JP2005081767A - 樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法、並びに樹脂成形品及びチップ - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 131
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 131
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 51
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 72
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 72
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 63
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims abstract description 25
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims abstract description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 76
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 claims description 16
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 12
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 8
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000009509 drug development Methods 0.000 claims description 5
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 claims description 5
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 5
- 230000004544 DNA amplification Effects 0.000 claims description 4
- 238000009534 blood test Methods 0.000 claims description 4
- 238000009535 clinical urine test Methods 0.000 claims description 3
- 238000010876 biochemical test Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 21
- 238000003745 diagnosis Methods 0.000 description 19
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 18
- 238000011161 development Methods 0.000 description 15
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 15
- 238000001746 injection moulding Methods 0.000 description 14
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 11
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- 230000008569 process Effects 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 8
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 8
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 7
- 230000005469 synchrotron radiation Effects 0.000 description 7
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 238000012742 biochemical analysis Methods 0.000 description 5
- 201000010099 disease Diseases 0.000 description 5
- 208000037265 diseases, disorders, signs and symptoms Diseases 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 5
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 5
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000005251 capillar electrophoresis Methods 0.000 description 4
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 4
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 4
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 238000013537 high throughput screening Methods 0.000 description 4
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000010382 chemical cross-linking Methods 0.000 description 3
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- 230000036541 health Effects 0.000 description 3
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 2
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 2
- 229920006026 co-polymeric resin Polymers 0.000 description 2
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical group 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 2
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000008030 elimination Effects 0.000 description 2
- 238000003379 elimination reaction Methods 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 238000002493 microarray Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000011170 pharmaceutical development Methods 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 2
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000531 Co alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N Ethenol Chemical compound OC=C IMROMDMJAWUWLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 1
- 229920000954 Polyglycolide Polymers 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N [Co].[Ni] Chemical compound [Co].[Ni] QXZUUHYBWMWJHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 230000000702 anti-platelet effect Effects 0.000 description 1
- 230000002965 anti-thrombogenic effect Effects 0.000 description 1
- 239000003146 anticoagulant agent Substances 0.000 description 1
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 1
- 239000002216 antistatic agent Substances 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 239000002585 base Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 231100000263 cytotoxicity test Toxicity 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 229940079593 drug Drugs 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 239000012789 electroconductive film Substances 0.000 description 1
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 description 1
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 1
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 238000012921 fluorescence analysis Methods 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 239000012760 heat stabilizer Substances 0.000 description 1
- 238000010102 injection blow moulding Methods 0.000 description 1
- 239000004611 light stabiliser Substances 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000000873 masking effect Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000010208 microarray analysis Methods 0.000 description 1
- 239000006082 mold release agent Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000004633 polyglycolic acid Substances 0.000 description 1
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 description 1
- 238000003752 polymerase chain reaction Methods 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- 238000007142 ring opening reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001225 therapeutic effect Effects 0.000 description 1
- 229920002725 thermoplastic elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
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Abstract
精密で安価な樹脂成形品の製造方法及びそれに用いる金型の製造方法並びに高精度の樹脂成形品及びチップを提供する。
【解決手段】
本発明の樹脂成形品の製造方法は、基板1上に第1レジスト層2を形成するステップとマスクA3を用いて第1レジスト層2に露光、現像を行うレジストパターン形成ステップと、基板1を有機溶剤雰囲気下に放置して、レジストパターン4の壁面に傾斜角度を与えるステップと、基板上に形成されたレジストパターン4にしたがって、金属構造体8を堆積させるステップと、金属構造体8を型として、樹脂成形品9を形成する成形品形成ステップとを有する。
【選択図】 図1
Description
実施例1
実施例2.
実施例3.
6 金属製トレイ、7 導電性膜、8 金属構造体、9 樹脂成形品、10 台座
11 流路、12 混合部
Claims (17)
- 基板上にレジスト層を形成するステップと、
マスクを用いて前記レジスト層に露光、現像を行うレジストパターン形成ステップと、
前記基板を有機溶剤雰囲気下に放置して、前記レジストパターンの壁面に傾斜角度を与えるステップと
前記基板上に形成された前記レジストパターンにしたがって、金属構造体を堆積させるステップを有する金型の製造方法。 - 請求項1記載の金型の製造方法において、前記基板を有機溶剤雰囲気下に放置して、前記レジストパターンの壁面に傾斜角度を与えるステップに替えて、基板のレジストパターン上に有機溶剤を含有する溶液を塗布して、前記レジストパターンの壁面に傾斜角度を与えるステップを有する金型の製造方法。
- 前記レジストパターン形成ステップでは、レジスト層が所望の高さ、または、深さを有する構造体に形成されるまで、複数回に亘ってレジスト層の形成、露光を繰り返すことを特徴とする請求項1又は2記載の金型の製造方法。
- 前記レジストパターン形成ステップにおいて、複数回に亘ってレジスト層の形成、露光を繰り返す際、露光における各層のマスクパターンの位置が同じ位置になるように、マスクパターンの位置を合わせるマスク位置合わせステップをさらに備えることを特徴とする請求項3記載の金型の製造方法。
- 前記レジストパターン形成ステップにおいて、複数回に亘ってレジスト層の形成、露光を繰り返す際、各レジスト層に感度の異なるレジストを用いることを特徴とする請求項3記載の金型の製造方法。
- 前記レジストパターンを形成するステップにおいて露光に用いられる光源は、紫外線ランプ又はレーザー光であることを特徴とする請求項1乃至7いずれか記載の金型の製造方法。
- 前記樹脂成形品を形成するステップにより形成される樹脂成形品の凹凸部の深さ、または高さは、実質的に5μm乃至500μmであることを特徴とする請求項1乃至6いずれか記載の金型の製造方法。
- 請求項1乃至7いずれか記載の金型の製造方法により金型を製造するステップと、
前記金型により樹脂成形品を形成する成形品形成ステップとを備えた樹脂成形品の製造方法。 - 請求項8記載の樹脂成形品の製造方法により得られる樹脂成形品。
- 流路パターン、混合部パターン、容器パターンの中から少なくとも一つのパターンを有する請求項9記載の樹脂成形品。
- 電極、ヒータ、温度センサの中から少なくとも一つのパターンを有する請求項9または10記載の樹脂成形品。
- 請求項8記載の樹脂成形品の製造方法により得られる臨床検査に用いられるチップ。
- 血液検査用チップ、尿検査用チップ又は生化学検査用チップのいずれか一つであることを特徴とする請求項12記載の臨床検査に用いられるチップ。
- 請求項8記載の樹脂成形品の製造方法により得られるコンビナトリアルケミストリーに用いられるチップ。
- 医薬開発チップ又は化学合成・分析用チップであることを特徴とする請求項14記載のコンビナトリアルケミストリーに用いられるチップ。
- 請求項8記載の樹脂成形品の製造方法により得られる遺伝子関連に用いられるチップ。
- 遺伝子増幅用チップであることを特徴とする請求項16記載の遺伝子関連に用いられるチップ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003318361A JP4353757B2 (ja) | 2003-09-10 | 2003-09-10 | 樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003318361A JP4353757B2 (ja) | 2003-09-10 | 2003-09-10 | 樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005081767A true JP2005081767A (ja) | 2005-03-31 |
JP4353757B2 JP4353757B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=34417660
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003318361A Expired - Lifetime JP4353757B2 (ja) | 2003-09-10 | 2003-09-10 | 樹脂成形品の製造方法及び金型の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
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