JP2005093721A - 半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法、その方法を用いた半導体装置および低誘電率絶縁膜形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板上1にCVD膜2を形成し、真空容器内にCVD膜2が形成された基板1を載置してアルゴン/水素の比を250/500に設定した混合ガスを流し、真空容器内の圧力を2.0Torrに設定し、マイクロ波励起によって高密度プラズマを発生させ、プラズマに含まれる水素ラジカルによって基板1上のCVD膜2を膨張させてCVD膜の誘電率を低下させる。
【選択図】 図3
Description
好ましくは、膜の分子構造は、CH3−Si−O結合を有し、Si−O間の原子間距離が拡大されている。
Claims (9)
- 化学蒸着法(CVD)で堆積した膜の形成された基板を反応容器内に搬入する工程と、
前記反応容器内に水素成分を含むガスを流し、水素ラジカルを含むプラズマを発生させる工程と、
前記プラズマに含まれる水素ラジカルによって前記基板上に堆積された膜を膨張させて、この膜の誘電率を低下させる工程とを備える、半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法。 - 前記膜を膨張させる工程は、前記膜を構成する原子間距離の短い分子間結合を原子間距離の長い分子間結合に置換することを含む、請求項1に記載の半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法。
- 前記膜を膨張させる工程は、前記膜を構成する分子間結合に含まれるある分子を飛ばしてラダー型分子構造にすることを含む、請求項1に記載の半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法。
- 前記膜を膨張させる工程は、前記膜を構成するある分子中における水酸基の結合と、別の分子におけるメチル基の結合を切断し、切断した水酸基のH成分とメチル基とを結合させてメタン成分として飛散させ、前記水酸基のO成分を残すことを含む、請求項1ないし3のいずれかに記載の半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法。
- 前記プラズマを発生する工程は、マイクロ波に基づいて前記反応容器内に均一な電界を分布させて高密度プラズマを発生することを含む、請求項1に記載の半導体装置の低誘電率絶縁膜形成方法。
- 基板と、
前記基板上に化学蒸着法(CVD)で堆積され、プラズマに含まれる水素ラジカルによって処理されることにより全体が膨張し低誘電率になっている膜とを備える、半導体装置。 - 前記膜の低下された誘電率は、2.2〜2.3である、請求項6に記載の半導体装置。
- 前記膜の分子構造は、CH3−Si−O結合を有し、Si−O間の原子間距離が拡大されている、請求項6に記載の半導体装置。
- 膜が形成された基板が搬入される反応容器と、
前記反応容器内に水素成分を含むガスを導入するガス導入手段と、
前記ガスが導入された反応容器内で水素ラジカルを含むプラズマを発生させるプラズマ発生手段と、
前記反応容器内の圧力と、前記プラズマ発生手段から発生される水素ラジカルの密度および時間を制御して、前記基板上に堆積された膜を膨張させて低誘電率にする膜膨張手段とを備える、低誘電率絶縁膜形成装置。
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