JP2005078880A - 電界電子放出画像表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 電界電子放出画像表示装置において、アノード基板とカソード基板間に支柱構造のない真空筐体を構成して簡易なプロセスによる製造を可能にし、超高真空を保持し、寿命の長期化を図る。
【解決手段】 基板面上に画像表示領域22を有する第1の基板23と、第1の基板23の画像表示領域22と対向して、基板面上に電子放出部24及び電子放出部24から放出される電子を制御するための電子制御部25が形成され、厚さ方向に1個以上の貫通孔45を有する第2の基板26と、第2の基板26の電子放出部24が形成される面と反対の面に対向して、少なくとも1個以上の排気口46を備えた第3の基板27とからなり、第1の基板23と第2の基板26、第2の基板26と第3の基板27をそれぞれ基板周縁部でシールして基板間に閉空間31、32を形成し、閉空間31、32を排気口47に接続された排気管47を通して真空排気し、その後封止して構成し、排気管47に挿入するスプリング56と該スプリング56に接続したゲッター装置51を備えて成る。
【選択図】 図2
【解決手段】 基板面上に画像表示領域22を有する第1の基板23と、第1の基板23の画像表示領域22と対向して、基板面上に電子放出部24及び電子放出部24から放出される電子を制御するための電子制御部25が形成され、厚さ方向に1個以上の貫通孔45を有する第2の基板26と、第2の基板26の電子放出部24が形成される面と反対の面に対向して、少なくとも1個以上の排気口46を備えた第3の基板27とからなり、第1の基板23と第2の基板26、第2の基板26と第3の基板27をそれぞれ基板周縁部でシールして基板間に閉空間31、32を形成し、閉空間31、32を排気口47に接続された排気管47を通して真空排気し、その後封止して構成し、排気管47に挿入するスプリング56と該スプリング56に接続したゲッター装置51を備えて成る。
【選択図】 図2
Description
本発明は、電界電子放出画像表示装置、いわゆるフィールドエミッションディスプレイ(FED)に関する。
平面型表示装置(フラットパネルディスプレイ:FPD)の一つとして電界電子放出画像表示装置が知られている。図15及び図16は、従来の電界電子放出画像表示装置の模式的な断面構造を示す。この電界電子放出画像表示装置1は、図15及び図16に示すように、蛍光面2を内面に形成したアノード基板3と、電界放出素子4を形成したカソード基板5とを相対向して配置し、周縁部分にシールガラス6を挟んでフリットガラス7にて接合して構成される。
アノード基板3は、板ガラスまたはガラスパネル上に、電子照射により発光する蛍光体層11と高圧印加の全面電極(ブラックマトリックス層)、さらにコントラスト向上の遮光として働くブラックマトリックス層8、並びに表示面への発光効率を高めるためのメタルバック層12が形成される。蛍光体層11及びブラックマトリックス層8は、例えば一方向(紙面と直交する方向)に帯状に形成されて成る。カソード基板5は、板ガラスまたはガラスパネル上に、他方向(紙面に沿う方向)形成されたカソード電極13と、絶縁層15を介してこのカソード電極13と直交する方向(上記一方向)に帯状に形成されたゲート電極14と、さらに両電極13及び14の交叉領域に形成された電子放出部16とが形成され、電界放出素子4が形成されて成る。
電子放出部16は、絶縁層15及びゲート電極14の開口17内に臨みカソード電極13上に形成されている。電子放出部の例としては、材料にMo等を用いたスピント型、カーボンナノチューブを用いたCNT型が知られている。アノード基板3及びカソード基板5を対向させた空間は、電界放出による電子を蛍光面2に照射する必要があり、真空に維持される。従来の筐体構造においては、対向する両基板3及び5の空間内部に図17に示すようなスペンサーと呼ばれる円柱状体10A、またはウォールと呼ばれる壁状体10B等の支柱(いわゆる支柱構造)10を設けることで、大気圧に対する筐体の断面2次モーメントを上げてアノード基板3及びカソード基板5の大気圧による変形、破壊を防いでいる。
一方、真空空間を有する平面表示装置においては、その製造時に管内のガス質改善、即ち不要ガスの除去を目的として、管内にゲッター材が配置される。ゲッター材は、気体分子の吸着を利用して排気を行うもので、次のような条件を持つ必要がある。
1)動作条件で各種の気体(特に酸素)に対して活性であり、一度反応した気体を他の気体との反応や電気衝撃などで還元放出することがない。
2)反応の生成物が多孔質で、真表面積が大きくゲッター内部まで物質を有効に利用できる。
3)蒸発あるいは活性化し易く、1000℃内外で、活性化可能なことが望ましい。
4)動作温度での蒸気圧が充分に低い。
5)大気中で安定であること、また安定な状態にし得ること。
1)動作条件で各種の気体(特に酸素)に対して活性であり、一度反応した気体を他の気体との反応や電気衝撃などで還元放出することがない。
2)反応の生成物が多孔質で、真表面積が大きくゲッター内部まで物質を有効に利用できる。
3)蒸発あるいは活性化し易く、1000℃内外で、活性化可能なことが望ましい。
4)動作温度での蒸気圧が充分に低い。
5)大気中で安定であること、また安定な状態にし得ること。
このような条件から、通常封じ切りの受像管内部で用いられるゲッター材は、蒸発型のフラッシュ・ゲッターとしてのバリウムーアルミニウム(BaーAl)合金や、固体のまま使用するバルクゲッターとしてのジルコニウムーアルミニウム(ZrーAl)合金等を、金属容器に充填したものが主体となっている。これらのゲッター材は通常、受像管の外側からの高周波加熱によって約800℃程度に一定時間加熱されて、蒸発あるいは活性化が行われる。
上述した電界電子放出画像表示装置では、アノード基板とカソード基板との間隔が非常に狭くなっている。この表示装置として電子ビームの制御を確実に行うために、少なくとも1.33×10−3Pa以上、望ましくは1.33×10−5〜1.33×10−6Pa程度の高い真空度、いわゆる超高真空が保持されるようになっている。
電界電子放出画像表示装置においても、このような超高真空を保持するためにゲッタ−フラッシュ技術が用いられる。電界電子放出画像表示装置等の平面表示装置では、例えばカソ−ド基板に排気口を設け、この排気口の周囲を覆うようにフリットガラス等によって例えば漏斗状の排気管(チップオフ管)、或いは筒状の排気管を封着する。この排気管内には、漏斗状の場合、その大径部内にゲッタ−材を収めた環状の金属容器が取付けられる。また、筒状の場合は、筒状部に上記容器がメタルシ−ル等によって取付けられる。容器内にゲッタ−材を高周波加熱によりアノ−ド基板の特定領域に蒸着され、アノ−ド基板とカソ−ド基板管の空間に存在する残留ガスを吸着することにより超高真空を得るものである。
特許文献1には、アノ−ド基板とカソ−ド基板間の空間内に支柱構造を有した電界電子放出画像表示装置の例が示されている。また、特許文献2には、電界電子放出画像表示装置として、カソ−ド基板を挟んでアノ−ド基板と背面基板が配置された構成の例が示されている。特許文献3には、排気管内にゲッタ−材を収容した平面表示装置の例が示されている。
特開2001−101986号公報
特開2002−150976号公報
特開2002−358899号公報(図1参照)
電界電子放出画像表示装置では、カソード電極13とアノード電極に異なる電圧を印加して電界を形成し、この電界によりカソード側の電子放出部16から電子を引き出し、アノード側の蛍光体層11を発光させる。しかしながら、発光に作用する空間内部に支柱構造を設けて、カソードとアノードを構造的につなぐと、電界により電子が流れる経路以外に支柱部分10から電子が流れる場合がある。また、支柱部分10がコンデンサとなる場合もある。いずれの場合も表示画像が乱れたり、筐体内部の放電が起きたりして表示画像に問題が生じる。
また、支柱自体が表示画像に現れないように、支柱には目立たないことが求められる。このため、例えば壁状構造を用いる場合、その幅を数十ミクロン程度で高さを数ミリとしなくてはならない。この小ささ故にパーツとしての作製方法、形成方法が非常に難しく高価なものとなってしまう。また、表示装置の製造プロセスの煩雑化に伴い大型化への支障となる。
一方、超高真空を得るためには、ゲッター材を出来るだけ多く管内に封止して置きたいが、電界電子放出画像表示装置においては、限られた空間であるため限度があり、且つガラス面等に設置しなければならないためにその支持方法にもいろいろと問題が多い。特に、表示装置を構成するアノード基板3とカソード基板5間内の真空領域が狭い空間18であるため、次のような問題点がある。僅かの残留ガスや発生ガスによって真空度が損なわれる。ゲッター材を蒸着される領域がアノード基板3の一部に限定されるため、ゲッター材を蒸着させる充分な量のゲッター材を保持することができない。ゲッター材を基板周縁部の溝に保持した場合であっても、なお十分な量のゲッター材を保持することができない。また、その量を調整することが困難であった。必要とする超高真空を保持できない。
さらに、ゲッター材は排気管内に取付けられた金属容器に収容された場合には、その量に限界があり、真空度を長期間保持することができなかった。また、管外から高周波加熱でゲッター材を加熱して蒸発活性化するための高周波コイルの位置を考慮する必要がある。
本発明は、上述の点に鑑み、大型化が進む電界電子放出画像表示装置において、アノード基板とカソード基板間に支柱構造を持たない真空筐体構造で、且つ簡易なプロセスにより製造を可能にした電界電子放出画像表示装置を提供するものである。
併せて、超高真空を保持し、寿命の長期化を可能にした電界電子放出画像表示装置を提供するものである。
併せて、超高真空を保持し、寿命の長期化を可能にした電界電子放出画像表示装置を提供するものである。
本発明に係る電界電子放出画像表示装置は、基板面上に画像表示領域を有する第1の基板と、第1の基板の画像表示領域と対向して、基板面上に電子放出部及び電子放出部から放出される電子を制御するための電子制御部が形成され、厚さ方向に1個以上の貫通孔を有する第2の基板と、第2の基板の電子放出部が形成される面と反対の面に対向して、少なくとも1個以上の排気口を備えた第3の基板とからなり、第1の基板と第2の基板、第2の基板と第3の基板をそれぞれ基板周縁部でシールして基板間に閉空間を形成し、閉空間を排気口に接続された排気管を通して真空排気し、その後封止して構成し、排気管に挿入するスプリングと該スプリングに接続したゲッター装置を備えて成る。
本発明の電界電子放出画像表示装置では、電子放出部及び電子制御部が形成された第2の基板を挟んで、この第2の基板との間で夫々閉空間を形成するように画像表示領域を有する第1の基板と第3の基板が配置されることにより、第1の基板と第2の基板との間に支柱構造のない閉空間が形成される。基板周縁部のシールの高さ調整によって第1及び第2の基板間の間隔を支柱構造のものより大きく設定することが可能になる。第2の基板に両閉空間を連通する貫通孔が形成され、ゲッター装置が第3の基板の排気口につながる排気管内に挿入したスプリングに接続されているので、ゲッター装置の取付けが簡便である。ゲッター装置が第2及び第3の基板間の閉空間に在るので、十分な量のゲッター材が確保され、高真空が維持さる。
本発明は、上記電界電子放出画像表示装置において、第2の基板に2個以上の前記貫通孔を有し、第3の基板に2個以上の前記排気口を有し、貫通孔及び排気口の夫々を2分するように、第2の基板と第3の基板で形成された閉空間内に仕切り板を配置して構成することができる。
第1の基板及び第3の基板は、同等な肉厚の基板で形成することができる。第1の基板及び第3の基板は、閉空間の真空時変形が起こらず、且つ真空応力に耐え得る板厚で形成することができる。第1の基板及び第3の基板の周縁部スペーサとの接着幅は、それぞれ第1の基板及び第3の基板の板厚以上に設定することができる。
第1の基板及び第3の基板は強化ガラスにて形成することができる。第1の基板及び第3の基板の板厚をtとし、有効画面サイズをAとするとき、第1及び第3の基板は、0.32×A+3.9≦t≦0.51×A+6.1の関係式を満たす板厚を有する基板で形成することが好ましい。
第1及び第3の基板の周縁部はアール形状に形成し、或いは第1の基板の周縁部はアール形状にすると共に第3の基板はファンネル形状に形成することが好ましい。
第1の基板及び第2の基板間の第1の周縁部スペーサと、第2の基板及び第3の基板間の第2の周縁部スペーサとは、基板との接触面の周縁形状を同じにして形成することができる。
第2の基板は、厚み1.0mm〜3.0mmな板ガラスで形成し、第1及び第3基板に対して駆動電極引出し分として少なくとも5mm以上大きく形成することが好ましい。
第1の基板には、基板飛散防止フィルムを貼着することができる。第1の基板に貼着されたフィルムには、反射防止コート処理を施すようにしてもよい。
第1の基板及び第3の基板は強化ガラスにて形成することができる。第1の基板及び第3の基板の板厚をtとし、有効画面サイズをAとするとき、第1及び第3の基板は、0.32×A+3.9≦t≦0.51×A+6.1の関係式を満たす板厚を有する基板で形成することが好ましい。
第1及び第3の基板の周縁部はアール形状に形成し、或いは第1の基板の周縁部はアール形状にすると共に第3の基板はファンネル形状に形成することが好ましい。
第1の基板及び第2の基板間の第1の周縁部スペーサと、第2の基板及び第3の基板間の第2の周縁部スペーサとは、基板との接触面の周縁形状を同じにして形成することができる。
第2の基板は、厚み1.0mm〜3.0mmな板ガラスで形成し、第1及び第3基板に対して駆動電極引出し分として少なくとも5mm以上大きく形成することが好ましい。
第1の基板には、基板飛散防止フィルムを貼着することができる。第1の基板に貼着されたフィルムには、反射防止コート処理を施すようにしてもよい。
本発明に係る電界電子放出画像表示装置によれば、第1及び第2に基板間を支柱レス構造とすることができる。支柱レス構造であるので、第1及び第2の基板間の間隔を大きく設定でき、高圧印加が可能になる。高圧印加の安定性確保により、高輝度発光蛍光体の利用が可能になり、且つ放電特性を改善することができる。また、支柱による発光画像の陰の問題もなく電界電子放出画像表示装置の発光量を一層増加させることができる。
また、真空領域の容量が大きくなり僅かな残留ガスや発生ガスにより真空度が損なわれることがなくなる。ゲッター材の蒸着膜を広い領域に付けることができ、その蒸着膜が閉空間内のガスを十分吸収して真空度を増し、さらに発生ガスを吸収して電界放出型カソードの汚染や損傷をなくし、電界電子放出画像表示装置の寿命を長期に維持することができる。
第2の基板に2個以上の前記貫通孔を有し、第3の基板に2個以上の前記排気口を有し、貫通孔及び排気口の夫々を2分するように、第2の基板と第3の基板で形成された閉空間内に仕切り板を配置するときは、第1、第2及び第3の基板の封止工程において、一方の排気管、排気口及び貫通孔を通じて不活性ガスを導入し、他方の貫通孔、排気口及び排気管を通じて排出するようにして、閉空間内を不活性ガスにて置換した状態で封止を行うことができる。これにより、電界放出型カソードの酸化を防止することができ、信頼性の高い電界電子放出画像表示装置を提供することができる。
第1及び第3の基板が同等な肉厚で形成されるときは、外圧を均等に受け支柱レス構造を可能にすると共に、第2の基板に対して変形、歪み等を回避できる。第1及び第3の基板が、閉空間の真空時変形が起こらず、且つ真空応力に耐え得る板厚で形成されるときは、支柱レス構造を可能にする。第1の基板及び第3の基板の周縁部スペーサとの接着幅が、それぞれ第1の基板及び第3の基板の板厚以上に設定されるときは、真空筐体の真空変形、真空応力を緩和し、支柱レス構造を可能にする。
第1及び第3の基板が強化ガラスにて形成されるときは、ガラス板厚を厚くすることなく強度を十分確保でき、軽量化を行うことができる。
第1及び第3の基板が強化ガラスにて形成されるときは、ガラス板厚を厚くすることなく強度を十分確保でき、軽量化を行うことができる。
第1の基板及び第3の基板の板厚をtとし、有効画面サイズをAとするとき、第1及び第3の基板を、0.32×A+3.9≦t≦0.51×A+6.1の関係式を満たす板厚を有する基板で形成することにより、真空筐体において十分な真空強度が得られ支柱レス構造を可能にし、且つ同じ有効画面サイズとした場合の重量を陰極線管より軽量にして商品性を向上することはできる。
第1及び第3の基板の周縁部をアール形状に形成し、或いは第1の基板の周縁部をアール形状にすると共に第3の基板をファンネル形状に形成することにより、さらに真空強度、真空応力に耐えられる真空筐体が得られる。
第1の基板及び第2の基板間の周縁部スペーサと、第2の基板及び第3の基板間の第2の周縁部スペーサとが、基板との接触面の周縁形状を同じにすることにより、中間に挟まれる第2の基板に対する表裏面の接触位置が同じであるため、垂直方向の変形が起こりずらく、反りなどによる薄板基板のクラック発生が抑えられる。
第1及び第3の基板の周縁部をアール形状に形成し、或いは第1の基板の周縁部をアール形状にすると共に第3の基板をファンネル形状に形成することにより、さらに真空強度、真空応力に耐えられる真空筐体が得られる。
第1の基板及び第2の基板間の周縁部スペーサと、第2の基板及び第3の基板間の第2の周縁部スペーサとが、基板との接触面の周縁形状を同じにすることにより、中間に挟まれる第2の基板に対する表裏面の接触位置が同じであるため、垂直方向の変形が起こりずらく、反りなどによる薄板基板のクラック発生が抑えられる。
第2に基板が、厚み1.0mm〜3.0mmな板ガラスで形成され、第1及び第3基板に対して駆動電極引出し分として少なくとも5mm以上大きく形成されるときは、カソード形成プロセスの制約、筐体の熱プロセス時の熱応力に耐えることができ、しかも駆動用電極を余裕をもって引き出すことができる。
第1の基板に基板飛散フィルムを貼着することにより、第1の基板が破損しても破片の飛散を防止できる。第1の基板に貼着されたフィルムに反射防止コート処理を施すことにより、外光反射を防ぎ画像のコントラストを向上することができる。
第1の基板に基板飛散フィルムを貼着することにより、第1の基板が破損しても破片の飛散を防止できる。第1の基板に貼着されたフィルムに反射防止コート処理を施すことにより、外光反射を防ぎ画像のコントラストを向上することができる。
本実施の形態においては、簡易なプロセスにより高圧印加型の電界電子放出画像表示装置を製造できるようにすると共に、長期にわたる真空特性並びに導通特性を維持できる真空筐体を構成する。真空筐体は、蛍光面を形成した第1の基板、いわゆるアノード基板と、電子放出冷陰極構造を形成した第2の基板、いわゆるカソード基板とを所定間隔を保持して相対向させ、スペーサ、本例ではガラスコア部を有する周縁形状のギャップガラスを挟んでフリットガラスにより貼り合せ、アノード基板とカソード基板の発光表示領域には支柱構造を持たないように構成する。さらに真空筐体は、アノード基板及びカソード基板間の発光作用を行う前面空間に対し背面空間を設けるようにカソード基板に対向して第3の基板、いわゆる背面基板を配置し、ガラスコア部を有する周縁形状のギャップガラスを挟んでフリットガラスにより貼り合せてなる。真空筐体は、全体としてカソード基板を挟んでアノード基板と背面基板とを発光空間領域及び背面空間領域を形成するように構成する。
アノード基板と背面基板は、同等な肉厚の基板にて形成することが好ましいが、多少肉厚が異なっていてもよい。支柱構造に相当する筐体強度が得られるように、アノード基板と背面基板の肉厚ならびに周縁形状のギャップガラスの基板面との接合幅を決定する。即ち、アノード基板及び背面基板は、発光作用を行う前面空間の真空時変形が起こらず、且つ真空応力に耐え得る肉厚(板厚)にて形成される。接合幅は、ギャップガラスと接合する基板の厚さ以上にすることが好ましい。
アノード基板及び背面基板としては、強化ガラスを用いることが好ましい。強化ガラスを用いることにより、筐体の軽量化が図れる。アノード基板及び背面基板としては、強化ガラスを用い、アノード基板及び背面基板の板厚をtとし、有効画面サイズをAとするとき、第1及び第3の基板は、0.32×A+3.9≦t≦0.51×A+6.1の関係式を満たす板厚を有するようになす。この板厚を有することにより、支柱レス構造と軽量化が図れる。
より真空強度、真空耐圧に耐えるようにするため、アノード基板及び背面基板としては、周縁部をアール形状に形成し、或いはアノード基板の周縁部をアール形状にすると共にカソード基板をファンネル形状に形成することが好ましい。
周縁部分のギャップガラスとしては、アノード基板とカソード基板間に挿入される第1のギャップガラスと、背面基板とカソード基板間に挿入される第2のギャップガラスの、各基板との接触面の形状が同じであることが好ましい。
より真空強度、真空耐圧に耐えるようにするため、アノード基板及び背面基板としては、周縁部をアール形状に形成し、或いはアノード基板の周縁部をアール形状にすると共にカソード基板をファンネル形状に形成することが好ましい。
周縁部分のギャップガラスとしては、アノード基板とカソード基板間に挿入される第1のギャップガラスと、背面基板とカソード基板間に挿入される第2のギャップガラスの、各基板との接触面の形状が同じであることが好ましい。
背面基板には、真空排気手段を備えると共に、封止後の長期的真空維持を目的としたゲッター装置を、背面空間のカソード基板の裏面に広範囲に飛散させることができるように背面空間内に配置することが好ましい。ゲッター装置は、保持用のスプリングを接続し、このスプリングを真空排気手段の排気管に挿入して保持するようになされる。
発光作用を行う前面空間内のカソード基板には、背面空間及び背面基板に設けた真空排気手段に連通するように連通部を設けるようになす。カソード基板に連通部を設けることで、発光空間における真空排気ならびに電子照射により発生するアウトガスの背面空間のゲッター蒸着膜での吸着を促進させる。
発光作用を行う前面空間内のカソード基板には、背面空間及び背面基板に設けた真空排気手段に連通するように連通部を設けるようになす。カソード基板に連通部を設けることで、発光空間における真空排気ならびに電子照射により発生するアウトガスの背面空間のゲッター蒸着膜での吸着を促進させる。
カソード基板に2つ以上の連通部を設け、背面基板に2つ以上の真空排気手段を設け、背面空間内に連通部及び真空排気手段を2分するような仕切り板を配置することができる。この仕切り板により、加熱炉内での真空排気時に発光空間内へ不活性ガスを導入してカソード構成部の酸化を防止するようになす。
カソード基板は、カソード形成プロセスの制約、ならびに筐体熱プロセス時の熱応力に耐えうる厚みが必要とされ、少なくとも1.0mm〜3.0mmの汎用な板ガラスを用いることができる。カソード基板は、アノード基板及び背面基板に対して、駆動用アドレス電極を引き出す為に少なくとも、5mm以上筐体外部へのはみ出し余裕をもったサイズとすることができる。
アノード基板には、付加的な処理としてガラス飛散防止フィルムを設けてもよい。また、このガラス飛散防止フィルムに反射防止コート処理を施しても良い。
支柱構造を有するものでは、その加工性によりカソード基板とアノード基板間のギャップ高さに制約がある。しかし、本実施の形態の筐体では、アノード基板とカソード基板間の距離を周縁形状のギャップガラスの厚みを変えることで、簡易に広い範囲でギャップ調整が可能な構造となり、高輝度化に対してギャップ高さにより印加電圧をある程度調整することができる。本実施の形態では、支柱構造を有するものに比べて、ギャップ長さを広く設定でき、且つ高圧印加ができる構造とすることができる。
支柱構造を有するものでは、その加工性によりカソード基板とアノード基板間のギャップ高さに制約がある。しかし、本実施の形態の筐体では、アノード基板とカソード基板間の距離を周縁形状のギャップガラスの厚みを変えることで、簡易に広い範囲でギャップ調整が可能な構造となり、高輝度化に対してギャップ高さにより印加電圧をある程度調整することができる。本実施の形態では、支柱構造を有するものに比べて、ギャップ長さを広く設定でき、且つ高圧印加ができる構造とすることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図1、図2及び図3(要部の拡大図)は、本発明に係る電界電子放出画像表示装置の一実施の形態を示す。本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置21は、基板表面に画像表示領域である蛍光面22を有する第1の基板、即ちアノード基板(いわゆるアノードパネル)23と、基板表面に電子放出部24及び電子放出部24から放出される電子を制御するための電子制御部、いわゆるゲート電極25が形成された第2の基板、即ちカソード基板(いわゆるカソードパネル)26と、カソード基板26の電子放出部24を有する面と反対の面に対向して配置された第3の基板、即ち背面基板(いわゆる背面パネル)27とから構成される。アノード基板23、カソード基板26及び背面基板27は、平面板ガラスで形成される。アノード基板23とカソード基板26は、所要の間隔を置いて周縁部でシール(封止)され、内部を真空状態とした閉空間、いわゆる発光作用を行う前面空間31が形成される。カソード基板26と背面基板27は、所要の間隔を置いて周縁部でシール(封止)され、内部を真空状態とした閉空間、いわゆる背面空間32が形成される。
これらアノード基板23とカソード基板26と背面基板27とにより、前面空間31及び背面空間32が形成され、且つ前面空間31内に支柱を有しない真空筐体33が構成される。アノード基板23とカソード基板26は、周縁部において所要間隔を保持するように、第1のスペーサ、本例ではガラスコア部を有する周縁形状の第1のギャップガラス35Aを挟んでフリットガラス36にて接合され気密シールされる。カソード基板26と背面基板27は、両基板26及び27の周縁間に所要間隔を保持するように、第2のスペーサ、本例ではガラスコア部を有する周縁形状(枠状)の第2のギャップガラス35Bを挟んでフリットガラス36にて接合して気密シールされる。
アノード基板23の蛍光面22は、カラー蛍光面の場合、赤(R)、緑(G)及び青(B)の各色蛍光体層41〔41R,41G,41B〕と、各蛍光体層41間に在ってコントラスト向上の遮光層として働くブラックマトリックス層43とからなり、この蛍光面22上に電子ビーム照射による蛍光体層41からの発光線を観察者側に効率良く反射させるための反射層としてのメタルバック層42が形成される。このメタルバック層42に外部からアノード電圧が印加されるように成される。
各色蛍光体層41R,41G,41Bは、例えば紙面と直交する方向に延びるストライプ状に形成される。ブラックマトリックス層43は、例えばカーボンストライプで形成される。
各色蛍光体層41R,41G,41Bは、例えば紙面と直交する方向に延びるストライプ状に形成される。ブラックマトリックス層43は、例えばカーボンストライプで形成される。
カソード基板26においては、基板面上に一方向(即ち、紙面に沿う方向)に延びる帯状のカソード電極28が複数平行に配列される。このカソード電極28を含む面上に絶縁層29が形成され、絶縁層29上にカソード電極28と直交するように他方向(即ち、紙面と直交する方向)に延びる帯状のゲート電極25が複数平行に配列される。さらに、カソード電極28とゲート電極25との交叉領域において、カソード電極28に接続された電子放出部24が形成される。本例ではカソード電極28上に電子放出部28が形成され、上記交叉領域のゲート電極25及び絶縁層29に電子放出用の開口30が形成され、開口30の底面に電子放出部24が臨むように形成される。これらカソード電極28、電子放出部24及びゲート電極25により電界放出素子が構成される。電子放出部24が形成される交叉領域は、アノード基板23側の一画素の蛍光体層41に対応する。
図1及び図2では平面型の電界放出素子が例示されているが、他の形式の電界放出素子であっても構わない。例えば、カソード電極28上に導電材料からなる円錐形の電子放出部が形成されていれば、いわゆるスピント型の電界放出素子である。また、導電材料からなる電子放出層もゲート電極25及び絶縁層29と共に貫通する開口30が形成され、開口30内に露出した電子放出層の端部が電子放出部とされていれば、エッジ型の電界放出素子である。また、ゲート電極25及び絶縁層29に形成された開口30内部のカソード電極28上にカーボンナノチューブのような針状の導電材料を一定の間隔で離間させて電子放出部が形成されている電界放出素子でも構わない。尚、一画素の領域内の電子放出用の開口30は、1つあるいは複数であっても構わない。また、開口30の形状ならびに配列に関しても任意であり、スリット状あるいはメッシュ状の開口であっても構わない。
カソード基板26には、排気用の1つ以上の貫通孔、本例では有効画面から外れた無効領域の四隅に対応して4つの貫通孔45が形成される。また、背面基板27には、1つ以上の排気口、本例では基板中央に1つの排気口46が形成され、この排気口に排気管(即ち、チップオフ管)47が接続される。排気管47は背面基板27にフリットガラスにて接合される。真空筐体33は、排気管47を通して空間31及び32内が真空排気され、真空排気後に排気管47が封止される。
ガラスコア部を有する周縁形状のギャップガラス35〔35A,35B〕は、アノード基板23及びカソード基板26と同一のガラス素材にて形成することが望ましい。周縁形状は、アノード基板23の蛍光面22が形成されている領域、いわゆる有効画面領域を最低限の開口領域とし、アノード基板23及び背面基板27の外形を最大外形とする。周縁形状のギャップガラス35の形状は、開口部を有した枠形状でもよく、または短冊状のギャップガラス35の組み合わせにより形成しても良い。
カソード基板26は、アノード基板23及び背面基板27より大きく形成し、少なくともアノード基板23より大きく形成し、3枚の基板23、26及び27をフリットシールした状態でカソード電極28、ゲート電極25が外部に導出されるように構成することができる。
真空筐体33は、従来の真空筐体に対してウォール及びスペンサーに相当する支柱構造をなくし、アノード電極とカソード電極間が構造的、物理的につながることがないように構成される。真空筐体33では、支柱構造に相当する真空強度を、アノード基板23及び背面基板27、並びに両基板23、27の貼り合せに使っているカソード基板26を挟む形で形成された周縁形状のガラスギャップで作るガラス筐体にて得ている。さらに、発光に作用する前面空間31の空間距離の維持もこのガラス筐体によってなされている。
アノード基板23と背面基板27は、前面空間31の真空時に変形が起こらず且つ真空応力に耐え得る板厚で形成される。両基板23及び27は、互いに同じ板厚のガラス基板で形成される。
カソード基板26は、アノード基板23及び背面基板27より薄いガラス基板で形成され、アノード基板23及び背面基板27に対して駆動電極(カソード電極、ゲート電極)の引出し分だけ大きく形成される。本例では、カソード基板が厚みが1.3mm〜3.0mmの汎用な板ガラスで形成され、3枚の基板23、26、27を貼り合わせた状態でアノード基板23及び背面基板27より5mm以上大きく、例えば左右両側に5mm以上延長して、あるいは全周に5mm以上延長するように大きく形成することができる。
カソード基板26は、アノード基板23及び背面基板27より薄いガラス基板で形成され、アノード基板23及び背面基板27に対して駆動電極(カソード電極、ゲート電極)の引出し分だけ大きく形成される。本例では、カソード基板が厚みが1.3mm〜3.0mmの汎用な板ガラスで形成され、3枚の基板23、26、27を貼り合わせた状態でアノード基板23及び背面基板27より5mm以上大きく、例えば左右両側に5mm以上延長して、あるいは全周に5mm以上延長するように大きく形成することができる。
本実施の形態では、アノード基板23及び背面基板27の板ガラスに強化処理を施している。この真空筐体33では、風冷物理強化処理を施しガラス表層に圧縮応力を入れることでガラス強度として未処理ガラスの3倍以上を確保している。なお、強化処理に関しては必要な強度を確保できれば、イオン置換による化学強化法、レーザビームによるレーザ強化法等の手段を用いることもできる。
表示面からの衝撃による破壊強度の保証が必要であるため、最低限表示面となるアノード基盤23の表面に強化を持たせることが必要である。このため、少なくともアノード基板23を強化ガラスを用いる。背面基板27も強化ガラスで形成することが望ましい。但し、背面基板27を強化ガラスにしない場合は、基板の厚さを厚くすることが望ましい。
表示面からの衝撃による破壊強度の保証が必要であるため、最低限表示面となるアノード基盤23の表面に強化を持たせることが必要である。このため、少なくともアノード基板23を強化ガラスを用いる。背面基板27も強化ガラスで形成することが望ましい。但し、背面基板27を強化ガラスにしない場合は、基板の厚さを厚くすることが望ましい。
本実施の形態では、支柱レス構造とするため、従来の支柱構造に相当する強度を各アノード基板23及び背面基板27のガラスの厚みで得る。しかし、このガラスの厚みが厚すぎると、重量増、高コストにつながり商品性を損ねる。一方、ガラスの厚みが薄すぎると大気圧による真空筐体33が変形、破壊するなど製品性能ならびに安全上の問題が生じる。ゆえに、ガラスの厚みは筐体33の大きさに応じて望ましい範囲がある。
アノード基板23及び背面基板27のガラス厚みの上限は、商品性の観点から決められる。すなわち、同じ画面サイズの通常の陰極線管の重量を越えない厚さに決められる。電界電子放出画像表示装置は、平面カソードを用いるため陰極線管より薄く、軽く構成できる。陰極線管の短所の一つに重量が大きい点があるため、電界電子放出画像表示装置が少なくとも同じ画面サイズの陰極線管より重い場合、商品性を損ねることになる。このような理由からアノード基板23及び背面基板27のガラス厚みの上限が設定される。
アノード基板23及び背面基板27のガラス厚みの下限は、一般の陰極線管の安全基準を電界電子放出画像表示装置に置き換えて、筐体33に許容できる最大真空応力から決められる。図4は、アノード基板23及び背面基板27において、各画面サイズで望ましいガラス板厚範囲Qを計算した結果を示す。図4において、縦軸はガラス板厚(mm)、横軸は筐体の有効画面サイズ(対角線のインチサイズ)を示す。直線aは基板ガラスの最大厚みであり、y=0.51x+6.1の関係式で得られる。直線bは基板ガラスの最小厚むであり、y=0.32x+3.9の関係式でえられる。
基板ガラスの厚みをt1 (mm)、筐体33の有効画面サイズをAとすると、基板ガラスの厚みt1 は、式1に示す関係にある。
基板ガラスの厚みをt1 (mm)、筐体33の有効画面サイズをAとすると、基板ガラスの厚みt1 は、式1に示す関係にある。
[式1]
0.32×A+3.9≦t1 ≦0.51×A+6.1
0.32×A+3.9≦t1 ≦0.51×A+6.1
例えば32インチにおいて、陰極線管の重量は48kg程度であり、電界電子放出画像表示装置でこの48kg以下にするためには、FEMシミュレーションで計算すると、ガラス板厚は22.5mm以下でなければならない。
一方、表1は板ガラスを用いた真空筐体の実用強度を示す。表1に示すように、各基板23、27にフロート法で作製した板ガラスを用いた場合、筐体33の最大真空応力として3.75kgf/mm2 まで許容できる。実際に筐体を作製し、防爆試験を実施した結果、ガラス基板の表面にガラス飛散防止用のフィルム及びガラス基板の周囲にガラス飛散用のテープを貼れば、上記許容応力まで安全上問題ないことを確認できた。例えば32インチにおいて、筐体の最大真空応力を上記許容応力以下にするためには、FEMシミュレーションで計算すると、ガラス板厚は14mm以上となる。
一方、表1は板ガラスを用いた真空筐体の実用強度を示す。表1に示すように、各基板23、27にフロート法で作製した板ガラスを用いた場合、筐体33の最大真空応力として3.75kgf/mm2 まで許容できる。実際に筐体を作製し、防爆試験を実施した結果、ガラス基板の表面にガラス飛散防止用のフィルム及びガラス基板の周囲にガラス飛散用のテープを貼れば、上記許容応力まで安全上問題ないことを確認できた。例えば32インチにおいて、筐体の最大真空応力を上記許容応力以下にするためには、FEMシミュレーションで計算すると、ガラス板厚は14mm以上となる。
また、本実施の形態の真空筐体33において、最大真空応力を低減するためには、図5Aに示すように、筐体周囲の角を丸めること、即ちアール形状にすることが望ましい。また、図5Bに示すように、背面基板27側の巨体形状をファンネル形状にすることが望ましい。筐体をこのような形状にすることにより、式1を満たす中でよりガラス板厚を薄くすることができる。
ここで、真空筐体33において、真空変形と真空応力に耐え得る構造の理想形は筐体を球形にすることである。本例の真空筐体33は3枚の基板からなり、中央のカソード基板26を挟んで、略対称形にアノード基板23と背面基板27は配置された構成になっている。真空変形を嫌うカソード基板26は大気圧を受けないので、アノード基板23及び背面基板26より薄いガラス基板で構成することができる。一方アノード基板23及び背面基板27では、図5A,Bに示すように、周縁部分を出来るだけ球形に近づけるために、周縁部分をアール形状にし、且つ接合幅Dをその対応する基板、この場合、アノード基板、背面基板の板厚t(背面基板がファンネル形状の場合が背面規範の板厚はt′)以上(D≧t、t′)に設定することができる。この条件設定により、真空筐体33の支柱レス構造をより安定化することができる。接合幅Dは、応力の分散、基板変形の抑制に効く。
真空筐体33の背面空間32には、前面空間31及び背面空間32内を高真空に維持するためのゲッター装置51が配置される。ゲッター装置51は、図6に示すように、環状の金属からなるゲッター容器52内にゲッター材53を収容して構成される。このゲッター装置51には、支持部材の一端、例えばワイヤ状の支持スプリング54の一端が接合され、支持スプリング54の他端に排気管47内に挿入されるC形スプリング56が接合されている。C形スプリング56は、筒状体57に縦方向の割り溝58を形成して横断面形状がC形をなすスプリングとして構成される。ゲッター容器51には、支持スプリング54側に背面空間32内に配置したときにカソード基板26と背面基板27に夫々接触する一対の接触片61、62が接合され、これと反対側にもカソード基板26と背面基板27に接触する接触片63、64が接合されている。一方の接触片61、62は支持スプリング54を上下から挟むようなリボン状をなしている。他方の接触片のうち、接触片63はリボン状であり、接触片64はゲッター装置51の配置の安定化を図るために、接触片63を中心に左右に跨ぐように且つ平行に延長するU字型をなしている。
ゲッター装置51の配置に際しては、図7に示すように、C形スプリング56をその径を細めて排気管47内に挿入し、挿入後スプリング力により排気管47内壁に圧着保持させて、このC形スプリング56、支持スプリング54を介してゲッター装置51を背面空間32内に配置するようになされる。ゲッター装置51は、背面空間32内に配置された状態で、接触片61、63及び接触片62、64が夫々カソード基板26と背面基板27に接触して中空支持される。排気管47が封止された後、外部からの高周波加熱によりゲッター材53が蒸発し、カソード基板26の裏面にゲッター蒸着膜53Aが形成される。
本実施の形態では、支柱レス構造の真空筐体33としたことにより、前面空間31の間隔Lを広くとることができる。図8に示すように、間隔Lを規定する第1のギャップガラス35Aに高さが大きくとれるので、アノード端子100は第1のギャップガラス35Aに埋め込まれるようにして貫通導出させるように構成することができる。アノード端子100の筐体内側の端部にはアノード導電膜に接触する弾性接触片101が一体に取付けられている。アノード端子100は、アノード導電膜、例えばアノード基板23の有効画面より外れた無効領域にまで延長したブラックマトリックス層43、またはメタルバック層42、本例ではメタルバック層42に接続され、アノード端子100を通じてアノード電圧を印加し且つアノード電流を取出すようになされる。
上述の本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置21によれば、カソード基板26を挟んで一方に前面空間(発光空間)31を挟んでアノード基板23を配置し、他方に背面空間32を挟んで背面基板27を配置した構成とするので、カソード基板26には大気圧が直接作用せず、アノード基板23及び背面基板27の板厚の選定で前面空間31を支柱レス構造にすることができる。少なくとも、有効画面領域を支柱レス構造にすることができる。支柱が不要になることによって、支柱による表示画像の乱れ、放電、画像阻害等を起こすことが無くなり、高品質の画像表示装置が得られる。
支柱を設ける必要がないので、第1のギャップガラス35Aによるアノード基板23とカソード基板26間の間隔(いわゆる高さ)の自由度が上がり、間隔を大きく設定することができる。即ち、従来の低圧印加型の電界電子放出画像表示装置に比べて、アノード基板とカソード基板間の間隔を広く設定することができ、アノード電圧として高圧を印加することが可能になる。従って、高圧印加型の電界電子放出画像表示装置を提供できる。
因みに、従来の低圧印加型の電界電子放出画像表示装置のアノード基板とカソード基板間の間隔は、1.1〜1.2mm程度が限度であるが、本実施の形態ではアノード基板23とカソード基板26間の間隔を従来の間隔以上、例えば4.0mm程度にすることが可能になる。
本実施の形態では、電圧特性が安定し、アノード電圧として15kVを超える高圧印加、例えば15kV〜20kVの印加が可能になる。蛍光体塗布領域に支柱を隠すためのブラックマトリックスも不要となり、蛍光体塗布面積を広く取ることができる。高圧印加が可能になるので、汎用蛍光体を利用することができ、また支柱挿入プロセスが不要になり、製造プロセスの簡素化を図ることができる。よって、この種の大型画像表示装置を低コストで達成することが可能になる。
高圧印加の安定性を確保できるので、陰極線管で用いられている高圧高輝度の汎用蛍光体を利用することができ、且つ放電特性が改善でき、支柱による発光画像の陰の問題も改善され、電界電子放出画像表示装置の発光量を一層増加させることができる。
高圧印加の安定性を確保できるので、陰極線管で用いられている高圧高輝度の汎用蛍光体を利用することができ、且つ放電特性が改善でき、支柱による発光画像の陰の問題も改善され、電界電子放出画像表示装置の発光量を一層増加させることができる。
背面空間32内にゲッター装置51を配置することにより、ゲッター・フラッシュさせたときにゲッター材をカソード基板の電子放出部24及びゲート電極25上、あるいはアノード基板23の蛍光面22上に被着させず、カソード基板26の背面に広い領域にのみ被着させることができる。広い領域に被着されたゲッター蒸着膜53Aは、カソード基板26に設けた貫通孔45を通じて前面空間31の残留ガス、発生ガスを十分に吸着することができ、高真空を維持することができる。これによって、電界放出型のカソードの汚染や損傷をなくし、電界電子放出画像表示装置の寿命を長期に維持することができる。
ゲッター装置51が背面空間32内に配置されるので、ゲッター材を加熱して蒸発させるための高周波コイル、いわゆる高周波誘導加熱手段は、背面基板27の裏面側に配置すればよく、高周波誘導加熱手段の配置に特別な考慮を必要としない。
ゲッター装置51の設置に際しては、ゲッター装置51に接続されたC形スプリング56を排気管47内に挿入するだけで簡単に且つ正確な位置に設置することができる。支持手段として、C形スプリング56を用いるので、排気管47内に挿入しても排気工程で支障を来すことがない。
図9は、本発明の電界電子放出画像表示装置の他の実施の形態を示す。
アノード基板23、カソード基板26及び背面基板27の3枚構造をフリットガラス36にて接合するフリットシール熱工程(到達温度400℃程度)において、アノード基板23及び背面基板27の肉厚が厚いと、基板23、27の表面と裏面との内外温度差、及びアノード基板23、背面基板27と中間に挟み込まれたカソード基板26とで熱分布が生じる。これにより、昇温過程あるいは降温過程において特に基板23、27に熱歪みによるクラックが発生し易くなる。あるいは、昇温レート及び降温レートを非常に低く設定する必要が生じる。
本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置71は、フリットシール熱工程時に、生産性を考慮した昇温/降温レートにて熱分布が許容できる範囲の基板肉厚にて、アノード基板23、カソード基板27及び背面基板27を形成して筐体33のフリットシールを行う。次いで、排気工程の前段プロセスで、各基板23、27のトータルの肉厚が真空応力に耐え得るガラス肉厚相当になるように、アノード基板23及び背面基板27の表面に保護パネル72を貼り合わせる。保護パネル72は、基板23、27に対して例えばポリウレタンアクリレート樹脂等の紫外線(UN)硬化樹脂を用いて接合することができる。
その他の構成は、前述の図2に示すものと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
アノード基板23、カソード基板26及び背面基板27の3枚構造をフリットガラス36にて接合するフリットシール熱工程(到達温度400℃程度)において、アノード基板23及び背面基板27の肉厚が厚いと、基板23、27の表面と裏面との内外温度差、及びアノード基板23、背面基板27と中間に挟み込まれたカソード基板26とで熱分布が生じる。これにより、昇温過程あるいは降温過程において特に基板23、27に熱歪みによるクラックが発生し易くなる。あるいは、昇温レート及び降温レートを非常に低く設定する必要が生じる。
本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置71は、フリットシール熱工程時に、生産性を考慮した昇温/降温レートにて熱分布が許容できる範囲の基板肉厚にて、アノード基板23、カソード基板27及び背面基板27を形成して筐体33のフリットシールを行う。次いで、排気工程の前段プロセスで、各基板23、27のトータルの肉厚が真空応力に耐え得るガラス肉厚相当になるように、アノード基板23及び背面基板27の表面に保護パネル72を貼り合わせる。保護パネル72は、基板23、27に対して例えばポリウレタンアクリレート樹脂等の紫外線(UN)硬化樹脂を用いて接合することができる。
その他の構成は、前述の図2に示すものと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
本実施の形態の電界電子放出画像表示装置71によれば、フリットシール熱工程の時点では各基板23、26及び27の肉厚が昇温/降温レートにて熱分布が許容できる範囲の肉厚であるので、アノード基板23、背面基板27に熱歪みの発生がない。フリットシール後、アノード基板23及び背面基板27に保護パネル72を接合してから排気処理するので、アノード基板23及び背面基板27の板厚は十分得られ、十分に真空強度に耐えることができる。従って、より信頼性の高い筐体33を得、信頼性の高い電界電子放出画像表示装置を提供することができる。
その他、前述の電界電子放出画像表示装置21と同様の効果を奏することができる。
その他、前述の電界電子放出画像表示装置21と同様の効果を奏することができる。
図10は、本発明に係る電界電子放出画像表示装置の更に他の実施の形態を示す。
本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置75は、カソード基板26に2つ以上の貫通孔45〔45A,45B〕を設け、背面基板27に2つ以上の排気口46〔46A,46B〕を設けると共に、背面空間32にこの空間32を2分する仕切り板76を設けて構成される。複数の貫通孔45〔45A,45B〕は前面空間31の両端側に位置するように設けられ、本例では4つの貫通孔45〔45A,45B〕を無効画面の四隅部に対応する位置に設けられる。排気口46〔46A,46B〕及び排気管47〔47A,47B〕も背面空間32を2分する仕切り板76を挟んで両側に夫々配設される。本例では仕切り板76が背面空間32の中央に位置するように配置され、2つの排気管47A,47Bが設けられる。 仕切り板76は、例えば図12に示すように、周縁形状の第2のギャップガラス35Bと一体に形成することができる。ゲッター装置51は、図11に示すように、背面空間32の仕切り板76で気密的に仕切られた両領域に夫々配置される。
その他の構成は、前述の図2に示すものと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置75は、カソード基板26に2つ以上の貫通孔45〔45A,45B〕を設け、背面基板27に2つ以上の排気口46〔46A,46B〕を設けると共に、背面空間32にこの空間32を2分する仕切り板76を設けて構成される。複数の貫通孔45〔45A,45B〕は前面空間31の両端側に位置するように設けられ、本例では4つの貫通孔45〔45A,45B〕を無効画面の四隅部に対応する位置に設けられる。排気口46〔46A,46B〕及び排気管47〔47A,47B〕も背面空間32を2分する仕切り板76を挟んで両側に夫々配設される。本例では仕切り板76が背面空間32の中央に位置するように配置され、2つの排気管47A,47Bが設けられる。 仕切り板76は、例えば図12に示すように、周縁形状の第2のギャップガラス35Bと一体に形成することができる。ゲッター装置51は、図11に示すように、背面空間32の仕切り板76で気密的に仕切られた両領域に夫々配置される。
その他の構成は、前述の図2に示すものと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
本実施の形態では、図13に示すように、フリットシール時に一方の排気管47Aから不活性ガス77、例えば窒素ガス(N2 )を供給し、一方の貫通孔45Aより前面空間31内を不活性ガス77で満たすと共に、他方の貫通孔45Bを通し、他方の排気管47Bより不活性ガス77を排出するようにする。このように前面空間31内を不活性ガス77で置換した状態で、フリットシールを行う。フリットシール後は、1つの排気管、例えば排気管47Bを残して他の排気管47Aを封止し、貫通孔45〔45A,45B〕、1つの排気管47Bを通じて通常のように前面空間31及び背面空間32内を真空排気する。なお、複数の排気管47A,47Bを通して真空排気することも可能である。
本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置75によれば、フリットシール時には排気管47A,47Bを通じて前面空間31内を不活性ガス77で置換して行うことにより、カソード側の電界放出素子が酸化されることがなく、良好なフリットシールが行える。その後の排気工程では、1つの排気管47Bを残して他の排気管47を封止して1つの排気管47Aを通じて真空排気することにより、通常の排気設備での排気が行える。信頼性の高い電界電子放出画像表示装置を歩留り良く製造し、提供することができる。
その他、前述の電界電子放出画像表示装置21と同様の効果を奏することができる。
その他、前述の電界電子放出画像表示装置21と同様の効果を奏することができる。
次に、上述の図10に示す本実施の形態に係る電界電子放出画像表示装置75の製造、組み立て及びゲッターフラッシュについて説明する。
アノード基板23には、各色蛍光体層41〔41R,41G,41B〕及びブラックマトリックス43、さらにメタルバック層42を形成して置く。カソード基板26には、カソード電極28、電界放出部24、絶縁層29、ゲート電極25及び開口30からなる陰極構造体を形成して置く。第1のギャップガラス35A、及び中央の仕切り板76を一体の有する第2のギャップガラス35Bの夫々には、フリット材を塗布し乾燥させて置く。ゲッター手段は、C形スプリング56、ワイヤ状の支持スプリング54、接触片61〜64、及びゲッター容器52内にゲッター材53を収容したゲッター装置51を、図5に示すように溶接して組み立てる。背面基板27の2つの排気口46〔46A,46B〕と排気管47〔47A,47B〕の間にフリットタブレットを仮組み立てし、加熱炉内で焼成処理し、ガラスフリットの溶着により背面基板27と2つの排気管47とを封着する。2つのゲッター装置51の取付けは、例えば図11に示すように、上記封着後、排気管47内にC形スプリング56を挿入して位置決めする。
アノード基板23には、各色蛍光体層41〔41R,41G,41B〕及びブラックマトリックス43、さらにメタルバック層42を形成して置く。カソード基板26には、カソード電極28、電界放出部24、絶縁層29、ゲート電極25及び開口30からなる陰極構造体を形成して置く。第1のギャップガラス35A、及び中央の仕切り板76を一体の有する第2のギャップガラス35Bの夫々には、フリット材を塗布し乾燥させて置く。ゲッター手段は、C形スプリング56、ワイヤ状の支持スプリング54、接触片61〜64、及びゲッター容器52内にゲッター材53を収容したゲッター装置51を、図5に示すように溶接して組み立てる。背面基板27の2つの排気口46〔46A,46B〕と排気管47〔47A,47B〕の間にフリットタブレットを仮組み立てし、加熱炉内で焼成処理し、ガラスフリットの溶着により背面基板27と2つの排気管47とを封着する。2つのゲッター装置51の取付けは、例えば図11に示すように、上記封着後、排気管47内にC形スプリング56を挿入して位置決めする。
以上のアノード基板23、カソード基板26、背面基板27相互の各間に、フリット材を塗布・乾燥させた第1のギャップガラス35Aと、仕切り板76が一体の第2のギャップガラス35Bとを挟み仮組み立てし、加熱炉内にて焼成して3つの基板23、26及び27をフリットガラスの溶着により一体に封着する。加熱炉にて焼成処理中は、不活性ガス77を背面基板27の一方の排気管47から送り込み、他方の排気管47Bより排出することにより、表示装置内空間31、32を不活性ガス77に置換する。
次に、一方の排気管47Aを封止し、残りの排気管47B、カソード基板26の貫通孔45A,45Bを通して排気を行い、所要の真空度に達したとき、排気管47Bをチップオフ即ち封止する。封止後、背面基板27側より高周波加熱手段、従ってその高周波磁界によりゲッター材53を蒸発させる。高周波加熱手段を構成する高周波コイルは、コイルから離れた所にあるゲッター材53を加熱させるため、コイル内に磁性コア、例えばフライトコアを挿入し、磁界を集中させるように構成される。このゲッターフラッシュにより、指向性をもってカソード基板の裏面上にゲッター材の蒸着膜53Aが形成される。
因みに、真空度を保持する作業においては、上述のようにカソード基板26上の陰極構造体が、電界放出型カソードを有する複雑な構造を有していることや、アノード基板23とカソード基板26との前面空間31と、カソード基板26と背面基板27との背面空間32がカソード基板26の貫通孔、本例では4つの貫通孔45により連通していることにより、夫々の基板間の隅々にわたって高真空に排気を行うことは難しい。従って、基板間内に僅かなガスが残留する。また、表示装置として使用しているうちに蛍光面22等からもガスが発生する。
本実施の形態によれば、背面空間32をカソード基板26の裏面側に前面空間(発光空間)31と連通して設けることにより、真空領域の容積が増大するので、僅かなガスにより真空度が損なわれることがなくなる。また、ゲッター材35を蒸着させる領域を広くすることができ、ゲッター材の蒸着膜35Aは、十分に管内の残留ガスを吸収して真空度を増す。また発生ガスを吸収して電界放出型カソードの汚染や損傷をなくし、電界電子放出画像表示装置の寿命を長期に維持するようになる。
本実施の形態では、背面空間32にゲッター装置51を配置するので、十分な量のゲッター材を確保することができる。ゲッター装置51は、排気管47に挿入したC形スプリング56を介して保持されるので、ゲッター材を有するゲッター容器を複数方向に配置すること、1列に複数固のゲッター材を有するゲッター容器を取り付けること等、本発明の基本構成を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
本実施の形態では、背面空間32にゲッター装置51を配置するので、十分な量のゲッター材を確保することができる。ゲッター装置51は、排気管47に挿入したC形スプリング56を介して保持されるので、ゲッター材を有するゲッター容器を複数方向に配置すること、1列に複数固のゲッター材を有するゲッター容器を取り付けること等、本発明の基本構成を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。
上例では、電極構造としては、フォーカス電極を有さないフォーカスレス構造としたが、その他、フォーカス電極を有する構成にも本発明は適用できる。
上例では前面空間31の全体を支柱レス構造としたが、その他、有効画面領域以外の無効領域に支柱を設けることも可能である。また、背面空間32に支柱を設けることも可能である。
上述においては3枚パネル構造で支柱レス構造の電界電子放出画像表示装置を構成したが、真空筐体を構成するガラス基板の板厚tを上述の式1を満たすように設定すれば、その他、2枚パネル構造で支柱レス構造の電界電子放出画像表示装置を構成することもできる。
図14は2枚パネル構造で支柱レス構造とした電界電子放出画像表示装置の例を示す。この電界電子放出画像表示装置81は、前述と同様に蛍光面22及びメタルバック層42を形成したアノード基板23と、前述と同様にカソード電極28、絶縁層29、ゲート電極25及び開口30に臨む電子放出部24を形成したカソード基板26を有し、両基板23及び26が、周縁部においてギャップガラス35を介してフリットガラスにて封着されて成る。カソード基板26には排気管47が接合され、排気管47により両基板23及び26間の閉空間が高真空に排気され、アノード基板23及びカソード基板26により真空筐体82が構成される。この真空筐体82を構成するアノード基板23及びカソード基板26は、そのガラス板厚tが前述の式1で示す0.32×A+3.9≦t1 ≦0.51×A+6.1の条件を満たす板厚に設定される。アノード基板23とカソード基板26の板厚は同じ板厚とすることが好ましい。また、アノード基板23及びカソード基板26の周縁部の形状は、前述の図5Aに示すアール形状、或いは図5Bに示すアノード基板23をアール形状にすると共にカソード基板26をファンネル形状に形成することもできる。これによって、真空筐体82は、支柱レス構造の真空筐体として構成することができる。その他の構成は、図2で説明したと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
図14は2枚パネル構造で支柱レス構造とした電界電子放出画像表示装置の例を示す。この電界電子放出画像表示装置81は、前述と同様に蛍光面22及びメタルバック層42を形成したアノード基板23と、前述と同様にカソード電極28、絶縁層29、ゲート電極25及び開口30に臨む電子放出部24を形成したカソード基板26を有し、両基板23及び26が、周縁部においてギャップガラス35を介してフリットガラスにて封着されて成る。カソード基板26には排気管47が接合され、排気管47により両基板23及び26間の閉空間が高真空に排気され、アノード基板23及びカソード基板26により真空筐体82が構成される。この真空筐体82を構成するアノード基板23及びカソード基板26は、そのガラス板厚tが前述の式1で示す0.32×A+3.9≦t1 ≦0.51×A+6.1の条件を満たす板厚に設定される。アノード基板23とカソード基板26の板厚は同じ板厚とすることが好ましい。また、アノード基板23及びカソード基板26の周縁部の形状は、前述の図5Aに示すアール形状、或いは図5Bに示すアノード基板23をアール形状にすると共にカソード基板26をファンネル形状に形成することもできる。これによって、真空筐体82は、支柱レス構造の真空筐体として構成することができる。その他の構成は、図2で説明したと同様であるので、対応する部分には同一符号を付して重複説明を省略する。
この電界電子放出画像表示装置81によれば、アノード基板及びカソード基板26に強化ガラスを用いて、その板厚tを上述の式1の条件を満たすように設定することにより、真空筐体82内の支柱構造をなくすことができる。これによって、電圧特性が安定し、放電特性が改善され、支柱が画像に現れることがなくなる。真空空間の間隔を従来に比べて広くすることが可能になり、高圧印加型の電界電子放出画像表示装置を提供することができる。
上述の本実施の形態に係るC形スプリング56とワイヤ状スプリング54とを一体に有したゲッター装置51は、上述の3枚パネル基板構造の電界電子放出画像表示装置に限らず、図14に示す画像表示領域を有するアノード基板と電子放出冷陰極構造を有するカソード基板とからなる2枚パネル構造の電界電子放出画像表示装置にも適用することができる。さらに、従来の支柱構造を有する2枚パネル構造の電界電子放出画像表示装置にも適用することができる。
上述の本実施の形態に係るC形スプリング56とワイヤ状スプリング54とを一体に有したゲッター装置51は、電界電子放出画像表示装置に限らず、他の真空筐体にも適用することができる。この場合、筐体の閉空間内にゲッター装置51を配置し、C形スプリング56を排気管内に挿入することでゲッター装置51を保持し、閉空間内を排気管を通して真空排気し、その後、排気管を封止して真空筐体を構成することができる。
21、71、75、81・・電界電子放出画像表示装置、22・・蛍光面、23・・アノード基板、24・・電子放出部、25・・ゲート電極、26・・カソード基板、27・・背面基板、28・・カソード電極、29・・絶縁層、30・・開口、31、32・・閉空間、33・・真空筐体、35〔35A,35B〕・・ギャップガラス、36・・フリットガラス、41〔41R,41G,41B〕・・蛍光体層、42・・ブラックマトリックス、45、45A、45B・・貫通孔、46、46A、46B・・排気口、47、47A、47B・・排気管、51・・ゲッター装置、52・・ゲッター容器、53・・ゲッター材、54・・ワイヤ状のスプリング、56・・C形スプリング、61〜64・・接触片、76・・仕切り板、77・・不活性ガス
Claims (12)
- 基板面上に画像表示領域を有する第1の基板と、
前記第1の基板の前記画像表示領域と対向して、基板面上に電子放出部及び前記電子放出部から放出される電子を制御するための電子制御部が形成され、厚さ方向に1個以上の貫通孔を有する第2の基板と、
前記第2の基板の電子放出部が形成される面と反対の面に対向して、少なくとも1個以上の排気口を備えた第3の基板とからなり、
前記第1の基板と前記第2の基板、前記第2の基板と前記第3の基板をそれぞれ基板周縁部でシールして基板間に閉空間を形成し、前記閉空間を前記排気口に接続された排気管を通して真空排気し、その後封止して構成し、
前記排気管に挿入するスプリングと該スプリングに接続したゲッター装置を備えて成る
ことを特徴とする電界電子放出画像表示装置。 - 前記第2の基板に2個以上の前記貫通孔を有し、
前記第3の基板に2個以上の前記排気口を有し、
前記貫通孔及び前記排気口の夫々を2分するように、前記第2の基板と前記第3の基板で形成された閉空間内に仕切り板を配置して成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第3の基板が、同等な肉厚の基板で形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第3の基板が、前記閉空間の真空時変形が起こらず、且つ真空応力に耐え得る板厚で形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第3の基板の周縁部封止部材との接着幅が、それぞれ前記第1の基板及び前記第3の基板の板厚以上に設定されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第3の基板が強化ガラスにて形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第3の基板の板厚をtとし、有効画面サイズをAとするとき、
前記第1及び第3の基板が、0.32×A+3.9≦t≦0.51×A+6.1の関係式を満たす板厚を有して成る
ことを特徴とする請求項6記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1及び第3の基板の周縁部がアール形状に形成され、或いは前記第1の基板の周縁部がアール形状にされると共に前記第3の基板がファンネル形状に形成されて成る
ことを特徴とする請求項7記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板及び前記第2の基板間の第1の周縁部スペーサと、前記第2の基板及び前記第3の基板間の第2の周縁部スペーサとが、前記基板との接触面の周縁形状を同じにして成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第2の基板が、厚み1.0mm〜3.0mmな板ガラスで形成され、前記第1及び第3基板に対して駆動電極引出し分として少なくとも5mm以上大きく形成されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板に基板飛散防止フィルムが貼着されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。 - 前記第1の基板に貼着されたフィルムに反射防止コート処理が施されて成る
ことを特徴とする請求項1記載の電界電子放出画像表示装置。
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