JP2005093851A - 熱処理ユニット収納棚およびそれを備えた基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ベークボックス400においては、互いに間隔をおいて略水平に配置された複数のボックス仕切り板410と、そのボックス仕切り板410を支持する支柱P1,P2,P3とにより複数の収納スペースが形成される。また、収納スペースの少なくとも一側面側には側壁420が設けられ、他の少なくとも一側面側には側壁が設けられない。
【選択図】 図4
Description
202 加熱部
300 ローカル搬送機構
400 ベークボックス
410 ボックス仕切り板
420,421 側壁
430 開口部
CR2 第2のセンターロボット
P1,P2,P3 支柱
PHP 熱処理ユニット
SH シャッタ
HP ホットプレート
CP クールプレート
AHL 密着強化剤塗布処理部
FL1,2,3,4,5,6,11,12,13,14,15,16 ダウンフロー
Claims (6)
- 基板に所定の熱処理を行う複数の熱処理ユニットを収納するための熱処理ユニット収納棚であって、
互いに間隔をおいて略水平に配置された複数の仕切り部材と、
前記複数の仕切り部材間に複数の収納スペースを形成するように前記複数の仕切り部材を支持する支持部材と、
前記収納スペースの少なくとも一側面側に側壁とを備え、
前記収納スペースの他の少なくとも一側面側が開放状態とされたことを特徴とする熱処理ユニット収納棚。 - 前記側壁に前記収納スペースと外部とを連通させる開口部が設けられたことを特徴とする請求項1記載の熱処理ユニット収納棚。
- 前記開口部に開閉自在に設けられたシャッタをさらに備えたことを特徴とする請求項2記載の熱処理ユニット収納棚。
- 請求項2〜4のいずれかに記載の熱処理ユニット収納棚と、
前記熱処理ユニット収納棚の収納スペースに収納される複数の熱処理ユニットとを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記側壁で隔てられた前記収納スペースとは反対側の領域に設けられ、前記複数の熱処理ユニットに対して基板を前記開口部を介してそれぞれ搬入出する搬送手段をさらに備えるとともに、
前記複数の熱処理ユニットは、前記搬送手段によって搬入出された基板が載置される受け渡し部と、基板を加熱処理する加熱部と、前記受け渡し部と加熱部との間で基板を搬送するローカル搬送手段とをそれぞれ備え、
前記開放状態の一側面が前記ローカル搬送手段の搬送領域側に設けられていることを特徴とする請求項4記載の基板処理装置。 - 前記搬送手段の搬送領域および前記ローカル搬送手段の搬送領域にそれぞれダウンフローが供給されることを特徴とする請求項5記載の基板処理装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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