JP2005093482A - 薄膜コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 下部電極と上部電極間の耐圧が高く、且つ、両者間の短絡の生じない薄膜コンデンサを提供する。
【解決手段】 本発明の薄膜コンデンサにおいて、下部電極2の上面2aには、第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aが形成され、この上方薄膜部3a上に形成された第2の誘電体膜4の上方膜部4aには、傾斜面を設けることによって、上部電極6は、上方薄膜4aの端部と第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aとに接する部分が低くなるので、この部分と下部電極2の上面2aとの間に発生する電界の集中が緩和され、従って、第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aには、上部電極6からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極2と上部電極6間の耐圧が高くなると共に、下部電極2と上部電極6間の短絡を無くすることができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 本発明の薄膜コンデンサにおいて、下部電極2の上面2aには、第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aが形成され、この上方薄膜部3a上に形成された第2の誘電体膜4の上方膜部4aには、傾斜面を設けることによって、上部電極6は、上方薄膜4aの端部と第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aとに接する部分が低くなるので、この部分と下部電極2の上面2aとの間に発生する電界の集中が緩和され、従って、第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aには、上部電極6からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極2と上部電極6間の耐圧が高くなると共に、下部電極2と上部電極6間の短絡を無くすることができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は電圧制御発振器等からなる電子ユニット等に使用して好適な薄膜コンデンサに関する。
図3は従来の薄膜コンデンサの要部の拡大断面図であって、従来の薄膜コンデンサの構成を図3に基づいて説明すると、アルミナ基板などからなる基板51の上面51aには、銅や銅合金等の金属材からなる下部電極52が薄膜によって形成されている。
また、酸化シリコン等から成る第1の誘電体薄膜53は、下部電極52の上面52aを覆う上方薄膜部53aと、下部電極52の両端面52b、52cのそれぞれを覆う側方薄膜部53b、53cを有し、この第1の誘電体薄膜53によって、下部電極52の外表面を覆った状態となっている。
第2の誘電体膜54は、アクリル系樹脂やフッ素系樹脂等の絶縁材からなり、この第2の誘電体膜54は、第1の誘電体薄膜53の第1の段差部である側方薄膜部53b、及びこの側方薄膜部53bの近傍に位置する上方薄膜部53aを覆うように形成されている。
そして、第2の誘電体膜54は、第1の誘電体薄膜部53の上方薄膜部53aに対して垂直な端面部54aを有し、上方薄膜部53a上に形成された同じ膜厚からなる上方膜部54bと、第1の誘電体薄膜53の側方薄膜部53bを覆う側方膜部54cを有する。
また、第3の誘電体膜55は、アクリル系樹脂やフッ素系樹脂等の絶縁材からなり、この第3の誘電体膜55は、第1の誘電体薄膜53の第2の段差部である側方薄膜部53c、及びこの側方薄膜部53cの近傍に位置する上方薄膜部53aを覆うように形成されている。
そして、第3の誘電体膜55は、第1の誘電体薄膜部53の上方薄膜部53aに対して垂直な端面部55aを有し、上方薄膜部53a上に形成された同じ膜厚からなる上方膜部55bと、第1の誘電体薄膜53の側方薄膜部53cを覆う側方膜部55cを有する。
銅や銅合金等の金属材からなる薄膜の上部電極56は、下部電極52と対向した状態で、第1の誘電体薄膜53上と,第2,第3の誘電体膜54上,55上、及び基板51の上面51a上に跨って形成されている。(例えば、特許文献1参照)
このような構成を有する従来の薄膜コンデンサは、下部電極52のエッジ部52dにおける第1の誘電体薄膜53の膜厚が薄くなって、この薄い部分の耐圧が低下するが、この段差部に第2,第3の誘電体膜54,55を設けることによって、耐圧の低下を防止している。
しかし、第2,第3の誘電体膜54,55の上方膜部54b、55bは、同じ膜厚で形成されると共に、その端面部54a、55aは、第1の誘電体薄膜部53の上方薄膜部53aに対して垂直な状態で配置されている。
その結果、上部電極56にプラス電圧を印加すると共に、下部電極52にマイナス電圧を印加して、長時間負荷テストを行うと、端面部54a、55aを含むその近傍において、電界強度が集中して、端面部54a、55aを含むその近傍に位置する第1の誘電体薄膜53の上方薄膜部53aには、上部電極56からの銅イオンの移行(マイグレーション)が著しくなって、下部電極52と上部電極56間の耐圧が低下したり、或いは、下部電極52と上部電極56間が短絡を生じたりする。
従来の薄膜コンデンサは、第2,第3の誘電体膜54,55の上方膜部54b、55bの端面部54a、55aが第1の誘電体薄膜53の上方薄膜部53aに対して垂直な状態で配置されているため、上部電極56は、端面部54a、55aと上方薄膜部53aとに接する部分が高い状態で直角な角部となるので、この角部とその近傍の下部電極52との間に電界が集中して、端面部54a、55aの近傍に位置する第1の誘電体薄膜53の上方薄膜部53aには、上部電極56からの銅イオンの移行(マイグレーション)が著しくなって、下部電極52と上部電極56間の耐圧が低下したり、或いは、上方薄膜部53aの絶縁を破壊して、下部電極52と上部電極56間が短絡を生じたりするという問題がある。
そこで、本発明は下部電極と上部電極間の耐圧が高く、且つ、両者間の短絡の生じない薄膜コンデンサを提供することを目的とする。
上記課題を解決するための第1の解決手段として、基板上に設けられた下部電極と、この下部電極の上面、及び前記下部電極の少なくとも一つの端面に跨って形成された第1の誘電体薄膜と、この第1の誘電体薄膜の段差部を覆うように、前記第1の誘電体薄膜上に形成された第2の誘電体膜と、前記下部電極に対向した状態で、前記第1の誘電体薄膜上と前記第2の誘電体膜上に形成された上部電極とを備え、前記第1の誘電体薄膜は、前記下部電極の前記上面に形成された上方薄膜部と、前記下部電極の前記端面に形成された側方薄膜部を有し、前記第2の誘電体膜は、前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に位置する上方膜部と、前記第1の誘電体薄膜の前記側方薄膜部に位置する側方膜部を有し、前記上部電極の下部に位置する前記上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成された構成とした。
また、第2の解決手段として、前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって傾斜した構成とした。
また、第3の解決手段として、前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させた構成とした。
また、第4の解決手段として、前記上部電極は、前記第2の誘電体膜の前記側方膜部の外面と、前記基板上に跨って形成された構成とした。
また、第3の解決手段として、前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させた構成とした。
また、第4の解決手段として、前記上部電極は、前記第2の誘電体膜の前記側方膜部の外面と、前記基板上に跨って形成された構成とした。
また、第5の解決手段として、前記第1の誘電体薄膜は、前記段差部と反対側に位置した端面部を有すると共に、前記端面部、及びこの端面部の近傍に位置する前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に跨って形成された第3の誘電体膜を有し、この第3の誘電体膜は、前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に位置する上方膜部と、前記第1の誘電体薄膜の前記端面部側に位置する側方膜部を有し、前記上部電極の下部に位置する前記第3の誘電体膜の前記上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成された構成とした。
また、第6の解決手段として、前記第3の誘電体膜の前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって傾斜した構成とした。
また、第7の解決手段として、前記第3の誘電体膜の前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させた構成とした。
また、第7の解決手段として、前記第3の誘電体膜の前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させた構成とした。
また、第8の解決手段として、前記下部電極の前記端面は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成され、前記下部電極の前記傾斜面上には、前記第1の誘電体薄膜の前記側方薄膜部が設けられた構成とした。
また、第9の解決手段として、前記下部電極の前記傾斜面は、前記下部電極の基部から離れるに従って、膜厚を漸次薄くして傾斜させた構成とした。
また、第9の解決手段として、前記下部電極の前記傾斜面は、前記下部電極の基部から離れるに従って、膜厚を漸次薄くして傾斜させた構成とした。
本発明の薄膜コンデンサは、基板上に設けられた下部電極と、この下部電極の上面、及び下部電極の少なくとも一つの端面に跨って形成された第1の誘電体薄膜と、この第1の誘電体薄膜の段差部を覆うように、第1の誘電体薄膜上に形成された第2の誘電体膜と、下部電極に対向した状態で、第1の誘電体薄膜上と第2の誘電体膜上に形成された上部電極とを備え、第1の誘電体薄膜は、下部電極の上面に形成された上方薄膜部と、下部電極の端面に形成された側方薄膜部を有し、第2の誘電体膜は、第1の誘電体薄膜の上方薄膜部に位置する上方膜部と、第1の誘電体薄膜の側方薄膜部に位置する側方膜部を有し、上部電極の下部に位置する上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成された構成とした。
このように、第2の誘電体膜の上方膜部に傾斜面を設けることによって、上方電極は、上方薄膜の端部と第1の誘電体薄膜の上方薄膜部とに接する部分が低くなるので、この部分と下部電極の上面との間に発生する電界強度が緩和され、従って、第1の誘電体薄膜の上方薄膜部には、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
このように、第2の誘電体膜の上方膜部に傾斜面を設けることによって、上方電極は、上方薄膜の端部と第1の誘電体薄膜の上方薄膜部とに接する部分が低くなるので、この部分と下部電極の上面との間に発生する電界強度が緩和され、従って、第1の誘電体薄膜の上方薄膜部には、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、上方膜部の傾斜面は、上方膜部の端部から側方膜部に向かって傾斜したため、上方電極は、上方薄膜の端部と第1の誘電体薄膜の上方薄膜部とに接する部分が鈍角となるので、上方膜部の先端側での上方電極と下部電極との間の電界の集中が一層緩和され、従って、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が一層少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が一層高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、上方膜部の傾斜面は、上方膜部の端部から側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させたため、上方膜部の先端側での上部電極と下部電極との間の電界の集中が一層緩和され、従って、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が一層少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が一層高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、上部電極は、第2の誘電体膜の側方膜部の外面と、基板上に跨って形成されたため、上面電極の形成が容易であると共に、第2の誘電体膜の側方膜部の存在によって、下部電極と上部電極間の耐圧の高いものが提供できる。
また、第1の誘電体薄膜は、段差部と反対側に位置した端面部を有すると共に、端面部、及びこの端面部の近傍に位置する第1の誘電体薄膜の上方薄膜部に跨って形成された第3の誘電体膜を有し、この第3の誘電体膜は、第1の誘電体薄膜の上方薄膜部に位置する上方膜部と、第1の誘電体薄膜の端面部側に位置する側方膜部を有し、上部電極の下部に位置する第3の誘電体膜の上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成された構成とした。
このように、第3の誘電体膜の上方膜部に傾斜面を設けることによって、第1の誘電体薄膜の端面部側においても、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
このように、第3の誘電体膜の上方膜部に傾斜面を設けることによって、第1の誘電体薄膜の端面部側においても、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、第3の誘電体膜の上方膜部の傾斜面は、上方膜部の端部から側方膜部に向かって傾斜したため、上方膜部の先端側での電界強度の集中が一層緩和され、従って、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が一層少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が一層高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、第3の誘電体膜の上方膜部の傾斜面は、上方膜部の端部から側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させたため、上方膜部の先端側での電界強度の集中が一層緩和され、従って、上部電極からの銅イオンの移行(マイグレーション)が一層少なくなって、下部電極と上部電極間の耐圧が一層高くなると共に、下部電極と上部電極間の短絡を無くすることができる。
また、下部電極の端面は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成され、下部電極の傾斜面上には、第1の誘電体薄膜の側方薄膜部が設けられたため、下部電極のエッジ部における第1の誘電体薄膜の膜厚を厚く維持できると共に、側方薄膜部の膜厚を厚くできて、容量値が安定し、精度の良い薄膜コンデンサを提供できる。
また、下部電極の傾斜面は、下部電極の基部から離れるに従って、膜厚を漸次薄くして傾斜させたため、 下部電極のエッジ部における第1の誘電体薄膜の膜厚をより厚く維持できると共に、側方薄膜部の膜厚をより厚くできて、容量値が安定し、精度の良い薄膜コンデンサを提供できる。
本発明の薄膜コンデンサの図面を説明すると、図1は本発明の薄膜コンデンサの第1実施例に係る要部の拡大断面図、図2は本発明の薄膜コンデンサの第2実施例に係る要部の拡大断面図である。
次に、本発明の薄膜コンデンサの第1実施例に係る構成を図1に基づいて説明すると、アルミナ基板などからなる基板1の上面1aには、銅や銅合金等の金属材からなる下部電極2が薄膜によって形成されている。
そして、この下部電極2は、平坦な上面2aと、この上面2aの両端に位置する端面2b、2cと、上面2aと端面2b、2cの交叉部に位置するエッジ部2dを有する。
酸化シリコン等から成る第1の誘電体薄膜3は、下部電極2の上面2aを覆う上方薄膜部3aと、下部電極2の一方の端面2bを覆う側方薄膜部3bを有して、段差状(段差部)となっている。
また、第1の誘電体薄膜3は、段差部と反対側において、下部電極2の上面2a上に位置する端面部3cを有しており、下部電極2の端面2c側は、露出した状態となっている。
また、第1の誘電体薄膜3は、段差部と反対側において、下部電極2の上面2a上に位置する端面部3cを有しており、下部電極2の端面2c側は、露出した状態となっている。
第2の誘電体膜4は、アクリル系樹脂やフッ素系樹脂等の絶縁材からなり、この第2の誘電体膜4は、第1の誘電体薄膜3の段差部である側方薄膜部3b、及びこの側方薄膜部3bの近傍に位置する上方薄膜部3aを覆うように形成されている。
そして、第2の誘電体膜4は、第1の誘電体薄膜部3の上方薄膜部3a上に形成された上方膜部4aと、第1の誘電体薄膜3の側方薄膜部3bを覆う側方膜部4bと、上方膜部4aの端部(先端部)から側方膜部4bに向かって、膜厚を漸次厚くして傾斜するように上方膜部4aに設けられた傾斜面4cを有する。
これによって、上面2aと傾斜面4cとによって形成される上部電極6の角部は鈍角となる。
これによって、上面2aと傾斜面4cとによって形成される上部電極6の角部は鈍角となる。
また、第3の誘電体膜5は、アクリル系樹脂やフッ素系樹脂等の絶縁材からなり、この第3の誘電体膜5は、第1の誘電体薄膜3の端面部3c及びこの端面部3cの近傍に位置する上方薄膜部3aを覆うように形成されている。
そして、第3の誘電体膜5は、第1の誘電体薄膜部3の上方薄膜部3a上に形成された上方膜部5aと、第1の誘電体薄膜3の端面部3cを覆う側方膜部5bと、上方膜部5aの端部(先端部)から側方膜部5bに向かって、膜厚を漸次厚くして傾斜するように上方膜部5aに設けられた傾斜面5cを有する。
即ち、第3の誘電体膜5は、下部電極2の上面2aと第1の誘電体薄膜3上に形成された状態となっている。
よって、上面2aと傾斜面5cとによって形成される上部電極6の角部は鈍角となる。
即ち、第3の誘電体膜5は、下部電極2の上面2aと第1の誘電体薄膜3上に形成された状態となっている。
よって、上面2aと傾斜面5cとによって形成される上部電極6の角部は鈍角となる。
なお、第1の誘電体薄膜3は、下部電極2の端面2b側と同様に、端面2c側を覆うようにすると共に、第3の誘電体膜5は、第2の誘電体膜4と同様に、端面2c側に位置する第1の誘電体薄膜3を覆うようにしても良い。
銅や銅合金等の金属材からなる薄膜の上部電極6は、下部電極2と対向した状態で、第1の誘電体薄膜3上と,第2の誘電体膜4の上方膜部4a上、側方膜部4b上と、第3の誘電体膜5の上方膜部5a上、及び基板1の上面1a上に跨って形成されている。
この時、上部電極6の下部には、第2,第3の誘電体膜4,5の傾斜面4c、5cが位置して、下部電極2の一部は、上方薄膜部3aと上方膜部4a、5aを介して上部電極6と対向した状態となっている。
また、上部電極6は、下部電電極2の端面2c側を露出した状態で、下部電極2の端面2b側を覆うように形成されたものとなっている。
なお、上記実施例において、第1の誘電体薄膜3は、下部電極2の端面2b側と同様に、端面2c側を覆うようにすると共に、第3の誘電体膜5は、第2の誘電体膜4と同様に、端面2c側に位置する第1の誘電体薄膜3を覆うようにしても良い。
この場合、上部電極6は、下部電極2の端面2c側を覆うように形成されること勿論でる。
この場合、上部電極6は、下部電極2の端面2c側を覆うように形成されること勿論でる。
このような構成を有する本発明の薄膜コンデンサは、下部電極2のエッジ部2dにおける第1の誘電体薄膜3の膜厚が薄くなって、この薄い部分の耐圧が低下するが、この段差部に第2の誘電体膜4を設けることによって、耐圧の低下を防止している。
また、上部電極6の下部に位置する第2,第3の誘電体膜4,5の上方膜部4a、5aには、傾斜面4c、5cが設けられて、上方膜部4a、5aの端部の膜厚が薄くなっている。
その結果、上部電極6にプラス電圧を印加すると共に、下部電極2にマイナス電圧を印加して、長時間負荷テストを行うと、上方膜部4a、5aの端部を含むその近傍において、電界の集中が緩和され、上方膜部4a、5aの端部を含むその近傍に位置する第1の誘電体薄膜3の上方薄膜部3aには、上部電極6からの銅イオンの移行(マイグレーション)が少なくなって、下部電極2と上部電極6間の耐圧が高くなると共に、下部電極2と上部電極6間の短絡が無くなる。
また、図2は本発明の薄膜コンデンサの第2実施例を示し、この第2実施例は、下部電極2の端面2bにおいて、下部電極2の基部(平坦状部)から離れるに従って、膜厚を漸次薄くして傾斜させてなる傾斜面2eが設けられたものである。
そして、この傾斜面2e上には、第1の誘電体薄膜3の側方薄膜部3b、第2の誘電体膜4の側方膜部4bが順次形成され、その結果、下部電極2のエッジ部2dが緩くなって、エッジ部2dにおける第1の誘電体薄膜3の膜厚を厚くできると共に、傾斜面2e上の膜厚も厚く、且つ、下部電極2の上面2a上に形成された膜厚と同等の厚さで均一状態に形成できる。
また、その他の構成は、前記第1実施例と同様であるので、同一部品に同一番号を付し、ここではその説明を省略する。
なお、この第2実施例において、下部電極2の端面2c側においても、端面2b側と同様な構成にしても良いこと勿論である。
1:基板
1a:上面
2:下部電極
2a:上面
2b:端面
2c:端面
2d:エッジ部
2e:傾斜面
3:第1の誘電体薄膜
3a:上方薄膜部
3b:側方薄膜部
3c:端面部
4:第2の誘電体膜
4a:上方膜部
4b:側方膜部
4c:傾斜面
5:第3の誘電体膜
5a:上方膜部
5b:側方膜部
5c:傾斜面
6:上部電極
1a:上面
2:下部電極
2a:上面
2b:端面
2c:端面
2d:エッジ部
2e:傾斜面
3:第1の誘電体薄膜
3a:上方薄膜部
3b:側方薄膜部
3c:端面部
4:第2の誘電体膜
4a:上方膜部
4b:側方膜部
4c:傾斜面
5:第3の誘電体膜
5a:上方膜部
5b:側方膜部
5c:傾斜面
6:上部電極
Claims (9)
- 基板上に設けられた下部電極と、この下部電極の上面、及び前記下部電極の少なくとも一つの端面に跨って形成された第1の誘電体薄膜と、この第1の誘電体薄膜の段差部を覆うように、前記第1の誘電体薄膜上に形成された第2の誘電体膜と、前記下部電極に対向した状態で、前記第1の誘電体薄膜上と前記第2の誘電体膜上に形成された上部電極とを備え、前記第1の誘電体薄膜は、前記下部電極の前記上面に形成された上方薄膜部と、前記下部電極の前記端面に形成された側方薄膜部を有し、前記第2の誘電体膜は、前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に位置する上方膜部と、前記第1の誘電体薄膜の前記側方薄膜部に位置する側方膜部を有し、前記上部電極の下部に位置する前記上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成されたことを特徴とする薄膜コンデンサ。
- 前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって傾斜したことを特徴とする請求項1記載の薄膜コンデンサ。
- 前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させたことを特徴とする請求項2記載の薄膜コンデンサ。
- 前記上部電極は、前記第2の誘電体膜の前記側方膜部の外面と、前記基板上に跨って形成されたことを特徴とする請求項1から3の何れかに記載の薄膜コンデンサ。
- 前記第1の誘電体薄膜は、前記段差部と反対側に位置した端面部を有すると共に、前記端面部、及びこの端面部の近傍に位置する前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に跨って形成された第3の誘電体膜を有し、この第3の誘電体膜は、前記第1の誘電体薄膜の前記上方薄膜部に位置する上方膜部と、前記第1の誘電体薄膜の前記端面部側に位置する側方膜部を有し、前記上部電極の下部に位置する前記第3の誘電体膜の前記上方膜部は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成されたことを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の薄膜コンデンサ。
- 前記第3の誘電体膜の前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって傾斜したことを特徴とする請求項5記載の薄膜コンデンサ。
- 前記第3の誘電体膜の前記上方膜部の前記傾斜面は、前記上方膜部の端部から前記側方膜部に向かって膜厚を漸次厚くして傾斜させたことを特徴とする請求項6記載の薄膜コンデンサ。
- 前記下部電極の前記端面は、傾斜面を形成するように、膜厚を異ならしめて形成され、前記下部電極の前記傾斜面上には、前記第1の誘電体薄膜の前記側方薄膜部が設けられたことを特徴とする請求項1から7の何れかに記載の薄膜コンデンサ。
- 前記下部電極の前記傾斜面は、前記下部電極の基部から離れるに従って、膜厚を漸次薄くして傾斜させたことを特徴とする請求項8記載の薄膜コンデンサ。
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CN108711511A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-10-26 | 安徽中容电子有限公司 | 一种可防止极壳间发生电击穿的防爆薄膜电容器 |
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2003
- 2003-09-12 JP JP2003320843A patent/JP2005093482A/ja not_active Withdrawn
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