JP2005088357A - 液滴吐出ヘッド及びその製造方法並びに画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ノズル形成部材と撥水層の密着力が十分でなく、ワイピングに対する耐久性が低く、あるいは、密着力を向上させると、加工上十分なノズル径精度が得られなくなる。
【解決手段】 金属部材からなり、ノズル先穴51を形成した基材としてのノズル形成部材52の液滴吐出面側に、ポリイミド樹脂/ポリアミド樹脂層53、ポリイミド/ポリアミド樹脂層53上にSiO2層54が、このSiO2層54上にフッ素系撥水層55を、それぞれ順次積層形成し、液室側からレーザ光でノズル4内にはみ出す部分を除去することで、径精度の高いノズル4を形成するとともに、ノズル形成部材52とフッ素系撥水層55の密着力を向上して耐久性を向上する。
【選択図】図5
Description
本発明に係る画像形成装置によれば、本発明に係る液滴吐出ヘッド又は本発明に係る液滴吐出ヘッドの製造方法によって製造された液滴吐出ヘッドを備えているので、安定した滴吐出特性が得られて高画質記録を行うことができる。
このノズル板3は、金属部材からなり、ノズル先穴51を形成した基材としてのノズル形成部材52の液滴吐出面側に、ポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層(以下「ポリイミド/ポリアミド樹脂層」という。)53、このポリイミド/ポリアミド樹脂層53上にSiO2層54が、このSiO2層54上にフッ素系撥水層55が、それぞれ順次積層形成されている。なお、これらのポリイミド/ポリアミド樹脂層53、SiO2層54及びフッ素系撥水層55の開口部分をノズルエッジ4aと称し、ノズルエッジ4aとノズル先穴51とを併せてノズル4という。
この実施形態では、先穴51の加工がされた金属のノズル形成部材52に液状のポリイミド樹脂或いはポリアミド樹脂をスピンコート、ロールコートなどを用いて塗布し、硬化させてポリイミド樹脂/ポリアミド樹脂層53を形成した後、SiO2層54、フッ素系撥水層55を形成する。
この実施形態では、ポリイミド樹脂或いはポリアミド樹脂は金属、特にSUSやNiとの被着性が高く、かつエポキシ接着剤等との接着力も高いことから、金属面に塗布することにより接着力改善の効果が得られる。また、安定で溶剤にも強く、インク等の液に接液してもほとんど劣化しない。そこで、これらの特性をいかすため、ポリイミド樹脂或いはポリアミド樹脂を金属部材からなるノズル形成部材の両面に塗布し、流路面側にポリイミド樹脂或いはポリアミド樹脂からなる接着改善層を形成する。
2…流路基板
3…ノズル基板(ノズル板)
4…ノズル
5…ノズル連通路
6…液室
7…流体抵抗部
8…インク供給孔
11…アクチュエータ素子
12…振動板
13…ギャップ(空隙)
14…電極(個別電極)
51…ノズル先穴
52…ノズル形成部材
53…ポリイミド/ポリアミド樹脂層
54…SiO2層
55…フッ素系撥水層
Claims (15)
- 液滴を吐出するノズルを形成するノズル形成部材を有し、前記ノズルが連通する液室内の液体を加圧して前記ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、ノズル先穴を形成した金属部材からなる前記ノズル形成部材の滴吐出面側にポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層、SiO2層及びフッ素系撥水層が順次積層形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ノズル形成部材がニッケル電鋳で形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1又は2に記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フッ素系撥水層の膜厚が1Å以上30Å以下の範囲内であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし3のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フッ素系撥水層の材料が変性パーフルオロポリオキセタンであることを特徴とするである液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし4のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記SiO2の膜厚が1Å以上30Å以下の範囲内であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし5のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記ポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層の膜厚が、0.1μm以上5μm以下の範囲内であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
- 請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドを製造する製造方法において、前記ノズル形成部材上に液状の状態のポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂をコーティングして前記ポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層を形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項7に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズル形成部材に樹脂をコーティングする前に、前記ノズル形成部材にはノズル穴に相当する部位に先穴加工が施されていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項8に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズル形成部材にポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層、SiO2層及びフッ素系撥水層を順次積層して形成した後、前記ノズル形成部材をマスクとして先穴を介してレーザ光を照射し、前記ポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層、SiO2層及びフッ素系撥水層のはみ出し部分を除去してノズルのエッジを形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項8に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、前記ノズル形成部材の両面及び先穴部分にポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂を塗布した後、液滴吐出面側にのみSiO2層及びフッ素系撥水層を順次形成し、液室側から先穴を含む領域にレーザ光を照射して、先穴部分のポリイミド又はポリアミド樹脂を除去するとともに、吐出面側の前記ポリイミド樹脂又はポリアミド樹脂層、SiO2層及びフッ素系撥水層のはみ出し部分を除去してノズルのエッジを形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項7ないし10のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記フッ素系撥水層は、真空蒸着法でコーティングして形成することを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項11に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、フッ素系撥水層を形成するための真空蒸着は、真空中でのSiO2層形成に引き続いて同一チャンバで連続して行われることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項7ないし12のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドにおいて、前記SiO2膜はSiをスパッタ後O2イオン処理をして形成されることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- 請求項7に記載の液滴吐出ヘッドの製造方法において、SiO2膜を形成した後フッ素系撥水剤を真空蒸着してフッ素系撥水層を形成した後、エキシマレーザでノズル孔加工をすることを特徴とする液滴吐出ヘッドの製造方法。
- ノズルから液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドを備え、記録媒体上に画像を形成する画像形成装置において、前記液滴吐出ヘッドが請求項1ないし6のいずれかに記載の液滴吐出ヘッド又は請求項7ないし14のいずれかに記載の液滴吐出ヘッドの製造方法によって製造された液滴吐出ヘッドであることを特徴とする画像形成装置。
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JP2008062525A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Sharp Corp | ノズルプレート、インクジェットヘッドおよびこれらの製造方法 |
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---|---|---|---|---|
JP2006321121A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP4595669B2 (ja) * | 2005-05-19 | 2010-12-08 | 富士ゼロックス株式会社 | 液滴吐出ヘッドの製造方法 |
JP2008062525A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Sharp Corp | ノズルプレート、インクジェットヘッドおよびこれらの製造方法 |
US8303083B2 (en) | 2008-08-27 | 2012-11-06 | Ricoh Company, Ltd. | Liquid ejection head, image forming apparatus employing the liquid ejection head, and method of manufacturing the liquid ejection head |
JPWO2019215851A1 (ja) * | 2018-05-09 | 2021-05-13 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド及び画像形成方法 |
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