JP2005086916A

JP2005086916A - 荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置

Info

Publication number: JP2005086916A
Application number: JP2003316653A
Authority: JP
Inventors: Ta-Hsin Chou; 大▲金▼ 周; Yi-Ming Chu; 怡銘朱; Wei-Han Wang; 維漢王; Jen-Hua Wu; 震華巫
Original assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Current assignee: Industrial Technology Research Institute ITRI
Priority date: 2003-09-09
Filing date: 2003-09-09
Publication date: 2005-03-31
Also published as: US20050082945A1

Abstract

【課題】弾性表面波駆動器の駆動効果を確保することが可能である荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置を提供する。
【解決手段】位置決め平台１０、弾性表面波駆動器２０、滑動部３０及び支持構造４０を備える。位置決め平台１０は両側に滑動軸受け１１を有し、弾性表面波駆動器２０は二つの滑動軸受け１１の間に位置するように位置決め平台１０上に設置され、最上端面に表面弾性波を発生させる。滑動部３０は位置決め平台１０に設置され、弾性表面波駆動器２０の最上端面に接触する負荷部３３及びそれぞれ滑動軸受け１１に位置付けられる二つの位置決め部３２を有し、弾性表面波駆動器２０の弾性表面波によりガイドされて移動する。支持構造４０は滑動部３０の荷重程度により位置決め部３２に所定の力を加え、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力を一定値内に保持する。
【選択図】図２

Description

本発明は、弾性表面波駆動装置に関わり、詳しく言えば、荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置に関するものである。

弾性表面波（Surface Acoustic Wave、ＳＡＷ）は物理現象において形式的な表面波であって、半無限弾性体の表面に沿って伝搬するものである。圧電結晶の表面にすだれ状電極を設け、すだれ状電極（Interdigital Transducer、ＩＤＴ）転換器が完成する場合、すだれ状電極（Interdigital Transducer、ＩＤＴ）から電圧を入力することで、圧電結晶は逆圧電効果により圧電結晶表面に弾性表面波を発生させる。このような技術はフィルターまたは信号処理の機能として電子情報分野で広汎に応用されている。

弾性表面波は振幅が小さく、共振数が高いため、ナノ位置決め平台の駆動方式として使うことが可能であると判明している。弾性表面波駆動の技術は、圧電結晶の表面に弾性表面波が発生することにより、平台上の滑動部を駆動し、位置決めする効果を果たすことである。弾性表面波の駆動効果は滑動部と圧電結晶の表面との間の接触圧力に関係がある。つまり、滑動部の荷重の変化は圧電結晶との間の接触圧力に影響を与え、接触圧力はまた弾性表面波の駆動効果に影響を与えるものである。一般の実験室における設計は、重力、磁力またはスプリングによる弾力により滑動部と圧電結晶との間の接触圧力を発生させることである。しかし、このような接触圧力の発生方式は位置決め平台の荷重の変化に応えるのが不可能であり、即ち、滑動部は軽過ぎるか重過ぎる負荷を受けると、平台の駆動機能に影響を及ぼす。図１に示すように、図１は、弾性表面波を３秒駆動するたびに、直径の大きさが異なる滑動部の移動及び弾性表面波駆動器との間の接触圧力を示す関係図であり、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力はある程度内に大きければ大きいほど、滑動部の速度は速くなるが、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力はある程度を超えた場合（即ち過大な場合）、滑動部の速度はかえって遅くなる。したがって、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を適当に調整することにより、位置決め平台の駆動性能を上回らせることが可能である。

上述により、異なる荷重により滑動部と弾性表面波駆動器（圧電結晶）との間の正方向力（接触圧力）を調整して一定値内に保持し、平台の駆動性能を維持するのは相当に重要だと見られる。一般の調整方式は大体三種類に分けられている。その一は滑動部上に置かれる計量単位の重さを変えることにより調整することであり、その二は永久磁石と鉄板との間の吸引力の変化により調整することであり、その三はスプリングの変形量を変えることにより調整することである。それらの調整方式は、実際応用上、実施の困難さがあり、また、滑動部上に載せる物が未知の重さである場合、滑動部と弾性表面波との間の接触圧力を検知することが不可能であるし、何とも制御して調整することが不可能である。

本発明の主な目的は、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持し、弾性表面波駆動器の駆動効果を確保することが可能である荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置を提供することにある。
本発明の他の目的は、滑動部を固定の方向に動かせるように維持することが可能である荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置を提供することにある。

上述の目的を達成するために、本発明による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置は位置決め平台、弾性表面波駆動器、滑動部及び支持構造を備えることであり、位置決め平台は向かい合う両側に滑動軸受けを有し、弾性表面波駆動器は二つの滑動軸受けの間に位置するように位置決め平台上に設置され、最上端面に所定の表面弾性波を発生させることが可能であり、滑動部は位置決め平台に設置され、弾性表面波駆動器の最上端面に接触する負荷部及びそれぞれ滑動軸受けに位置付けられる二つの位置決め部を有し、弾性表面波駆動器の弾性表面波によりガイドされて移動し、支持構造は滑動部の荷重程度により滑動部の位置決め部に所定の力を加え、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持する。

図２から図４に示すように、本発明の第一実施例による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置１００は、主に、位置決め平台１０、弾性表面波駆動器２０、滑動部３０及び支持構造４０を備えることである。

位置決め平台１０は内部に上向きの開口を有し、且つ滑動部３０を収納する区域が形成され、その区域の向かい合う両側の壁から外部へ延伸して形成される滑動軸受け１１を有し、滑動軸受け１１は該区域と繋がる凹溝である。

弾性表面波駆動器２０は圧電材料（結晶）から構成されるものであって、位置決め平台１０の内部区域の底部に設置され、弾性表面波駆動器２０の最上端面に若干のすだれ状電極（図中未表示）が形成され、すだれ状電極から電圧を入力し、圧電材料により逆圧電効果を発生させ、表面弾性波駆動器２０の最上端面に振幅が小さく、共振数が高い弾性表面波を発生させることが可能である。

滑動部３０は胴部３１、二つの位置決め部２２及び負荷部３３を有する。胴部３１は塊状を呈し、二つの位置決め部３２は胴部３１の向かい合う両側から延伸して形成され、負荷部３３は若干の円球体であって、胴部３１の底部に整列される。胴部３１は位置決め平台１０の内部区域の中に設置され、各位置決め部３２をそれぞれ各滑動軸受け１１内に位置させ、且つ各位置決め部３２は各滑動軸受け１１の側壁（上側壁、下側壁及び外側壁）との間に複数の隙間が所定の距離により形成され、負荷部３３は弾性表面波駆動器２０の最上端面に接触され、胴部３１の最上端面に圧力荷重感応器（図中未表示）を有することで、滑動部３０上に乗せる重さの変化を数値に転換して処理装置（図中未表示）へ伝送する。そのうちの圧力荷重感応器及び処理装置はいずれも周知の構造であるので説明を省く。

支持構造４０は処理装置により作動が制御される。支持構造４０は独立の気体源を別々有する気体供給装置を三組備える。そのうち第一組の気体供給装置は各滑動軸受け１１の下側壁中に若干の排気口が順序に配列され、且つ各滑動軸受け１１と繋がり、第二組の気体供給装置は各滑動軸受け１１の上側壁中に若干の排気口が順序に配列され、且つ各滑動軸受け１１と繋がり、第三組の気体供給装置は各滑動軸受け１１の外側壁中に若干の排気口が順序に配列され、且つ各滑動軸受け１１と繋がる。したがって、各組の気体供給装置により各滑動軸受け１１中に方向が異なる気体圧力を供給することが可能である。

上述は本発明の第一実施例による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置１００の各部構造及び組成方式である。続いて、使用方式について説明する。
物品を滑動部３０により所定の位置に移動しようとする場合、先ず物品を滑動部３０上に置き、物品の重力を滑動部３０上に加えることにより、滑動部３０は余計な下向きの正方向圧力Ｗを発生させ、滑動部３０の負荷部３３と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力を変える（増加させる）ため、滑動部３０上に設置される圧力荷重感応装置は物品により余計に増加する圧力数値を処理装置中に伝送し、処理装置の制御により支持構造４０の第一組、第二組及び第三組の気圧供給装置を作動させ、気体を供給する。つまり、滑動軸受け１１の上側壁中、下側壁中及び外側壁中における排気口により気体の送入を持続させることで、各位置決め部３２の上方は第二組の気体供給装置による気体の下向きの圧力Ｆ１及び圧力Ｆ２を受け、各位置決め部３２の下方は第一組の気体供給装置による気体の上向きの支持力Ｓ１及び支持力Ｓ２を受け、且つ第一組の気体供給装置は第二組の気体供給装置より気体を多く供給することで、滑動部３０の各位置決め部３２の下方は気体の上向きの浮力Ｓ１及び浮力Ｓ２を比較的多く受け、滑動部の全体がやや上に支持されて浮かぶようになるものである。図４に示すように、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力は気体による上向きの浮力を介して所定の一定値Ｐ内（一定値は予め実験により求められ、処理装置中に設定されたものであって、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０に一定値Ｐの接触圧力において一定且つ良好な駆動性能を維持させることが可能だ）に保持され、一定値Ｐの計算式はＰ＝Ｗ＋（Ｆ１＋Ｆ２）−（Ｓ１＋Ｓ２）である。従って、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力を一定値Ｐ内に保持することにより、弾性表面波駆動器２０は一定且つ良好な速度で滑動部３０及びその上に乗せる物品を弾性表面波の駆動により所定の位置に移動することが可能である。

また、滑動部３０上に載せる物品の重さが比較的軽ければ、発生する正方向の下向きの圧力Ｗも比較的軽いため、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力が一定値Ｐに達しない場合、滑動部３０上の圧力荷重感応装置は滑動部３０の荷重数値を処理装置に伝送し、処理装置の制御により支持構造４０の第二組の気圧供給装置に第一組の気体供給装置より比較的多い所定の気体圧力Ｆ１及び気体圧力Ｆ２を供給させる。図４に示すように、つまり、滑動軸受け１１の上側壁中の排気口は下側壁より比較的多い気体の送入を持続させることで、各位置決め部３２の上方に比較的多い定圧気体の押し付けを受け続けさせ、滑動部３０は下向きの正方向圧力を増加させ、滑動部３０と弾性表面波駆動器２０との間の接触圧力を一定値Ｐ内に達するまで増加させることで、一定値Ｐ＝Ｗ＋（Ｆ１＋Ｆ２）−（Ｓ１＋Ｓ２）の計算式に相応し、弾性表面波駆動器２０により滑動部３０を駆動する一定効果を維持するものである。

また、滑動部３０が平行に移動するプロセスにおいて、支持構造４０の第三組の気体供給装置も適当な側面方向の気体圧力Ｔ１及び気体圧力Ｔ２を供給し、図４に示すように、滑動部３０を一定の方向に進行させるように維持する。

そこで、本発明による支持構造は、滑動部の荷重の大きさにより必要に応じて調整し、上向きの支持力または下向きの圧力を滑動部に適切に提供することで、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持し、滑動部は最も良好な進行速度に達し、且つ滑動部の荷重圧力が過大で弾性表面波駆動器が破壊されるのを避けることが可能であって、また、滑動部の荷重圧力が過小（不足）で弾性表面波が滑動部をガイドして平行に移動することができないのを避けることも可能である。支持構造は適当な時に向かい合う側面方向の圧力を提供し、滑動部を固定の方向に進行させるように維持する。

そこで、説明すべきなのは、本発明による滑動部の負荷部が若干の円球状の球体となるのは、弾性表面波の波動振幅が僅か数個のナノくらいであるため、弾性表面波駆動器と滑動部との接触条件は非常に重要であって、例えば、弾性表面波駆動器の表面の質感度、清浄度及び接触圧力などが弾性表面波駆動器の性能に影響を与える重要な接触条件であって、そのうちのもっとも重要なのは滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力が十分に足りることであって、また、弾性表面波駆動器は数ＭＨｚの周波数で振動するため、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力が過小な場合、滑動部と弾性表面波駆動器との間には追い込む気体層が発生し、滑動部と弾性表面波駆動器とは完全に接触できず、弾性表面波駆動器と滑動部との間の駆動性に影響を与え、それだからして、滑動部と弾性表面波駆動器との間は円球状のような形で接触するのが最も好ましいである。

図５に示すのは、ヘルツ理論のモデルである。そのうちのＥ１とＥ２はそれぞれ滑動部と弾性表面波駆動器の弾性係数であり、ι１とι２は滑動部と弾性表面波駆動器のポアソン比（Poisson’s Ratio）であり、Ｎは滑動部と弾性表面波駆動器との間の正方向力であり、Ｒは滑動部の半径であり、また、ヘルツ接触理論により滑動部と弾性表面波駆動器との間の最大接触圧力はＰｍａｘだと推知される。したがって、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触設計が適当なのかは全体の駆動の性能に影響を与えることであるため、滑動部と弾性表面波駆動器との間には円球状のような形で接触するのが最も好ましいである。

そのほかには、本発明による支持構造は、位置決め平台の滑動軸受け上に設置することが可能であるだけでなく、実務上、支持構造を滑動部上に設置することも可能である。図６に示すように、各組の気体供給装置の排気口が滑動部の位置決め部の上側壁面、下側壁面及び外側壁面の上に設置されることで、滑動部の荷重が比較的大きく、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力が一定値より大きい場合、支持構造の滑動部の下側壁に位置する排気口は処理装置の指示に従い、上側壁により比較的多い所定の気体圧力Ｓ１及び気体圧力Ｓ２を供給し、滑動部に適当な支持浮力を与え、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持することであり、また、滑動部の荷重が過小で、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力が一定値より小さい場合、滑動部の上側壁における気体供給装置は比較的多い気体圧力Ｆ１及び気体圧力Ｆ２を供給し、滑動部に適当な下向きの圧力を与え、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に維持することである。もちろん、滑動部の外側における排気口も適当な側面方向の圧力Ｔ１及び圧力Ｔ２を供給し、滑動部の進行方向を維持する。

上述の実施例における支持構造は、気体浮上原理により滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を制御することである。しかし、実際に支持構造として液圧または磁気浮上の方式を採用し、滑動部の可変支持力という特性を保持し、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力の安定を維持することで滑動部の荷重が異なるとしても、一定の駆動性能を維持することは可能である。

そのうちの液圧式または磁気浮上式による支持構造の作用原理は、また前述の気圧式の作用原理とほぼ同じであるため、以下、書面だけで簡単に説明する。支持構造として液圧式を採用する場合、支持構造は独立の液圧源を別々有する液体供給装置を三組備える。そのうち第一組の液体供給装置は各滑動軸受けの下側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、且つ各滑動軸受けと繋がり、第二組の液体供給装置は各滑動軸受けの上側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、且つ各滑動軸受けと繋がり、第三組の液体供給装置は各滑動軸受けの外側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、且つ各滑動軸受けと繋がる。したがって、第一組の液体供給装置が第二組の液体供給装置により供給される下向きの圧力より比較的多い支持力を滑動部に適当に供給するか、第二組の液体供給装置が第一組の液体供給装置により供給される支持力より比較的多い下向きの圧力を滑動部に適当に供給することで、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持し、且つ第三組の液体供給装置が滑動部が移動する際に適当な側面方向の力を供給することで、滑動部を固定の進行方向に移動させるように維持することが可能である。また、それらの三組の液体供給装置をそれぞれ滑動部の位置決め部の上側壁、下側壁及び外側壁上に設置するとしても、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持することは可能である。

また、支持構造として磁気浮上の方式を採用する場合、支持構造は独立の駆動源を別々有する電磁ユニットを三組備える。そのうち第一組の電磁ユニットは各滑動軸受けの下側壁及び滑動部の位置決め部の対応する位置上に設置され、第二組の電磁ユニットは各滑動軸受けの上側壁及び滑動部の位置決め部の対応する位置上に設置され、第三組の電磁ユニットは各滑動軸受けの外側壁及び滑動部の位置決め部の対応する位置上に設置される。したがって、第一組の電磁ユニットにより所定の電流を通し、上向きの支持浮力を発生させ、第二組の電磁ユニットにより所定の電流を通し、適当な下向きの磁気圧力を発生させることで、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持し、且つ滑動部が移動する際に第三組の電磁ユニットにより滑動部に適当な側面方向の力を提供することで、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能である。また、上述の磁気浮上の方式は滑動部と滑動軸受けとの間の電磁ユニットを相互排斥の磁力により作動させることである。しかし、実際に滑動部と滑動軸受けとの間の電磁ユニットを相互吸引の磁力により作動させても、本発明の目的を達成することは可能である。

従来の弾性表面波駆動装置の滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力及び滑動部の移動の関係を示す図である。本発明の第一実施例による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置を示す斜視図である。図１の断面図である。本発明の第一実施例による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置の負荷を示す模式図である。ヘルツ接触理論モデル及び接触圧力計算式を示す図である。本発明の他の実施例による荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置の負荷を示す模式図である。

符号の説明

１０平台、１１滑動軸受け、２０弾性表面波駆動器、３０滑動部、３１胴部、３２位置決め部、３３負荷部、４０支持構造、１００荷重を調整可能な弾性表面波駆動装置

Claims

向かい合う両側に滑動軸受けを有する位置決め平台と、
二つの滑動軸受けの間に位置するように位置決め平台上に設置され、最上端面には所定の表面弾性波を発生可能な弾性表面波駆動器と、
位置決め平台に設置され、弾性表面波駆動器の最上端面に接触する負荷部及びそれぞれ滑動軸受けに位置付けられる二つの位置決め部を有し、弾性表面波駆動器の弾性表面波によりガイドされて移動する滑動部と、
滑動部の荷重程度により滑動部の位置決め部に所定の力を加え、滑動部と弾性表面波駆動器との間の接触圧力を一定値内に保持する支持構造と、
を備えることを特徴とする荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、滑動軸受け上に設置されることを特徴とする請求項１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、滑動部の位置決め部上に設置されることを特徴とする請求項１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
位置決め平台には、滑動部を収納する区域が形成され、各滑動軸受けはそれぞれ前記区域の向かい合う両側から延伸して凹溝を形成することを特徴とする請求項１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、独立の気体源を別々有する気体供給装置を二組有し、そのうち第一組の気体供給装置は各滑動軸受けの下側壁中に若干の排気口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がり、第二組の気体供給装置は各滑動軸受けの上側壁中に若干の排気口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がることで、第一組の気体供給装置により滑動部の位置決め部に適度な支持力を供給するか、第二組の気体供給装置により滑動部の位置決め部に適度な下向きの圧力を供給し、滑動部と弾性表面波駆動器との接触圧力を一定値内に保持することが可能であることを特徴とする請求項４に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、若干の排気口が各滑動軸受けと繋がるように各滑動軸受けの外側壁中に順序に配列される第三組の気体供給装置を有することで、滑動部に適当な側面方向の力を供給し、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能であることを特徴とする請求項５に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、独立の気体源を別々有する気体供給装置を二組有し、そのうち第一組の気体供給装置は各位置決め部の下側壁中に若干の排気口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がり、第二組の気体供給装置は各位置決め部の上側壁中に若干の排気口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がることで、第一組の気体供給装置により滑動軸受け内に気体を供給し、位置決め部に適当な支持力をもたらすか、第二組の気体供給装置により滑動軸受け内に気体を供給し、位置決め部に適当な下向きの圧力をもたらし、滑動部と弾性表面波駆動器との接触圧力を一定値内に保持することが可能であることを特徴とする請求項４に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、若干の排気口が各滑動軸受けと繋がるように各滑位置決め部の外側壁中に順序に配列される第三組の気体供給装置を有することで、滑動部に適当な側面方向の力を供給し、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能であることを特徴とする請求項７に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、独立の液圧源を別々有する液体供給装置を二組有し、そのうち第一組の液体供給装置は滑動軸受けの下側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がり、第二組の液体供給装置は滑動軸受けの上側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がることで、第一組の液体供給装置により液体を供給し、滑動部の位置決め部に適当な支持力をもたらすか、第二組の液体供給装置により液体を供給し、滑動部の位置決め部に適当な下向きの圧力をもたらし、滑動部と弾性表面波駆動器との接触圧力を一定値内に保持することが可能であることを特徴とする請求項４に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、若干の液体排出口が各滑動軸受けと繋がるように各滑動軸受けの外側壁中に順序に配列される第三組の液体供給装置を有することで、滑動部の位置決め部に適当な側面方向の力を供給し、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能であることを特徴とする請求項９に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、独立の液圧源を別々有する液体供給装置を二組有し、そのうち第一組の液体供給装置は各位置決め部の下側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がり、第二組の液体供給装置は各位置決め部の上側壁中に若干の液体排出口が順序に配列され、また、各滑動軸受けと繋がることで、第一組の液体供給装置により液体を供給し、滑動部の位置決め部に適当な支持力をもたらすか、第二組の液体供給装置により液体を供給し、滑動部の位置決め部に適当な下向きの圧力をもたらし、滑動部と弾性表面波駆動器との接触圧力を一定値内に保持することが可能であることを特徴とする請求項４に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、若干の液体排出口が各滑動軸受けと繋がるように各位置決め部の外側壁中に順序に配列される第三組の液体供給装置を有することで、滑動部の位置決め部に適当な側面方向の力を供給し、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能であることを特徴とする請求項１１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、独立の駆動源を別々有する電磁ユニットを二組有し、そのうち第一組の電磁ユニットは各滑動軸受けの下側壁及び位置決め部の対応する位置上に設置され、第二組の電磁ユニットは各滑動軸受けの上側壁及び位置決め部の対応する位置上に設置されることで、第一組電磁ユニット及び第二組電磁ユニットにより所定の電流を通し、それぞれ滑動部に対する適度な上向きの支持力及び適当な下向きの圧力を発生させ、滑動部と弾性表面波駆動器との接触圧力を一定値内に保持することが可能であることを特徴とする請求項４に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
支持構造は、各滑動軸受けの外側壁及び位置決め部の対応する位置上に設置される第三組の電磁ユニットを有することで、所定の電流を通し、滑動部に対する適当な側面方向の力を発生させ、滑動部を移動進行の方向に維持することが可能であることを特徴とする請求項１３に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
滑動部は、胴部及び胴部の両側から横向きに延伸して形成される位置決め部を有し、且つ滑動部は胴部を介して位置決め平台に設置され、また、各位置決め部を各滑動軸受け中に位置付け、各位置決め部と各滑動軸受けの側壁との間は所定の隙間を有し、支持構造により各位置決め部に所定の力を加えることを特徴とする請求項１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。
滑動部は、滑動部の荷重の変化を処理装置へ伝送し、処理装置により支持構造の作動を制御する圧力荷重感応器を有することを特徴とする請求項１に記載の荷重を調整可能な弾性表面波駆動器。