成され、外側の一端がマス部2の凹所2aに臨む端縁に連結されるとともに、内側の他端が凹所2a内に配設されている支持部4に連結される。故に、一対のビーム部3が配設される領域の可動構造体1全体に占める割合が従来例に比較して相対的に低いにもかかわらずビーム部3の長さ寸法を伸ばしてマス部2の変位量を大きくすることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】ビーム部3は幅細の薄い帯状であって、マス部2の厚み方向からみた形状が正方形の渦巻き状に形成され、外側の一端がマス部2の凹所2aに臨む端縁に連結されるとともに、内側の他端が凹所2a内に配設されている支持部4に連結される。故に、一対のビーム部3が配設される領域の可動構造体1全体に占める割合が従来例に比較して相対的に低いにもかかわらずビーム部3の長さ寸法を伸ばしてマス部2の変位量を大きくすることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、加速度センサ、角速度センサ、圧力センサなどの静電容量式センサや静電力を利用して接点を開閉するスイッチあるいはリレーなどに用いられる静電容量式可動構造に関するものである。
従来より、加速度や角速度のような物理量を可動電極と固定電極の間の静電容量によって検出する静電容量式センサや、電極間にはたらく静電力を利用して可動接点と固定接点を接離するスイッチやリレーが種々提案されている。
図4は従来の静電容量式加速度センサに用いられる静電容量式可動構造の一例を示す平面図である(特許文献1参照)。この加速度センサは、円柱状の支持部30と、支持部30に外挿される円筒形のマス部31と、平面視略円弧形に形成されて一端が支持部30に連結されるとともに他端がマス部31に連結されて撓み自在にマス部31を支持する複数のビーム部32と、マス部31の外周面に設けられた可動電極(図示せず)と、可動電極と対向する固定電極(図示せず)とからなる静電容量式可動構造を備えている。
而して、加速度が印加されるとマス部31が変位して可動電極と固定電極の間のギャップが変化することから、固定電極と可動電極の間の静電容量も変化し、その容量変化を図示しない外部回路で測定するにより加速度の印加方向およびその大きさが検出できる。
特開平9−145740号公報
ところで、静電容量式センサで物理量(上記従来例であれば、加速度)の検出感度を高くするには、物理量に対するマス部の変位量を大きくすればよい。しかしながら、上記従来例における静電容量式可動構造では、複数のビーム部32が配設される領域が可動構造全体に占める割合が比較的に高いため、ビーム部32の長さを長くするには可動構造全体を大型化しなければならず、可動構造全体の寸法を大きくせずにマス部31の変位量を大きくすることは困難であった。
本発明は上記事情に鑑みて為されたものであり、その目的は、全体の寸法を大きくしなくてもマス部の変位量を大きくすることが可能な静電容量式可動構造を提供することにある。
請求項1の発明は、上記目的を達成するために、固定電極と、固定電極に対向する可動電極と、扁平な板状に形成されて可動電極を支持するマス部と、撓み自在の形状に形成されて一端がマス部に連結される一対のビーム部と、ビーム部の他端に連結されビーム部を介してマス部を揺動自在に支持する支持部とを備え、ビーム部は、マス部の厚み方向からみた形状が正方形の渦巻き状に形成されたことを特徴とする。
この発明によれば、一対のビーム部が配設される領域の全体に占める割合が従来例に比較して相対的に低いにもかかわらずビーム部の長さ寸法を伸ばしてマス部の変位量を大きくすることができ、しかも、ビーム部が正方形に形成されているから、正方形の各辺に平行な方向におけるマス部の変位量をほぼ等しくすることができる。
請求項2の発明は、請求項1の発明において、マス部とともに揺動する可動接点と、可動接点と対向する固定接点とを備え、固定電極と可動電極の間にはたらく静電力でマス部が揺動することにより可動接点を固定接点に接触および開離させてなることを特徴とする。
この発明によれば、ビーム部の長さ寸法を伸ばしてマス部の変位量を大きくすることができるから、固定電極と可動電極の間に印加する駆動電圧を低下して感度アップの図れるスイッチやリレーが実現できる。
本発明によれば、一対のビーム部が配設される領域の全体に占める割合が従来例に比較して相対的に低いにもかかわらずビーム部の長さ寸法を伸ばしてマス部の変位量を大きくすることができ、しかも、ビーム部が正方形に形成されているから、正方形の各辺に平行な方向におけるマス部の変位量をほぼ等しくすることができるという効果がある。
図1は本実施形態の静電容量式可動構造体1を示し、同図(a)は平面図、同図(b)は同図(a)におけるA−A線断面矢視図である。
マス部2は、平面視略エ字形の扁平な板状に形成され、中央の各凹所2a内にそれぞれビーム部3が配設されている。ビーム部3は幅細の薄い帯状であって、図1(a)に示すようにマス部2の厚み方向(図1(b)における上下方向)からみた形状が正方形の渦巻き状に形成され、外側の一端がマス部2の凹所2aに臨む端縁に連結されるとともに、内側の他端が凹所2a内に配設されている支持部4に連結される。支持部4は円柱状に形成され、ガラスなどの絶縁体からなる台座5の表面(図1(b)における上面)に一端側で接合されている。従って、台座5に固定された支持部4により、撓み自在のビーム部3を介してマス部2が揺動自在に支持されることになる。尚、本実施形態の静電容量式可動構造体1は、半導体基板(例えば、シリコン基板)をエッチングなどの微細加工により加工することで形成される
本実施形態の静電容量式可動構造体1を加速度センサや角速度センサに利用する場合、図2に示すように櫛歯状の可動電極6をマス部2の周縁部に形成し、同じく櫛歯状に形成された固定電極(図示せず)と可動電極6を互い違いに並べて対向させればよい。すなわち、加速度又は角速度が印加されることでマス部2が揺動して変位し、その変位量に応じて固定電極と可動電極6の間のギャップが変化して両電極間の静電容量も変化するから、その静電容量の変化の大きさを測定することで印加された加速度や角速度の方向と大きさが検出できるのである。但し、このような加速度や角速度の検出原理は従来の静電容量式センサと共通であるから詳細な説明は省略する。
本実施形態の静電容量式可動構造体1を加速度センサや角速度センサに利用する場合、図2に示すように櫛歯状の可動電極6をマス部2の周縁部に形成し、同じく櫛歯状に形成された固定電極(図示せず)と可動電極6を互い違いに並べて対向させればよい。すなわち、加速度又は角速度が印加されることでマス部2が揺動して変位し、その変位量に応じて固定電極と可動電極6の間のギャップが変化して両電極間の静電容量も変化するから、その静電容量の変化の大きさを測定することで印加された加速度や角速度の方向と大きさが検出できるのである。但し、このような加速度や角速度の検出原理は従来の静電容量式センサと共通であるから詳細な説明は省略する。
また、本実施形態の静電容量式可動構造体1を利用したスイッチ又はリレーの構造を図3に示す。可動構造体1は矩形枠状のフレーム部10の内側に配置され、可動構造体1並びにフレーム部10の両側に絶縁体からなる矩形板状の台座5,11がそれぞれ接合される。マス部2の台座5と対向する面の端部にシート状の可動電極12が設けられ、台座5には可動電極12と対向するシート状の固定電極13が設けられている。また、マス部2の台座11と対向する面の他端部にシート状の可動接点14が設けられ、台座11には可動接点14と対向する一対のシート状の固定接点15が設けられている。すなわち、固定電極13と可動電極12の間に電圧を印加すれば、両電極12,13間にはたらく静電力によってマス部2が揺動して可動電極12が固定電極13に近付く向きに変位するから、マス部2の他端部に設けられている可動接点14が台座11に設けられている固定接点15と接触してスイッチ又はリレーがオンし、電極12,13間への電圧印加を停止すれば、電極12,13間に静電力がはたらかなくなってマス部2が元の位置に変位するから、可動接点14が固定接点15から開離してスイッチ又はリレーがオフするのである。
而して、本実施形態の静電容量式可動構造体1は、ビーム部3がマス部2の厚み方向からみた形状が正方形の渦巻き状に形成されているので、一対のビーム部3が配設される領域の可動構造体1全体に占める割合が従来例に比較して相対的に低いにもかかわらずビーム部3の長さ寸法を伸ばしてマス部2の変位量を大きくすることができる。そのため、加速度センサや角速度センサなどの静電容量式センサに利用した場合には物理量の検出感度を高めることができ、スイッチ又はリレーに利用した場合には駆動電圧(固定電極13と可動電極12の間に印加する電圧)の低下による感度アップが図れる。しかも、ビーム部3が正方形に形成されているから、正方形の各辺に平行な方向(2次元直交座標系のx軸方向およびy軸方向)におけるマス部2の変位量をほぼ等しくすることができる。尚、本実施形態では2つのビーム部3でマス部2を支持する構造としているため、1つのビーム部3で支持する構造に比較して振動によるマス部2の不用意な変位に対する安定性が増すという利点がある。
1 静電容量式可動構造体
2 マス部
3 ビーム部
4 支持部
5 台座
2 マス部
3 ビーム部
4 支持部
5 台座
Claims (2)
- 固定電極と、固定電極に対向する可動電極と、扁平な板状に形成されて可動電極を支持するマス部と、撓み自在の形状に形成されて一端がマス部に連結される一対のビーム部と、ビーム部の他端に連結されビーム部を介してマス部を揺動自在に支持する支持部とを備え、ビーム部は、マス部の厚み方向からみた形状が正方形の渦巻き状に形成されたことを特徴とする静電容量式可動構造。
- マス部とともに揺動する可動接点と、可動接点と対向する固定接点とを備え、固定電極と可動電極の間にはたらく静電力でマス部が揺動することにより可動接点を固定接点に接触および開離させてなることを特徴とする請求項1記載の静電容量式可動構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003334234A JP2005096039A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 静電容量式可動構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003334234A JP2005096039A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 静電容量式可動構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005096039A true JP2005096039A (ja) | 2005-04-14 |
Family
ID=34462005
Family Applications (1)
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JP2003334234A Withdrawn JP2005096039A (ja) | 2003-09-25 | 2003-09-25 | 静電容量式可動構造 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2005096039A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008218024A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロリレー |
-
2003
- 2003-09-25 JP JP2003334234A patent/JP2005096039A/ja not_active Withdrawn
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JP2008218024A (ja) * | 2007-02-28 | 2008-09-18 | Matsushita Electric Works Ltd | マイクロリレー |
JP4720760B2 (ja) * | 2007-02-28 | 2011-07-13 | パナソニック電工株式会社 | マイクロリレー |
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